JP5717835B2

JP5717835B2 - プローブ

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Inventors: 佐藤　公紀; 公紀佐藤; 康幸三木; 原田　啓太; 啓太原田; 小林　満; 満小林; 宮澤　英夫; 英夫宮澤; 幸紀高橋
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Description

本発明は、プローブ及びプローブの製造方法に関する。

半導体集積回路等を製造する際においては、ウエハに形成されている半導体集積回路の電気的な特性を測定するための測定機器が用いられている。このような測定機器は、ウエハに形成されている電極バッドまたは電極端子に直接電気的に接続するためのプローブを接触させ、電気的に接続し、電気的な測定を行うものである。

このようなプローブとしては、一般に、コイルスプリングプローブと称されるプローブが用いられている。このプローブは、筒状の筒体内にコイルバネを内蔵しており、コイルバネの一方の端部は、プローブの接触端子となっており、ウエハ等に形成されている電極パッドまたは電極端子と接触するものであり、他方の端部は、計測機器に電気的に接続している。コイルスプリングプローブでは、筒体内にコイルバネを設けることにより、プローブの接触端子が伸縮可能であり、電極パッドまたは電極端子との電気的な接触を確実に行うことができる。

特開２００７−２４６６４号公報特開２００７−７１６９９号公報

ところで、上述したコイルスプリングプローブは、一般に、プローブの接触部分、コイルバネ及び筒体を有する構造であるため、各々別個の部品として作製し、これらの部品を組み立てることにより製造される。このため、製造工程も複雑なものとなり、製造コストも高くなってしまう。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、短時間に低コストで製造することが可能なスプリング機能を有する電気接続用のプローブを提供することを目的とするものである。

本発明は、電気回路又は電子部品における電極端子と接触し電気的測定を行うために用いられるプローブにおいて、前記プローブは、一方の端より、前記電極端子と接触する先端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域、前記バネ部を囲むための筐体部となる領域とが順に接続されている形状の一枚の金属板を折曲げることにより形成されるものであって、前記先端部となる領域により形成される先端部と、前記蛇行形状に形成された前記バネ部となる領域を折曲げることにより形成されるバネ部と、前記バネ部を囲むように折曲げて形成される筐体部と、を有することを特徴とする。

また、本発明は、前記筐体部となる領域には、蛇行形状に形成された筐体バネ部となる領域を有しており、前記蛇行形状に形成された前記筐体バネ部となる領域を折曲げることにより形成される筐体バネ部を有することを特徴とする。

また、本発明は、前記先端部と接続される筐体接続部が設けられており、前記先端部において得られた電気信号は、前記筐体接続部を介し、前記筐体部に伝達されるものであることを特徴とする。

また、本発明は、電気回路又は電子部品における電極端子と接触し電気的測定を行うために用いられるプローブにおいて、前記プローブは、一方の端より、前記電極端子と接触する一方の端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域、他方の端部となる領域が順に接続されて形成されており、前記バネ部を囲むため前記バネ部となる領域の長手方向に沿った筐体部となる領域が、前記バネ部となる領域に接続されている形状の一枚の金属板を折曲げることにより形成されるものであって、前記一方の端部となる領域により形成される一方の端部と、前記蛇行形状に形成された前記バネ部となる領域を折曲げることにより形成されるバネ部と、前記他方の端部となる領域により形成される他方の端部と、前記バネ部を囲むように折曲げて形成される筐体部と、を有することを特徴とする。

また、本発明は、電気回路又は電子部品における電極端子と接触し電気的測定を行うために用いられるプローブにおいて、前記プローブは、一方の端より、前記電極端子と接触する先端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域、前記バネ部を囲むための筐体部となる領域とが順に接続されている形状の一枚の金属板を折曲げることにより形成されるものであって、前記先端部となる領域により形成される先端部と、前記蛇行形状に形成された前記バネ部となる領域を折曲げることにより形成されるバネ部と、前記バネ部を囲むように折曲げて形成される筐体部と、を有し、前記バネ部には前記筐体部に向けて出っ張った形状の凸部が形成されており、前記凸部は、前記筐体部と接触していることを特徴とする。

また、本発明は、前記凸部は、折曲げられた前記バネ部の一方の側と他方の側に各々形成されており、前記一方の側に設けられた凸部と前記他方の側に設けられた凸部とは対称となる位置に設けられていることを特徴とする。

また、本発明は、前記凸部は、前記バネ部において、前記先端部に近い側に設けられていることを特徴とする。

また、本発明は、前記筐体部における断面形状は、略正方形であることを特徴とする。

また、本発明は、電気回路又は電子部品における電極端子と接触し電気的測定を行うために用いられるプローブの製造方法において、金属板を所定の形状に形成する金属板形成工程と、前記所定の形状に形成された前記金属板の表面にメッキを施すメッキ工程と、前記メッキの施された前記金属板を折曲げる折曲げ工程と、を有し、前記所定の形状は、本体部となる一方の端より、前記電極端子と接触する先端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域、前記バネ部を囲むための筐体部となる領域とが順に接続されている形状であることを特徴とする。

また、本発明は、電気回路又は電子部品における電極端子と接触し電気的測定を行うために用いられるプローブの製造方法において、金属板を所定の形状に形成する金属板形成工程と、前記所定の形状に形成された前記金属板の表面にメッキを施すメッキ工程と、前記メッキの施された前記金属板を折曲げる折曲げ工程と、を有し、前記所定の形状は、本体部となる一方の端より、前記電極端子と接触する一方の端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域、他方の端部となる領域が順に接続されて形成されており、前記バネ部を囲むため前記バネ部となる領域の長手方向に沿った筐体部となる領域が、前記バネ部となる領域に接続されている形状であることを特徴とする。

また、本発明は、前記折曲げ工程は、前記バネ部となる領域を折曲げることによりバネ部を形成する第１の折曲げ工程と、前記第１の折曲げ工程の後、前記筐体部となる領域と前記バネ部との境界を略１８０°折曲げる第２の折曲げ工程と、前記第２の折曲げ工程の後、前記バネ部を前記筐体部により囲むように、前記筐体部となる領域を折曲げる第３の折曲げ工程と、を有することを特徴とする。

また、本発明は、前記所定の形状は、さらに、前記本体部の周囲を囲むように形成された、前記本体部と接続された製造補助部を有しており、前記折曲げ工程は、前記バネ部となる領域を折曲げることによりバネ部を形成する第１の折曲げ工程と、前記第１の折曲げ工程の後、前記筐体部となる領域と前記バネ部との境界及び前記境界部分の延長線上の製造補助部を略１８０°折曲げる第２の折曲げ工程と、前記第２の折曲げ工程の後、前記バネ部を前記筐体部により囲むように、前記筐体部となる領域を折曲げる第３の折曲げ工程と、を有し、前記折曲げ工程の後、前記本体部と前記製造補助部とを切断する製造補助部切断工程を行うことを特徴とする。

また、本発明は、前記筐体部となる領域には、筐体バネ部となる領域を有しており、前記折曲げ工程は、前記バネ部となる領域を折曲げることによりバネ部を形成する第１の折曲げ工程と、前記第１の折曲げ工程の後、前記筐体部となる領域と前記バネ部との境界を略１８０°折曲げる第２の折曲げ工程と、前記第２の折曲げ工程の後、前記バネ部を前記筐体部により囲むように、前記筐体部となる領域及び筐体バネ部となる領域を折曲げる第３の折曲げ工程と、を有することを特徴とする。

また、本発明は、前記第１の折曲げ工程において、前記先端部となる領域を前記バネ部となる領域と同時を折曲げることを特徴とする。

また、本発明は、前記先端部と前記バネ部との間には、筐体接続部が設けられており、前記第３の折曲げ工程を行った際に、前記筐体接続部と、前記筐体部の内側とが接触するように前記筐体接続部が曲げられていることを特徴とする。

また、本発明は、電気回路又は電子部品における電極端子と接触し電気的測定を行うために用いられるプローブの製造方法において、時効硬化型合金からなる金属板を所定の形状に形成する金属板形成工程と、前記所定の形状に形成された前記金属板を折曲げる折曲げ工程と、前記折曲げ工程の後、熱処理を行う熱処理工程と、前記熱処理工程の後、メッキを施すメッキ工程と、を有し、前記所定の形状は、本体部となる一方の端より、前記電極端子と接触する先端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域、前記バネ部を囲むための筐体部となる領域とが順に接続されている形状であることを特徴とする。

また、本発明は、前記電極端子と接触する先端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域との間には、筐体接続部が設けられており、前記筐体部には開口部が設けられており、前記筐体接続部が前記筐体部と接触する部分は、前記開口部に位置していることを特徴とする。

また、本発明は、前記プローブは絶縁体外枠に設置されるものであって、前記絶縁体外枠に設置された状態における前記プローブは、前記筐体接続部と前記筐体部とが接触していることを特徴とする。

また、本発明は、前記筐体部の断面形状は略正方形となるように折曲げるものであることを特徴とする。

また、本発明は、前記金属板の厚さは、３０μｍ〜１５０μｍであることを特徴とする。

また、本発明は、前記金属板形成工程において形成される所定の形状とは、金属板をプレス加工することにより形成されるものであること、または、金属板の前記所定の形状となる領域以外の領域をエッチングすることにより形成されるものであることを特徴とする。

本発明によれば、一枚の金属板を加工することにより製造することができるため、組立工程等を必要とせず、短時間に低コストで製造することが可能なスプリング機能を有する電気接続用のプローブを提供することができる。

第１の実施の形態におけるプローブの外観の斜視図第１の実施の形態におけるプローブの内部構造の斜視図第１の実施の形態におけるプローブの製造方法のフローチャート第１の実施の形態におけるプローブの製造方法の説明図（１）第１の実施の形態におけるプローブの製造方法の説明図（２）第１の実施の形態におけるプローブの製造方法の途中段階における側面図第１の実施の形態におけるプローブの製造方法の途中段階における上面図第１の実施の形態におけるプローブの製造方法の途中段階における正面図第２の実施の形態におけるプローブの外観の斜視図第２の実施の形態におけるプローブの内部構造の斜視図第３の実施の形態におけるプローブの外観の斜視図第３の実施の形態におけるプローブの内部構造の斜視図第４の実施の形態におけるプローブの先端部の斜視図第５の実施の形態におけるプローブの外観の斜視図第５の実施の形態におけるプローブの内部構造の斜視図第５の実施の形態におけるプローブの製造方法のフローチャート第５の実施の形態におけるプローブの製造方法の説明図第５の実施の形態におけるプローブの製造方法の途中段階における側面図第５の実施の形態におけるプローブの製造方法の途中段階における上面図第５の実施の形態におけるプローブの製造方法の途中段階における正面図第５の実施の形態におけるプローブの製造方法の途中段階における斜視図（１）第５の実施の形態におけるプローブの製造方法の途中段階における斜視図（２）第５の実施の形態におけるプローブの製造方法のステップ２１０における透過斜視図図２３におけるプローブの要部拡大図第５の実施の形態における他のプローブの外観の斜視図第６の実施の形態におけるプローブの外観の斜視図第６の実施の形態におけるプローブの内部構造の斜視図第６の実施の形態におけるプローブの使用状態を示す斜視図第６の実施の形態における他のプローブの外観の斜視図第６の実施の形態における他のプローブの内部構造の斜視図第６の実施の形態におけるプローブの製造方法のフローチャート第６の実施の形態におけるプローブの製造方法の説明図第６の実施の形態における他のプローブの製造方法の説明図第７の実施の形態におけるプローブの外観の斜視図第７の実施の形態におけるプローブの外観の上面図第７の実施の形態におけるプローブの外観の左側面図第７の実施の形態におけるプローブの外観の底面図第７の実施の形態におけるプローブの外観の右側面図第７の実施の形態におけるプローブの外観の全面図第７の実施の形態におけるプローブの外観の要部拡大図（１）第７の実施の形態におけるプローブの外観の要部拡大図（２）第７の実施の形態におけるプローブの外観の要部拡大図（３）第７の実施の形態におけるプローブの使用状態を示す斜視図第７の実施の形態におけるプローブの製造方法のフローチャート第７の実施の形態におけるプローブの製造方法の説明図第８の実施の形態におけるプローブの外観の斜視図第８の実施の形態におけるプローブの外観の上面図第８の実施の形態におけるプローブの外観の左側面図第８の実施の形態におけるプローブの外観の底面図第８の実施の形態におけるプローブの外観の右側面図第８の実施の形態におけるプローブの外観の全面図第８の実施の形態におけるプローブの説明図第８の実施の形態におけるプローブの説明のための要部拡大図第８の実施の形態におけるプローブの使用状態を示す説明図

本発明を実施するための形態について、以下に説明する。

〔第１の実施の形態〕
（プローブの構造）
第１の実施の形態におけるプローブについて説明する。本実施の形態におけるプローブは、電子部品や電気回路等の検査を行うために用いられるものであり、電子部品や電気回路等に形成された電極パッド又は電極端子等（電極パッド又は電極端子等を単に「電極端子」または「電極端子等」と称する場合もある）と電気的に接続するためのものである。具体的には、図１及び図２に示すように、本実施の形態におけるプローブは、一枚の金属板、例えば、銅又は銅を含む合金からなる金属板を打ち抜いたものを折曲げることにより形成したものである。従って、本実施の形態におけるプローブは、一体化されており、全体がつながった構造となっている。

本実施の形態におけるプローブは、先端部１０、バネ部２０、筐体部３０、筐体接続部４０により形成されている。

先端部１０は、ウエハ等に形成された電気回路及び電子部品等の電極パット又は電極端子等と接触させ電気的に接続するためのものである。先端部１０の端部は、Ｌ字状に曲げられており、端子接触部１１を形成している。この端子接触部１１は、検査の対象となる電気回路または電子部品等における電極パッドまたは電極端子と接触し電気的に接続される部分である。また、先端部１０の両側の側部は先端部１０の長手方向に沿ってＬ字状に曲げられており、先端補強部１２を形成している。このように先端部１０の両側の側部をＬ字状に曲げることにより、先端部１０を電極パッド又は電極端子と接触させた際に、力が加わった場合においても、先端部１０が変形することなく、確実に端子接触部１１と電極パッド及び電極端子とを接触させることができる。尚、本実施の形態の説明では、先端部１０の両側の側部をＬ字状に曲げることにより、コの字状の形状に形成したものについて説明するが、中央分を曲げることによりＶ字状の形状に形成したものや、曲面を形成することによりＵ字状又は半円状に形成したものであってもよい。

バネ部２０は、平板状であって両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状のものを略中心部分において、長手方向に沿ってコの字形状に折曲げた構造のものであり、折曲げられた一方の側２１と、他方の側２２とは略平行となるように折曲げられている。本実施の形態では、コの字状に折曲げた構造のものを示しているが、Ｕの字状等に折曲げた構造のものであってもよい。バネ部２０では、両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状とすることにより、弾性を有するものとなり、バネとしての機能を発揮させることができる。

筐体部３０は、バネ部２０の全体を囲むように筐体部３０となる領域の金属板を折曲げることにより形成されている。具体的には、筐体部３０となる領域の金属板を折曲げることにより側面部３１と上面部３２とを形成し、また、先端部１０近傍においては、先端部１０における先端補強部１２の一部を囲むように、折曲げることにより側面部３３及び上面部３４を形成する。この際、側面部３１及び側面部３３を折曲げることにより底面部３５も同時に形成されるため、バネ部２０全体を略四角形状の筐体部３０により囲むことができる。尚、筐体部３０とバネ部２０とは境界となる屈曲部３６において、約１８０°折曲げられており、バネ部２０の筐体部３０内に納められた構造となっている。また、この屈曲部３６は、プローバー等の測定機器と電気的に接続されるものであり、端子接触部１１において電極パットまたは電極端子と接触して得られた電極信号は、屈曲部３６を介し、測定機器に伝達される。

筐体接続部４０は、筐体部３０の側面部３１の内側と接触しており、筐体接続部４０と筐体部３０とが電気的に接続されている。具体的には、筐体接続部４０と筐体部３０とが電気的に接続されることにより、電気信号は端子接触部１１より先端部１０、筐体接続部４０、筐体部３０を介し、屈曲部３６に伝達される。筐体部３０は電気信号が流れる領域における断面積が広いため、端子接触部１１から屈曲部３６までの電気抵抗を低くすることができる。よって、端子接触部１１において検出した電気信号を屈曲部３６まで低抵抗で伝達することができる。

（プローブの製造方法）
次に、図３に基づき本実施の形態におけるプローブの製造方法について説明する。

最初に、ステップ１０２（Ｓ１０２）において、本実施の形態におけるプローブを作製するため、所定の形状に金属板を形成する（金属板形成工程）。形成方法は、金属板をプレス加工等により打ち抜き形成する方法、または、金属板上に所定の形状のマスクを形成し、マスクの形成されていない領域をエッチングする方法により形成する。尚、この金属板は、銅又は銅を含む合金により形成されており、厚さは、３０μｍ〜１５０μｍである。尚、本実施の形態では、厚さ６０μｍの銅板を用いて、プレス加工により所定の形状の金属板を形成した。

図４に、所定の形状に形成された金属板を示す。この金属板は、プローブを形成するための本体部１と製造補助部２により形成されている。本体部１は、曲げられていない状態の先端部１０、バネ部２０、筐体部３０、筐体接続部４０が形成されている。尚、曲げられていない状態の先端部１０、バネ部２０、筐体部３０、筐体接続部４０を各々先端部１０となる領域、バネ部２０となる領域、筐体部３０となる領域、筐体接続部４０となる領域とも称する。製造補助部２は、本体部１の全体を囲むように形成されており、先端部１０と接続されている補強先端部５１、本体部１の長手方向に沿って両側に形成される側部５２、筐体部３０の端部と接続される補強主部５３により形成されている。尚、図５には、プレス等により打ち抜かれた状態の本体部１を示す。本体部１は、一方の端部より、先端部１０となる領域、筐体接続部４０となる領域、バネ部２０となる領域、筐体部３０となる領域の順に接続されて形成されている。本体部１は本実施の形態におけるプローブを形成する領域であり、本実施の形態におけるプローブは、本体部１を折曲げることにより作製される。

次に、ステップ１０４（Ｓ１０４）において、本体部１にメッキ加工を施す（メッキ工程）。尚、製造補助部２は本体部１と接続されているため、本体部１にメッキ加工を施す際に、同時にメッキ加工が施される。このメッキ加工は、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕ、もしくはＮｉ、Ａｕのメッキを順に行うことにより行われる。

次に、ステップ１０６（Ｓ１０６）において、バネ部２０となる領域を折曲げる（第１の折曲げ工程）。具体的には、図５に示す破線Ａ１−Ａ２に沿って９０°折曲げ、同じ方向に破線Ａ３−Ａ４に沿って９０°折曲げる。これにより、バネ部２０となる領域はコの字状に折曲げられる。

図６〜図８にステップ１０６において折曲げられた状態における本体部１を示す。尚、図６は側面図、図７は上面図、図８は正面図を示す。バネ部２０となる領域がコの字状に折曲げられることにより、バネ部２０の一方の側２１が形成される面と他方の側２２が形成される面とは略平行となる。この際、同時に先端部１０における側部も両側が９０°曲げられ、先端補強部１２が形成され、筐体接続部４０となる領域もバネ部２０における一方の側２１及び他方の側２２に沿った構造となる。また、図５に示す破線Ａ５−Ａ６に沿って９０°折曲げることにより、端子接触部１１が形成される。尚、このステップにおいて、筐体部３０となる領域の両側の側部をバネ部２０において曲げられた方向と逆方向に９０°折曲げることにより、上面部３２及び上面部３４となる領域を形成し、更に、後述するように、筐体接続部４０と筐体部３０の内側とが接触するように筐体接続部４０を僅かに外側に曲げる。

次に、ステップ１０８（Ｓ１０８）において、本体部１を折曲げる（第２の折曲げ工程）。具体的には、図５に示す破線Ｂ１−Ｂ２に沿って、バネ部２０の曲げられている側に１８０°折曲げる。破線Ｂ１−Ｂ２において折曲げられた部分は屈曲部３６となり、本実施の形態におけるプローブが計測機器等と接続する際の接続端子となる。この際、製造補助部２も同時に折曲げられる。具体的には、図４に示すように、本体部１が破線Ｂ１−Ｂ２に沿って折曲げられる際に、同時に、製造補助部２が破線Ｂ３−Ｂ４、破線Ｂ５−Ｂ６に沿って折曲げられる。尚、破線Ｂ３−Ｂ４及び破線Ｂ５−Ｂ６は、破線Ｂ１−Ｂ２の延長線上に存在している。このように、本体部１と製造補助部２とを同時に折曲げることにより、本体部１を破線Ｂ１−Ｂ２において精度よく確実に折曲げることができ、また、本体部１が破線Ｂ１−Ｂ２に沿って折曲げられた形状を維持することができる。

次に、ステップ１１０（Ｓ１１０）において、筐体部３０となる領域を折曲げる（第３の折曲げ工程）。具体的には、バネ部２０の曲げられている方向と同じ方向に、図５に示す破線Ｃ１−Ｃ２に沿って９０°折曲げ、破線Ｃ３−Ｃ４に沿って９０°折曲げ、筐体部３０の側面部３１及び側面部３３を形成する。この際、底面部３５も同時に形成されるため、バネ部２０の全体が筐体部３０に囲まれた構造となる。更に、筐体部３０の側面部３１の内壁と、筐体接続部４０とが接触し、電気的に接続される。

次に、ステップ１１２（Ｓ１１２）において、本体部１と製造補助部２とを切断する（製造補助部切断工程）。具体的には、図４に示す破線Ｄ１−Ｄ２、破線Ｄ３−Ｄ４及び破線Ｄ５−Ｄ６において本体部１と製造補助部２とを切断する。これにより、本実施の形態におけるプローブを製造することができる。

以上より、本実施の形態におけるプローブは、一枚の金属板を加工することにより製造することができる。従って、スプリング機能を有するプローブにおいて、複数の部品を組み立てる必要がなく、組立工程が不要である。また、製造工程が、金属板のプレス加工等の加工工程と、メッキ工程と、折曲げ工程と、切断工程のみにより製造されるものであるため、簡単な製造装置で製造することができ、また、製造工程も単純であるため、低コストで大量に短時間に製造することができる。従って、極めて低コストで、スプリング機能を有するプローブを製造することができる。

〔第２の実施の形態〕
次に、第２の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第１の実施の形態と同様の方法で製造されるものであり、筐体部の断面が略正方形で形成されたものである。筐体部における断面の形状を略正方形で形成することにより、測定機器等のプローバーに、プローブを２次元的に配列させた場合に、等間隔で配列させることができるため、高密度にプローブを配列させることができる。

図９及び図１０に基づき本実施の形態におけるプローブについて説明する。本実施の形態におけるプローブは、第１の実施の形態におけるプローブと同様に、一枚の金属板、例えば、銅又は銅を含む合金からなる金属板を打ち抜いたものを折曲げることにより形成したものである。従って、本実施の形態におけるプローブは、一体化されており、全体がつながった構造となっている。

本実施の形態におけるプローブは、先端部１１０、バネ部１２０、筐体部１３０、筐体接続部１４０により形成されている。

先端部１１０は、ウエハ等に形成された電気回路及び電子部品等の電極パット又は電極端子等と接触させ電気的に接続するためのものである。先端部１１０の端部は、Ｌ字状に曲げられており、端子接触部１１１を形成している。この端子接触部１１１は、検査の対象となる電気回路または電子部品等における電極パッドまたは電極端子と接触し電気的に接続される部分である。また、先端部１１０の両側の側部は先端部１１０の長手方向に沿ってＬ字状に曲げられており、先端補強部１１２を形成している。このように先端部１１０の両側の側部をＬ字状に曲げることにより、先端部１１０を電極パッド又は電極端子と接触させた際に、力が加わった場合においても、先端部１１０が変形することなく、端子接触部１１１と電極パッド及び電極端子とを確実に接触させることができる。尚、本実施の形態の説明では、先端部１１０の両側の側部をＬ字状に曲げることにより、コの字状の形状に形成したものについて説明するが、中央分を曲げることによりＶ字状の形状に形成したものや、曲面を形成することによりＵ字状又は半円状に形成したものであってもよい。

バネ部１２０は、平板状であって両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状のものを略中心部分においてコの字形状に折曲げた構造のものであり、折曲げられた一方の側１２１と、他方の側１２２とは略平行となるように折曲げられている。本実施の形態では、コの字状に折曲げた構造のものを示しているが、Ｕの字状等に折曲げた構造のものであってもよい。バネ部１２０では、両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状とすることにより、弾性を有するものとなり、バネとしての機能を発揮させることができる。

筐体部１３０は、バネ部１２０の全体を囲むように筐体部１３０となる領域の金属板を折曲げることにより形成されている。具体的には、筐体部１３０となる領域の金属板を折曲げることにより側面部１３１と上面部１３２とを形成し、また、先端部１１０側には、先端部の先端補強部１１２の一部を囲むように、折曲げることにより側面部１３３及び上面部１３４を形成する。この際、側面部１３１及び側面部１３３を折曲げることにより底面部１３５も同時に形成されるため、バネ部１２０全体を略正方形状の筐体部１３０により囲むことができる。尚、筐体部１３０とバネ部１２０とは境界となる屈曲部１３６において、約１８０°折曲げられており、バネ部１２０の筐体部１３０内に納められた構造となっている。また、この屈曲部１３６は、プローバー等の測定機器と電気的に接続されるものであり、端子接触部１１１において電極パットまたは電極端子と接触して得られた電極信号は、屈曲部１３６を介し、測定機器に伝達される。

筐体接続部１４０は、筐体部１３０の側面部１３１の内側と接触しており、筐体接続部１４０と筐体部１３０とが電気的に接続される。具体的には、筐体接続部１４０と筐体部１３０とが電気的に接続されることにより、電気信号は端子接触部１１１より先端部１１０、筐体接続部１４０、筐体部１３０を介し、屈曲部１３６に伝達される。筐体部１３０は電気信号が流れる領域における断面積が広いため、端子接触部１１１から屈曲部１３６までの電気抵抗を低くすることができる。よって、端子接触部１１１において検出した電気信号を屈曲部１３６まで低抵抗で伝達することができる。

本実施の形態におけるプローブは、筐体部１３０は断面形状が略正方形に形成されている。即ち、図９における筐体部１３０の幅Ｅと高さＦとは略同じ長さとなるように形成されている。これにより、本実施の形態におけるプローブは２次元的に等間隔に配列させることができる。また、屈曲部１３６は、プローバー等の測定機器に電気的に接続される。尚、本実施の形態におけるプローブの製造方法は、第一の実施の形態と同様である。

〔第３の実施の形態〕
次に、第３の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるプローブは、第１及び第２の実施の形態とは異なり、バネ部となる部分が折曲げられていないプローブである。

図１１及び図１２に基づき本実施の形態におけるプローブについて説明する。本実施の形態におけるプローブは、先端部２１０、バネ部２２０、筐体部２３０により形成されている。

先端部２１０は、ウエハ等に形成された電気回路及び電子部品等の電極パット又は電極端子等と接触し電気的に接続するためのものである。先端部２１０の端部が折曲げられており端子接触部２１１を形成している。

バネ部２２０は、蛇行する形状のものであり、弾性を有しておりバネとしての機能を有し、先端部２１０の伸びる方向に伸縮する。

筐体部２３０は、バネ部２２０の側面を覆うように形成されており、２つの側面部２３１と上面部２３２及び底面部２３３により形成されている。尚、２つの側面部２３１と上面部２３２及び底面部２３３は一枚の金属板を折曲げることにより形成される。

〔第４の実施の形態〕
次に、第４の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるプローブは、端子接触部の形状が第１から第３の実施の形態と異なる形状のものである。具体的には、第１の実施の形態から第３の実施の形態においては、端子接触部１１、１１１、２１１は金属板を曲げることにより形成しているが、本実施の形態においては、端子接触部は金属板を曲げることなく形成したものである。

図１３に本実施の形態におけるプローブの先端部３１０を示す。本実施の形態におけるプローブの先端部３１０の端子接触部３１１は、端子接触部３１１の先端に山形状の山形状部３１１ａを形成したものである。山形状部３１１ａは図示するように複数の山を有していてもよい。このような山形状部３１１ａは、第１の実施の形態における金属板形成工程において、例えば、プレス加工により金属板を形成する際に同時に形成される。本実施の形態においては、端子接触部を形成するために金属板を折曲げる必要がないため、より工程数が少なく、短時間でプローブを製造することができる。よって、より低コストでスプリング機能を有するプローブを製造することができる。

尚、端子接触部３１１以外の構造については、第１の実施の形態から第３の実施の形態に記載されたものと同じである。

〔第５の実施の形態〕
（プローブの構造）
次に、第５の実施の形態におけるプローブについて説明する。本実施の形態におけるプローブは、第１の実施の形態におけるプローブと同様に、電子部品や電気回路等の検査を行うために用いられるものであり、電子部品や電気回路等に形成された電極パッド又は電極端子等と電気的に接続するためのものである。

具体的には、図１４及び図１５に示すように、本実施の形態におけるプローブは、一枚の金属板、例えば、銅又は銅を含む合金からなる金属板を打ち抜いたものを折曲げることにより形成したものである。従って、本実施の形態におけるプローブは、一体化されており、全体がつながった構造となっている。

本実施の形態におけるプローブは、一方の端子部４１０、バネ部４２０及び４２３、筐体部４３０、他方の端子部４４０により形成されている。

一方の端子部４１０は、ウエハ等に形成された電気回路及び電子部品等の電極パット又は電極端子等と接触させ電気的に接続するためのものである。具体的には、一方の端子部４１０の先端部４１１において、検査の対象となる電気回路または電子部品等における電極パッドまたは電極端子と接触し電気的に接続される。また、一方の端子部４１０の両側の側部は一方の端子部４１０の長手方向に沿ってＬ字状に曲げられており、先端補強部４１２を形成している。このように一方の端子部４１０の両側の側部をＬ字状に曲げることにより、一方の端子部４１０の先端部４１１が電極パッド又は電極端子と接触した際に、力が加わった場合においても、一方の端子部４１０が変形することなく、確実に一方の端子部４１０の先端部４１１と電極パッド及び電極端子とを接触させることができる。

バネ部４２０及び４２３は、平板状であって両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状のものを略中心部分において、長手方向に沿ってコの字形状に折曲げた構造のものであり、折曲げられた一方の側４２１及び４２４と、他方の側４２２及び４２５とは略平行となるように折曲げられている。本実施の形態では、コの字状に折曲げた構造のものを示しているが、Ｕの字状等に折曲げた構造のものであってもよい。バネ部４２０及び４２３では、両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状とすることにより、弾性を有するものとなり、バネとしての機能を発揮させることができる。

筐体部４３０は、バネ部４２０及び４２３の全体を囲むように筐体部４３０となる領域の金属板を折曲げることにより形成されている。具体的には、筐体部４３０となる領域の金属板を折曲げることにより側面部４３１と上面部４３２とを形成する。この際、側面部４３１を折曲げることにより底面部４３５も同時に形成されるため、バネ部４２０及び４２３全体を略四角形状の筐体部４３０により囲むことができる。尚、筐体部４３０とバネ部４２０及び４２３とは境界となる中央部４３６において、約１８０°折曲げられており、バネ部４２０及び４２３の筐体部４３０内に納められた構造となっている。

他方の端子部４４０は、プローバー等の測定機器と電気的に接続するためのものであり、一方の端子部４１０において電極パットまたは電極端子と接触して得られた電極信号は、他方の端子部４４０を介し、測定機器に伝達される。具体的には、他方の端子部４４０の先端部４４１において、プローバー等の測定機器と電気的に接続するための電極端子等と接触し電気的に接続される。また、他方の端子部４４０の両側の側部は他方の端子部４４０の長手方向に沿ってＬ字状に曲げられており、先端補強部４４２を形成している。このように他方の端子部４４０の両側の側部をＬ字状に曲げることにより、他方の端子部４４０の先端部４４１が電極パッド又は電極端子と接触した際に、力が加わった場合においても、他方の端子部４４０が変形することなく、確実に他方の端子部４４０の先端部４４１と電極端子等とを接触させることができる。尚、本実施の形態の説明では、一方の端子部４１０及び他方の端子部４４０における両側の側部をＬ字状に曲げることにより、コの字状の形状に形成したものについて説明するが、中央分を曲げることによりＶ字状の形状に形成したものや、曲面を形成することによりＵ字状又は半円状に形成したものであってもよい。

また、一方の端子部４１０の近傍に設けられた筐体接続部４１３は、筐体部４３０の側面部４３１の内側と接触しており、筐体接続部４１３と筐体部４３０とが電気的に接続されている。また、他方の端子部４４０の近傍に設けられた筐体接続部４４３は、筐体部４３０の側面部４３１の内側と接触しており、筐体接続部４４３と筐体部４３０とが電気的に接続されている。このように、筐体接続部４１３と筐体部４３０とが電気的に接続され、筐体接続部４４３と筐体部４３０とが電気的に接続されることにより、電気信号は一方の端子部４１０の先端部４１１より、筐体接続部４１３、筐体部４３０、筐体接続部４４３を介し、他方の端子部４４０の先端部４４１に伝達される。筐体部４３０は電気信号が流れる領域における断面積が広いため、一方の端子部４１０から他方の端子部４４０までの電気抵抗を低くすることができる。よって、一方の端子部４１０において検出した電気信号を低抵抗で他方の端子部４４０まで伝達することができる。

本実施の形態におけるプローブは、一方の端子部４１０と接続されるバネ部４２０と、他方の端子部４４０と接続されるバネ部４２３とを有しており、一方の端子部４１０及び他方の端子部４４０の双方において伸縮可能である。尚、本実施の形態におけるプローブは、中央部４３６において筐体部４３０にバネ部４２０及び４２３が物理的に接続され固定されている。

よって、一方の端子部４１０の先端と電極パッド及び電極端子との接触、及び他方の端子部４４０の先端と電極端子等の接触を確実に行うことができる。

（プローブの製造方法）
次に、図１６に基づき本実施の形態におけるプローブの製造方法について説明する。

最初に、ステップ２０２（Ｓ２０２）において、本実施の形態におけるプローブを作製するため、所定の形状に金属板を形成する（金属板形成工程）。形成方法は、金属板をプレス加工等により打ち抜き形成する方法、または、金属板上に所定の形状のマスクを形成し、マスクの形成されていない領域をエッチングする方法により形成する。尚、この金属板は、銅又は銅を含む合金により形成されており、厚さは、３０μｍ〜１５０μｍである。尚、本実施の形態では、厚さ６０μｍの銅板を用いて、プレス加工により所定の形状の金属板を形成した。

図１７に、所定の形状に形成された金属板を示す。この金属板は、プローブを形成するための本体部となるものであり、曲げられていない状態の一方の端子部４１０、バネ部４２０及び４２３、筐体部４３０、他方の端子部４４０が形成されている。尚、曲げられていない状態の一方の端子部４１０、バネ部４２０及び４２３、筐体部４３０、他方の端子部４４０を各々一方の端子部４１０となる領域、バネ部４２０及び４２３となる領域、筐体部４３０となる領域、他方の端子部４４０となる領域とも称する。この本体部は、一方の端部より、一方の端子部４１０となる領域、バネ部４２０及び４２３となる領域、他方の端子部４４０となる領域の順に接続されて形成されており、筐体部４３０となる領域は、バネ部４２０及び４２３となる領域の長手方向に沿って形成されており中央部４３６において接続されている。尚、本実施の形態におけるプローブは、この本体部を折曲げることにより作製される。

次に、ステップ２０４（Ｓ２０４）において、本体部にメッキ加工を施す（メッキ工程）。このメッキ加工は、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕ、もしくはＮｉ、Ａｕのメッキを順に行うことにより行われる。

次に、ステップ２０６（Ｓ２０６）において、バネ部４２０及び４２３となる領域を折曲げる（第１の折曲げ工程）。具体的には、図１７に示す破線Ｇ１−Ｇ２に沿って９０°折曲げ、同じ方向に破線Ｇ３−Ｇ４に沿って９０°折曲げる。これにより、バネ部４２０及び４２３となる領域はコの字状に折曲げられる。

バネ部４２０及び４２３となる領域がコの字状に折曲げられることにより、バネ部４２０の一方の側４２１が形成される面と他方の側４２２が形成される面とは略平行となり、また、バネ部４２３の一方の側４２４が形成される面と他方の側４２５が形成される面とは略平行となる。この際、同時に一方の端子部４１０における側部も両側が９０°曲げられ、先端補強部４１２が形成され、筐体接続部４１３となる領域もバネ部４２３における一方の側４２４及び他方の側４２５に沿った構造となる。同様に他方の端子部４４０における側部も両側が９０°曲げられ、先端補強部４４２が形成され、筐体接続部４４３となる領域もバネ部４２０における一方の側４２１及び他方の側４２２に沿った構造となる。

次に、ステップ２０８（Ｓ２０８）において、本体部を折曲げる（第２の折曲げ工程）。具体的には、図１７に示す中央部４３６における破線Ｈ１−Ｈ２に沿って、バネ部４２０及び４２３の曲げられている側に１８０°折曲げる。これにより、バネ部４２０及び４２３の背面側に筐体部４３０が配置される。尚、このステップにおいて、筐体部４３０となる領域の両側の側部を破線Ｉ１−Ｉ２、破線Ｉ３−Ｉ４に沿って、バネ部４２０及び４２３において曲げられた方向に９０°折曲げることにより、上面部４３２となる領域を形成し、更に、後述するように、筐体接続部４１３及び４４３と筐体部４３０の内側とが接触するように筐体接続部４１３及び４４３を僅かに外側に曲げる。

図１８〜図２１にステップ２０８において折曲げられた状態における本体部を示す。尚、図１８は側面図、図１９は上面図、図２０は正面図、図２１及び図２２は斜視図である。

次に、ステップ２１０（Ｓ２１０）において、筐体部４３０となる領域を折曲げる（第３の折曲げ工程）。具体的には、バネ部４２０及び４２３の曲げられている方向と同じ方向に、図１７に示す破線Ｊ１−Ｊ２に沿って９０°折曲げ、破線Ｊ３−Ｊ４に沿って９０°折曲げ、筐体部４３０の側面部４３１を形成する。この際、底面部４３５も同時に形成されるため、バネ部４２０の全体が筐体部４３０に囲まれた構造となる。更に、筐体部４３０の側面部４３１の内壁と、筐体接続部４１３とが接触し、電気的に接続されるとともに、筐体部４３０の側面部４３１の内壁と、筐体接続部４４３とが接触し、電気的に接続される。図２３は、ステップ２１０において折曲げられた状態における本体部の透過斜視図を示す。図２４は、図２３に示す透過斜視図における中央部４３６近傍の要部拡大図である。

次に、ステップ２１２（Ｓ２１２）において、中央部４３６を折曲げる（中央部処理）する。具体的には、図２３及び図２４に示す中央部４３６を筐体部４３０の側面に沿うように折曲げる。これにより、筐体部４３０と、バネ部４２０及び４２３とが、中央部４３６において接続されている図１５に示す本実施の形態におけるプローブを製造することができる。尚、本実施の形態におけるプローブは、筐体接続部４１３において、筐体部４３０と一方の端子部４１０とが接触しており、筐体接続部４１３において、筐体部４３０と他方の端子部４４０とが接触している。

尚、ステップ２１２において、図２５に示すように、図２３及び図２４に示す中央部４３６を切断することにより、筐体部４３０と、バネ部４２０及び４２３とが、物理的には接続されていないものの、筐体部４３０と筐体接続部４１３及び４４３において接触している状態のプローブを製造することができる。

以上より、本実施の形態におけるプローブは、一枚の金属板を加工することにより製造することができる。従って、スプリング機能を有するプローブにおいて、複数の部品を組み立てる必要がなく、組立工程が不要である。また、製造工程が、金属板のプレス加工等の加工工程と、メッキ工程と、折曲げ工程と、必要に応じて行われる切断工程のみにより製造されるものであるため、簡単な製造装置で製造することができ、また、製造工程も単純であるため、低コストで大量に短時間に製造することができる。従って、極めて低コストで、両端にスプリング機能を有するプローブを製造することができる。

〔第６の実施の形態〕
（プローブの構造）
第６の実施の形態におけるプローブについて説明する。本実施の形態におけるプローブは、電子部品や電気回路等の検査を行うために用いられるものであり、電子部品や電気回路等に形成された電極パッド又は電極端子等と電気的に接続するためのものである。具体的には、図２６及び図２７に示すように、本実施の形態におけるプローブは、一枚の金属板、例えば、銅又は銅を含む合金からなる金属板を打ち抜いたものを折曲げることにより形成したものである。従って、本実施の形態におけるプローブは、一体化されており、全体がつながった構造となっている。

本実施の形態におけるプローブは、先端部５１０、バネ部５２０、筐体部５３０、筐体接続部５４０により形成されている。

先端部５１０は、ウエハ等に形成された電気回路及び電子部品等の電極パット又は電極端子等と接触させ電気的に接続するためのものである。先端部５１０の端部は、端子接触部５１１を形成している。この端子接触部５１１は、検査の対象となる電気回路または電子部品等における電極パッドまたは電極端子と接触し電気的に接続される部分である。また、先端部５１０の両側の側部は先端部５１０の長手方向に沿ってＬ字状に曲げられており、先端補強部５１２を形成している。このように先端部５１０の両側の側部をＬ字状に曲げることにより、先端部５１０を電極パッド又は電極端子と接触させた際に、力が加わった場合においても、先端部５１０が変形することなく、確実に端子接触部５１１と電極パッド及び電極端子とを接触させることができる。尚、本実施の形態の説明では、先端部５１０の両側の側部をＬ字状に曲げることにより、コの字状の形状に形成したものについて説明するが、中央分を曲げることによりＶ字状の形状に形成したものや、曲面を形成することによりＵ字状又は半円状に形成したものであってもよい。

バネ部５２０は、平板状であって両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状のものを略中心部分において、長手方向に沿ってコの字形状に折曲げた構造のものであり、折曲げられた一方の側５２１と、他方の側５２２とは略平行となるように折曲げられている。本実施の形態では、コの字状に折曲げた構造のものを示しているが、Ｕの字状等に折曲げた構造のものであってもよい。バネ部５２０では、両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状とすることにより、弾性を有するものとなり、バネとしての機能を発揮させることができる。

筐体部５３０は、バネ部５２０の全体を囲むように筐体部５３０となる領域の金属板を折曲げることにより形成されている。具体的には、筐体部５３０となる領域の金属板を折曲げることにより側面部５３１と上面部５３２とを形成する。また、先端部５１０近傍においては、両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状の筐体バネ部５３７を有している。この筐体バネ部５３７は、平板状であって両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状のものを筐体部５３０の側面部５３１を形成する際に曲げられる折曲線の延長線上の折曲線において、コの字形状に折曲げた構造のものであり、折曲げられた一方の側５３８と、他方の側５３９とは略平行となるように折曲げられている。筐体バネ部５３７では、両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状とすることにより、弾性を有するものとなり、バネとしての機能を発揮させることができる。

筐体部５３０は、筐体部５３０となる領域の側部を折曲げることにより上面部５３２を形成し、更に、側面部５３１を折曲げることにより底面部５３５も同時に形成されるため、バネ部５２０全体を略四角形状の筐体部５３０により囲むことができる。このように形成された筐体部５３０における先端部５１０が設けられている側の端部は筐体前部５３３であり、屈曲部５３６が設けられている側の端部が筐体後部５３４である。尚、筐体部５３０とバネ部５２０とは境界となる屈曲部５３６において、約１８０°折曲げられており、バネ部５２０は筐体部５３０内に納められた構造となっている。また、この屈曲部５３６は、プローバー等の測定機器と電気的に接続されるものであり、端子接触部５１１において電極パットまたは電極端子と接触して得られた電極信号は、屈曲部５３６を介し、測定機器に伝達される。

筐体接続部５４０は、筐体部５３０の側面部５３１の内側と接触しており、筐体接続部５４０と筐体部５３０とが電気的に接続されている。具体的には、筐体接続部５４０と筐体部５３０とが電気的に接続されることにより、電気信号は端子接触部５１１より先端部５１０、筐体接続部５４０、筐体部５３０を介し、屈曲部５３６に伝達される。筐体部５３０は電気信号が流れる領域における断面積が広いため、端子接触部５１１から屈曲部５３６までの電気抵抗を低くすることができる。よって、端子接触部５１１において検出した電気信号を屈曲部５３６まで低抵抗で伝達することができる。即ち、本実施の形態におけるプローブでは、プローブ内において、電気的に接触する部分は、筐体部５３０と筐体接続部５４０の１ヶ所のみであり、接触抵抗を少なくすることができる。

次に、本実施の形態におけるプローブの使用方法について説明する。本実施の形態におけるプローブは、絶縁体外枠５６０及び５７０に、２次元的に略等間隔で配列されている。具体的には、本実施の形態におけるプローブでは、図２６及び図２７に示すように、先端部５１０に接続されているバネ部５２０と、筐体部５３０に接続されている筐体バネ部５３７との２つのバネ部を有している。従って、図２８に示すように、本実施の形態における複数のプローブを２次元的に絶縁体外枠５６０及び５７０に収納する際に、本実施の形態におけるプローブの筐体前部５３３と絶縁体外枠５６０における押え部５６１が接触し、筐体後部５３４と絶縁体外枠５７０における押え部５７１が接触し、絶縁体外枠５６０と絶縁体外枠５７０を接合させることにより、押え部５６１及び押え部５７１を介し、筐体前部５３３と筐体後部５３４とが圧縮される方向、即ち、プローブの筐体部５３０が縮む方向に力が加わる。筐体バネ部５３７はバネ性を有しているため、この力により、本実施の形態におけるプローブは、絶縁体外枠５６０及び５７０に固定される。この状態において、バネ部５２０はプローブの固定には寄与していない。よって、プローブの先端部５１０における端子接触部５１１が、電極パッドまたは電極端子と接触した際には、バネ性をもって接触することが可能である。尚、屈曲部５３６は、絶縁体外枠５７０に設けられた開口部５７２より外部に突き出した状態となっており、屈曲部５３６と電極端子とを電気的に接続することが可能である。

本実施の形態におけるプローブでは、屈曲部５３６側に基板を固定した場合、筐体バネ部５３７におけるバネにより、基板に対して接触力を発生させることができる。これにより、端子接触部５１１側が変位することにより発生する屈曲部５３６側の接触力とは関係なく、筐体バネ部５３７により基板との接触力を発生させることができる。

上述したプローブは、筐体バネ部５３７を先端部５１０が設けられている側、即ち、筐体前部５３３近傍に設けた構成のものであるが、図２９及び図３０に示すように筐体バネ部５３７を屈曲部５３６が設けられている側、即ち、筐体後部５３４近傍に設けた構成のものであってもよい。尚、図２９及び図３０における符号は、図２６及図２７に示す符号における部材と同じ機能を有する部材を示す。

（プローブの製造方法）
次に、図３１に基づき本実施の形態におけるプローブの製造方法について説明する。

最初に、ステップ３０２（Ｓ３０２）において、本実施の形態におけるプローブを作製するため、所定の形状に金属板を形成する（金属板形成工程）。形成方法は、金属板をプレス加工等により打ち抜き形成する方法、または、金属板上に所定の形状のマスクを形成し、マスクの形成されていない領域をエッチングする方法により形成する。尚、この金属板は、銅又は銅を含む合金により形成されており、厚さは、３０μｍ〜１５０μｍである。尚、本実施の形態では、厚さ６０μｍの銅板を用いて、プレス加工により所定の形状の金属板を形成した。

図３２に、所定の形状に形成された金属板を示す。この金属板は、本体部を構成するものであり、本体部は、曲げられていない状態の先端部５１０、バネ部５２０、筐体部５３０、筐体接続部５４０が形成されている。尚、曲げられていない状態の先端部５１０、バネ部５２０、筐体部５３０、筐体接続部５４０を各々先端部５１０となる領域、バネ部５２０となる領域、筐体部５３０となる領域、筐体接続部５４０となる領域とも称する。尚、図３２には、プレス等により打ち抜かれた状態の本体部を示す。本体部は、一方の端部より、先端部５１０となる領域、筐体接続部５４０となる領域、バネ部５２０となる領域、筐体部５３０となる領域の順に接続されて形成されている。本体部は本実施の形態におけるプローブを形成する領域であり、本実施の形態におけるプローブは、本体部を折曲げることにより作製される。

次に、ステップ３０４（Ｓ３０４）において、本体部にメッキ加工を施す（メッキ工程）。尚、このメッキ加工は、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕ、もしくはＮｉ、Ａｕのメッキを順に行うことにより行われる。

次に、ステップ３０６（Ｓ３０６）において、バネ部５２０となる領域を折曲げる（第１の折曲げ工程）。具体的には、図３２に示す破線Ｋ１−Ｋ２に沿って９０°折曲げ、同じ方向に破線Ｋ３−Ｋ４に沿って９０°折曲げる。これにより、バネ部５２０となる領域はコの字状に折曲げられる。

バネ部５２０となる領域がコの字状に折曲げられることにより、バネ部５２０の一方の側５２１が形成される面と他方の側５２２が形成される面とは略平行となる。この際、同時に先端部５１０における側部も両側が９０°曲げられ、先端補強部５１２が形成され、筐体接続部５４０となる領域もバネ部５２０における一方の側５２１及び他方の側５２２に沿った構造となる。尚、このステップにおいて、筐体部５３０となる領域の両側の側部を破線Ｌ１−Ｌ２、破線Ｌ３−Ｌ４に沿って、バネ部５２０において曲げられた方向と逆方向に９０°折曲げることにより、上面部５３２となる領域を形成し、更に、後述するように、筐体接続部５４０と筐体部５３０の内側とが接触するように筐体接続部５４０を僅かに外側に曲げる。

次に、ステップ３０８（Ｓ３０８）において、本体部を折曲げる（第２の折曲げ工程）。具体的には、図３２に示す破線Ｍ１−Ｍ２に沿って、バネ部５２０の曲げられている側に１８０°折曲げる。破線Ｍ１−Ｍ２において折曲げられた部分は屈曲部５３６となり、本実施の形態におけるプローブが計測機器等と接続する際の接続端子としての機能を有する。

次に、ステップ３１０（Ｓ３１０）において、筐体部５３０となる領域を折曲げる（第３の折曲げ工程）。具体的には、バネ部５２０の曲げられている方向と同じ方向に、図３２に示す破線Ｎ１−Ｎ２に沿って９０°折曲げ、破線Ｎ３−Ｎ４に沿って９０°折曲げ、筐体部５３０の側面部５３１を形成する。この際、底面部５３５も同時に形成されるため、バネ部５２０の全体が筐体部５３０に囲まれた構造となる。また、筐体バネ部５３７となるようにコの字状に折曲げられる。これにより、筐体バネ部５３７の一方の側５３８が形成される面と、他方の側５３９が形成される面とは略平行となる。更に、筐体部５３０の側面部５３１の内壁と、筐体接続部５４０とが接触し、電気的に接続される。

以上より、本実施の形態におけるプローブは、一枚の金属板を加工することにより製造することができる。従って、スプリング機能を有するプローブにおいて、複数の部品を組み立てる必要がなく、組立工程が不要である。また、製造工程が、金属板のプレス加工等の加工工程と、メッキ工程と、折曲げ工程のみにより製造されるものであるため、簡単な製造装置で製造することができ、また、製造工程も単純であるため、低コストで大量に短時間に製造することができる。従って、極めて低コストで、両端にスプリング機能を有し、プローブ内における接触抵抗の低いプローブを製造することができる。

尚、図２９及び図３０に示すプローブについては、図３３に示す金属板を折曲げることにより同様に製造することができる。即ち、上述したプローブの製造方法において、ステップ３０２において図３３に示す金属板を形成し、ステップ３０６からステップ３１０の折曲げ工程を行うことにより、図２９及び図３０に示すプローブを製造することができる。尚、図３３においては、ステップ３０６からステップ３１０において対応して折曲げる折曲線を記載している。

〔第７の実施の形態〕
第７の実施の形態におけるプローブについて説明する。本実施の形態におけるプローブは、電子部品や電気回路等の検査を行うために用いられるものであり、電子部品や電気回路等に形成された電極パッド又は電極端子等と電気的に接続するためのものである。具体的には、図３４から図４２に示すように、本実施の形態におけるプローブは、一枚の金属板、具体的には、時効硬化型合金であるベリリウム銅を含む金属板を打ち抜いたものを折曲げることにより形成したものである。従って、本実施の形態におけるプローブは、一体化されており、全体がつながった構造となっている。

本実施の形態におけるプローブは、先端部６１０、バネ部６２０、筐体部６３０、筐体接続部６４０、屈曲部６５０により形成されている。尚、図３４は本実施の形態におけるプローブの斜視図であり、図３５は上面図であり、図３６は左側面図であり、図３７は底面図であり、図３８は右側面図であり、図３９は正面図である。また、図４０は、図３４における破線で囲まれた領域３４Ａの拡大図であり、図４１は、図３５における破線で囲まれた領域３５Ａの拡大図であり、図４２は、図３６における破線で囲まれた領域３６Ａの拡大図である。

先端部６１０は、ウエハ等に形成された電気回路及び電子部品等の電極パット又は電極端子等と接触させ電気的に接続するためのものである。先端部６１０の端部は、端子接触部６１１を形成している。この端子接触部６１１は、検査の対象となる電気回路または電子部品等における電極パッドまたは電極端子と接触し電気的に接続される部分である。

バネ部６２０は、平板状であって両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状のものを略中心部分において、長手方向に沿ってコの字形状に折曲げた構造のものであり、折曲げられた一方の側と、他方の側とは略平行となるように折曲げられている。本実施の形態では、コの字状に折曲げた構造のものを示しているが、Ｕの字状等に折曲げた構造のものであってもよい。バネ部６２０では、両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状とすることにより、弾性を有するものとなり、バネとしての機能を発揮させることができる。

筐体部６３０は、バネ部６２０の全体を囲むように筐体部６３０となる領域の金属板を折曲げることにより形成されている。具体的には、筐体部６３０となる領域の金属板を折曲げることにより側面部６３１と上面部６３２とを形成する。

筐体部６３０は、筐体部６３０となる領域の側部を折曲げることにより上面部６３２を形成し、更に、側面部６３１を折曲げることにより底面部６３５も同時に形成されるため、バネ部６２０全体を略四角形状の筐体部６３０により囲むことができる。

また、筐体部６３０には、開口部６３６が設けられており、本実施の形態におけるプローブに力が加えられていない状態では、後述する接触部６４１が、開口部６３６に位置するように形成されている。

尚、筐体部６３０とバネ部６２０とは境界となる屈曲部６５０において、約１８０°折曲げられており、バネ部６２０は筐体部６３０内に納められた構造となっている。また、この屈曲部６５０は、プローバー等の測定機器と電気的に接続されるものであり、端子接触部６１１において電極パットまたは電極端子と接触して得られた電極信号は、屈曲部６５０を介し、測定機器に伝達される。このため、屈曲部６５０は折曲げられる折曲げ部６５１と電極端子と接触する電極接触部６５２とが設けられており、電極信号は、電極接触部６５２を介し、測定機器に伝達される。

筐体接続部６４０は、図４３に示すような絶縁体外枠６６０及び６７０に設置された状態において、筐体接続部６４０と筐体部６３０の側面部６３１の内側とが接触する接触部６４１を有している。即ち、図４０に示すように、接触部６４１は、筐体部６３０側に尖った形状となるように、への字状に曲げられて形成されておりバネ性を有している。よって、絶縁体外枠６６０及び６７０に設置されることにより、接触部６４１を介し筐体接続部６４０と筐体部６３０とが電気的に接続される。

このように、接触部６４１を介し筐体接続部６４０と筐体部６３０とが電気的に接続されることにより、電気信号は端子接触部６１１より先端部６１０、筐体接続部６４０、筐体部６３０を介し、屈曲部６５０に伝達される。筐体部６３０は電気信号が流れる領域における断面積が広いため、端子接触部６１１から屈曲部６５０までの電気抵抗を低くすることができる。よって、端子接触部６１１において検出した電気信号を屈曲部６５０まで低抵抗で伝達することができる。即ち、本実施の形態におけるプローブでは、プローブ内において、電気的に接触する部分は、筐体部６３０と筐体接続部６４０の接触部６４１との１ヶ所のみであり、接触抵抗を少なくすることができる。

次に、本実施の形態におけるプローブの使用方法について説明する。本実施の形態におけるプローブは、絶縁体外枠６６０及び６７０に設置されるものであり、２次元的に略等間隔で配列されている。具体的には、本実施の形態におけるプローブには、先端部６１０が設けられている側には、先端部６１０とバネ部６２０との間に、接続前部６３３が設けられており、筐体部６３０において屈曲部６５０が設けられている側の端部には接続後部６３４が設けられている。

従って、図４３に示すように、本実施の形態における複数のプローブを２次元的に絶縁体外枠６６０及び６７０に設置する際に、本実施の形態におけるプローブの接続前部６３３と絶縁体外枠６６０における押え部６６１が接触し、接続後部６３４と絶縁体外枠６７０における押え部６７１が接触し、絶縁体外枠６６０と絶縁体外枠６７０を接合させる。これにより、押え部６６１及び押え部６７１を介し、接続前部６３３と接続後部６３４とが圧縮される方向、即ち、プローブのバネ部６２０が縮む方向に力が加わる。バネ部６２０はバネ性を有しているため、この力により、本実施の形態におけるプローブは、絶縁体外枠６６０及び６７０に固定される。尚、この状態では、プローブの先端部６１０における端子接触部６１１が、電極パッドまたは電極端子と接触した際には、バネ部６２０におけるバネ性をもって接触させることが可能である。また、屈曲部６５０は、絶縁体外枠６７０に設けられた開口部６７２より外部に突き出した状態となっており、屈曲部６５０における電極接触部６５２と電極端子とを電気的に接続することが可能である。

本実施の形態におけるプローブは、絶縁体外枠６６０及び６７０に設置されていない状態、即ち、接続前部６３３に力が加わっていない状態では、筐体接続部６４０の接触部６４１は、筐体部６３０における開口部６３６に位置しており、筐体部６３０と筐体接続部６４０の接触部６４１とは接触していない。これは、後述するように、本実施の形態におけるプローブの製造方法を考量したものである。この状態では、への字状の接触部６４１は開口部６３６側に突き出した状態となっている。

また、前述したように、本実施の形態におけるプローブが絶縁体外枠６６０及び６７０に設置された状態では、筐体部６３０と筐体接続部６４０の接触部６４１とが接触する。即ち、本実施の形態におけるプローブは、絶縁体外枠６６０及び６７０に設置された状態では、図４２に示すように、絶縁体外枠６６０の押え部６６１により、接続前部６３３は矢印Ａに示す向きに押される。これにより、バネ部６２０は縮み、接続前部６３３は、筐体部６３０側に押されるため、筐体接続部６４０は開口部６３６より筐体部６３０の奥に入るよう移動し、筐体接続部６４０の接触部６４１は筐体部６３０と接触する。

（プローブの製造方法）
次に、図４４に基づき本実施の形態におけるプローブの製造方法について説明する。

最初に、ステップ４０２（Ｓ４０２）において、本実施の形態におけるプローブを作製するため、所定の形状に金属板を形成する（金属板形成工程）。形成方法は、金属板をプレス加工等により打ち抜き形成する方法等により形成する。尚、この金属板は、ベリリウム銅又はベリリウム銅を含む材料により形成されており、厚さは、３０μｍ〜１５０μｍである。尚、本実施の形態では、厚さ６０μｍのベリリウム銅からなる金属板を用いて、プレス加工により所定の形状の金属板を形成する。

図４５に、所定の形状に形成された金属板６８０を示す。この金属板６８０は、プレス加工された状態のものであり、曲げられていない状態の先端部６１０、バネ部６２０、筐体部６３０、筐体接続部６４０、屈曲部６５０が形成されている。本実施の形態におけるプローブは、このようにプレス加工された金属板６８０を折曲げることにより作製される。

次に、ステップ４０４（Ｓ４０４）において、金属板６８０の折曲げ加工を行う。具体的には、第１の実施の形態等に記載されている方法と同様の方法により、金属板６８０の折曲げ加工を行う。このように折曲げ加工を行うことにより、金属板６８０は図３４から図４２に示す形状となる。

次に、ステップ４０６（Ｓ４０６）において、熱処理を行う（熱処理工程）。具体的には、２７０℃の温度で約２時間の熱処理を行う。本実施の形態におけるプローブは、時効硬化型合金であるベリリウム銅により形成されている。時効硬化型合金であるベリリウム銅は、熱処理を行うことにより硬化させることができ、これにより強度の高いプローブを得ることができる。尚、本実施の形態では、折曲げ加工後に熱処理を行う。これは、熱処理前であれば、ベリリウム銅からなる金属板は軟らかく加工しやすいのに対し、熱処理後は、ベリリウム銅からなる金属板は硬くなり加工することが困難となるからである。また、熱処理温度及び熱処理時間は、時効硬化型合金の種類や組成により最適な温度及び時間で行われるが、熱処理温度は、好ましくは２５０℃から４００℃であり、より好ましくは２５０℃から３１５℃である。また、熱処理時間は、好ましくは、１時間から５時間であり、より好ましくは１時間から３時間である。

次に、ステップ４０８（Ｓ４０８）において、メッキ加工を施す（メッキ工程）。このメッキ加工は、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕ、もしくはＮｉ、Ａｕのメッキを順に行うことにより行われる。

尚、ステップ４０４において折曲げ加工されたものは、筐体接続部６４０の接触部６４１は、筐体部６３０における開口部６３６に位置している状態で形成される。

ベリリウム銅からなる金属板６８０は、熱処理を行うことにより、形状が固定されてしまう性質を有している。即ち、ベリリウム銅は熱処理を行うことにより、バネ性は維持されるものの、熱処理が行われた状態で形状が固定されてしまう性質を有している。このため、筐体部６３０と筐体接続部６４０の接触部６４１とが接触している状態で熱処理を行うと、その状態で形状が固定されてしまい、筐体接続部６４０がバネ性をもって筐体部６３０と接触部６４１において接触させることができなくなってしまう。また、筐体接続部６４０の接触部６４１と筐体部６３０とが接触している状態でメッキ加工行うと、メッキにより接触部６４１と筐体部６３０とが固着してしまい、筐体部６３０に対し先端部６１０が相対的に動かなくなってしまう。

このため、本実施の形態におけるプローブは、外部より力が加わらない状態においては、接触部６４１は開口部６３６に位置していることが好ましく、また、折曲げ加工の後に、熱処理及びメッキ加工が行われることが好ましい。

以上より、本実施の形態におけるプローブは、一枚のベリリウム銅からなる金属板を加工することにより製造することができる。従って、スプリング機能を有するプローブにおいて、複数の部品を組み立てる必要がなく、組立工程が不要である。また、製造工程が、金属板のプレス加工等の加工工程と、メッキ工程と、折曲げ工程と、熱処理工程のみにより製造されるものであるため、簡単な製造装置で製造することができ、また、製造工程も単純であるため、低コストで大量に短時間に製造することができる。従って、極めて低コストで、両端にスプリング機能を有し、プローブ内における接触抵抗の低いプローブを製造することができる。

〔第８の実施の形態〕
次に、第８の実施の形態について説明する。本実施の形態におけるプローブは、電子部品や電気回路等の検査を行なうために用いられるものであり、電子部品や電気回路等に形成された電極パッド又は電極端子等と電気的に接続するためのものである。具体的には、図４６から図５３に示すように、本実施の形態におけるプローブは、一枚の金属板を折曲げることにより形成したものである。従って、本実施の形態におけるプローブは、一体化されており、全体がつながった構造となっている。

本実施の形態におけるプローブは、先端部７１０、バネ部７２０、筐体部７３０、屈曲部７５０を有している。尚、図４６は本実施の形態のおけるプローブの斜視図であり、図４７は上面図であり、図４８は左側面図であり、図４９は底面図であり、図５０は右側面図であり、図５１は正面図である。また、図５２は、筐体部７３０を折曲げる前の状態のプローブを示すものであり、図５３は、図５２における破線で囲まれた領域５２Ａの拡大図である。

先端部７１０は、ウエハ等に形成された電気回路及び電子部品等の電極パット又は電極端子等と接触させ電気的に接続するためのものである。先端部７１０の端部は、端子接触部７１１を形成している。この端子接触部７１１は、検査の対象となる電気回路または電子部品等における電極パッドまたは電極端子と接触し電気的に接続される部分である。

バネ部７２０は、平板状であって両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状のものを略中心部分において、長手方向に沿ってコの字形状に折曲げた構造のものであり、折曲げられた一方の側と、他方の側とは略平行となるように折曲げられている。本実施の形態では、コの字状に折曲げた構造のものを示しているが、Ｕの字状等に折曲げた構造のものであってもよい。バネ部７２０では、両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状とすることにより、弾性を有するものとなり、バネとしての機能を発揮させることができる。

筐体部７３０は、バネ部７２０の全体を囲むように筐体部７３０となる領域の金属板を折曲げることにより形成されている。具体的には、筐体部７３０となる領域の金属板を折曲げることにより側面部７３１と上面部７３２とを形成する。

筐体部７３０は、筐体部７３０となる領域の側部を折曲げることにより上面部７３２を形成し、更に、側面部７３１を折曲げることにより底面部７３５も同時に形成されるため、バネ部７２０全体を略四角形状の筐体部７３０により囲むことができる。

尚、筐体部７３０とバネ部７２０とは境界となる屈曲部７５０において、約１８０°折曲げられており、バネ部７２０は筐体部７３０内に納められた構造となっている。また、この屈曲部７５０は、プローバー等の測定機器と電気的に接続されるものであり、端子接触部７１１において電極パットまたは電極端子と接触して得られた電極信号は、屈曲部７５０を介し、測定機器に伝達される。このため、屈曲部７５０は折曲げられる折曲げ部７５１と電極端子と接触する電極接触部７５２とが設けられており、電極信号は、電極接触部７５２を介し、測定機器に伝達される。

本実施の形態では、バネ部７２０における先端部７１０側には、筐体部７３０の側に向かって出っ張った形状の凸部７４０が設けられている。凸部７４０は、バネ部７２０の所定の位置において内側から外側に向けて力を加えることにより形成されている。凸部７４０は、図５２に示すような状態から図４６の示す状態に筐体部７３０を折曲げた際、筐体部７３０の側面部７３１の内側と、凸部７４０とが接触するように形成されている。これにより、筐体部７３０の内側と凸部７４０とが接触するため電気的に接続される。

このように、筐体部７３０の内側と凸部７４０とが電気的に接続されることにより、電気信号は先端部７１０の端子接触部７１１より、バネ部７２０の側面に設けられた凸部７４０、筐体部７３０を介し、屈曲部７５０に伝達される。筐体部７３０では、電気信号が流れる領域の断面積が広いため、端子接触部７１１から屈曲部７５０までの電気抵抗を低くすることができる。よって、端子接触部７１１において検出された電気信号を屈曲部７５０まで低抵抗で伝達することが可能となる。即ち、本実施の形態におけるプローブでは、プローブ内において電気的に接続される部分は、筐体部７３０の側面部７３１の内側と、バネ部７２０に設けられた凸部７４０の１ヶ所のみであるため、接触抵抗も少なく低抵抗なプローブとなる。

尚、凸部７４０は、バネ部７２０の先端部７１０側に設けることが好ましい。筐体部７３０は、電気信号が流れる領域の断面積が広く、低抵抗で電流を流すことができるため、端子接触部７１１において検出された電気信号は、できるだけ筐体部７３０を伝達させた方が、低抵抗で伝達させることができるからである。また、凸部７４０は、折曲げられたバネ部７２０の両側に設けることが好ましい。具体的には、折曲げられた状態のバネ部７２０の一方の側と他方の側に各々凸部７４０を設け、バネ部７２０の一方の側に設けられた凸部７４０と、筐体部７３０の側面部７３１の一方の側の内側と接触させ、バネ部７２０の他方の側に設けられた凸部７４０と、筐体部７３０の側面部７３１の他方の側の内側と接触させる。このように凸部７４０を両側に設けることにより、筐体部７３０との接触をより確実なものとすることができるからである。この際、図５３に示すように、凸部７４０は、バネ部７２０において対称となる位置に設けられていることが好ましい。このような位置に設けることにより、凸部７４０と筐体部７３０の側面部７３１の内側との接触を更に確実なものとすることができる。

また、本実施の形態におけるプローブでは、バネ部７２０が折曲げられる前の状態は板状であることから、バネ部７２０を形成する際、折曲げられた方向に対してもバネ性を有している。よって、バネ部７２０を形成する際に所定の形状で折曲げることにより、凸部７４０において筐体部７３０の側面部７３１の内側に力が加えられた状態で確実に接触させることができる。このため、先端部７１０における端子接触部７１１が基板等に設けられた端子と接触した場合においても、凸部７４０と筐体部７３０の側面部７３１の内側との接触が保たれた状態のままバネ部７２０が伸縮させることができる。

本実施の形態におけるプローブは、凸部７４０において筐体部７３０の側面部７３１の内側と接触する構造のものであるため、より一層小型化することが可能である。

次に、本実施の形態におけるプローブの使用方法について図５４に基づき説明する。本実施の形態におけるプローブは、絶縁体外枠７６０及び７７０に設置されて用いられる。具体的には、本実施の形態におけるプローブの筐体部７３０には接続後部７３４が設けられており、先端部７１０とバネ部７２０との間には、接続前部７３３が設けられている。本実施の形態におけるプローブを絶縁体外枠７６０及び７７０に設置する際には、絶縁体外枠７７０における内部の面と接続後部７３４と接触させ、絶縁体外枠７６０における内部の面と接続前部７３３を接触させ、絶縁体外枠７７０と絶縁体外枠７６０とを接続等することにより、本実施の形態におけるプローブは、絶縁体外枠７６０及び７７０に設置される。

また、第１から第８の実施の形態では、筐体部の断面形状が略四角形である場合について説明したが、曲面的に折曲げることにより、断面形状を略円形、略長円形、略三角形等の多角形等にすることも可能である。

また、本実施の形態におけるプローブは、メモリテスタ、液晶パネルの検査、基板検査用プローブ等において用いることができ、ポゴピンとも称されるプローブピンの代替として用いることができる。

以上、本発明の実施に係る形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではない。

１本体部
２製造補助部
１０先端部
１１端子接触部
１２先端補強部
２０バネ部
２１一方の側
２２他方の側
３０筐体部
３１側面部
３２上面部
３３側面部
３４上面部
３５底面部
３６屈曲部
４０筐体接続部

Claims

電気回路又は電子部品における電極端子と接触し電気的測定を行うために用いられるプローブにおいて、
前記プローブは、一方の端より、前記電極端子と接触する先端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域、前記バネ部を囲むための筐体部となる領域とが順に接続されている形状の一枚の金属板を折曲げることにより形成されるものであって、
前記先端部となる領域により形成される先端部と、
前記蛇行形状に形成された前記バネ部となる領域を折曲げることにより形成されるバネ部と、
前記バネ部を囲むように折曲げて形成される筐体部と、
を有し、
前記バネ部には前記筐体部に向けて出っ張った形状の凸部が形成されており、前記凸部は、前記筐体部と接触していることを特徴とするプローブ。
前記凸部は、折曲げられた前記バネ部の一方の側と他方の側に各々形成されており、前記一方の側に設けられた凸部と前記他方の側に設けられた凸部とは対称となる位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
前記凸部は、前記バネ部において、前記先端部に近い側に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のプローブ。
前記先端部において得られた電気信号は、前記凸部を介し、前記筐体部に伝達されるものであることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のプローブ。
前記筐体部における断面形状は、略正方形であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のプローブ。