JP5257619B2 - 純水製造装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る純水製造装置の構成を示すフロー図である。本実施形態の純水製造装置は、前述した図3に示す従来の純水製造装置と基本的には同様の構成を有するため、同一の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
被処理水W0は、まず前処理システム1により濁質成分等が除去された後、一次純水システム2の4床5塔イオン交換装置4、第1RO(逆浸透膜)装置5A、第2RO装置5B、および脱気膜装置6により、ある程度のイオン成分やTOC成分が除去される。
なお、以下の比較例および実施例においては、以下の装置を使用した。
・電気脱イオン装置(栗田工業社製「KCDI−UPz」、処理水量:15000L/hr)
・RO装置(栗田工業社製,製品名:K−RO−A−2072)
・脱気膜装置(セルガード社製,製品名:リキセルX40)
・UV酸化装置(UV出力:0.3〜0.7kW・h/m3)
・UV殺菌装置(UV出力:0.01〜0.06kW・h/m3)
図1に示す構成の純水製造装置を用いて、UV酸化装置7のUV出力を0.3kW・h/m3、UV殺菌装置7AのUV出力を0.05kW・h/m3とし、回収水(半導体工場で排出された使用済みリンス水)を被処理水W0として用い、電気脱イオン装置8へ通水条件SV=130/hで通水し、1年経過後の電気脱イオン装置8からの脱イオン水の微粒子数を微粒子モニター(栗田工業社製、KLAMIC−KS)により計測したところ、粒径約0.05μmの微粒子が10個/mL検出された。
実施例1において、UV殺菌装置7Aを用いない以外は同様にして、回収水を処理し、1年経過後の電気脱イオン装置8からの脱イオン水の微粒子数を微粒子モニターにより計測したところ、粒径約0.05μmの微粒子が1000個/mL検出された。これは電気脱イオン装置8の脱塩室86中のイオン交換樹脂が劣化したためであると考えられる。
実施例1において、UV酸化装置のUV出力を0.3kW・h/m3、UV殺菌装置のUV出力を0.01kW・h/m3とする以外は同様にして、回収水を処理し、1年経過後の電気脱イオン装置8からの脱イオン水の微粒子数を微粒子モニターにより計測したところ、粒径約0.05μmの微粒子が200個/mL検出された。
実施例1において、UV酸化装置のUV出力を0.7kW・h/m3、UV殺菌装置のUV出力を0.05kW・h/m3とする以外は同様にして、回収水を処理し、1年経過後の電気脱イオン装置8からの脱イオン水の微粒子数を微粒子モニターにより計測したところ、粒径約0.05μmの微粒子が150個/mL検出された。
実施例1において、UV酸化装置のUV出力を0.3kW・h/m3、UV殺菌装置のUV出力を0.06kW・h/m3とする以外は同様にして、回収水を処理し、1年経過後の電気脱イオン装置8からの脱イオン水の微粒子数を微粒子モニターにより計測したところ、粒径約0.05μmの微粒子が0個/mL検出された。
2…一次純水システム
3…サブシステム(二次純水製造装置)
7…UV酸化装置(紫外線酸化装置)
7A…UV殺菌装置(紫外線殺菌装置)
8…電気脱イオン装置
Claims (5)
- UV酸化装置と電気脱イオン装置とを有し、前記電気脱イオン装置が前記UV酸化装置の後段に配置されている純水製造装置であって、
前記UV酸化装置と前記電気脱イオン装置との間にUV殺菌装置を有することを特徴とする純水製造装置。 - 前記UV酸化装置の前段に少なくとも一以上の逆浸透膜装置を有することを特徴とする請求項1に記載の純水製造装置。
- 前記電気脱イオン装置の後段に少なくとも一以上の逆浸透膜装置を有することを特徴とする請求項1または2に記載の純水製造装置。
- ユースポイントからの排水を前記純水製造装置の所定の箇所に返送する返送路を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の純水製造装置。
- 前記UV殺菌装置のUV出力が前記UV酸化装置のUV出力の1/10以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の純水製造装置。
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