JP5688421B2 - Display panel inspection method - Google Patents
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Description
本発明は、表示パネルの検査方法に関し、さらに詳しくは、異物の混入等によって発生する欠陥(不良)の発見に資する表示パネルの検査方法に関する。 The present invention relates to a method of inspecting a Viewing panel, and more particularly, relates to an inspection method for Viewing panel to contribute to the discovery of defects caused by contamination or the like of foreign matter (bad).
液晶表示装置などの表示装置が備える表示パネルの検査工程では、表示パネルに検査用信号を入力して欠陥の有無を検出する点灯検査が行われる(例えば特許文献1参照)。かかる点灯検査では、基板間(液晶表示装置では液晶層内)に異物が混入し、一方の基板(薄膜トランジスタアレイ基板)側の電気的な要素(例えばソース信号線)と他方の基板(カラーフィルタ基板)側の電気的な要素(例えばコモン電極)とが短絡することによって生ずる不具合(点灯不良)等が発見される。 In an inspection process of a display panel included in a display device such as a liquid crystal display device, a lighting inspection is performed in which an inspection signal is input to the display panel to detect the presence or absence of a defect (see, for example, Patent Document 1). In such lighting inspection, foreign matters are mixed between substrates (in the liquid crystal layer in a liquid crystal display device), and electrical elements (for example, source signal lines) on one substrate (thin film transistor array substrate) side and the other substrate (color filter substrate). ) A malfunction (lighting failure) or the like caused by a short circuit with an electrical element (for example, a common electrode) is discovered.
ところが、以下で示すようなケースでは、異物による短絡は、表示パネルの検査工程では発見されずに、表示パネルを組み込んだ表示装置となって初めて顕在化することがある。 However, in the case shown below, a short circuit due to a foreign substance may not be found in the display panel inspection process, but may become apparent only for a display device incorporating the display panel.
図9(a)に示すように、一方の基板101と他方の基板102の間(液晶層103)に異物Fが混入した表示パネルが作製された場合であっても、一方の基板101の電気的要素101a、および、他方の基板102の電気的要素102aのいずれか一方に異物Fが接触していない場合には、両電気的要素101a、102aが短絡しないため、「表示パネル」の検査段階において不良は発生しない。しかし、かかる表示パネルをベゼルなどから構成される表示装置の枠体に組み込んだ場合、表示パネルに微少な歪みが生じ、図9(b)に示すように、一方の基板101の電気的要素101aと他方の基板102の電気的要素102aの両方に異物Fが接触した状態となることがある。つまり、「表示装置」となって初めて異物Fによる短絡が発生することがある(「表示装置」の検査段階において異物Fによる不良(点灯不良等)が顕在化する)。このように、表示装置が完成した後に不良が発見されると、枠体に組み込んだ表示パネルを一旦取り外すなどの措置が必要となるから、製造コスト増加の要因となる。
As shown in FIG. 9A, even when a display panel in which foreign matter F is mixed between one
上記実情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、表示装置となって初めて顕在化する異物の混入などによって発生する不良を、表示パネルの段階で確実に発見することができる表示パネルの検査方法を提供することにある。 In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a display device and turned by the defects caused by such foreign substances for the first time manifested, table display panel that can be reliably found at the stage of the display panel To provide an inspection method.
上記課題を解決するために本発明にかかる表示パネルの検査方法は、表示パネルの画像表示領域の外側の領域における所定部分を押圧するパネル押圧手段と、表示パネルの側縁に沿って設けられた表示パネルの信号配線と電気的に接続された端子部に対して検査用のプローブを接触させるプローブ駆動手段と、を備え、前記パネル押圧手段は、前記表示パネルの各側縁に沿う各外側の領域に二箇所ずつ、前記表示パネルを二分する中央線を対称軸として上下左右対称となるように計八箇所に設けられた所定部分を選択的に押圧可能に構成された表示パネルの検査装置を用いた表示パネルの検査方法であって、表示パネルを一または複数の所定の形状に弾性的に変形させるパネル変形手順と、このパネル変形手順によって前記表示パネルが所定の形状に変形した状態で、前記表示パネルの側縁に沿って設けられた表示パネルの信号配線と電気的に接続された端子部に対して検査用のプローブを接触させ、表示パネルの画像表示領域における欠陥の有無を判定する欠陥判別手順と、を含み、前記パネル変形手順は、前記表示パネルの上側および下側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを左右方向に変形させる第一手順と、前記表示パネルの左側および右側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを上下方向に変形させる第二手順と、前記表示パネルの左上の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分および右下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを右上の角から左下の角に延びる対角線方向に変形させる第三手順と、前記表示パネルの右上の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分および左下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを左上の角から右下の角に延びる対角線方向に変形させる第四手順と、を含み、これら各手順によって前記表示パネルが所定の形状に変形した状態で、前記欠陥判別手順を行うことを要旨とする。 In order to solve the above problems, a display panel inspection method according to the present invention is provided along a panel pressing means for pressing a predetermined portion in an area outside an image display area of the display panel, and along a side edge of the display panel. Probe driving means for bringing an inspection probe into contact with a terminal portion electrically connected to the signal wiring of the display panel, and the panel pressing means are arranged on each outer side along each side edge of the display panel. A display panel inspection apparatus configured to be able to selectively press a predetermined portion provided in a total of eight locations so as to be vertically and horizontally symmetrical about a center line that bisects the display panel in two regions A display panel inspection method used, comprising: a panel deformation procedure for elastically deforming the display panel into one or a plurality of predetermined shapes; An inspection probe is brought into contact with a terminal portion electrically connected to the signal wiring of the display panel provided along the side edge of the display panel in a deformed state, and an image display area of the display panel A defect determination procedure for determining whether or not there is a defect in the panel, and the panel deformation procedure simultaneously presses the predetermined portion in total of four locations provided on each of the upper and lower sides of the display panel, A first procedure for deforming the display panel in the left-right direction and a first step of deforming the display panel in the up-down direction by simultaneously pressing the predetermined portions of a total of four places provided on the left and right sides of the display panel. Two steps, and the two predetermined portions located so as to sandwich the upper left corner of the display panel and the two predetermined portions located so as to sandwich the lower right corner are simultaneously pressed, and the display panel A third step of deforming the screen in a diagonal direction extending from the upper right corner to the lower left corner, and the two predetermined portions located so as to sandwich the upper right corner of the display panel and the lower left corner A fourth step of simultaneously pressing the two predetermined portions to deform the display panel in a diagonal direction extending from the upper left corner to the lower right corner, and the display panel is formed into a predetermined shape by each of these steps. The gist is to perform the defect determination procedure in a deformed state .
本発明にかかる表示パネルの検査方法に用いられる表示パネルの検査装置は、画像表示領域の外側の領域における所定部分を押圧するパネル押圧手段を備えているため、パネルを弾性変形させた状態(所定の形状に撓ませた状態)で検査用のプローブを接触させること(点灯検査を行うこと)ができる。したがって、従来であれば微少な歪みが生ずる表示装置となって初めて顕在化していた異物の混入による不良などを、表示パネルの状態で発見することができる。これにより、検査の信頼性が向上するとともに、表示装置の製造コスト(検査コスト)低減につながる。 Since the display panel inspection apparatus used in the display panel inspection method according to the present invention includes panel pressing means for pressing a predetermined portion in an area outside the image display area, the panel is elastically deformed (predetermined) The probe for inspection can be brought into contact (inspection for lighting) in a state of being bent into the shape of (1). Therefore, it is possible to find defects in the state of the display panel, such as defects caused by the inclusion of foreign matter, which have become apparent for the first time as a display device in which a slight distortion has conventionally occurred. As a result, the reliability of the inspection is improved and the manufacturing cost (inspection cost) of the display device is reduced.
また、上記パネル押圧手段が、表示パネルを二分する中央線を対称軸として上下左右対称となるように設けられた計八箇所の所定部分を選択的に押圧可能に構成されていれば、表示パネルをその上下方向、左右方向、二つの対角線方向に弾性変形させた状態で検査用のプローブを接触させることができる。 In addition, if the panel pressing means is configured to be able to selectively press a total of eight predetermined portions provided to be vertically and horizontally symmetrical about a center line that bisects the display panel, the display panel The probe for inspection can be contacted in a state in which it is elastically deformed in the vertical direction, the horizontal direction, and the two diagonal directions.
本発明にかかる表示パネルの検査方法は、パネルを弾性変形させた状態で検査用のプローブを接触させている(点灯検査を行う)ため、従来であれば微少な歪みが生ずる表示装置となって初めて顕在化していた異物の混入による不良などを、表示パネルの状態で発見することができる。これにより、検査の信頼性が向上するとともに、表示装置の製造コスト(検査コスト)低減につながる。 In the display panel inspection method according to the present invention, an inspection probe is brought into contact with the panel in an elastically deformed state (lighting inspection is performed). It is possible to find defects in the display panel, such as defects caused by the contamination of foreign matters that have been apparent for the first time. As a result, the reliability of the inspection is improved and the manufacturing cost (inspection cost) of the display device is reduced.
また、この場合、第一手順〜第四手順によって所定の形状に弾性変形した表示パネルのそれぞれについて、上記欠陥判別手順を行うようにするとよい。具体的には、第一手順は、表示パネルの上側および下側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の所定部分を同時に押圧するため、表示パネルが左右方向に変形する。第二手順は、表示パネルの左側および右側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の所定部分を同時に押圧するため、表示パネルが上下方向に変形する。第三手順は、表示パネルの左上の角を挟むように位置する二箇所の所定部分および右下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧するため、表示パネルが右上の角から左下の角に延びる対角線に沿って変形する。第四手順は、表示パネルの右上の角を挟むように位置する二箇所の所定部分および左下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧するため、表示パネルが左上の角から右下の角に延びる対角線に沿って変形する。これら各変形状態で検査用のプローブを接触させて検査を行うため、検査の信頼性が向上する。 In this case, the defect determination procedure may be performed for each display panel that is elastically deformed into a predetermined shape by the first to fourth procedures. Specifically, in the first procedure, the display panel is deformed in the left-right direction in order to simultaneously press a predetermined portion of a total of four places provided on each of the upper and lower sides of the display panel. In the second procedure, the display panel is deformed in the vertical direction in order to simultaneously press four predetermined portions provided at two positions on the left and right sides of the display panel. The third procedure is to simultaneously press the two predetermined portions located so as to sandwich the upper left corner of the display panel and the two predetermined portions located so as to sandwich the lower right corner. Deforms along a diagonal extending from the corner to the lower left corner. The fourth procedure is to simultaneously press the two predetermined portions located so as to sandwich the upper right corner of the display panel and the two predetermined portions located so as to sandwich the lower left corner. Deforms along a diagonal extending from the corner to the lower right corner. Since inspection is performed by bringing the inspection probe into contact with each of these deformed states, the reliability of the inspection is improved.
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、特に明示した場合を除き、以下の説明における上下方向とは、図1における上下方向をいい、左右方向とは図1における左右方向をいう。また、高さ方向とは、表示パネルの検査装置1の高さ方向をいい、図2、図3、図8における上下方向をいう。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Unless otherwise specified, the vertical direction in the following description refers to the vertical direction in FIG. 1, and the horizontal direction refers to the horizontal direction in FIG. The height direction refers to the height direction of the display
(液晶表示パネル90の構成)
まず、本発明の一実施形態にかかる表示パネルの検査装置1(以下、単に検査装置1という)によって検査される被検査体である液晶表示パネル90について簡単に説明する。(Configuration of the liquid crystal display panel 90)
First, a liquid
液晶表示パネル90は、一般に知られているTFT(薄膜トランジスタ)アレイ基板91およびCF(カラーフィルタ)基板92を有する。これらの基板の間には液晶が充填される。TFTアレイ基板91には、絵素電極に電圧を印加するためのTFTや、このTFTのゲート電極に走査信号を伝送する走査信号線(ゲート信号線)、ソース電極にデータ信号を伝送するデータ信号線(ソース信号線)などが導体膜によって形成されている。
The liquid
また、TFTアレイ基板91における画像表示領域901(アクティブエリア)の外側の領域902(表示装置において額縁となる領域)には、各走査信号線から引き出される配線のそれぞれに電気的に接続された走査信号線用端子部と、各データ信号線から引き出される配線のそれぞれに電気的に接続されたデータ信号線用端子部が設けられる。走査信号線用端子部からは、各走査信号線に走査信号を入力できる。データ信号線用端子部からは各データ信号線にデータ信号を入力できる。具体的には、後述する検査用プローブ24を各端子部に接触させて、検査用の信号が入力できるように構成されている。以下の説明では、これらをまとめて単に検査用端子部911と称する。
In addition, in a region 902 (region serving as a frame in the display device) outside the image display region 901 (active area) in the
(検査装置の全体構成)
本実施形態にかかる検査装置1は、液晶表示パネル90の所定の部分を押圧するパネル押圧手段10と、液晶表示パネル90の点灯検査に用いられる検査用のプローブを動作させるプローブ駆動手段20と、これらを制御する図示されない制御手段と、を備える。また、検査装置1は、被検査体である液晶表示パネル90が載置されるベース30を備える。かかるベース30は、その外周縁に沿う一定幅の領域が弾性体で形成された受け部31となっている。具体的には、液晶表示パネル90がベース30の所定位置に載置された状態で、液晶表示パネル90の外側の領域902(後述する所定部分が設けられる領域)が受け部31に接触するように設定されている。なお、液晶表示パネル90がベース30の所定の位置に載置されるように、検査装置1には図示されない位置決め部材が設けられている。(Overall configuration of inspection equipment)
The
パネル押圧手段10は、押圧手段用エアシリンダ11と、その先端に取り付けられた押圧部材12と、を備え、押圧手段用エアシリンダ11によって駆動される押圧部材12が、装置のベース30上に載置される液晶表示パネル90の所定部分を押圧する構成である。詳しくは、画像表示領域901(アクティブエリア)の外側の領域902における所定部分を、載置されたパネルの前面(高さ方向における液晶表示パネル90の上面)側から押圧する。
The panel pressing means 10 includes a pressing
本実施形態では、パネル押圧手段10は、表示パネルの各側縁に沿う各外側の領域902に二箇所ずつ、計八箇所の所定部分を押圧することができる位置(各所定部分よりも高い位置)に設けられている。すなわち、検査装置1は計八個のパネル押圧手段10を有する。このパネル押圧手段10によって押圧される複数の所定部分は、液晶表示パネル90の各角(四つの角)を挟むように位置し、液晶表示パネル90を長手方向に二分する中央線Cx、および、短手方向に二分する中央線Cyを対称軸として上下左右対称である。また、かかる複数の所定部分は、液晶表示パネル90における検査装置1のベース30の受け部31に支持された状態(各所定部分と受け部31とが検査装置1の高さ方向で重なった状態)にある。
In the present embodiment, the panel pressing means 10 is capable of pressing a total of eight predetermined portions, two positions on each
制御手段は、各押圧手段用エアシリンダ11に繋がる圧縮空気の流路を開閉する図示されない押圧手段用バルブを独立して制御することができる。つまり、制御手段は、複数のパネル押圧手段10を選択的に動作させることが可能である。一の押圧手段用エアシリンダ11のみを動作させることも可能であるし、複数のうちの二以上の押圧手段用エアシリンダ11を同時に動作させることも可能である。
The control means can independently control a pressure means valve (not shown) that opens and closes a flow path of compressed air connected to each pressure means
各エアシリンダの先端に取り付けられた押圧部材12は、液晶表示パネル90の所定部分に接触する部分である。制御手段が押圧手段用バルブを開放すると、押圧手段用エアシリンダ11の駆動軸が前進し、押圧部材12が液晶表示パネル90に接触する。したがって、押圧部材12はゴム等の弾性体によって形成されていることが望ましい。
The pressing
プローブ駆動手段20は、プローブ駆動用エアシリンダ21と、圧力センサ22と、移動ユニット23と、を備える。プローブ駆動用エアシリンダ21の駆動軸には、圧力センサ22を介して検査用プローブ24が取り付けられている。本実施形態では、一の検査用プローブ24を駆動させるアクチュエータとして、一のプローブ駆動用エアシリンダ21が設けられた構成である。また、圧力センサ22も、複数の検査用プローブ24のそれぞれに設けられている。すなわち、一の検査用プローブ24に対して一のプローブ駆動手段20が設けられている。
The probe driving means 20 includes a probe driving
制御手段は、各プローブ駆動用エアシリンダ21に繋がる圧縮空気の流路を開閉する図示されないプローブ駆動用バルブを独立して制御することができる。つまり、制御手段は、複数のプローブ駆動手段20を選択的に動作させることが可能である。一のプローブ駆動用エアシリンダ21のみを動作させることも可能であるし、複数のうちの二以上のプローブ駆動用エアシリンダ21を同時に動作させることも可能である。
The control means can independently control a probe driving valve (not shown) that opens and closes a flow path of compressed air connected to each probe driving
制御手段がプローブ駆動用バルブを開放すると、プローブ駆動用エアシリンダ21の駆動軸が前進し、検査用プローブ24が液晶表示パネル90の検査用端子部911に接触する。圧力センサ22は、検査用端子部911に接触する検査用プローブ24が受ける力(応力)を測定するものであり、公知のセンサが適用できる。制御手段は、その力が所定の範囲内になるように、プローブ駆動用エアシリンダ21の動力(圧力)を調整する。すなわち、検査用端子部911に接触する検査用プローブ24が受ける力が所定の範囲内になるようにフィードバック制御される。本実施形態では、プローブ駆動用バルブによって、プローブ駆動用エアシリンダ21に供給される空気圧(空気の流量)を調整することにより、検査用プローブ24が検査用端子部911から受ける力が所定の範囲内になるように制御する。
When the control means opens the probe driving valve, the drive shaft of the probe driving
また、移動ユニット23は、各プローブ駆動用エアシリンダ21を液晶表示パネル90の平面方向に移動させる構成である。すなわち、移動ユニット23は、各プローブ駆動用エアシリンダ21に取り付けられた検査用プローブ24および圧力センサ22も液晶表示パネル90の平面方向に移動させる。かかる移動ユニット23は、例えばプローブ駆動用エアシリンダ21を移動させるサーボモータを備える。
The moving
(検査装置1を用いた検査方法)
上記検査装置1を用いた検査方法(検査装置1の動作)について説明する。まず、被検査体である液晶表示パネル90を検査装置1のベース30上に載置する。この際、検査装置1に設けられた図示されない位置決め部材を利用して、液晶表示パネル90をベース30の所定位置に載置する。これにより、液晶表示パネル90の各所定部分(外側の領域902)が、弾性体で形成されたベース30の受け部31に支持された状態(検査装置1の高さ方向に重なった状態)となる。(Inspection method using inspection apparatus 1)
An inspection method (operation of the inspection apparatus 1) using the
このあと、パネル変形手順を行う。パネル変形手順は、制御手段により、一または複数のパネル押圧手段10を選択的に駆動させる。すなわち、液晶表示パネル90の変形させたい部位(所定部分)に対応した押圧手段用エアシリンダ11の駆動軸を前進させる。これにより、前進した駆動軸の先端に設けられた一または複数の押圧部材12が液晶表示パネル90の所定の部分に接触し、液晶表示パネル90が所定の形状に弾性変形する(所定の形状に撓む)。
Thereafter, a panel deformation procedure is performed. In the panel deformation procedure, one or a plurality of panel pressing means 10 are selectively driven by the control means. That is, the drive shaft of the
続いて、欠陥判別手順を行う。まず、液晶表示パネル90が弾性変形した状態を保ちつつ、制御手段により、プローブ駆動用エアシリンダ21の駆動軸を前進させる。これにより、前進した駆動軸に取り付けられた検査用プローブ24の先端が液晶表示パネル90の検査用端子部911に接触する。このとき、制御手段は、圧力センサ22によって検査用端子部911に接触する検査用プローブ24が受ける力を測定し、その力が所定の範囲内になるようにプローブ駆動用エアシリンダ21の動力(圧力)を調整する。すなわち、プローブ駆動用バルブによりプローブ駆動用エアシリンダ21に供給される空気圧(空気の流量)を調整する。
Subsequently, a defect determination procedure is performed. First, while the liquid
このように検査用端子部911に接触する検査用プローブ24が受ける力が調整される理由は次の通りである。上述したように、本検査装置1では、液晶表示パネル90が所定の形状に弾性変形した状態で液晶表示パネル90の検査用端子部911に検査用プローブ24を接触させる。かかる液晶表示パネル90の弾性変形は、原位置にある検査用プローブ24と検査用端子部911との距離を変化させる。したがって、プローブ駆動用エアシリンダ21に供給される空気圧が一定であれば、検査用プローブ24とプローブと検査用端子部911との良好な電気的な接触状態が得られない、検査用プローブ24に過大な力が掛かって検査用プローブ24が破損してしまう、といったおそれがある。
The reason why the force received by the
例えば、図4(a)に示すように、液晶表示パネル90におけるある検査用端子部911が設けられた部分が、液晶表示パネル90の弾性変形によって下方(低い方向)に移動した場合、原位置にある検査用プローブ24と検査用端子部911との距離が通常状態(液晶表示パネル90が弾性変形していない状態)よりも大きくなる。
For example, as shown in FIG. 4A, when a portion of the liquid
このような場合、プローブ駆動用エアシリンダ21に供給される空気圧が一定であれば、検査用プローブ24と検査用端子部911との距離が通常状態よりも大きくなるため、両者が十分な圧力で接触しないおそれがある。
In such a case, if the air pressure supplied to the probe driving
一方、図4(b)に示すように、液晶表示パネル90におけるある検査用端子部911が設けられた部分が、液晶表示パネル90の弾性変形によって上方(高い方向)に移動した場合には、原位置にある検査用プローブ24と検査用端子部911との距離が通常状態よりも小さくなる。
On the other hand, as shown in FIG. 4B, when a portion of the liquid
このような場合、プローブ駆動用エアシリンダ21に供給される空気圧が一定であれば、検査用プローブ24と検査用端子部911との距離が通常状態よりも小さくなるため、検査用プローブ24に過大な力が掛かって検査用プローブ24が破損してしまうおそれがある。
In such a case, if the air pressure supplied to the probe driving
これに対し本実施形態では、圧力センサ22によって、検査用端子部911に接触する検査用プローブ24が受ける力が一定の範囲内に調整されるため、このようなおそれはない。つまり、液晶表示パネル90がどのような形状に弾性変形したとしても、検査用プローブ24と検査用端子部911とを電気的に良好な状態で接触させることができ、かつ、検査用プローブ24が破損してしまうおそれがない。すなわち、本実施形態にかかる検査装置1が有するプローブ駆動手段20は、パネル押圧手段10によって液晶表示パネル90を所定の形状に弾性変形させつつ点灯検査を行うことで生ずるおそれのある不具合の発生が防止された構成である。
On the other hand, in the present embodiment, the
また、図4(a)、(b)に示すように、液晶表示パネル90におけるある検査用端子部911が設けられた部分が、液晶表示パネル90の弾性変形によって下方や上方に移動した場合、液晶表示パネル90に設けられた検査用端子部911の中心位置が液晶表示パネル90の平面方向にずれる。これに対し、本実施形態では、移動ユニット23により、検査用プローブ24が液晶表示パネル90の平面方向に移動可能に構成されている。これに合わせて検査用プローブ24を液晶表示パネル90の平面方向に移動させれば、検査用端子部911の略中央位置に検査用プローブ24を接触させることができる(検査用端子部911の略中央位置を狙って検査用プローブ24を高さ方向に動作させることができる)。したがって、検査用プローブ24を確実に検査用端子部911に接触させることができる。
Further, as shown in FIGS. 4A and 4B, when a portion of the liquid
このように、本実施形態では、圧力センサ22を用いたフィードバック制御や、検査用プローブ24を液晶表示パネル90の平面方向に移動させる移動ユニット23により、欠陥判別手順における検査用プローブ24と検査用端子部911の良好な電気的な接触状態を確実に実現できる。
Thus, in the present embodiment, the
検査用プローブ24と検査用端子部911とが接触した後、制御手段は、検査用プローブ24を介して液晶表示パネル90に検査用信号を入力する。そして、この状態を維持したまま、点灯検査を行う。すなわち、目視や画像処理によって表示パネルの画像表示領域901における欠陥の有無を判別する。
After the
欠陥が存在しなければ、プローブ駆動手段20(プローブ駆動用エアシリンダ21)を原位置に戻す。そして、一または複数のパネル押圧手段10(押圧手段用エアシリンダ11)を駆動させ、液晶表示パネル90を別の形状に弾性変形させるパネル変形手順を行う。そして、この弾性変形した状態を維持したまま、上記と同様の欠陥判別手順を行う。これを繰り返して検査が終了する。すなわち、予め点灯検査を行う液晶表示パネル90の変形形状を設定し、この設定された液晶表示パネル90の変形形状の全てについて点灯検査を行う。全ての変形形状についての点灯検査を行ったことをもって検査が終了する。
If there is no defect, the probe driving means 20 (probe driving air cylinder 21) is returned to the original position. And the panel deformation | transformation procedure which drives the 1 or several panel press means 10 (
次に、パネル押圧手段10の動作手順(パネル変形手順)の好適な一例について説明する。この好適な一例にかかるパネル変形手順は、第一手順〜第四手順を含むものである。すなわち、液晶表示パネル90を四種類の形状に弾性変形させ、各変形状態にある液晶表示パネル90について点灯検査(欠陥判別手順)を行う)ものである。
Next, a preferred example of the operation procedure (panel deformation procedure) of the panel pressing means 10 will be described. The panel deformation procedure according to this preferred example includes the first procedure to the fourth procedure. That is, the liquid
第一手順は、図5に示すように、表示パネルの上側および下側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の所定部分(図5(b)においてPで示す部分)を同時に押圧する工程である。これにより、表示パネルがその左右方向に弾性変形する。具体的には、表示パネルの上側縁および下側縁が低くなる方向に移動し、表示パネルの上下方向における略中央部が最も高くなった状態となる。この後、点灯検査(欠陥判別手順)を行い、かかる変形状態における欠陥の有無を判別する。 As shown in FIG. 5, the first procedure is a step of simultaneously pressing a predetermined part (a part indicated by P in FIG. 5B) of a total of four places provided at two places on the upper and lower sides of the display panel. It is. As a result, the display panel is elastically deformed in the left-right direction. Specifically, the upper edge and the lower edge of the display panel move in a lowering direction, and the substantially central portion in the vertical direction of the display panel becomes the highest. Thereafter, a lighting inspection (defect determination procedure) is performed to determine the presence or absence of defects in the deformed state.
第二手順は、図6に示すように、表示パネルの左側および右側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の所定部分(図6(b)においてPで示す部分)を同時に押圧する工程である。これにより、表示パネルがその上下方向に弾性変形する。具体的には、表示パネルの左側縁および右側縁が低くなる方向に移動し、表示パネルの左右方向における略中央部が最も高くなった状態となる。この後、点灯検査(欠陥判別手順)を行い、かかる変形状態における欠陥の有無を判別する。 As shown in FIG. 6, the second procedure is a step of simultaneously pressing a predetermined portion (portion indicated by P in FIG. 6 (b)) provided at two places on each of the left and right sides of the display panel. is there. As a result, the display panel is elastically deformed in the vertical direction. Specifically, the left and right edges of the display panel move in the direction of lowering, and the substantially central portion in the left and right direction of the display panel is in the highest state. Thereafter, a lighting inspection (defect determination procedure) is performed to determine the presence or absence of defects in the deformed state.
第三手順は、図7に示すように、表示パネルの左上の角を挟むように位置する二箇所の所定部分および右下の角を挟むように位置する二箇所の所定部分(図7(b)においてPで示す計四箇所)を同時に押圧する工程である。これにより、表示パネルがその右上の角から左下の角に延びる対角線方向に弾性変形する。具体的には、表示パネルの左上の角および右上の角が低くなる方向に移動し、表示パネルの右上の角から左下の角に延びる対角線に沿った部分が最も高くなった状態となる。この後、点灯検査(欠陥判別手順)を行い、かかる変形状態における欠陥の有無を判別する。 As shown in FIG. 7, the third procedure consists of two predetermined portions located so as to sandwich the upper left corner of the display panel and two predetermined portions located so as to sandwich the lower right corner (FIG. 7 (b ) In which a total of four locations indicated by P are simultaneously pressed. As a result, the display panel is elastically deformed in a diagonal direction extending from the upper right corner to the lower left corner. Specifically, the display panel moves in a direction in which the upper left corner and the upper right corner become lower, and the portion along the diagonal line extending from the upper right corner to the lower left corner of the display panel becomes the highest state. Thereafter, a lighting inspection (defect determination procedure) is performed to determine the presence or absence of defects in the deformed state.
第四手順は、図8に示すように、表示パネルの右上の角を挟むように位置する二箇所の所定部分および左下の角を挟むように位置する二箇所の所定部分(図8(b)においてPで示す計四箇所)を同時に押圧する工程である。これにより、表示パネルがその左上の角から右下の角に延びる対角線方向に弾性変形する。具体的には、表示パネルの右上の角および左の角が低くなる方向に移動し、表示パネルの左上の角から右下の角に延びる対角線に沿った部分が最も高くなった状態となる。この後、点灯検査(欠陥判別手順)を行い、かかる変形状態における欠陥の有無を判別する。 As shown in FIG. 8, the fourth procedure includes two predetermined portions positioned so as to sandwich the upper right corner of the display panel and two predetermined portions positioned so as to sandwich the lower left corner (FIG. 8B). Is a step of simultaneously pressing a total of four locations indicated by P in FIG. Thereby, the display panel is elastically deformed in a diagonal direction extending from the upper left corner to the lower right corner. Specifically, the upper right corner and the left corner of the display panel move in the direction of lowering, and the portion along the diagonal line extending from the upper left corner of the display panel to the lower right corner becomes the highest state. Thereafter, a lighting inspection (defect determination procedure) is performed to determine the presence or absence of defects in the deformed state.
なお、かかるパネル押圧手段10の動作手順は、第一手順、第二手順、第三手順、第四手順の順に行わなければならないものではなく、その順序は変更可能である。 The operation procedure of the panel pressing means 10 does not have to be performed in the order of the first procedure, the second procedure, the third procedure, and the fourth procedure, and the order can be changed.
以上説明したパネル押圧手段10の動作手順では、表示パネルを上下方向、左右方向、および、二つの対角線方向に変形させ、各変形状態において欠陥が存在しないか点灯検査を行う。したがって、一の変形状態のみの点灯検査では発見できないおそれのある不良を発見することができる。 In the operation procedure of the panel pressing means 10 described above, the display panel is deformed in the up-down direction, the left-right direction, and two diagonal directions, and a lighting inspection is performed to check for defects in each deformed state. Therefore, it is possible to find a defect that may not be found by a lighting inspection in only one deformed state.
なお、かかるパネル押圧手段10の動作手順はあくまで好適な一例である。液晶表示パネル90の弾性変形した状態が、液晶表示パネル90がベゼルなどから構成される表示装置の枠体に組み込んだ場合の状態と類似した状態となるようにする構成であれば、押圧部材12によって押圧される位置や圧力、その順序等は適宜変更可能である。
The operation procedure of the
(本実施形態の効果)
以上説明した本実施形態にかかる検査装置1(液晶表示パネルの検査方法)によれば、次のような作用効果が奏される。(Effect of this embodiment)
According to the inspection apparatus 1 (liquid crystal display panel inspection method) according to the present embodiment described above, the following operational effects are exhibited.
本発明にかかる液晶表示パネルの検査装置1は、画像表示領域901の外側の領域902における所定部分を押圧するパネル押圧手段10を備えているため、パネルを弾性変形させた状態(所定の形状に撓ませた状態)で検査用プローブ24を接触させること(点灯検査を行うこと)ができる。したがって、従来であれば微少な歪みが生ずる表示装置となって初めて顕在化していた異物の混入による不良などを、液晶表示パネル90の状態で発見することができる。これにより、検査の信頼性が向上するとともに、表示装置の製造コスト(検査コスト)低減につながる。
Since the liquid crystal display
また、パネル押圧手段10は、液晶表示パネル90の複数箇所の所定部分を選択的に押圧可能に構成されているため、液晶表示パネル90を様々な形状に弾性変形させることができる。そのため、異物の混入による不良がより確実に検出される。つまり、検査の信頼性がさらに向上する。
Further, since the panel pressing means 10 is configured to be able to selectively press a plurality of predetermined portions of the liquid
また、上記実施形態のように、パネル押圧手段10が、液晶表示パネル90を二分する中央線Cx、Cyを対称軸として上下左右対称となるように設けられた計八箇所の所定部分を選択的に押圧可能に構成されていれば、液晶表示パネル90をその上下方向、左右方向、二つの対角線方向に弾性変形させた状態で検査用プローブ24を接触させることができる。
Further, as in the above-described embodiment, the panel pressing means 10 selectively selects a total of eight predetermined portions provided to be vertically and horizontally symmetrical about the center lines Cx and Cy that bisect the liquid
また、検査装置1は、液晶表示パネル90を弾性変形させた状態で検査用プローブ24を接触させるものであるから、液晶表示パネル90の変形状態(変形量など)によって、液晶表示パネル90(検査用端子部911)と各検査用プローブ24との距離が変化する。したがって、検査時に検査用プローブ24が液晶表示パネル90の方向に向けて常に同じ動作をするようにプローブ駆動手段20を構成すると、検査用プローブ24と検査用端子部911の距離が近い場合には検査用プローブ24に過大な力が掛かって検査用プローブ24が破損してしまい、検査用プローブ24と検査用端子部911の距離が遠い場合には検査用プローブ24と検査用端子部911との良好な電気的な接触状態が得られないなどの不具合が発生するおそれがある。これに対し本実施形態では、圧力センサ22によって検査用プローブ24が検査用端子部911から受ける力が所定の範囲内(検査用プローブ24が破損してしまうおそれがなく、かつ、検査用プローブ24と検査用端子部911との良好な電気的な接触状態が得られる圧力範囲内)になるように制御されるため、液晶表示パネル90を弾性変形させた状態で検査することによって生ずる不具合の発生が防止される。
In addition, since the
また、本実施形態では、検査用プローブ24を動作させるアクチュエータとしてエアシリンダを採用しているため、エアシリンダに供給する空気圧を調整することにより、検査用端子部911から受ける力が所定の範囲内になるよう制御される。このように、プローブ駆動手段20の構成が容易であり、かつ、検査用プローブ24の圧力制御も容易である。
In this embodiment, since an air cylinder is employed as an actuator for operating the
また、上記構成は、液晶表示パネル90を弾性変形させた状態で検査用の検査用プローブ24を接触させるものであるから、液晶表示パネル90の変形状態(変形量など)によって、液晶表示パネル90の平面方向における検査用端子部911の位置が微妙に変化する。これに対し本実施形態では、検査用プローブ24を液晶表示パネル90の平面方向に移動させる移動ユニット23が設けられているため、液晶表示パネル90の弾性変形によって液晶表示パネル90の平面方向における検査用端子部911の位置が変化する場合であっても、検査用プローブ24が検査用端子部911の略中央に接触するように液晶表示パネル90の平面方向における検査用プローブ24の位置を調整することができる。つまり、検査用プローブ24と検査用端子部911とを確実に電気的に接触させることができる。
In the above configuration, the
一方、本実施形態にかかる液晶表示パネルの検査方法は、パネルを弾性変形させた状態で検査用プローブ24を接触させている(点灯検査を行う)ため、従来であれば微少な歪みが生ずる表示装置となって初めて顕在化していた異物の混入による不良などを、液晶表示パネル90の状態で発見することができる。これにより、検査の信頼性が向上するとともに、液晶表示装置の製造コスト(検査コスト)低減につながる。
On the other hand, in the liquid crystal display panel inspection method according to the present embodiment, the
また、本実施形態にかかる検査方法では、上記第一手順〜第四手順によって所定の形状に弾性変形した液晶表示パネル90のそれぞれについて、上記欠陥判別手順を行う。つまり、様々な状態に液晶表示パネル90を変形させて点灯検査を行うため、検査の信頼性が向上する。
Further, in the inspection method according to the present embodiment, the defect determination procedure is performed for each of the liquid
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
例えば、上記検査装置1(検査方法)は、被検査体の例として液晶表示パネル90を挙げて説明したが、その他の表示パネルの検査装置(検査方法)に適用することも可能である。
For example, the inspection apparatus 1 (inspection method) has been described by taking the liquid
また、パネル押圧手段10やプローブ駆動手段20に用いるアクチュエータは、エアシリンダ以外のアクチュエータを採用することも可能である。なお、プローブ駆動手段20に用いるアクチュエータは、検査用プローブ24が進退動作する距離(検査用プローブ24が検査用端子部911に接触する圧力)を制御可能なものとする必要がある。
The actuator used for the panel pressing means 10 and the probe driving means 20 can be an actuator other than an air cylinder. The actuator used for the probe driving means 20 needs to be able to control the distance (the pressure at which the
Claims (1)
表示パネルの側縁に沿って設けられた表示パネルの信号配線と電気的に接続された端子部に対して検査用のプローブを接触させるプローブ駆動手段と、
を備え、
前記パネル押圧手段は、前記表示パネルの各側縁に沿う各外側の領域に二箇所ずつ、前記表示パネルを二分する中央線を対称軸として上下左右対称となるように計八箇所に設けられた所定部分を選択的に押圧可能に構成された表示パネルの検査装置を用いた表示パネルの検査方法であって、
表示パネルを一または複数の所定の形状に弾性的に変形させるパネル変形手順と、
このパネル変形手順によって前記表示パネルが所定の形状に変形した状態で、前記表示パネルの側縁に沿って設けられた表示パネルの信号配線と電気的に接続された端子部に対して検査用のプローブを接触させ、表示パネルの画像表示領域における欠陥の有無を判定する欠陥判別手順と、
を含み、
前記パネル変形手順は、
前記表示パネルの上側および下側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを左右方向に変形させる第一手順と、
前記表示パネルの左側および右側に各二箇所ずつ設けられた計四箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを上下方向に変形させる第二手順と、
前記表示パネルの左上の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分および右下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを右上の角から左下の角に延びる対角線方向に変形させる第三手順と、
前記表示パネルの右上の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分および左下の角を挟むように位置する二箇所の前記所定部分を同時に押圧し、前記表示パネルを左上の角から右下の角に延びる対角線方向に変形させる第四手順と、
を含み、
これら各手順によって前記表示パネルが所定の形状に変形した状態で、前記欠陥判別手順を行うことを特徴とする表示パネルの検査方法。 Panel pressing means for pressing a predetermined portion in an area outside the image display area of the display panel;
Probe driving means for bringing an inspection probe into contact with a terminal portion electrically connected to the signal wiring of the display panel provided along the side edge of the display panel;
With
The panel pressing means are provided at a total of eight locations so as to be vertically and horizontally symmetrical about a center line that bisects the display panel, two on each outer region along each side edge of the display panel. A display panel inspection method using a display panel inspection device configured to be capable of selectively pressing a predetermined portion,
A panel deformation procedure for elastically deforming the display panel into one or more predetermined shapes;
In a state where the display panel is deformed into a predetermined shape by the panel deformation procedure, the terminal portion electrically connected to the signal wiring of the display panel provided along the side edge of the display panel is used for inspection. A defect determination procedure for contacting the probe and determining the presence or absence of defects in the image display area of the display panel;
Including
The panel deformation procedure is as follows:
A first step of simultaneously pressing the predetermined portions of a total of four locations provided on each of the upper and lower sides of the display panel to deform the display panel in the left-right direction;
A second procedure of simultaneously pressing the predetermined portions of a total of four places provided on each of the left and right sides of the display panel to deform the display panel in the vertical direction;
The two predetermined portions positioned so as to sandwich the upper left corner of the display panel and the two predetermined portions positioned so as to sandwich the lower right corner are simultaneously pressed, and the display panel is moved from the upper right corner to the lower left corner. A third step of deforming in a diagonal direction extending to the corner of
The two predetermined portions positioned so as to sandwich the upper right corner of the display panel and the two predetermined portions positioned so as to sandwich the lower left corner are pressed simultaneously, and the display panel is moved from the upper left corner to the lower right corner. A fourth step of deforming in a diagonal direction extending to the corner of
Including
A display panel inspection method, wherein the defect determination procedure is performed in a state where the display panel is deformed into a predetermined shape by each of these procedures.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012556821A JP5688421B2 (en) | 2011-02-08 | 2012-01-25 | Display panel inspection method |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011024676 | 2011-02-08 | ||
JP2011024676 | 2011-02-08 | ||
PCT/JP2012/051532 WO2012108262A1 (en) | 2011-02-08 | 2012-01-25 | Display panel inspection device and display panel inspection method |
JP2012556821A JP5688421B2 (en) | 2011-02-08 | 2012-01-25 | Display panel inspection method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012108262A1 JPWO2012108262A1 (en) | 2014-07-03 |
JP5688421B2 true JP5688421B2 (en) | 2015-03-25 |
Family
ID=46638479
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012556821A Expired - Fee Related JP5688421B2 (en) | 2011-02-08 | 2012-01-25 | Display panel inspection method |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5688421B2 (en) |
CN (1) | CN103348282B (en) |
WO (1) | WO2012108262A1 (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104020590A (en) * | 2013-03-01 | 2014-09-03 | 深圳市海洋王照明工程有限公司 | Liquid crystal display screen torsion resistance performance testing method |
CN104236445B (en) * | 2013-06-06 | 2017-03-29 | 纬创资通股份有限公司 | Detection instrument and the detection method using detection tool detection Inward deflection degree |
CN103345077B (en) * | 2013-06-19 | 2016-03-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | The quality detection device of liquid crystal display module and using method thereof |
JP6002161B2 (en) * | 2014-01-17 | 2016-10-05 | 大日化成工業株式会社 | Synthetic resin plate automatic bonding equipment |
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JP6811773B2 (en) | 2015-11-24 | 2021-01-13 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | How to Quantify PhotoPretismogram (PPG) Signal Quality |
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-
2012
- 2012-01-25 CN CN201280008208.7A patent/CN103348282B/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-01-25 JP JP2012556821A patent/JP5688421B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-01-25 WO PCT/JP2012/051532 patent/WO2012108262A1/en active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103348282B (en) | 2016-02-24 |
JPWO2012108262A1 (en) | 2014-07-03 |
CN103348282A (en) | 2013-10-09 |
WO2012108262A1 (en) | 2012-08-16 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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