JP5654938B2 - インプリント装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施の形態に係るインプリント装置は、図1に示すように、凸部12を有するモールド(インプリントモールド)10を載置可能な第1ステージ1と、第1ステージ1と対向し、凸部12が圧入される樹脂層20を載置可能な第2ステージ2と、第2ステージ2に配置され、モールド10の凸部12を樹脂層20に圧入したときに樹脂層20のパターン転写領域の外周に位置し、モールド10から樹脂層20にかかる圧力により樹脂層20の余分な一部を外部へ押し出す空隙部4を有するガイド3とを備える。
本発明の第1の実施の形態では、図4に示すように、モールド10の凸部12を樹脂層20に圧入したときに、ガイド3の上端が第1ステージ1に接触する場合を説明した。本発明の第1の実施の形態の第1の変形例として、モールド10の凸部12を樹脂層20に圧入したときに、ガイド3の上端がモールド10の支持部11に接触する場合を説明する。
本発明の第1の実施の形態の第2の変形例として、ガイド3の形状の他の例を説明する。
本発明の第1の実施の形態では、図1に示すように第2ステージ2上に基板21を配置した場合を説明した。本発明の第1の実施の形態の第3の変形例として、図11に示すように、インプリント装置が、基板21の代わりに、第2ステージ2上に配置された犠牲層24を更に備える場合を説明する。
本発明の第2の実施の形態に係るインプリント装置は、図12に示すように、モールド10xがガイド3を有する点が、本発明の第1の実施の形態と異なる。
本発明の第3の実施の形態に係るインプリント装置は、図18に示すようにガイド3を有するインプリント用治具16を備える点が、本発明の第1の実施の形態と異なる。
上記のように、本発明は第1〜第3の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
2…第2ステージ
3…ガイド
4…空隙部
4x…空間
5…ステージ保持部
6,8…駆動軸
7…駆動部
9…基台
10,10x…モールド
11…支持部
12…凸部
15…固定部
16…インプリント用治具
17,22…溝部
20…樹脂層
21…基板
23…凹部
24…犠牲層
Claims (5)
- 凸部を有するモールドを載置可能な第1ステージと、
前記第1ステージと対向し、前記凸部が圧入される樹脂層を載置可能な第2ステージと、
前記第1及び第2ステージの少なくともいずれか一方に配置され、前記凸部を前記樹脂層に圧入したときに前記樹脂層のパターン転写領域の外周に位置し、前記モールドから前記樹脂層にかかる圧力により前記樹脂層の余分な一部を外部へ押し出す空隙部を有するガイド
とを備え、前記第2ステージ上に配置され、前記樹脂層を載置可能であり、前記モールドの凸部を前記樹脂層に圧入したときに前記樹脂層を貫通した前記凸部が達する犠牲層を更に備えることを特徴とするインプリント装置。 - 前記ガイドが、板状の部材、棒状の部材及び球状の部材の少なくともいずれかを有することを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記ガイドが、均一の高さを有することを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。
- 前記ガイドが前記第2ステージに配置されており、
前記凸部を前記樹脂層に圧入したときに前記ガイドの前記第1ステージ側の端部が前記第1ステージの表面又は前記モールドの表面と接触することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記ガイドが前記第1ステージに配置されており、
前記凸部を前記樹脂層に圧入したときに前記ガイドの前記第2ステージ側の端部が前記第2ステージ表面と接触することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のインプリント装置。
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