JP5664829B2 - 高周波モジュール - Google Patents
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Description
本発明は、熱可塑性樹脂など、加熱加圧時に流動性を有する樹脂を基材とする多層基板に構成される高周波モジュールに関し、特に内部にノイズ発生源となる部品を含む高周波モジュールに関するものである。
電子機器の小型化のため、電子機器内の回路基板に部品を如何に高密度に実装するかは常に技術的な課題とされる。高密度化の手段として、回路基板に実装する部品をモジュール化することは有効である。このようなモジュール部品には、多層基板にチップ部品を内蔵されるタイプが多い。
このように、多層基板にIC等のチップ部品を内蔵されたモジュール部品において、例えば発振回路を備えたICを内蔵する高周波モジュールを構成する場合、発振回路から発生される高周波ノイズによる周辺回路への影響が問題となることがある。このような高周波ノイズの影響を抑制するために、ICチップの近傍にグランド導体パターンを近接配置することが例えば特許文献1に示されている。
ところで、多層基板の基材層に熱可塑性樹脂を用いることが近年注目されている。この多層基板は、熱可塑性樹脂基材の表面にCu箔が貼付され、そのCu箔のエッチングにより回路パターンが形成され、複数の基材層が積層されて、熱圧着することで多層基板が形成される。この多層基板の内部に部品が内蔵されるときは、その部品の周りの樹脂が上記熱圧着時に流動して、部品が固定化される。このように熱可塑性樹脂は簡易なプロセスで多層基板を形成できることが特徴である。
しかし、基材層に熱可塑性樹脂を用いて上記工法により、発振回路を含むICチップを内蔵した多層基板を構成しようとした場合、発振回路付近からのノイズ輻射を抑制するグランド導体パターンを近接配置すると次の問題が生じるおそれがある。すなわち、ICチップの周囲は予め形成されたキャビティであるため、そのキャビティに多量の樹脂を流入させる必要があるにもかかわらず、上記グランド導体パターンが樹脂の回り込みを阻害する。その結果、キャビティ内への樹脂の回り込み不足により隙間が発生し、ICチップの固定不良が生じるおそれがあった。
図9はその例を示す図である。図9中の(1)に示すように、開口が形成された基材層1c,1dと開口の無い基材層1a,1bとの積層体によってキャビティ4が形成され、そのキャビティ4内にICチップ20が設置され、その後、図9中の(2)に示すように基材層1e,1fによる積層体が被せられる。続いて、図9中の(3)に示すように加熱加圧する。このとき、グランド導体パターン2iが樹脂の回り込みを阻害し、隙間Vdが残る(形成される)。
本発明の目的は、熱可塑性樹脂の基材層を含む多層基板のキャビティ内に、ノイズ発生源を含む部品が配置される場合に、部品周囲の隙間の発生を防止または抑制した高周波モジュールを提供することにある。
本発明の高周波モジュールは次のように構成される。
(1)積層により多層基板を構成するとともに内部にキャビティを形成する複数の絶縁性基材層と、前記キャビティ内に配置される、ノイズ発生源を含む部品と、前記多層基板内に形成されるグランド導体とを備える高周波モジュールにおいて、
前記絶縁性基材層は加熱加圧時に流動性を有する熱可塑性樹脂の層であり、
前記グランド導体は前記キャビティの内面に露出しない層に配置されていて、
前記グランド導体と導通し、前記部品に形成される導体部に導通せずに、前記部品の局部に対向する位置に、前記グランド導体から前記キャビティの方向へ突出する層間接続導体を備えていることを特徴とする。
前記絶縁性基材層は加熱加圧時に流動性を有する熱可塑性樹脂の層であり、
前記グランド導体は前記キャビティの内面に露出しない層に配置されていて、
前記グランド導体と導通し、前記部品に形成される導体部に導通せずに、前記部品の局部に対向する位置に、前記グランド導体から前記キャビティの方向へ突出する層間接続導体を備えていることを特徴とする。
この構成により、グランド導体パターンがキャビティの直近に存在しないので、多層基板の製造時に、キャビティと部品との間に隙間が発生し難く、部品はキャビティ内へ確実に固定される。
(2)前記グランド導体は、前記絶縁性基材層の層方向に平面状に広がる平面グランド導体であることが好ましい。この構成によりグランド導体によるノイズの遮蔽効果が高まる。
(3)前記平面グランド導体は、前記キャビティ(ノイズ発生源)を層方向に挟む少なくとも2つの平面グランド導体であり、この2つの平面グランド導体から前記キャビティ方向へ前記層間接続導体がそれぞれ突出していることが好ましい。この構成により、キャビティ内の部品から発生されるノイズの輻射をより抑制できる。
(4)前記層間接続導体は前記部品内のノイズ発生源に近接する位置に配置されていることが好ましい。この構成により、ノイズ発生源からのノイズの輻射をより抑制できる。
(5)前記ノイズ発生源は例えば発振回路である。
(6)前記層間接続導体は、前記平面グランド導体から前記キャビティの方向へ先太りの形状であることが好ましい。このことにより、ノイズ発生源に対して近接位置で対向する導体(層間接続導体)の対向面積を確保しやすくなり、ノイズ輻射の抑制効果が高まる。
本発明によれば、加熱加圧時に流動性を有する樹脂の基材層を含み、多層基板のキャビティ内に、ノイズ発生源を含む部品が配置される場合であっても、ノイズ低減効果を維持しつつ、部品周囲の隙間の発生を抑制できる。
《第1の実施形態》
図1は第1の実施形態に係る高周波モジュール101の構造を示す図であり、高周波モジュール101を実装基板30に実装した状態での断面図である。この高周波モジュール101は、絶縁性基材層1a〜1fの積層により形成される多層基板10に構成されている。この多層基板10の内部にはキャビティが形成されていて、キャビティ内にICチップ20が配置(埋設)されている。後に示すように、このICチップはノイズ発生源を含む部品である。多層基板10内には平面状に広がる平面グランド導体2c,2e,2fを備える。多層基板10にはその他の導体パターン2a,2b,2dを備えている。また、層間接続導体(ビア導体)3a,3b,3c,3d,3e,3f,3g,3h,3i等を備えている。
図1は第1の実施形態に係る高周波モジュール101の構造を示す図であり、高周波モジュール101を実装基板30に実装した状態での断面図である。この高周波モジュール101は、絶縁性基材層1a〜1fの積層により形成される多層基板10に構成されている。この多層基板10の内部にはキャビティが形成されていて、キャビティ内にICチップ20が配置(埋設)されている。後に示すように、このICチップはノイズ発生源を含む部品である。多層基板10内には平面状に広がる平面グランド導体2c,2e,2fを備える。多層基板10にはその他の導体パターン2a,2b,2dを備えている。また、層間接続導体(ビア導体)3a,3b,3c,3d,3e,3f,3g,3h,3i等を備えている。
絶縁性基材層1a〜1fはそれぞれ熱可塑性樹脂による層である。平面グランド導体2c,2eはキャビティの内面に露出しない位置(層)に配置されている。そして、平面グランド導体2c,2eからキャビティ(ICチップ)方向へ突出する層間接続導体3e,3f,3h,3iを備えている。
ICチップ20にはノイズ発生源NSが構成されている。このノイズ発生源NSは例えば発振回路である。前記層間接続導体3e,3f,3h,3iは、平面グランド導体2c,2eから特にノイズ発生源NSに近接するように突出している。
多層基板10の上面にはチップ部品が表面実装されているが、図1では表れていない。
高周波モジュール101は実装基板30への表面実装状態で、実装用電極31a,31bに、高周波モジュール101の実装用端子2a,2bが接続される。
図2は、多層基板内のキャビティの一面とICチップ20との関係を示す分解断面図である。ICチップ20のサブストレートSUの表面(図2の向きでは下面側)の回路形成層CRに所定の高周波回路が構成されている。この回路形成層CRの表面に再配線層RWが形成されていて、この再配線層RWの表面に電極パッドPDが露出されている。多層基板のキャビティの内面に露出している層間接続導体3gと電気的に接続される。層間接続導体3e,3fについては、ICチップ20の何らかの電極パッドと導通するわけではなく、ノイズ発生源NSに近接するだけである。
図3は前記多層基板を構成する各層に形成されている導体パターンを示す図である。これらの図は、いずれも絶縁性基材層(以下、単に「基材層」)についての上面図である。図1は図3におけるA−A断面である。
基材層1fは最上層であり、この基材層1fには高周波フィルタ21搭載用の電極が形成されている。基材層1eの上面には平面グランド導体2e、内部には層間接続導体3h,3i等が形成されている。基材層1dにはキャビティ4(開口)が形成されている。基材層1cの下面には平面グランド導体2cが形成されていて、内部に層間接続導体3e,3f,3g等が形成されている。基材層1bの下面には平面グランド導体2fが形成されていて、内部に層間接続導体3c,3d等が形成されている。基材層1aの下面には複数の実装用端子が形成されていて、内部に層間接続導体3a,3b等が形成されている。
図4は前記高周波モジュールの製造工程を示す図である。図4において(1)〜(3)は各過程での断面図、(4)は実装基板への実装状態での断面図である。
樹脂層に形成される配線パターンは、例えば樹脂シートに貼付された銅箔をエッチングにより除去することで形成される。層間接続導体は、樹脂シートにビアホールを形成し、形成されたビアホールに導電ペーストを注入し、一括積層時に加熱固化することで形成される。すなわち、この層間接続導体で樹脂シートの銅箔間の導通が確保される。
図4中の(1)に示すように、開口が形成された基材層1dと開口の無い基材層1a,1b,1cとの積層体によってキャビティ4が形成され、そのキャビティ4内にICチップ20が設置され、その後、図4中の(2)に示すように基材層1e,1fによる積層体が被せられる。続いて、図4中の(3)に示すように加熱加圧する。このとき、平面グランド導体2c,2eは樹脂の回り込みを阻害しない。そのため隙間が残る(形成される)ことは殆どない。
以上のようにして高周波モジュール101が構成される。この高周波モジュール101は、図4中の(4)に示すように実装基板に表面実装される。
図5は高周波モジュール101に構成される回路のブロック図である。高周波モジュール101はICチップ20、高周波フィルタ21およびシリアルデータ入出力コントローラ23を備えている。ICチップ20には、平衡・不平衡変換回路20b、アナログフロントエンド回路20c、ベースバンド回路20d、制御回路20eおよび発振回路20aが構成されている。ここで、アナログフロントエンド回路20cは通信プロトコルにおけるフィジカル層の高周波回路部、ベースバンド回路20dは通信プロトコルにおけるフィジカル層のベースバンド回路部である。
発振回路20aには、多層基板に実装される水晶発振子22が接続され、発振するとともに、PLL回路によって所定周波数の高周波信号およびクロック信号を発生する。この発振回路20aが上記ノイズ発生源NSに相当する。ノイズ発生源NSとしては、発振回路以外に分周回路等も挙げられる。
《第2の実施形態》
図6は第2の実施形態に係る高周波モジュール102の構造を示す断面図である。図1に示した例と異なり、平面グランド導体2cからICチップ20方向へ突出する層間接続導体(図1に示した3e,3f)は備えていない。
図6は第2の実施形態に係る高周波モジュール102の構造を示す断面図である。図1に示した例と異なり、平面グランド導体2cからICチップ20方向へ突出する層間接続導体(図1に示した3e,3f)は備えていない。
このような構造であっても、平面グランド導体2c,2eはキャビティ(ICチップ20の埋設空間)に露出しない層に形成されているので、平面グランド導体2c,2eが樹脂の回り込みを阻害しない。
ここで、この実施形態の高周波モジュール102のノイズ低減効果の例を示す。比較例の高周波モジュールの構造は図7に示すとおりである。この比較例の高周波モジュールは、平面グランド導体2c,2eからICチップ20方向へ突出する層間接続導体(図1に示した3e,3f,3h,3i)を備えていない。
ここでは、無線局から3m離れた位置における電界強度の許容値を定める、微弱無線局の規定に基づいて、所謂「3m法」で測定を行った。
高周波モジュールから3m離れた位置での輻射ノイズの電界強度を測定したところ、比較例の高周波モジュールは34dBμV/m、第1の実施形態に係る高周波モジュール101では26dBμV/mであった。約8dBμV/m低減されることがわかる。
このように、ICチップ20のノイズ発生源NS(発振回路)が構成されている回路形成層から遠い側にのみ層間接続導体3h,3iを設けているが、輻射ノイズの抑制効果はある。
同様に、図1に示した平面グランド導体2cからICチップ20方向へ突出する層間接続導体3e,3fを設け、平面グランド導体2eからICチップ20方向へ突出する層間接続導体3h,3iを備えない構造の高周波モジュールについても測定を行った。この構造の高周波モジュールであれば、輻射ノイズの電界強度は約10dBμV/m低減された。したがって、第1の実施形態で図1に示した構造の高周波モジュールであれば、輻射ノイズの電界強度は約20dBμV/m低減されることになる。
《第3の実施形態》
図8は第3の実施形態に係る高周波モジュール103の構造を示す断面図である。図1に示した例と異なり、キャビティ4の内面に露出する導体パターン2g,2hが形成されていて、この導体パターン2gに層間接続導体3e,3fが導通し、導体パターン2hに層間接続導体3h,3iが導通する。この構造によれば、層間接続導体のみが突出している構造に比べて、ノイズ発生源NSに近接する導体パターンの面積が大きいので、輻射ノイズの抑制効果は高い。
図8は第3の実施形態に係る高周波モジュール103の構造を示す断面図である。図1に示した例と異なり、キャビティ4の内面に露出する導体パターン2g,2hが形成されていて、この導体パターン2gに層間接続導体3e,3fが導通し、導体パターン2hに層間接続導体3h,3iが導通する。この構造によれば、層間接続導体のみが突出している構造に比べて、ノイズ発生源NSに近接する導体パターンの面積が大きいので、輻射ノイズの抑制効果は高い。
図8に示した例では、導体パターン2g,2hはキャビティ4の端縁から寸法Cg,Chのクリアランスがある。そのため、加熱・加圧時のキャビティ4への樹脂の流動性は阻害されない。
なお、図8に示した例では、多層基板10の上面に高周波フィルタ21が表面実装されている。このチップ21は図5に示した高周波フィルタであり、所望の周波数帯域の信号を通過/遮断する。多層基板にはさらに図5に示したシリアルデータ入出力コントローラ23が実装されている。
なお、以上に示した各実施形態では、層間接続導体の例として貫通ビアを示したが、基材層を貫通しない穴を形成し、導電性ペーストを充填したものをキャビティの方向(ノイズ発生源方向)へ突出させるようにしてもよい。
また、以上に示した各実施形態では、キャビティの内面に露出しない層に配置されているグランド導体は絶縁性基材層の層方向に平面状に広がる平面グランド導体である例を示したが、キャビティへの樹脂の回り込みを阻害する程度の大きさの線状のグランド導体であっても、本発明は同様に適用できる。
また、以上に示した各実施形態では、樹脂シートにビアホールを形成し、形成されたビアホールに導電ペーストを注入し、一括積層時に加熱固化することで層間接続導体が形成される例を示したが、金属リベットを用いる構造や、スルーホールを形成し、その内面をめっきする構造であってもよい。また、予め絶縁層内に埋め込まれた導電性バンプにより層間接続を行なう構造であってもよい。例えば、銅箔上に銀ペーストを印刷することで円錐状の突起物(バンプ)を形成してもよい。
CR…回路形成層
NS…ノイズ発生源
PD…電極パッド
RW…再配線層
SU…サブストレート
Vd…隙間
1a〜1f…絶縁性基材層
2a,2b,2d,2g,2h…導体パターン
2c,2e,2f…平面グランド導体
3a〜3i…層間接続導体
4…キャビティ
10…多層基板
20…ICチップ
20a…発振回路
20b…不平衡変換回路
20c…アナログフロントエンド回路
20d…ベースバンド回路
20e…制御回路
21…高周波フィルタ
22…水晶発振子
23…シリアルデータ入出力コントローラ
30…実装基板
101〜103…高周波モジュール
NS…ノイズ発生源
PD…電極パッド
RW…再配線層
SU…サブストレート
Vd…隙間
1a〜1f…絶縁性基材層
2a,2b,2d,2g,2h…導体パターン
2c,2e,2f…平面グランド導体
3a〜3i…層間接続導体
4…キャビティ
10…多層基板
20…ICチップ
20a…発振回路
20b…不平衡変換回路
20c…アナログフロントエンド回路
20d…ベースバンド回路
20e…制御回路
21…高周波フィルタ
22…水晶発振子
23…シリアルデータ入出力コントローラ
30…実装基板
101〜103…高周波モジュール
Claims (6)
- 積層により多層基板を構成するとともに内部にキャビティを形成する複数の絶縁性基材層と、前記キャビティ内に配置される、ノイズ発生源を含む部品と、前記多層基板内に形成されるグランド導体とを備える高周波モジュールにおいて、
前記絶縁性基材層は加熱加圧時に流動性を有する熱可塑性樹脂の層であり、
前記グランド導体は前記キャビティの内面に露出しない層に配置されていて、
前記グランド導体と導通し、前記部品に形成される導体部に導通せずに、前記部品の局部に対向する位置に、前記グランド導体から前記キャビティの方向へ突出する層間接続導体を備えていることを特徴とする高周波モジュール。
- 前記グランド導体は、前記絶縁性基材層の面方向に平面状に広がる平面グランド導体である、請求項1に記載の高周波モジュール。
- 前記平面グランド導体は、前記キャビティを積層方向に挟む少なくとも2つの平面グランド導体であり、この2つの平面グランド導体から前記キャビティの方向へ前記層間接続導体がそれぞれ突出している、請求項2に記載の高周波モジュール。
- 前記部品の局部は前記部品内のノイズ発生源の位置である、請求項1〜3にいずれかに記載の高周波モジュール。
- 前記ノイズ発生源は発振回路である、請求項1〜4にいずれかに記載の高周波モジュール。
- 前記層間接続導体は、前記グランド導体から前記キャビティの方向へ先太りの形状である、請求項1〜5のいずれかに記載の高周波モジュール。
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US11503704B2 (en) * | 2019-12-30 | 2022-11-15 | General Electric Company | Systems and methods for hybrid glass and organic packaging for radio frequency electronics |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008130612A (ja) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Denso Corp | 電子部品内蔵型多層基板 |
JP2008270479A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 電子部品実装配線板、及び電子部品実装配線板における電子部品の剥離防止方法 |
JP2009071094A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 部品内蔵基板 |
JP2011003584A (ja) * | 2009-06-16 | 2011-01-06 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
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---|---|---|---|---|
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008130612A (ja) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Denso Corp | 電子部品内蔵型多層基板 |
JP2008270479A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 電子部品実装配線板、及び電子部品実装配線板における電子部品の剥離防止方法 |
JP2009071094A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 部品内蔵基板 |
JP2011003584A (ja) * | 2009-06-16 | 2011-01-06 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
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