JP5661937B2 - ウェハコーティング装置 - Google Patents
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Description
・ リング4を、内周面4iをコーティングしようとするウェハ2に適合させて、挿入する。
・ ウェハ2をチャック8上に設置する。
・ ウェハ2とリング4との間、特に側周面2aと内周面4iとの間の間隙Hが、等距離となるように、ウェハ2をリング4と同心状に整列させる。
・ 任意選択で、ウェハ2が固定リング3上に静止するように、保持システム16を降下させる。
・ 任意選択で、ウェハ2を、特に真空システム15によって吸引することによって、固定することを含める。
・ 上部リング表面4oが表面2oと整列するか、またはそれよりも上に上がるように、リング4をZ方向に位置合わせする。
・ 表面2oを規則的に隔てることによって、ノズルシステム10を用いて、表面2oをコーティング材料でコーティングする。
・ 真空システム15の真空を解除する。
・ 保持システム16によってウェハ2をZ方向に持ち上げて、図示されていないロボットアームによって、チャック8からウェハ2を降下させる。
2 ウェハ
2o 表面
2a 側周面
3 固定リング
4 リング
4i 内周面
4o 上部リング表面
4r リング開口
5 ハウジング壁
5b 底部
6 X−Y固定具
7 Z調節システム
8 チャック
9 シャフト
10 ノズルシステム
11 コーティングスペース
12 外側区間
13 内側区間
14 内側リング表面
15 真空システム
16 保持システム
17 ピン
18 ガイド穴
19 保持面
H 間隙
t 高さ
d 厚さ
Claims (10)
- ウェハ(2)の表面(2o)にコーティングする装置であって、
保持面(19)上に前記ウェハ(2)を設置し、コーティング中に前記ウェハ(2)を回転させる保持システム(16)と、
前記ウェハ(2)にコーティングするノズルシステム(10)と、
を備え、前記ウェハ(2)にコーティングするときにコーティング表面を拡張するために、前記ウェハ(2)の側周面(2a)上に、内周面(4i)で前記ウェハ(2)を包囲するリング(4)を配設できること、
前記リング(4)が、前記ウェハ(2)に対して、前記保持面(19)に直交するように向けられたZ方向において、Z調節システム(7)によって調節することが可能であること、および、
前記リング(4)は、前記保持面(19)上で傾斜しないように、前記Z調節システム(7)の複数のピン(17)によって保持されていること、
を特徴とする装置。 - ウェハ(2)の表面(2o)にコーティングする装置であって、
保持面(19)上に前記ウェハ(2)を設置する保持システム(16)と、
前記ウェハ(2)にコーティングするノズルシステム(10)と
を備え、前記ウェハ(2)にコーティングするときにコーティング表面を拡張するために、前記ウェハ(2)の側周面(2a)上に、内周面(4i)で前記ウェハ(2)を包囲するリング(4)を配設できること、
前記リング(4)が、前記ウェハ(2)に対して、前記保持面(19)に直交するように向けられたZ方向において、Z調節システム(7)によって調節することが可能であること、および、
前記リング(4)は、横断面がL形であり、前記リング(4)の内側区間(13)は、前記ウェハ(2)の中心の方向に向かって、前記ウェハ(2)と接触することなく、前記ウェハ(2)の前記側周面(2a)を超えて広がること、
を特徴とする装置。 - 横断面がL形である前記リング(4)を、前記ウェハ(2)と同心状に、前記内周面(4i)と前記側周面(2a)の間の間隙Hが、100μmから2000μmの間になるように配設することが可能である請求項1または2に記載の装置。
- 軸対称のリング(4)の上部リング表面(4o)を、前記保持面(19)の上方に、前記表面(2o)と整列して、またはその上方に配設することが可能である請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記リング(4)が、X−Y調節システムによって、前記保持面(19)に平行に延びるX−Y面において前記ウェハ(2)に対して調節可能である請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記Z調節システム(7)が、Z方向において、前記X−Y調節システムにおいて、スライド式に案内される請求項5に記載の装置。
- 前記リング(4)が、前記ウェハ(2)上に非接触で、Z方向において実質的に等距離に、および/または前記ウェハ(2)の周方向と直交して、配設することが可能である請求項1から6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記コーティング表面が、前記表面(2o)と、前記Z方向に向けられた、前記リング(4)の前記上部リング表面(4o)と、から形成されるように、前記リング(4)を配設することが可能である請求項1から7のいずれか一項に記載の装置。
- ウェハ(2)の表面(2o)にコーティングする装置であって、
保持面(19)上に前記ウェハ(2)を設置するための保持システム(16)と、
前記ウェハ(2)にコーティングするノズルシステム(10)と、
前記ウェハ(2)にコーティングするときに、コーティング表面を拡張するためのリング(4)であって、内周面(4i)で前記ウェハ(2)を包囲し、前記ウェハ(2)の側周面(2a)上に配設することが可能であり、前記保持面(19)に直交して延びるZ方向において、前記ウェハ(2)に対して、Z調節システム(7)によって調節が可能である、リング(4)と、
を備え、前記保持面(19)と平行に延びるX−Y方向に、前記ウェハ(2)を固定するための固定リング(3)を備えるX−Y固定手段(6)を有すること、および
前記リング(4)は、前記保持面(19)上で傾斜しないように、前記Z調節システム(7)の複数のピン(17)によって保持されていること
を特徴とする装置。 - ウェハ(2)の表面(2o)にコーティングする装置であって、
保持面(19)上に前記ウェハ(2)を設置するための保持システム(16)と、
前記ウェハ(2)にコーティングするノズルシステム(10)と、
前記ウェハ(2)にコーティングするときに、コーティング表面を拡張するためのリング(4)であって、内周面(4i)で前記ウェハ(2)を包囲し、前記ウェハ(2)の側周面(2a)上に配設することが可能であり、前記保持面(19)に直交して延びるZ方向において、前記ウェハ(2)に対して、Z調節システム(7)によって調節が可能である、リング(4)と、
を備え、前記保持面(19)と平行に延びるX−Y方向に、前記ウェハ(2)を固定するための固定リング(3)を備えるX−Y固定手段(6)を有すること、および
前記ウェハ(2)は、前記固定リング(3)に設けられた真空システム(15)により、前記X−Y固定手段(6)に対して固定されていること、
を特徴とする装置。
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