JP5700271B2 - バルブアクチュエータの改良 - Google Patents

バルブアクチュエータの改良 Download PDF

Info

Publication number
JP5700271B2
JP5700271B2 JP2009518947A JP2009518947A JP5700271B2 JP 5700271 B2 JP5700271 B2 JP 5700271B2 JP 2009518947 A JP2009518947 A JP 2009518947A JP 2009518947 A JP2009518947 A JP 2009518947A JP 5700271 B2 JP5700271 B2 JP 5700271B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
motor
actuator
output shaft
valve
speed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2009518947A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009543004A (ja
Inventor
サンダーズ,ピーター・ジョージ
ダッサナヤケ,ヘメンドラ・パラクラマ・バンダラ
ウィザーズ,アンドリュー・マーク
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rotork Controls Ltd
Original Assignee
Rotork Controls Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rotork Controls Ltd filed Critical Rotork Controls Ltd
Publication of JP2009543004A publication Critical patent/JP2009543004A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5700271B2 publication Critical patent/JP5700271B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/19Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
    • G05B19/39Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using a combination of the means covered by at least two of the preceding groups G05B19/21, G05B19/27 and G05B19/33
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/02Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
    • F16K31/04Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B9/00Safety arrangements
    • G05B9/02Safety arrangements electric
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D13/00Control of linear speed; Control of angular speed; Control of acceleration or deceleration, e.g. of a prime mover
    • G05D13/64Compensating the speed difference between engines meshing by a differential gearing or the speed difference between a controlling shaft and a controlled shaft
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D3/00Control of position or direction
    • G05D3/12Control of position or direction using feedback
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02JCIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY
    • H02J9/00Circuit arrangements for emergency or stand-by power supply, e.g. for emergency lighting
    • H02J9/04Circuit arrangements for emergency or stand-by power supply, e.g. for emergency lighting in which the distribution system is disconnected from the normal source and connected to a standby source
    • H02J9/06Circuit arrangements for emergency or stand-by power supply, e.g. for emergency lighting in which the distribution system is disconnected from the normal source and connected to a standby source with automatic change-over, e.g. UPS systems
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P7/00Arrangements for regulating or controlling the speed or torque of electric DC motors
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/8158With indicator, register, recorder, alarm or inspection means
    • Y10T137/8225Position or extent of motion indicator
    • Y10T137/8242Electrical

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Emergency Management (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
  • Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
  • Mechanically-Actuated Valves (AREA)
  • Control Of Throttle Valves Provided In The Intake System Or In The Exhaust System (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Control Of Electric Motors In General (AREA)

Description

発明の分野
この発明は、バルブアクチュエータの改良およびバルブアクチュエータに関連する改良に関する。この発明は特に、必ずしもこれに限定されるものではないが、制御バルブアクチュエータに適用可能であり、この制御バルブアクチュエータは、一般にたとえばプロセス計測からの信号に反応して、導管中の流体の流れを調整する、バルブの制御のためのアクチュエータである。このようなアクチュエータは、概して高い精度を必要とし、導管を完全に開閉することにより流れを単に切換えるのではなく、導管中の流体流量の連続した粗調整および微調整を実現する役割を果たす。
発明の背景
バルブアクチュエータは、たとえば火力および水力発電産業、石油およびガス採掘、水産業、水道事業、および化学処理産業で、広く利用される。こういった目的のほとんどに関して、アクチュエータは、必然的に強力であり、ロータリー出力に関してはおよそ3Nmから約1200Nm、またはリニア出力に関しては100Nから30,000Nの出力レベルを提供するように構成される。バルブアクチュエータは、空気圧駆動式、液圧駆動式、電気駆動式、および電気−液圧駆動式であることがあるが、主に空気圧駆動式である。空気圧駆動式は、必要なレベルの動作精度および信頼性を備えるように構築する費用がよりかからないためである。バルブアクチュエータは、概してすべて、アクチュエータを設定、監視、および制御するためのプロセッサ制御を有する。主要な制御要素は、アクチュエータ位置、すなわちバルブ位置と、アクチュエータトルク(主にロータリー出力アクチュエータに関して)と、スラスト(主にリニア出力アクチュエータに関して)とを含む。ロータリー出力アクチュエータにおいて、たとえば、バルブ位置は典型的に、駆動されるロータリー出力シャフトの回転または回転の一部をロータリーエンコーダにより計数することによって求められる。このようなアクチュエータのアクチュエータ出力シャフトにおいて生成される負荷は典型的に、歪みゲージによってまたは圧力トランスデューサによってなど、機械的手段によって求められる。負荷は、モータ中のトルクに関連する電流からも求められるかもしれない。後者のこのような機構の例は、US4,288,665およびGB2,101,355に記載されている。
上記の特徴に加えて、バルブアクチュエータは概して、万が一、たとえば、停電が起こった場合のためのフェールセーフ機構も有する。この目的のために、アクチュエータの大多数は、アクチュエータを所望フェールセーフ位置に回復する圧縮ばね復帰機構をさらに含む。しかしながらこれは、正常運転において、戻しばねの力に打ち勝つだけのために比較的大量の力を用いることを必要とする。
これに代わるアプローチは、蓄積した電気エネルギを用いて、停電条件下においてバルブをフェールセーフ位置に駆動するのに十分な電力を供給することである。このアプローチの例は、US−A−5278454、US−A−5744923、およびGB−A−2192504に開示されている。
数多くの要因が、バルブアクチュエータの効率的および効果的な動作を、通常の使用中に徐々に衰えさせ、これらには、歯車の摩耗、コントローラの飽和状態、ワインドアップ、およびオーバーシュートが含まれる。「スティック−スリップ」要因と呼ばれることもある後半の要因は、バルブアクチュエータに一般に起こるもので、制御バルブアクチュエータによって実行される閉ループプロセスにおける効率を維持するのに、大きな障害とな
る場合がある。閉ループプロセスでは、プロセス制御を維持するために、バルブ位置に対して、急速で、多くの場合非常に微小な調整を行うことが必要とされる。コントローラは、まず、相当の力を生成して必要な始動スラストまたはトルクを生成し、次にバルブを所定位置に急速に制御しようとしなければならない。最初の重負荷を乗り越えるために、コントローラは、飽和状態まで駆動されることがよくあり、したがってワインドアップ動作(コントローラが全出力を与えるが、負荷が瞬時に消え、コントローラはまだ全出力のままである)が、バルブが、バルブの所望位置をオーバーシュートすることを引起こし、制御ループの不安定性を引起こす。
空気圧駆動式のバルブアクチュエータは、他のバルブアクチュエータと同様に、停電時のフェールセーフについては主にばね復帰であり、したがって、空気圧が、ばねの力、バルブステム摩擦、およびバルブステム力を均衡させるように整合される、力が平衡されたシステムである。これは、スティックスリップ問題に繋がるおそれがある。空気圧が上昇または下降され、バルブを少量だけ移動させると、摩擦の急な変化が、アクチュエータが、所望される移動以上にジャンプすることを引起こすことがあるためである。空気圧駆動式バルブアクチュエータは、バルブステム力の変化が原因の望ましくない移動の影響下にもあり、これが力を不均衡にするので、アクチュエータは、空気圧を変更し、補償する必要がある。
電気モータ駆動式バルブアクチュエータは、空気圧駆動式よりも堅いシステムであり、電気モータ駆動式バルブアクチュエータをその所定位置から遠ざけるステム力の変化は、空気圧駆動式ほどはない。電気モータ駆動式バルブアクチュエータも、スティックスリップ問題があるが、空気圧駆動式よりも頻度が少ない。しかしながら、電気モータ駆動式は、ドライブトレインにおけるバックラッシュが原因の制御不良があるおそれがある。モータは、出力が動き始める前に方向を逆転させる場合は、バックラッシュを吸収する必要がある。出力に1つのセンサを備える従来のシステムでは、コントローラは、出力で動きが見えないのでモータスピードを上げ、次にバックラッシュが吸収されると、出力は突然オーバーシュートすることがあり、特に、必要であったのはわずかな移動だけであった場合そうである。現在の電気アクチュエータにおいて、これを克服するための主なアプローチは、高品位の歯車と低い歯車比とを、過出力で高価なステッパ(同期)モータと多くの場合ともに用いることにより、バックラッシュを最小に維持するというものである。このことと連続運転による長寿命要求とによって、ドライブトレインは非常に高価なものとなる。
この発明の目的の1つは、既知のこのようなアクチュエータとは異なり、既知のこのようなアクチュエータを適切に改良し、上述のまたは以下に検討する運転上の困難のうち1つ以上を軽減する制御バルブアクチュエータを提供することである。
発明の概要
この発明の第1の局面に従って、バルブアクチュエータが提供される。このバルブアクチュエータは、モータシャフトを有する電気駆動モータと、モータシャフトにリンクされ、バルブの移動を駆動する出力シャフトとを備える。このアクチュエータは、アクチュエータ出力シャフトの第1の閉ループ制御を実現するように配置される制御システムをさらに備え、この制御システムは、アクチュエータ出力シャフトの位置を感知する第1の位置センサとモータシャフトの位置を感知する第2の位置センサとに連結されモータシャフトの速度を求めることを可能にするコントローラを含む。この制御システムは、第1および第2のセンサからの感知された信号に応答し、モータ速度/位置を相応に調整するよう構
成される。適切には、コントローラは、電気モータの帯域幅の少なくとも5倍高速度で周期し、好ましくは、コントローラは、第1および/または第2のセンサを、アクチュエータの機械時定数の10分の1未満の周期でサンプリングするよう配置される。
フィードバック制御に2つのセンサを用い、これによりスティックスリップ問題を克服することによって、高レベルの制御精度および信頼性が達成され、高品位、低バックラッシュの高価な歯車が必要となるのを避ける。したがって、必要とされる寿命を得る材料および設計を注意深く選択することで、低コストで優れた精度レベルのドライブトレインを生産することが可能となった。
好ましくは、第2の(モータ)センサの感度(すなわち、モータシャフトの作動ストローク範囲当たりのセンサのカウント)は、出力シャフトの速度を出力シャフトの最大動作速度の少なくとも2および好ましくは少なくとも1%以内に制御するように高いものである。
コントローラは、電気モータの帯域幅の少なくとも5倍高速度で周期するように構成される。理解されるように、電気モータの帯域幅は、過渡入力または負荷条件を考慮して、モータがモータの定常状態へ加速する速度に関連付けられる。これは、単位ステップ入力に応答しての速度変化の一次近似によって表わされることが多い。一次系において、定常状態(最終値の99%)は5時定数以内に到達され、このような系は、1時定数以内に定常状態(速度)の63%に達する。
出力センサの感度は、適切には出力シャフトの全ストロークの約0.025%、すなわち出力シャフトの全ストロークに対して4,000カウントである。モータセンサの感度は、適切には出力センサの感度の少なくとも100倍高く、たとえば出力センサにおける1カウントごとに対応して323カウントを生成する。
好ましくは、コントローラは、アクチュエータ出力位置を所望の設定点に維持するように設計される位置制御ループを含む。位置制御ループ内には、比例−積分−偏差制御器(PID制御器)を有しモータ速度を内因による所望値に維持する第2のループがある。位置誤差は、要求位置が変化する、または負荷変動が出力位置を変更すると起こる。コントローラは、出力シャフトセンサおよびモータ位置センサの両方から信号を受信し、モータ駆動信号への是正処理を、誤差(比例)、以前のすべての誤差の合計(積分)、および誤差の変化の割合(偏差)に基づいた計算から計算する。
この発明の第2の局面に従って、リニア出力バルブアクチュエータが提供される。このアクチュエータは、アクチュエータのリニア移動する出力シャフトに適切に連結される電気モータ駆動部を含み、出力シャフトは、出力シャフトに連結される第1のスリーブのおおむね中央部分を有するスラストトランスデューサにおいて終端し、第1のスリーブは、始動されるバルブに直接または非直接的に連結可能な外側環を有し、第1のスリーブは、中央部分を外側環にリンクし中央部分と外側環との間に印加される力に応答して撓むように配置される減少された厚さの材料からなるウェブをさらに有する。このトランスデューサは、ウェブ上に取付けられウェブが撓むとウェブ中の歪みを感知するように配置される少なくとも1つの歪みゲージを含み、これにより使用中、始動されるバルブに出力シャフトによって印加されるスラストの表示を提供する。
典型的には、第1のスリーブは、このまたは各歪みゲージから受信される予め条件付けする信号のための電子コンポーネントを収容し、このまたは各歪みゲージからの信号は、出力シャフトの内側を通過する信号導体に沿って搬送されてもよい。これには、利点がある。ケーブルを、アクチュエータの外側にシーリンググランドなどを介して配線する必要
がなく、したがってケーブルが筐体の保護内にあるためである。
この発明のさらなる局面は、バルブアクチュエータを提供する。このアクチュエータは、モータシャフトを有する電気駆動モータと、モータシャフトにリンクされ、バルブの移動を駆動する出力シャフトとを備える。このアクチュエータは、バルブの閉ループ制御を提供するコントローラを含む制御システムをさらに備える。このアクチュエータは、非侵入型設定シーケンスを有するユーザインターフェイスを有するハウジング内に収容される。アクチュエータハウジングは、ハウジングの外側部分のたとえば磁石などの単純な非侵入型非通電装置に接近することによってトリガされ制御ループのための設定ルーチンを開始させることができるスイッチを収容する。
このスイッチは、たとえばホールまたはリードスイッチであってもよい。これは、ユーザにとって設定作業を簡単なものにし、侵入型機械装置の使用による火花放電のリスクを回避し、ユーザが、設定を開始するためだけにPDAまたは他の無線制御装置へのアクセスを有することが必要となるのを避ける。好ましくは、安全のために、ユーザインターフェイスは、装置をスイッチの近傍から移動させると起動ルーチンが中止されるように構成される。
この発明のさらに別の局面において、バルブアクチュエータが提供される。このバルブアクチュエータは、電気モータ駆動部と、歯車ドライブトレインと、制御バルブを、導管中の流体流量の制御のために、変化する開度状態間で駆動するように移動する出力シャフトとを備える。このアクチュエータは、歯車ドライブトレインの1つ以上の歯車を1つの位置にロックし、これにより「停電時に動かずにそのままの状態を保つ」機能を与えるロックラッチをさらに備え、このラッチは、弾性のバイアス手段によってドライブトレインの歯車と係合状態に保持され、弾性のバイアス手段の力に逆らってラッチを歯車との係合状態から引き抜く電気ソレノイドのソレノイドアーマチュアによって離される。
好ましくは、ロックラッチは、永久的に駆動される第2のホイールにある1つ以上の径方向に延在する溝穴と係合可能な1つ以上の軸方向に延在するロックピンを有する第1のホイールを含む。第1および第2のホイールは、平行する平面において回転可能であり、第1のホイールの平面は、ソレノイドが除勢されると、バイアス手段の作用下で、第2のホイールの平面に向かってロック位置まで移動可能であり、これによりロックピンの溝穴への進入を引起こす。
第1のホイールは、スプラインシャフトなど、第1のホイールの手動回転を可能にする駆動手段をさらに含んでもよく、この回転は、第1のホイールがロック位置にある場合に、このまたは各ロックピンを介して第2のホイールへ伝達され、これにより出力シャフトへ伝達される。
アクチュエータは、リニア出力シャフトのための側方支持構造を含んでもよく、この構造において、支持アームまたは支柱は、シャフトの、ドライブトレインのピニオン/歯車装置の作用を受ける部分に近接するシャフト軸に向かって、調節可能に伸張可能で、シャフトの軸の配向を維持し、バックラッシュを防ぐ。適切に、このアームまたは支柱は、ラック本体に対して作用する。
この発明のさらなる局面に従って、バルブアクチュエータが提供される。このバルブアクチュエータは、モータシャフトを有する電気駆動モータと、モータシャフトにリンクされ、バルブの移動を駆動する出力シャフトとを備える。このアクチュエータは、コントローラと、出力シャフトのトルクまたはスラストを感知しバルブに印加されるトルクまたはスラストの閉鎖ループ制御を提供するトルクまたはスラストセンサとを含む制御システム
をさらに備える。このアクチュエータは、万一の電源の停電の際にバルブを安全位置に移動させるフェールセーフ機構をさらに備え、このフェールセーフ手段は、電気モータおよび制御システムに電力を供給しバルブをトルク/スラスト制御された方法で安全位置に移動させるように構成される少なくとも1つのスーパー/ウルトラキャパシタを含む。
この構造は、アクチュエータを所望のフェールセーフ状態に復帰させるための低消費電力で、費用対効果が大きく、完全にトルク/スラスト制御された構造をユーザに与え、ユーザが、フェールセーフ張力を、各設備に必要なレベルに合わせて調整することを実質上可能にし、これによりバルブは、不十分なまたは過剰な力なしにしっかりと復位する。
好ましくは、フェールセーフ電力は、値が30F以上の1つ以上のウルトラキャパシタからブーストコンバータを介して供給される。ブーストコンバータは、モータを所望フェールセーフ速度で作動させるのに十分な電圧と全負荷条件下において作動させるのに十分な電流とを提供すべきである。好ましくは、ウルトラキャパシタは、電流制御されたバックコンバータを用いて、キャパシタの寿命を維持しながら、全負荷で全フェールセーフストロークを行なうのに十分なエネルギを提供する電圧まで充電されるべきである。
別の局面において、この発明は、バルブアクチュエータを提供する。このバルブアクチュエータは、モータシャフトを有する電気駆動モータと、モータシャフトにリンクされ、バルブの移動を駆動する出力シャフトとを備える。このアクチュエータは、コントローラと、出力シャフトのトルクまたはスラストを感知し、バルブコントローラに印加されるトルクまたはスラストの閉ループ制御を提供するトルクまたはスラストセンサとを含む制御システムをさらに備え、コントローラまたはコントローラに作動的にリンクされるさらなるプロセッサは、実際のスラスト/トルクを周期的に記録し、このデータは、履歴データ/プロファイルとの比較のために利用可能である。
この発明の好ましい実施例を、次に、添付の図面を参照して例示的に説明する。
バルブアクチュエータの総組立斜視図である。 図1とは異なる視角からのバルブアクチュエータの総組立斜視図である。 システム回路図である。 アクチュエータ制御システムの制御ループの概略図である。 出力シャフトおよびラックを示し、シャフトに隣接しシャフトを安定させる支持要素をさらに示す図である。 この発明に従うスラストトランスデューサを含むアクチュエータの断面図である。 この発明に従うスラストトランスデューサの断面を拡大して示す図である。 この発明に従うゼネバロック機構の斜視図である。 図8の機構の他の斜視図である。 図8および図9の機構の平面図である。
好ましい実施例の説明
図1から図4を参照して、このシステムは典型的に、電気駆動モータ3および電子回路のために必要とされる電圧を生成するスイッチング電源2によって提供されるDC電源1を含む。アクチュエータの駆動モータ3は、平歯車ドライブトレイン4a−dを通じてラック5およびピニオン6まで駆動する永久磁石DCモータを適切に含む。ラック5は、制御バルブの開度の程度を変化させるのに必要なリニア出力を提供するアクチュエータの出力シャフト7に連結される。制御バルブは、図中に示さない。
電気駆動モータ3は、その電源1に永久的に接続され、電圧を、モータコントローラ48および動力駆動部49によって変化させて、モータ3を動作させるとともに、モータ3の速度および/またはトルクを変化させる。
適切にロータリー/シャフトエンコーダである第1の非接触デジタル位置センサ11は、アクチュエータ出力シャフト7を駆動するピニオン6の端部に近接して存在し、出力シャフト7の位置を検出する。ピニオン6の端部に近接する位置センサ11は、ラック5の側面に取付けられる第2のラック5aと協働し、使用中にラック5が往復直線運動を行うと第2のラック5aが対応して往復直線運動を行いマグネットを担持するピニオン歯車5bを回転させるようにする。マグネット位置は、位置センサ11を用いて監視される。捩じりばね5cは、駆動されるピニオン歯車の歯と駆動するラック5a上の歯との間にバックラッシュがないことを確実にする。センサ11は、ピニオン5bの絶対回転位置、すなわちピニオン5bが、出力シャフト7の作動ストロークの一方の最末端と同等の位置などの基準位置から何回転カウント離れているのかを感知する。この回転位置センサ11は適切に、指定データからのシャフト角位置を固有の符号化された信号を用いて示す絶対回転/シャフトエンコーダである。
他の実施例において、出力シャフト7のストロークのリニア範囲に沿った出力シャフト7の位置は、ロータリーエンコーダではなく非接触型リニア位置センサによって検出されてもよい。このようなセンサは、磁気、電磁誘導、または光学技術に基づいていてもよい。
第2の非接触型デジタル位置センサ10は、モータ3の駆動シャフト3aの端部に近接して位置し、駆動シャフト3aの回転位置を感知し、これにより駆動シャフト3aの回転速度を求める。
2つの位置センサ10、11を用いてこのユニットを位置決めしオーバーシュートを防ぐことは、非常に重要である。上述のように、制御バルブにおいて生じるスティックスリップシナリオは、閉ループ工程における効率性を維持するに当たって重欠陥であると考えられている。工程制御を維持するために、バルブ位置に対して軽微な調整を行うことが必要となることが多い。まず、コントローラ9は、始動スラスト/トルクを生み出すかなりの出力レベルを指示し、その後バルブを所定位置へ急速に制御しようと試みなければならない。コントローラ9は、重負荷を乗り越えるために飽和状態(よって、ワインドアップ動作)まで駆動されることがよくあり、その後バルブは、所望位置をオーバーシュートし、制御ループの不安定性を引起こす。この状況を克服するために、制御システムは以下のフィードバック状態を利用する。
・アクチュエータの絶対出力シャフト位置
・モータシャフト位置
2つのセンサ10、11は、出力シャフト7における微小な変化を検出するだけではなく、モータシャフト3aにおける如何なる移動も検出する「スーパーセンサ」を効果的に一緒になって形成する。
システムは、モータシャフトセンサ10が、出力シャフト7の非常に微小な移動/ずれに対してまでも高いレベルの感度を示すように設計される。モータ速度に対して用いられるデジタル制御ループは、ある速度で作動するPIDコントローラ9であり、この速度は典型的には、原動機/DCモータ3の帯域幅のおよそたとえば5倍の振幅(すなわち機械的時定数の5倍速)である。制御ループの速度およびモータシャフトセンサ10の感度によって、モータ速度は、出力センサ11における顕著な変化なしに計測され制御されるこ
とができる。コントローラ9の特性をさらに向上させるために、以下の実現化例が利用される。すなわち、出力センサ11に基づくバルブ位置決め制御ループ11aおよびモータセンサ10に基づく高精度モータ速度制御ループ10aの、2つの制御ループを設ける。
基準速度要求は、バルブ位置決めループ11aによって生成される。短いストローク距離については要求速度は低く、より長い移動に対しては高い値となる。したがって、始動条件下で非常に短い距離をストロークする必要がある場合には、大きなマイナスの速度誤差が、速度計測の精度の高さが原因で速度コントローラに発生し、これは、コントローラを飽和状態から脱出させる。このシステムには、したがってバルブのスティックスリップ問題が起こらず、ワインドアップがないコントローラを効果的に生み出す。
制御システムを、ギヤトレインおよびモータ3を出力シャフト7へ連結する任意の他の構成要素における既知の機械的バックラッシュを参照して要求速度値を生成することによって向上させてもよい。以下に説明するように、このバックラッシュは、2つのセンサ10および11を用いて監視され計算されてもよい。一旦値が既知のものとなったならば、モータの方向が逆転されていることがわかっている場合は(バックラッシュが1つの要因であることが理解されるであろう状況)、要求速度は恣意的に増大されてもよい。したがって、バックラッシュは急速に吸収され、その後要求スピードは、(たとえば、モータ出力シャフト3aによって既知の距離がストロークされると)駆動力がギヤトレインおよび出力シャフト7を介してバルブに取り込まれるにつれて減少される。
これは、出力シャフト制御ループに対して大幅に向上された整定時間をもたらす。なぜならば、出力シャフトループにおける機械バックラッシュの影響が、モータ速度ループにおける適切なモータ要求速度計算および調整によって中和されるからである。
よって、図4に示される制御システムは、モータ速度プロファイル計算機14にバックラッシュ値を送るバックラッシュ算出装置12を含み、モータ速度プロファイル計算機は次には要求モータ速度値を生成する。
この構造は、ギヤトレイン4a−e、5、6の先頭に1つの位置センサ10、末尾に1つの位置センサ11を有するので、センサ10およびセンサ11の出力位置間には関係がある。これを用いて、モータセンサ10の位置の変化量を調べてドライブトレイン内のバックラッシュを計測し、方向を逆転させる場合に出力センサ11を動作開始させてもよい。バックラッシュの増大は、ドライブトレイン4a−d、5、6中で発生している摩耗を示すであろう。ドライブトレインが常に一方向に予圧を与えられ、したがってバックラッシュが存在しないシステムにおいてでも、摩耗の増大を計測することは可能であろう。これは、出力エンコーダ11の特定の位置でモータエンコーダ10からの出力を調べることによって達成することができる。この関係が変化した場合は、これはドライブトレインにおける磨耗によるものであろう。
ラック5および出力シャフト7アセンブリは、(図5に示すとおり)ハウジング14の中おいてに支持され、ピニオン歯車6とラック5との間の接触点と対向する調節可能/伸張可能な支持アーム/支柱15によっても支持される。この支持を調節して、ラック5とピニオン6の噛み合い間のバックラッシュを取除くことができる。この点で支持することは、シャフト7をラック5の上端から突出させアセンブリをより大きくする必要をなくしもする。
図6および図7を参照して、アクチュエータによって生成されたスラストの計測は、アクチュエータ出力シャフト7の端部に取付けられるトランスデューサ16を用いて行なってもよい。図6の断面図および図7の拡大された図を特に参照して、シャフト7は、ラッ
クおよびピニオン構造5および6を介してリニア駆動される。バルブへの駆動力は、バルブ連結ボス51において終端する外側スリーブ50を介して伝達される。モータからの駆動力(図6および図7中に示さず)は、内側スリーブ52を介して外側スリーブ50へ伝達される。
内側スリーブ52は、ねじを切られ外側スリーブ50の雌ねじを切られた表面と係合しOリング55によってスリーブ50に封止される外側環54と、ラックおよびピニオン構造5および6によって駆動される実質的に剛体の出力シャフト7に固定されるおおむね中央の連結点56と、連結点56を外側環54にリンクする可撓性で環状の薄肉のウェブ60とを含む。
シャフト7がモータ駆動下で往復直線運動するにつれて、ウェブ60は撓む。この撓みは、ウェブ上に取付けられた歪みゲージ62によって計測され、これはしたがってアクチュエータがバルブに連結される点における力の計測を可能にする。
この連結中の増幅器PCB64は、歪みゲージ出力を増幅し、増幅器からの出力信号は、出力シャフト7の内側に形成される通路を通されるケーブル65に沿ってアクチュエータに送込まれる。
これによりバルブを移動させるのに必要な力の非常に正確な計測がもたらされる。
歪みゲージ16の出力は、スラスト制御ループ16a(図4)における主フィードバックを形成する。まず、アナログ回路が、スラスト信号を処理し、計測中のノイズを除去する。フィルタ処理されたこの信号は、アクチュエータよりも大きな帯域幅を有し、コントローラに送込まれるものである。歪みゲージ16からの処理されたスラスト測定値が、参基準値18よりも小さい場合は、モータ3は、最大出力を生成することを許される。アクチュエータによって生成されるスラストが、設定値18に達した場合は、モータ電流は、全負荷スラストより大きく維持するのにちょうど十分な電流(したがってモータによって生成されるトルク)となるような値に、歯車の逆効率とモータの固有のコギングトルクを利用して制限される。したがって、負荷を維持するのに必要な出力は、負荷を移動させるのに必要な出力の何分の一かである。したがって、スラスト制御方法は、プログラム可能であり、正確で、および効率的になるよう最適化される。重要なことに、スラスト制御は、フェールセーフ動作においても実施される。
さらに、図6および図7に示す構造において、センサゲージ、ケーブル布線、および電子回路は、一体化されており、アクチュエータの封止された筐体内にある。この一体化局面は重要である。なぜならば、バルブは、危険な環境で使用される場合もあり、したがってアクチュエータは、たとえば防爆評価を必要とする場合があるからである。センサおよび接続配線をアクチュエータ内に保管することにより、適切な安全評価を取得しにくくすることで知られケーブル損傷の問題に繋がる場合もあるシーリンググランドまたは同様のものが必要となるのを避ける。
この実施例において、信号および電力配線は、シャフト7を通ってターミナルブロック66まで進む。信号は、次に可撓性ケーブル67を介して、アクチュエータの上部にあるさらなるPCB68へ内部で搬送される。シャフト7の往復直線運動は、したがって可撓性ケーブル67によって吸収される。
他のトランスデューサは、スリーブ50およびスリーブ52内に形成されるセンサアセンブリ内に組込まれてもよく、たとえば温度センサ、揮発性物質を検出する「臭い探知機」、および/または振動を計測する振動加速度計などである。
制御バルブアクチュエータの構造のさらなる改良において、アクチュエータは、非侵入型設定シーケンスを有してもよい。アクチュエータ本体38は、無線周波数短距離送受信機を収容する。これにより、アクチュエータへ、およびアクチュエータからの非侵入型通信が可能となる。アクチュエータを、(速度、ストロークの方向などを調整するために)無線手持ち式装置を用いて構成することができる。この目的のためにBluetooth(登録商標)無線接続規格が用いられてもよい。GB2196494Bに記載された構造も用いてよく、非侵入型設定に関するこの特許の開示は、この明細書中に引用により援用される。
筐体/アクチュエータ本体内にある磁気センサを筐体の外にある磁気装置を用いてトリガすることによって、アクチュエータを、トリガして設定ルーチンを開始することができる。すると、アクチュエータは、バルブストロークの終端にアクチュエータが達するまで各方向に順に作動し、そこでアクチュエータは限界位置を設定する。アクチュエータは、バルブストロークの終端とアクチュエータ内の停止位置を区別することができる。アクチュエータ内のストロークの停止位置の終端に達すると、トランスデューサ16内にスラストの出力が生成されないからである。これにより、たとえば、おそらくアクチュエータのバルブへの不正確な追従が原因で、アクチュエータのストロークがバルブのストロークに対して十分でない場合に、表示を行なうことが可能となる。
電気エネルギは、スーパー/ウルトラキャパシタ20に蓄積され、万一の電源停電の際に、バルブを安全位置に移動させる。すべての機構および関連の電子回路は、耐候性の筐体内に収容される。ウルトラキャパシタ20からなるバンク(直列接続)は、スイッチング電源2を用いて充電される。キャパシタバンクの総電圧は、通常の動作のためにモータにより要求される電圧よりも大幅に少ない。たとえば、通常動作に必要とされる最大モータ電圧が24Vの場合、キャパシタバンク電圧は約7Vであるだろう。
停電動作(すなわちフェールセーフ動作)中に一定の速度を維持するために、キャパシタ電圧は、上昇され、一定に保たれる必要がある。このために、固定周波数300または500kHz電流モードブーストコントローラまたは昇圧コンバータ21が用いられる。フェールセーフ動作中、キャパシタ20バンクが必要な電力を提供し、ブースト/昇圧コンバータ21は、キャパシタ電圧が低下するときでも、安定した出力電圧をモータ3に対して維持する。したがって蓄積されたエネルギの70%超を取出すことができ、制御されたフェールセーフ動作が行なわれる。出力ブースト電圧は、通常の電源電圧よりは少ないが、所望フェールセーフ速度に必要とされる電圧を超えるものである。
アクチュエータの歯車装置は、モータ3からの駆動力を、バルブに連結されるアクチュエータ出力7へ運ぶ、非常に効率的な平歯車ドライブトレインである。この非常に効率的な手段は、セルフロックではなく、逆駆動させることができる。
通常の状況下で、モータ3は、起動し、アクチュエータおよびバルブを所望位置に移動させる。モータ3は、それをそこに保持もし、バルブが生成する、アクチュエータを逆駆動しそれをその位置から移動させようとすることがある力に反応する。したがって、モータは、アクチュエータに必要とされるセルフロックを提供する。
しかしながら、非通電条件下では、バルブの制御されていない移動が生じる場合があり、これは一般に好ましくない。したがって、ロック機構が提供される。
図8から図10を参照して、アクチュエータ歯車装置は、ピン72と以下に説明するように協働するマルタ十字形状の構成要素4cを含む。
機能的要件は、モータに電力が供給されない場合にアクチュエータを手動操作する方法
を提供することである。また、電力がない場合に、アクチュエータがセルフロックであり、よってその位置を維持するであろうことを確実にする必要がある。ブレーキによって第2の要件を満たしてもよいが、これはアクチュエータを手動で駆動するためにブレーキに打勝つという問題を生じさせる。
以下に説明されるマルタ十字(ゼネバ)機構は、動作と動作の間で所定位置にロックされる断続的な運動を実現するために用いられる。
ゼネバ機構4cへの駆動力は、ドライブトレイン中の歯車74のうち1つと永久的に作動される。ロックピン72の係合は、通常非係合状態に保持されるばねバイアス手段76を用いて、ソレノイド(図示せず)によって選択的になされる。
通常の通電条件下において、ソレノイド駆動装置75(図3)下のソレノイドは、ゼネバ機構4c/72を、ばね76に対して非係合状態に保持する。アクチュエータへの電力が切られると、ソレノイドはその保持力を失い、ばね76は、ゼネバ駆動装置を軸方向に移動させ、係合させる。ゼネバ機構は、逆駆動されないので、アクチュエータを所定位置にロックする。しかしながら、ゼネバ駆動装置は、ドライブシャフトを介して(アクチュエータの外側から)スプライン78を用いて駆動されることができ、アクチュエータを新しい位置に移動させる。アクチュエータへの電力の供給が回復されると、ソレノイドは、モータがアクチュエータを動かすことが可能になる前に、ゼネバ駆動装置を係合から外す力を生成する。
ゼネバ機構は、アクチュエータへの電力の供給が切られた場合に、完全には係合しない場合がある。ピン72が十字4cと整合しない場合があるからである。しかしながら、手動駆動装置が回転されるか、またはアクチュエータドライブトレインが逆駆動されるかすると、ピン72が位置につき、ばねがこの機構と係合するので、駆動装置は、ゼネバ駆動装置が係合する位置に達するであろう。ロック前にアクチュエータが移動する最大量は、少量で許容可能な量に設計される。
時として、アクチュエータへの電力供給がある場合に、アクチュエータを手動で動かすことが必要となる場合がある。これは、これを実現できるようにソレノイドの力を外す非侵入型スイッチを、アクチュエータの外側に設けることにより達成される。このスイッチを入れ、手動駆動装置が係合すると、モータは電気的に作動しないようにされる。スイッチが切られると、ソレノイドが起動し、手動駆動装置を係合から外し、モータが制御を引継ぐことを許可する。
時として、アクチュエータへの電力供給がある場合に、アクチュエータを手動で動かすことが必要となる場合がある。これは、これを実現できるようにソレノイドの力を外す非侵入型スイッチを、アクチュエータの外側に設けることにより達成される。このスイッチを入れ、手動駆動装置が係合すると、モータは電気的に作動しないようにされる。スイッチが切られると、ソレノイドが起動し、手動駆動装置を係合から外し、モータが制御を引継ぐことを許可する。ピン72と十字4cとを離すために必要とされる力を最小にしておくために、モータは、ソレノイドの起動時に、少量だけ前後に自動的に回転されてもよい。これはピン72と十字4c上の拘束負荷を逃がすのに役立ち、より小さく低電力のソレノイドを使用することを可能にする。
この実施例は、電源の電気の供給が失われると自動的に手動駆動装置に係合し、アクチュエータを所定位置にロックもするが、それでも手動駆動を可能にするアクチュエータを提供する。
上述の多くの革新的な特徴に加えてまたはこの代わりに、バルブアクチュエータは、ルーチンおよび予測保守方法を容易にする、機能の豊富な診断セットを提供する電子コントローラ46を有することによって適切に強化されてもよい。コントローラ46は、この明細書においては、アクチュエータ本体/ハウジング39内に好ましくは収容され、先に説明した無線インターフェイスによって外部プロセッサ/コンピュータと適切に通信する。
コントローラ46によって正確に監視される1つの重要な変数は、実際の出力スラスト/トルクである。同等の空気圧式コントローラにおいて、トルク/スラストの値は、入力圧力およびばねの力を通じて推測されるのみであり、いくつかの電気式アクチュエータにおいては、スラスト/トルクの近似値は、モータ電流から求められる。これらのどちらも、不正確なスラスト/トルク計測に繋がる。コントローラ46は、周期的に実際のスラスト/トルクを記録し、このデータは、履歴データ/プロファイルとの比較のために利用可能である。これは、バルブシートの摩耗やバルブパッキンが原因の摩擦の増大などの有用な診断を提供する。以下により詳細にこれを説明する。
予測保守の助けとなる別のものは、連続効率パラメータである。アクチュエータ効率は、入力される力および出力される力の計算によって導き出される。入力される力は、電流および電圧計測によって与えられ、出力される力は、スラスト/トルク、速度、および加速によって与えられる。仕事量/要求の多さが原因のギヤトレインおよびモータの磨耗は、動力伝達効率の低下に繋がる。したがって、効率パラメータの監視は、機械的摩耗の早期検出を実現する。
各バルブ位置において費やされた累計時間、方向転換の数、平均制御誤差などの制御統計も、適切に記録される。これらの統計は、制御下の工程性能監視を助ける。
フェールセーフエネルギ蓄積も、監視される。これはウルトラキャパシタを、短時間、既知の負荷電流を通じて放電し、セル容量を推定することによってなされる。したがって、キャパシタの劣化、よってフェールセーフエネルギ蓄積の劣化が診断される。
上述のように、アクチュエータが記録する2つの出力測定値は、位置およびスラストである。診断または状況監視は、これらの2つの測定値を用いて実行される。
バルブ連結における力の計測を、正確な位置計測とともに行なうことにより、より優れた診断能力が実現される。
バルブの監視の例としては、バルブを移動させるのに必要な力は、バルブ内の圧力から生成されるステム力と、バルブステムを封止するステムパッキンからの摩擦力との合計であることがあるだろう。ステム力は、常に同じ方向に作用し、摩擦力は双方向に作用する。したがって摩擦力は、一方の方向においてはステム力に加算され、他方の方向においてはステム力から減算される。したがって両方向における合計の力を正確に計測することによって、ステム力と摩擦力とを別個の力として計算することが可能である。
バルブシートの腐食を、バルブの閉位置への移動時に、位置をスラストの蓄積に対して比較することによって監視してもよい。
移動の数およびどこで移動が生じたかを監視することができる。これは、バルブが工程をどれ程よく制御しているかの指標を与える。これは、バルブステムシールの交換がいつ必要かも示してもよい。
振動加速度計は、バルブ内のキャビテーションによって生じた振動を示してもよい。
温度センサは、バルブシールの漏れを示してもよい。
1つはモータ上、もう1つは出力上にある2つの位置センサによって、ドライブトレイン中のバックラッシュを監視することも可能である。これは典型的には摩耗指標である。
出力位置を、スラストおよび動作数に対して監視し、「仕事量」チャートを作り上げることも可能である。これは、アクチュエータ内の摩耗の指標を与える。
モータによって投入された動力を、アクチュエータによって生成された出力スラストと比較し、したがって上述のように摩耗の指標であってもよいドライブトレインの効率性を監視することも可能である。
電子コントローラの設計は、モジュール分割アーキテクチャに従う。これにより、コントローラ内の各モジュールが、各自の状況/状態情報を伝えることが可能になる。たとえば、位置センサは、信号強度と計測の信頼性に関する情報を送信する。電源モジュール(モータ駆動部)は、熱停止状況、電流トリップなどを連続的に示す。各モジュールからの状況表示は、障害を切離すのに用いることができ、したがって動作不能時間/修理時間を減少させる。
このアクチュエータは、流体バルブの制御のみに限定されず、たとえばエアーダンパなどの制御に使われてもよいことが理解されるであろう。

Claims (4)

  1. バルブアクチュエータであって、
    モータシャフトを有する電気駆動モータと、
    前記モータシャフトに機械的にリンクされ、バルブの移動を機械的に駆動する出力シャフトと、
    制御システムとを備え、
    前記制御システムは、
    (ア)コントローラと、
    (イ)前記コントローラに結合され、前記アクチュエータ出力シャフトの位置を感知する第1の位置センサと、
    (ウ)前記コントローラに結合され、前記モータシャフトの位置を感知して、前記モータシャフトの速度を求めることを可能にする第2の位置センサとを含み、
    記第1の位置センサの感度は、前記出力シャフトの速度を前記出力シャフトの最大動作速度の少なくとも2%以内に制御するように高いものであり、
    前記コントローラは、前記第1および/または第2の位置センサを、前記モータの機械時定数の5分の1未満の周期でサンプリングするように配置され、
    前記コントローラは、前記第1および第2の位置センサからの感知された信号に応答して、要求速度を生成して前記モータの速度/位置を相応に調整する前記出力シャフトの第1の閉ループ制御を与えるように構成され、
    前記制御システムはさらに、前記第2の位置センサを用い、前記モータ速度を調整して前記第1の閉ループ制御が生成した前記要求速度に前記モータ速度を維持するように構成された前記第1の閉ループ制御内の第2の制御ループを含み、前記要求速度は、前記モータと前記出力シャフトとの間の機械的連結におけるバックラッシュを表わすバックラッシュ値を参照して生成され、該バックラッシュ値は前記第1および第2の位置センサを用いて前記第2の位置センサの位置の変化量を参照して生成される、バルブアクチュエータ。
  2. 前記モータを前記出力シャフトに連結する機械的ドライブトレイン内の前記バックラッシュは、前記第2の位置センサの位置の変化量を参照することにより測定され、方向を逆転させる際に、前記第1の位置センサの移動を開始させる、請求項1に記載のバルブアクチュエータ。
  3. 前記バルブアクチュエータは、前記出力シャフトの遠位端に位置するトランスデューサを含み、前記出力シャフトは、前記トランスデューサと前記アクチュエータの本体との間に通信ケーブルの内部布設を可能にする内部通路を含む、請求項1または2に記載のバルブアクチュエータ。
  4. 前記制御システムは、前記モータを前記出力シャフトに連結するドライブトレイン内の摩耗を、前記第1の位置センサの特定の位置での前記第2の位置センサからの出力を参照することによって測定するように構成される、請求項1から3のいずれかに記載のバルブアクチュエータ。
JP2009518947A 2006-07-10 2007-07-09 バルブアクチュエータの改良 Active JP5700271B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB0613662A GB0613662D0 (en) 2006-07-10 2006-07-10 Improvements to valve actuators
GB0613662.6 2006-07-10
PCT/GB2007/002531 WO2008007058A2 (en) 2006-07-10 2007-07-09 Improvements to valve actuators

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009543004A JP2009543004A (ja) 2009-12-03
JP5700271B2 true JP5700271B2 (ja) 2015-04-15

Family

ID=36926750

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009518947A Active JP5700271B2 (ja) 2006-07-10 2007-07-09 バルブアクチュエータの改良

Country Status (12)

Country Link
US (1) US8118276B2 (ja)
EP (1) EP2038713B1 (ja)
JP (1) JP5700271B2 (ja)
KR (1) KR101557084B1 (ja)
CN (1) CN101506747B (ja)
BR (1) BRPI0714375B1 (ja)
GB (2) GB0613662D0 (ja)
MY (1) MY184559A (ja)
NO (1) NO341231B1 (ja)
RU (1) RU2461039C2 (ja)
TW (1) TWI409398B (ja)
WO (1) WO2008007058A2 (ja)

Families Citing this family (157)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11229472B2 (en) 2001-06-12 2022-01-25 Cilag Gmbh International Modular battery powered handheld surgical instrument with multiple magnetic position sensors
WO2008154598A2 (en) 2007-06-11 2008-12-18 Snaptron, Inc. Methods and apparatus for determining deformation response
US8105487B2 (en) 2007-09-25 2012-01-31 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Manifolds for use in conducting dialysis
US9358331B2 (en) 2007-09-13 2016-06-07 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Portable dialysis machine with improved reservoir heating system
US8597505B2 (en) 2007-09-13 2013-12-03 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Portable dialysis machine
US9308307B2 (en) 2007-09-13 2016-04-12 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Manifold diaphragms
US8240636B2 (en) 2009-01-12 2012-08-14 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Valve system
CA2960103C (en) 2007-11-29 2020-03-10 Fredenius Medical Care Holdings, Inc. System and method for conducting hemodialysis and hemofiltration
CN106774469B (zh) * 2008-06-11 2021-05-04 伊顿智能动力有限公司 自动调谐电动液压阀
GB2465504C (en) * 2008-06-27 2019-12-25 Rasheed Wajid Expansion and sensing tool
US10094485B2 (en) 2008-07-18 2018-10-09 Flowserve Management Company Variable-speed actuator
US9188237B2 (en) * 2008-07-18 2015-11-17 Flowserve Management Company Variable-speed actuator
US9089360B2 (en) 2008-08-06 2015-07-28 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Devices and techniques for cutting and coagulating tissue
AU2009302327C1 (en) 2008-10-07 2015-09-10 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Priming system and method for dialysis systems
MX347636B (es) 2008-10-30 2017-04-03 Fresenius Medical Care Holdings Inc Sistema de dialisis modular portatil.
US8290631B2 (en) * 2009-03-12 2012-10-16 Emerson Process Management Power & Water Solutions, Inc. Methods and apparatus to arbitrate valve position sensor redundancy
WO2010114932A1 (en) 2009-03-31 2010-10-07 Xcorporeal, Inc. Modular reservoir assembly for a hemodialysis and hemofiltration system
DE102009017634A1 (de) * 2009-04-16 2011-03-31 Z & J Technologies Gmbh Doppelplattenschieber
FR2947643B1 (fr) * 2009-07-06 2011-08-19 Renault Sa Systeme de commande pour machine tournante a roulement instrumente
US8663220B2 (en) 2009-07-15 2014-03-04 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Ultrasonic surgical instruments
JP2012533439A (ja) * 2009-07-17 2012-12-27 サマック,ロバート,エー 自動調整可能な工作機械加工物搭載装置
US8587328B2 (en) * 2009-08-25 2013-11-19 Analog Devices, Inc. Automatic characterization of an actuator based on capacitance measurement
US10441345B2 (en) 2009-10-09 2019-10-15 Ethicon Llc Surgical generator for ultrasonic and electrosurgical devices
US9060776B2 (en) 2009-10-09 2015-06-23 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical generator for ultrasonic and electrosurgical devices
US11090104B2 (en) 2009-10-09 2021-08-17 Cilag Gmbh International Surgical generator for ultrasonic and electrosurgical devices
US8469981B2 (en) 2010-02-11 2013-06-25 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Rotatable cutting implement arrangements for ultrasonic surgical instruments
TWI531740B (zh) * 2010-03-31 2016-05-01 西部電機股份有限公司 致動器
JP5453606B2 (ja) * 2010-04-09 2014-03-26 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ 波動歯車装置を備えたアクチュエータの位置決め制御方法
TWI414145B (zh) * 2010-04-27 2013-11-01 Univ Nat Sun Yat Sen 壓電式往復發電裝置
US8473229B2 (en) * 2010-04-30 2013-06-25 Honeywell International Inc. Storage device energized actuator having diagnostics
JP5820876B2 (ja) * 2010-06-01 2015-11-24 アンテルテクニック 弁アクチュエータ
US9518672B2 (en) * 2010-06-21 2016-12-13 Cameron International Corporation Electronically actuated gate valve
US8795327B2 (en) 2010-07-22 2014-08-05 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Electrosurgical instrument with separate closure and cutting members
US9192431B2 (en) 2010-07-23 2015-11-24 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Electrosurgical cutting and sealing instrument
CN102072353A (zh) * 2010-12-31 2011-05-25 上海新拓电力设备有限公司 一种智能往复式煤阀门驱动及控制系统
DE102011106372A1 (de) * 2011-07-04 2013-01-10 Auma Riester Gmbh & Co. Kg Stellantrieb mit einer Baugruppe zur elektrischen manuellen Betätigung eines Stellantriebs
US9259265B2 (en) 2011-07-22 2016-02-16 Ethicon Endo-Surgery, Llc Surgical instruments for tensioning tissue
US9138921B2 (en) * 2011-08-31 2015-09-22 Pregis Intellipack Llc Foam-in-bag apparatus with power-failure protection
US9010361B2 (en) 2011-10-27 2015-04-21 Pentair Residential Filtration, Llc Control valve assembly
GB2496909A (en) * 2011-11-28 2013-05-29 Eaton Aerospace Ltd Valve actuator
DE102012201498A1 (de) * 2012-02-02 2013-08-08 Robert Bosch Gmbh Bedienvorrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Bedienvorrichtung
EP2811932B1 (en) 2012-02-10 2019-06-26 Ethicon LLC Robotically controlled surgical instrument
CN102606786B (zh) * 2012-03-09 2013-06-12 三一重工股份有限公司 一种电动液压阀的控制装置、控制方法及电动液压阀
US20130262025A1 (en) * 2012-03-27 2013-10-03 Hamilton Sundstrand Corporation Extended range absolute position sensing
US9439668B2 (en) 2012-04-09 2016-09-13 Ethicon Endo-Surgery, Llc Switch arrangements for ultrasonic surgical instruments
US20130327403A1 (en) * 2012-06-08 2013-12-12 Kurtis Kevin Jensen Methods and apparatus to control and/or monitor a pneumatic actuator
US20140005705A1 (en) 2012-06-29 2014-01-02 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Surgical instruments with articulating shafts
US9351754B2 (en) 2012-06-29 2016-05-31 Ethicon Endo-Surgery, Llc Ultrasonic surgical instruments with distally positioned jaw assemblies
US9226767B2 (en) 2012-06-29 2016-01-05 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Closed feedback control for electrosurgical device
US9393037B2 (en) 2012-06-29 2016-07-19 Ethicon Endo-Surgery, Llc Surgical instruments with articulating shafts
US9326788B2 (en) 2012-06-29 2016-05-03 Ethicon Endo-Surgery, Llc Lockout mechanism for use with robotic electrosurgical device
US20140005702A1 (en) 2012-06-29 2014-01-02 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Ultrasonic surgical instruments with distally positioned transducers
US9408622B2 (en) 2012-06-29 2016-08-09 Ethicon Endo-Surgery, Llc Surgical instruments with articulating shafts
US9198714B2 (en) 2012-06-29 2015-12-01 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Haptic feedback devices for surgical robot
IN2015DN02432A (ja) 2012-09-28 2015-09-04 Ethicon Endo Surgery Inc
GB2506447B (en) * 2012-10-01 2018-05-09 Linde Ag A flow apparatus
US9095367B2 (en) 2012-10-22 2015-08-04 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Flexible harmonic waveguides/blades for surgical instruments
US20140135804A1 (en) 2012-11-15 2014-05-15 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Ultrasonic and electrosurgical devices
GB2522393B (en) 2012-11-19 2020-08-19 Flowserve Man Co Control systems for valve actuators, valve actuators and related methods
CN103062472B (zh) * 2012-12-12 2014-09-03 哈尔滨工业大学 具有使能保护控制功能的电液伺服阀阀控器
US9201036B2 (en) 2012-12-21 2015-12-01 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Method and system of monitoring electrolyte levels and composition using capacitance or induction
KR200471818Y1 (ko) * 2012-12-24 2014-03-18 한라정공 주식회사 원자로 핵계측 계통의 모터구동 볼밸브
US9157786B2 (en) 2012-12-24 2015-10-13 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Load suspension and weighing system for a dialysis machine reservoir
IL227323A (en) * 2013-07-04 2016-06-30 Israel Radomsky Wireless monitoring system and fault forecasting in linear valves
US9814514B2 (en) 2013-09-13 2017-11-14 Ethicon Llc Electrosurgical (RF) medical instruments for cutting and coagulating tissue
US9618136B2 (en) 2013-09-16 2017-04-11 Fisher Controls International Llc Rotary valve position indicator
US9265926B2 (en) 2013-11-08 2016-02-23 Ethicon Endo-Surgery, Llc Electrosurgical devices
US9354640B2 (en) 2013-11-11 2016-05-31 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Smart actuator for valve
CN104964088B (zh) * 2013-11-25 2020-10-16 费希尔控制国际公司 使用电子阀致动器诊断阀的方法和装置
GB2521228A (en) 2013-12-16 2015-06-17 Ethicon Endo Surgery Inc Medical device
US9795436B2 (en) 2014-01-07 2017-10-24 Ethicon Llc Harvesting energy from a surgical generator
US9554854B2 (en) 2014-03-18 2017-01-31 Ethicon Endo-Surgery, Llc Detecting short circuits in electrosurgical medical devices
US10092310B2 (en) 2014-03-27 2018-10-09 Ethicon Llc Electrosurgical devices
US10463421B2 (en) 2014-03-27 2019-11-05 Ethicon Llc Two stage trigger, clamp and cut bipolar vessel sealer
US9737355B2 (en) 2014-03-31 2017-08-22 Ethicon Llc Controlling impedance rise in electrosurgical medical devices
CN103916062B (zh) * 2014-04-01 2016-06-22 合肥工业大学 一种基于dsp的矢量控制电动执行器
US9913680B2 (en) 2014-04-15 2018-03-13 Ethicon Llc Software algorithms for electrosurgical instruments
FR3024183B1 (fr) * 2014-07-22 2019-07-26 Delphi Technologies Ip Limited Injecteur de carburant
US10285724B2 (en) 2014-07-31 2019-05-14 Ethicon Llc Actuation mechanisms and load adjustment assemblies for surgical instruments
WO2016024340A1 (ja) * 2014-08-12 2016-02-18 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ 回転アクチュエータ
US10639092B2 (en) 2014-12-08 2020-05-05 Ethicon Llc Electrode configurations for surgical instruments
US10245095B2 (en) 2015-02-06 2019-04-02 Ethicon Llc Electrosurgical instrument with rotation and articulation mechanisms
CN104675526B (zh) * 2015-02-15 2017-08-29 江苏苏美达机电科技有限公司 一种汽油机用混合式调速机构
US10342602B2 (en) 2015-03-17 2019-07-09 Ethicon Llc Managing tissue treatment
JP6295222B2 (ja) * 2015-03-17 2018-03-14 アズビル株式会社 ポジショナ
US10321950B2 (en) 2015-03-17 2019-06-18 Ethicon Llc Managing tissue treatment
US10595929B2 (en) 2015-03-24 2020-03-24 Ethicon Llc Surgical instruments with firing system overload protection mechanisms
EP3308228A1 (en) * 2015-06-10 2018-04-18 ABB Schweiz AG Method and controller system for controlling backlash
DE102015008354A1 (de) * 2015-06-27 2016-12-29 Auma Riester Gmbh & Co. Kg Stellantrieb und korrespondierende Verfahren
US10034704B2 (en) 2015-06-30 2018-07-31 Ethicon Llc Surgical instrument with user adaptable algorithms
US11129669B2 (en) 2015-06-30 2021-09-28 Cilag Gmbh International Surgical system with user adaptable techniques based on tissue type
US10898256B2 (en) 2015-06-30 2021-01-26 Ethicon Llc Surgical system with user adaptable techniques based on tissue impedance
US11141213B2 (en) 2015-06-30 2021-10-12 Cilag Gmbh International Surgical instrument with user adaptable techniques
US11051873B2 (en) 2015-06-30 2021-07-06 Cilag Gmbh International Surgical system with user adaptable techniques employing multiple energy modalities based on tissue parameters
ES2902788T3 (es) * 2015-07-22 2022-03-29 Bucher Hydraulics Gmbh Accionamiento lineal eléctrico compacto para una cremallera, en particular de una válvula hidráulica, y procedimiento para su montaje
US10751108B2 (en) 2015-09-30 2020-08-25 Ethicon Llc Protection techniques for generator for digitally generating electrosurgical and ultrasonic electrical signal waveforms
US10595930B2 (en) 2015-10-16 2020-03-24 Ethicon Llc Electrode wiping surgical device
US10179022B2 (en) 2015-12-30 2019-01-15 Ethicon Llc Jaw position impedance limiter for electrosurgical instrument
US10575892B2 (en) 2015-12-31 2020-03-03 Ethicon Llc Adapter for electrical surgical instruments
US10716615B2 (en) 2016-01-15 2020-07-21 Ethicon Llc Modular battery powered handheld surgical instrument with curved end effectors having asymmetric engagement between jaw and blade
US11229471B2 (en) 2016-01-15 2022-01-25 Cilag Gmbh International Modular battery powered handheld surgical instrument with selective application of energy based on tissue characterization
US10537351B2 (en) * 2016-01-15 2020-01-21 Ethicon Llc Modular battery powered handheld surgical instrument with variable motor control limits
US11129670B2 (en) 2016-01-15 2021-09-28 Cilag Gmbh International Modular battery powered handheld surgical instrument with selective application of energy based on button displacement, intensity, or local tissue characterization
US10555769B2 (en) 2016-02-22 2020-02-11 Ethicon Llc Flexible circuits for electrosurgical instrument
GB2547678A (en) * 2016-02-25 2017-08-30 Johnson Electric Sa Method of maintaining a position of an airflow-direction control element of a HVAC system
US10646269B2 (en) 2016-04-29 2020-05-12 Ethicon Llc Non-linear jaw gap for electrosurgical instruments
US10485607B2 (en) 2016-04-29 2019-11-26 Ethicon Llc Jaw structure with distal closure for electrosurgical instruments
US10702329B2 (en) 2016-04-29 2020-07-07 Ethicon Llc Jaw structure with distal post for electrosurgical instruments
US10456193B2 (en) 2016-05-03 2019-10-29 Ethicon Llc Medical device with a bilateral jaw configuration for nerve stimulation
US10376305B2 (en) 2016-08-05 2019-08-13 Ethicon Llc Methods and systems for advanced harmonic energy
US10125699B2 (en) 2016-11-03 2018-11-13 Borgwarner Inc. Method and actuator for use on an engine having a monitoring arrangement for determining a characteristic of [(and)] the actuator and system
US11266430B2 (en) 2016-11-29 2022-03-08 Cilag Gmbh International End effector control and calibration
RU2647804C1 (ru) * 2016-12-21 2018-03-19 Общество с ограниченной ответственностью "Газпром трансгаз Томск" (ООО "Газпром трансгаз Томск") Приводное устройство с энергоаккумуляторами, способ управления приводным устройством и способ управления энергоаккумуляторами приводного устройства
US11119514B2 (en) * 2017-03-17 2021-09-14 Kaneko Sangyo Co., Ltd. Shut-off valve control device, shut-off valve control system, method for calculating shut-off valve control coefficient, and method for controlling shut-off valve
JP6511091B2 (ja) * 2017-06-09 2019-05-15 株式会社日本ピスコ 流量制御弁
JP7189676B2 (ja) * 2018-04-26 2022-12-14 川崎重工業株式会社 ポペット式流量制御弁
JP7278728B2 (ja) * 2018-08-01 2023-05-22 日本ギア工業株式会社 バルブアクチュエータ
US10746314B2 (en) * 2018-09-14 2020-08-18 Fisher Controls International Llc Positioner apparatus for use with fluid valves
US10920899B2 (en) * 2018-10-19 2021-02-16 Flowserve Management Company Electronic valve actuator with predictive self-calibrating torque controller
CN109737234B (zh) * 2019-01-14 2020-05-08 北京市燃气集团有限责任公司 一种轨道阀阀门阀位定位监测装置和监测方法
US10754362B1 (en) * 2019-02-20 2020-08-25 Fisher Controls International, Llc Adjustment of loop-powered pneumatic process control device interfaces
IT201900005614A1 (it) * 2019-04-11 2020-10-11 Camozzi Automation S P A Metodo di rilevazione dello stato di usura di un attuatore elettrico
US11248717B2 (en) 2019-06-28 2022-02-15 Automatic Switch Company Modular smart solenoid valve
RU2719544C1 (ru) * 2019-10-03 2020-04-21 Общество С Ограниченной Ответственностью Научно-Производственное Предприятие "Томская Электронная Компания" Приводное устройство для трубопроводной арматуры, оснащенное энергонакопителем, с функцией перевода трубопроводной арматуры в безопасное положение
EP4067712A4 (en) * 2019-11-25 2023-12-27 M-System Co.,Ltd ACTUATOR AND FLUID CONTROL DEVICE
US20230002035A1 (en) * 2019-12-13 2023-01-05 Eaton Intelligent Power Limited Monitoring actuator system health
CN111000453A (zh) * 2019-12-18 2020-04-14 德商德宝集团有限公司 一种单阀控制式多炉头燃气烧烤炉
US11786291B2 (en) 2019-12-30 2023-10-17 Cilag Gmbh International Deflectable support of RF energy electrode with respect to opposing ultrasonic blade
US11779387B2 (en) 2019-12-30 2023-10-10 Cilag Gmbh International Clamp arm jaw to minimize tissue sticking and improve tissue control
US11660089B2 (en) 2019-12-30 2023-05-30 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a sensing system
US12076006B2 (en) 2019-12-30 2024-09-03 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising an orientation detection system
US11974801B2 (en) 2019-12-30 2024-05-07 Cilag Gmbh International Electrosurgical instrument with flexible wiring assemblies
US12082808B2 (en) 2019-12-30 2024-09-10 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a control system responsive to software configurations
US12023086B2 (en) 2019-12-30 2024-07-02 Cilag Gmbh International Electrosurgical instrument for delivering blended energy modalities to tissue
US11786294B2 (en) 2019-12-30 2023-10-17 Cilag Gmbh International Control program for modular combination energy device
US11779329B2 (en) 2019-12-30 2023-10-10 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a flex circuit including a sensor system
US12114912B2 (en) 2019-12-30 2024-10-15 Cilag Gmbh International Non-biased deflectable electrode to minimize contact between ultrasonic blade and electrode
US11944366B2 (en) 2019-12-30 2024-04-02 Cilag Gmbh International Asymmetric segmented ultrasonic support pad for cooperative engagement with a movable RF electrode
US11950797B2 (en) 2019-12-30 2024-04-09 Cilag Gmbh International Deflectable electrode with higher distal bias relative to proximal bias
US12053224B2 (en) 2019-12-30 2024-08-06 Cilag Gmbh International Variation in electrode parameters and deflectable electrode to modify energy density and tissue interaction
US11452525B2 (en) 2019-12-30 2022-09-27 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising an adjustment system
US11812957B2 (en) 2019-12-30 2023-11-14 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a signal interference resolution system
US11911063B2 (en) 2019-12-30 2024-02-27 Cilag Gmbh International Techniques for detecting ultrasonic blade to electrode contact and reducing power to ultrasonic blade
US11684412B2 (en) 2019-12-30 2023-06-27 Cilag Gmbh International Surgical instrument with rotatable and articulatable surgical end effector
US11937866B2 (en) 2019-12-30 2024-03-26 Cilag Gmbh International Method for an electrosurgical procedure
US20210196361A1 (en) 2019-12-30 2021-07-01 Ethicon Llc Electrosurgical instrument with monopolar and bipolar energy capabilities
US11696776B2 (en) 2019-12-30 2023-07-11 Cilag Gmbh International Articulatable surgical instrument
US12064109B2 (en) 2019-12-30 2024-08-20 Cilag Gmbh International Surgical instrument comprising a feedback control circuit
US11937863B2 (en) 2019-12-30 2024-03-26 Cilag Gmbh International Deflectable electrode with variable compression bias along the length of the deflectable electrode
US11986201B2 (en) 2019-12-30 2024-05-21 Cilag Gmbh International Method for operating a surgical instrument
WO2021228780A1 (en) 2020-05-11 2021-11-18 Rotiny Aps Actuator for fluid flow controllers
NO20200975A1 (en) * 2020-09-07 2022-03-08 Vetco Gray Scandinavia As Multi valve electrical actuator
CN112337259A (zh) * 2020-10-19 2021-02-09 周大福珠宝文化产业园(武汉)有限公司 废气处理系统
BR102021011549A2 (pt) * 2021-06-14 2022-12-27 Petróleo Brasileiro S.A. - Petrobras Dispositivo atuador de válvula micrométrica para o controle da pressão de gás
CN113659879A (zh) * 2021-07-26 2021-11-16 极限人工智能有限公司 一种手术机器人的电机闭环控制装置及方法
CN114576412B (zh) * 2022-03-11 2022-09-23 四川水利职业技术学院 一种带流道保护及蓄能型水电站闸门或阀门的控制系统
US20240219934A1 (en) * 2022-12-29 2024-07-04 Dresser, Llc Valve actuation control

Family Cites Families (67)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3921264A (en) 1974-07-08 1975-11-25 Itt Electrically operated rotational actuator with failsafe disengagement
GB1550492A (en) * 1976-11-16 1979-08-15 Coal Industry Patents Ltd Mineral mining machines
JPS5569375A (en) * 1978-11-20 1980-05-24 Tlv Co Ltd Electric valve
US4373648A (en) * 1980-05-08 1983-02-15 Teepak, Inc. Controlled rate linear motion drive
SU922002A1 (ru) * 1980-09-15 1982-04-23 Донецкий Ордена Трудового Красного Знамени Политехнический Институт Устройство автоматического обнаружени неисправностей приводного регулирующего органа транспортного трубопровода
JPS6115346Y2 (ja) * 1980-12-26 1986-05-13
GB2101355B (en) 1981-04-30 1985-01-16 Rotork Controls Control of valve actuator
JPS5936808A (ja) * 1982-08-26 1984-02-29 Fanuc Ltd バツクラツシユ補正装置
US4527217A (en) * 1983-02-24 1985-07-02 Transmation, Inc. Instrument protective device
SU1143631A1 (ru) * 1983-07-27 1985-03-07 Винницкое Областное Производственное Объединение Грузового Автотранспорта Механизм блокировки вращающегос вала
US4694390A (en) * 1985-06-28 1987-09-15 Electric Power Research Institute, Inc. Microprocessor-based control and diagnostic system for motor operated valves
US4816987A (en) 1985-06-28 1989-03-28 Electric Power Research Institute, Inc. Microprocessor-based control and diagnostic system for motor operated valves
GB8615148D0 (en) * 1986-06-20 1986-07-23 Potterton Int Ltd Motor apparatus for control valve
GB2196494B (en) * 1986-09-03 1991-01-16 Rotork Controls Electric actuators for controlling valves.
US4759386A (en) * 1987-01-20 1988-07-26 Pennwalt Corporation Electromechanical linear actuator
US4807501A (en) * 1987-03-30 1989-02-28 Cincinnati Milacron Inc. Cutting tool having positioning means
US4882937A (en) * 1987-08-20 1989-11-28 Liberty Technology Center, Inc. Strain sensor for attachment to a structural member
JPS6458889A (en) * 1987-08-28 1989-03-06 Bailey Japan Valve rod thrust force detector for control valve
GB8727904D0 (en) * 1987-11-28 1987-12-31 Smith Meters Ltd Programming devices
US5289388A (en) * 1989-04-21 1994-02-22 Vickers, Incorporated Electrohydraulic control of a die casting machine
US4926903A (en) * 1989-05-05 1990-05-22 Tomoe Technical Research Company Butterfly valve having a function for measuring a flow rate and method of measuring a flow rate with a butterfly valve
JPH03939A (ja) * 1989-05-29 1991-01-07 Aisin Seiki Co Ltd スロットル制御装置
US5073091A (en) 1989-09-25 1991-12-17 Vickers, Incorporated Power transmission
GB2266943B (en) 1990-05-04 1994-05-04 Ava Int Corp Fail safe valve actuator
US5142906A (en) * 1990-07-09 1992-09-01 Westinghouse Electric Corp. Apparatus for measuring valve stem loads in a motor operated valve assembly
GB2255866B (en) * 1991-05-14 1995-08-02 Rotork Controls An actuactor and an electric motor drive system
DE4239947C1 (de) 1992-11-27 1993-11-04 Riester Kg Werner Antriebseinheit zur steuerung und regelung von armaturen o. dgl.
US5422808A (en) 1993-04-20 1995-06-06 Anthony T. Catanese, Jr. Method and apparatus for fail-safe control of at least one electro-mechanical or electro-hydraulic component
US5432436A (en) * 1993-06-03 1995-07-11 Liberty Technologies, Inc. Method for remotely approximating the stem thurst of motor operated valves
JP2998519B2 (ja) * 1993-10-27 2000-01-11 松下電器産業株式会社 流体制御装置
JP2998525B2 (ja) * 1993-11-17 2000-01-11 松下電器産業株式会社 水回路装置
DE69332248T2 (de) * 1993-11-19 2003-04-17 Nippon Gear Co., Ltd. Vorrichtung zur kontinuierlichen feststellung von überlast in einer betätigungsvorrichtung eines elektrischen ventils
US5533410A (en) 1993-12-03 1996-07-09 Westinghouse Electric Corporation Motor power measuring cell for motor operated valves
US5469737A (en) * 1993-12-20 1995-11-28 Westinghouse Electric Corporation Method and apparatus for measuring the axial load and position of a valve stem
US5431182A (en) 1994-04-20 1995-07-11 Rosemount, Inc. Smart valve positioner
US5500580A (en) * 1994-09-19 1996-03-19 Hr Textron Inc. Integrated compliance servovalve
DE19600110A1 (de) * 1995-08-10 1997-07-10 Baumueller Nuernberg Gmbh Elektrisches Antriebssystem und Sicherheitsmodul insbesondere in einer Druckmaschine
BG62064B1 (bg) * 1995-12-01 1999-01-29 "Пойнт Ел-България"-Е00Д Автоматична система и метод за регулиране действието науправляем вентил
US5680878A (en) * 1995-12-08 1997-10-28 The Mead Corporation Control valve response measurement device
US5984260A (en) * 1996-10-15 1999-11-16 Baker Hughes Incorporated Electrically driven actuator with failsafe feature
US5986369A (en) 1997-08-19 1999-11-16 Siemens Building Technologies, Inc. Actuator having piezoelectric braking element
JP4099251B2 (ja) 1997-10-03 2008-06-11 西部電機株式会社 ターミナルユニットを組み込んだ弁駆動用アクチュエータ装置
CN2325665Y (zh) * 1998-03-13 1999-06-23 石油大学(华东) 可调频旋转式脉动发生器
US6100655A (en) * 1999-02-19 2000-08-08 Mcintosh; Douglas S. Mechanical return fail-safe actuator for damper, valve, elevator or other positioning device
US6487458B1 (en) 1999-08-31 2002-11-26 Delphi Technologies, Inc. Adaptive closed-loop servo control
US20010048089A1 (en) * 1999-10-01 2001-12-06 William R. Clark Flow control valve assembly
DE19960190A1 (de) * 1999-12-14 2001-07-05 Bosch Gmbh Robert Regelventil
DE10016636A1 (de) * 2000-04-04 2001-10-18 Siemens Ag Stellungsregler, insbesondere für ein durch einen Antrieb betätigbares Ventil
US6814096B2 (en) * 2000-12-15 2004-11-09 Nor-Cal Products, Inc. Pressure controller and method
DE10133631A1 (de) * 2001-07-11 2003-01-30 Siemens Ag Verfahren zur berührungslosen Erfassung der Position einer Drosselklappenwelle eines Drosselklappenstutzens und Drosselklappenstutzen
US6471182B1 (en) * 2001-07-25 2002-10-29 Mcintosh Douglas S. Control valves for heating and cooling systems
DE10137454A1 (de) * 2001-08-02 2003-02-20 Siemens Ag Drosselklappenstutzen
JP2003048136A (ja) 2001-08-09 2003-02-18 Mori Seiki Co Ltd 送り装置の制御方法及び制御装置
EP1454085A4 (en) 2001-11-13 2006-06-07 Emech Control Ltd Formerly Tec PROCESS SOLENOID VALVE
JP3927043B2 (ja) * 2002-02-13 2007-06-06 株式会社山武 フィードバック機構およびバルブポジショナ
CN100404935C (zh) 2002-06-20 2008-07-23 株式会社开滋 用于阀门的致动器
US6953084B2 (en) 2003-01-10 2005-10-11 Woodward Governor Company Actuator for well-head valve or other similar applications and system incorporating same
JP4593936B2 (ja) 2004-01-29 2010-12-08 株式会社カワデン 電動バルブ
JP4369292B2 (ja) * 2004-05-06 2009-11-18 タイコ フローコントロールジャパン株式会社 緊急遮断弁装置
JP4428163B2 (ja) * 2004-07-20 2010-03-10 株式会社デンソー バルブ位置制御装置
GB2417842B (en) * 2004-09-02 2006-08-16 Rotork Controls Improvements to a multi-turn shaft encoder
US7308904B2 (en) * 2004-11-12 2007-12-18 Megtec Systems, Inc. Electric gear motor drive for switching valve
CN100385592C (zh) * 2005-12-09 2008-04-30 国家海洋局第二海洋研究所 一种深海磁性触发开关
US7898147B2 (en) * 2006-05-10 2011-03-01 Honeywell International, Inc. Wireless actuator interface
GB2438024A (en) * 2006-05-11 2007-11-14 Mark Christopher Turpin Valve Controller
JP4835354B2 (ja) * 2006-09-27 2011-12-14 三浦工業株式会社 ニードル弁
JP5361597B2 (ja) * 2009-07-30 2013-12-04 株式会社Lixil 流調弁装置

Also Published As

Publication number Publication date
GB2440040B (en) 2011-03-16
GB0613662D0 (en) 2006-08-16
NO341231B1 (no) 2017-09-18
GB2440040A (en) 2008-01-16
JP2009543004A (ja) 2009-12-03
EP2038713A2 (en) 2009-03-25
RU2009104084A (ru) 2010-08-20
WO2008007058A3 (en) 2009-01-15
GB0713222D0 (en) 2007-08-15
MY184559A (en) 2021-04-02
TW200817613A (en) 2008-04-16
KR20090029282A (ko) 2009-03-20
US20090230338A1 (en) 2009-09-17
US8118276B2 (en) 2012-02-21
KR101557084B1 (ko) 2015-10-02
EP2038713B1 (en) 2019-05-08
RU2461039C2 (ru) 2012-09-10
WO2008007058A2 (en) 2008-01-17
CN101506747A (zh) 2009-08-12
NO20090636L (no) 2009-02-10
BRPI0714375A2 (pt) 2013-03-05
BRPI0714375B1 (pt) 2023-01-24
CN101506747B (zh) 2012-10-10
TWI409398B (zh) 2013-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5700271B2 (ja) バルブアクチュエータの改良
EP0354240B1 (en) Method and apparatus for monitoring and measuring dynamic loads in thrust inducing systems
US7584643B2 (en) Method for testing the functionality of an actuator, especially of an actuator of a safety valve
CN110382922B (zh) 用于对换挡变速器的换挡拨叉进行定位检测的设备和方法
US8047766B2 (en) Electromechanical drive for actuating valves
US9933088B2 (en) Rotary actuated valve with position indicator
JP6745119B2 (ja) 関節型ロボットおよびそのガススプリングのガス減少状態推定方法
KR20050110047A (ko) 브레이크 마모 측정기구, 작동 간극 조절기구 및 복수의전기 모터-작동기 램 조립체를 갖춘 전자식 항공기브레이크 시스템
US5009101A (en) Method and apparatus for monitoring and measuring dynamic loads in thrust inducing systems
TWI520475B (zh) 致動器及其位置檢測方法
US5140853A (en) Method and apparatus for monitoring and measuring dynamic loads in thrust inducing systems
EP2863089B1 (en) Electro-mechanical actuators with integrated high resolution wide operating load range
JP2014169774A (ja) 液圧装置、液圧システム、液圧装置の制御方法および液圧システムの制御方法
KR20220158384A (ko) 엑츄에이팅 기능을 갖는 스프링 행거
CN107600353B (zh) 船用高可靠性数控减摇鳍装置及其控制方法
CN117191383A (zh) 一种用于模拟真空环境的可变中心距齿轮试验机
JP2022098283A (ja) 流体圧直動アクチュエータ、複合アクチュエータ、および複合アクチュエータの制御方法。
CN113404741A (zh) 驱动缸、车辆转向系统和车辆
MATTILA et al. On pressure/force control of a 3 dof water hydraulic manipulator

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100707

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120417

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20120712

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20120720

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120807

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130305

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140107

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140403

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20140819

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141211

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20141219

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150120

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150205

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5700271

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250