JP5704952B2 - エアスピンドルユニット - Google Patents
エアスピンドルユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP5704952B2 JP5704952B2 JP2011028072A JP2011028072A JP5704952B2 JP 5704952 B2 JP5704952 B2 JP 5704952B2 JP 2011028072 A JP2011028072 A JP 2011028072A JP 2011028072 A JP2011028072 A JP 2011028072A JP 5704952 B2 JP5704952 B2 JP 5704952B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- spindle
- pressure
- bearing
- radial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 33
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 27
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 23
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
18 チャックテーブル
24 切削手段
26 スピンドル
28 切削ブレード
36 エアスピンドルユニット
38 スピンドルハウジング
40a 第1のラジアルエアベアリング
40b 第2のラジアルエアベアリング
42 スラストエアベアリング
44 モータ
50 第1エア供給路
52 第2エア供給路
54 第3エア供給路
56 エア分配弁
58 エア供給源
62a 第1エア供給口
62b 第2エア供給口
62c 第3エア供給口
66 ピストン
74 コイルばね
80 突起(エア閉塞部)
Claims (2)
- スピンドルと、該スピンドルのスラスト方向をエアで支持するスラストエアベアリングと、該スピンドルのラジアル方向をエアで支持するラジアルエアベアリングと、該スピンドルを回転可能に収容し該スピンドルとの間に該スラストエアベアリングと該ラジアルエアベアリングを画成するスピンドルハウジングと、該スピンドルに連結されて該スピンドルを回転するモータと、を備えたエアスピンドルユニットであって、
該スラストエアベアリング及び該ラジアルエアベアリングにエア供給源からの高圧エアを分配する該スピンドルハウジングに配設されたエア分配弁を具備し、
該ラジアルエアベアリングは、該スピンドルの第1の領域をエアで支持する第1のラジアルエアベアリングと、該スピンドルの第2の領域をエアで支持する第2のラジアルエアベアリングとを含み、
該エア分配弁は、
該エア供給源からの高圧エアを導入するエア導入口と、
該第1のラジアルエアベアリングにエアを供給する第1エア供給口と、
該第2のラジアルエアベアリングにエアを供給する第2エア供給口と、
該エア導入口から導入されるエアの圧力が所定の圧力以上の場合には、該第1エア供給口を閉塞し該第2エア供給口を開放するとともに、該エア導入口から導入されるエアの圧力が該所定の圧力未満の場合には、該第1及び第2エア供給口とも開放するエア分配調整手段と、含み、
該エア分配調整手段は、一端に該エア導入口を有し他端に該第1及び第2エア供給口を有するシリンダと、
内部にエア通路が形成された大径の鍔部と該鍔部より小径で該鍔部の中央部に連結するロッド部とからなり、該シリンダ内に移動可能に収容されたピストンと、
該ピストンの該ロッド部に外嵌され該ピストンの該鍔部と該シリンダの内周面に形成された支持部との間に介装されたコイルばねと、
該ロッドの先端に形成された該第1エア供給口を選択的に閉塞するエア閉塞部と、
該エア導入口と該ピストンの該鍔部との間に形成された圧力室とを含み、
該圧力室に導入されるエアの圧力が前記所定の圧力以上の場合には、該エアの圧力により該ピストンが該コイルばねの付勢力に抗して移動されて該エア閉塞部が該第1エア供給口を閉塞し、該圧力室のエアの圧力が該所定の圧力未満の場合には、該コイルばねの付勢力により該ピストンが該圧力室のエアの圧力に抗して移動されて該エア閉塞部が該第1エア供給口を開放することを特徴とするエアスピンドルユニット。 - 該第1の領域は該スピンドルの中央部であり、該第2の領域は該中央部を挟んだ該スピンドルの両端部である請求項1記載のエアスピンドルユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011028072A JP5704952B2 (ja) | 2011-02-14 | 2011-02-14 | エアスピンドルユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011028072A JP5704952B2 (ja) | 2011-02-14 | 2011-02-14 | エアスピンドルユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012167721A JP2012167721A (ja) | 2012-09-06 |
JP5704952B2 true JP5704952B2 (ja) | 2015-04-22 |
Family
ID=46972071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011028072A Active JP5704952B2 (ja) | 2011-02-14 | 2011-02-14 | エアスピンドルユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5704952B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103047286B (zh) * | 2012-12-31 | 2015-06-17 | 浙江工业大学 | 可实现串联供气的旋转供气装置 |
CN103063392B (zh) * | 2012-12-31 | 2015-03-25 | 浙江工业大学 | 超低频模态试验重力平衡系统 |
CN103047284B (zh) * | 2012-12-31 | 2015-02-18 | 浙江工业大学 | 一种可实现串联供气的旋转供气装置 |
JP5888663B2 (ja) * | 2013-12-17 | 2016-03-22 | 株式会社安川電機 | スピンドルモータ |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4638319B2 (ja) * | 2005-10-18 | 2011-02-23 | 本田技研工業株式会社 | 燃料タンクの蒸発燃料放出抑制装置 |
DE102006014446A1 (de) * | 2006-03-29 | 2007-10-04 | Schaeffler Kg | Stromregelventil |
JP5284772B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2013-09-11 | 株式会社ディスコ | スピンドルアセンブリ |
-
2011
- 2011-02-14 JP JP2011028072A patent/JP5704952B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012167721A (ja) | 2012-09-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6108999B2 (ja) | 切削装置 | |
JP4851282B2 (ja) | 切削装置 | |
JP5704952B2 (ja) | エアスピンドルユニット | |
JP2015020237A (ja) | 切削装置 | |
TWI742080B (zh) | 被加工物的保持機構及加工裝置 | |
JP2011108979A (ja) | 被加工物の切削方法 | |
KR20160087350A (ko) | 반송 장치 | |
JP2010123823A (ja) | 切削装置 | |
JP2014091206A (ja) | 切削装置のチャックテーブル | |
JP2009066708A (ja) | 加工装置における加工水の確認方法及び確認装置 | |
JP6847512B2 (ja) | 切削装置及び切削方法 | |
JP6305750B2 (ja) | 静電気除去装置を備えた加工機 | |
TWI534953B (zh) | Use of wafer support plate | |
CN112542418A (zh) | 基板处理装置 | |
JP6267977B2 (ja) | 切削方法 | |
JP2010228048A (ja) | 切削装置 | |
JP2010173002A (ja) | 切削装置 | |
JP2010098029A (ja) | 加工装置の排水機構 | |
JP2009166214A (ja) | 研削装置 | |
JP5473374B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2009076773A (ja) | チャックテーブル機構 | |
JP6081814B2 (ja) | 洗浄装置および洗浄装置を備えた加工装置 | |
JP2013115283A (ja) | ウエーハの位置補正方法及びウエーハの加工方法 | |
JP5528245B2 (ja) | 切削方法 | |
JP2011062778A (ja) | 切削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140805 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141001 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150224 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5704952 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |