JP5650708B2 - Optical inspection device - Google Patents

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Description

本発明は、光学検査装置に係り、より詳細には、フレキシブルな材質の検査シートの映像を獲得する過程で、検査シートの上部から圧縮空気を噴射して、変形を最小化し、平滑度を保持して、より正確な検査を進行させる光学検査装置に関する。   The present invention relates to an optical inspection apparatus. More specifically, in the process of acquiring an image of a flexible material inspection sheet, compressed air is injected from the upper part of the inspection sheet to minimize deformation and maintain smoothness. The present invention relates to an optical inspection apparatus that advances a more accurate inspection.

一般的に、各種ディスプレイ装置は、さらに大型化する趨勢に反して、製品の厚さはさらに薄くなる状況である。前記のようなディスプレイ装置は、普通光学カメラを利用したビジョン検査を通じて不良の有無を検出する。   In general, various display devices are in a situation where the thickness of the product is further reduced against the trend of further increase in size. The display device as described above detects the presence or absence of defects through a vision inspection using an ordinary optical camera.

前記のようなビジョン検査を施行するためには、検査対象物を移送する移送手段及び検査が進行するための検査対象物を固定する固定手段が必須的に設けなければならない。   In order to carry out the vision inspection as described above, a transfer means for transferring the inspection object and a fixing means for fixing the inspection object for the inspection to proceed must be provided.

特に、薄膜素材として軟性を有するフィルム、ホールが形成している基板などの表面検査及び計測時に、平滑度は、非常に重要な事案として台頭されている。検査が進行する間に、検査シートの平滑度を確保するための固定手段として、従来には二重の透明ガラス基板の間に検査シートを配置するか、外郭にホールを加工し、前記ホールに真空吸着力を印加して、検査シートを吸着して固定する方法があった。しかし、前記のような場合、検査シートの歪曲や浮き上がり現象によって、検査の不可領域が発生する問題点があった。   In particular, smoothness has emerged as a very important matter during surface inspection and measurement of soft films as thin film materials, substrates on which holes are formed, and the like. As a fixing means for ensuring the smoothness of the inspection sheet while the inspection proceeds, conventionally, the inspection sheet is arranged between double transparent glass substrates, or a hole is processed in the outer shell, There was a method of adsorbing and fixing an inspection sheet by applying a vacuum adsorption force. However, in such a case, there is a problem that an uninspectable region is generated due to a distortion or lifting phenomenon of the inspection sheet.

また、１０〜８０μの厚さを有したフィルム、ホールが形成された基板、紙、布、薄板などの表面検査において、製品の表面歪曲によって、均一な平面度を確保しにくく、特に、多数の微細ホールが形成された板材の表面を真空吸着または接触式押圧方式による手段としては、瞬間的に得られる光学検査画面の実物寸法と正確な値が得られないので、シートの歪曲や浮き上がり現象による検査の不可領域が発生した。   Further, in surface inspection of a film having a thickness of 10 to 80 μm, a substrate on which holes are formed, paper, cloth, thin plate, etc., it is difficult to ensure uniform flatness due to surface distortion of the product. As a means by vacuum suction or contact-type pressing method on the surface of the plate material on which fine holes are formed, the actual size and accurate value of the optical inspection screen that can be obtained instantaneously cannot be obtained, so it is due to the distortion and lifting phenomenon of the sheet An uncheckable area occurred.

本発明は、前述した従来技術の問題点を解決するためのものであって、変形されやすい素材の検査シートを精密に固定させ、検査が進行する検査シートの領域別に圧縮空気を噴射して、平面で圧着させた状態でビジョン検査を可能にすることによって、検査速度を高め、より安定かつ正確な検査を可能にする光学検査装置の提供をその目的とする。   The present invention is for solving the above-mentioned problems of the prior art, precisely fixing an inspection sheet of a material that is easily deformed, and injecting compressed air for each region of the inspection sheet where the inspection proceeds, An object of the present invention is to provide an optical inspection apparatus that enables a visual inspection in a state where it is pressed on a flat surface, thereby increasing the inspection speed and enabling a more stable and accurate inspection.

前記の課題を果たすための本発明の一実施形態による光学検査装置は、本発明の一実施形態によれば、透光材からなって、検査シートがローディングされる検査ステージと、前記検査ステージに形成されて、前記検査シートを固定する固定手段と、前記検査ステージの側面または下面を支持する固定フレームと、前記検査ステージの下方から検査ステージ上の検査シートに光を照射するバックライトユニットと、前記検査ステージの上方に配されて、前記検査ステージにローディングされた検査シートのイメージを獲得する撮像手段と、前記撮像手段の下方に前記撮像手段と同軸上に配されて、前記検査シートに向けて圧縮空気を噴射して、検査シートを検査ステージに密着させるエア噴射部と、を含む。   According to an embodiment of the present invention, an optical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention for accomplishing the above-described problems includes an inspection stage made of a light-transmitting material and loaded with an inspection sheet, and the inspection stage. Formed fixing means for fixing the inspection sheet, a fixing frame for supporting a side surface or a lower surface of the inspection stage, a backlight unit for irradiating the inspection sheet on the inspection stage from below the inspection stage, and An imaging unit disposed above the inspection stage and acquiring an image of an inspection sheet loaded on the inspection stage; and disposed below the imaging unit and coaxially with the imaging unit and directed toward the inspection sheet And an air injection unit that injects compressed air to bring the inspection sheet into close contact with the inspection stage.

本発明の望ましい一実施形態によれば、前記エア噴射部は、圧縮空気を生成させる圧縮空気生成手段と、前記圧縮空気生成手段から生成された圧縮空気を噴射する噴射ノズルとを含むが、前記噴射ノズルは、前記撮像手段の両側に平行に配されて、前記検査シートに集中噴射する。   According to a preferred embodiment of the present invention, the air injection unit includes compressed air generation means for generating compressed air and an injection nozzle for injecting compressed air generated from the compressed air generation means. The spray nozzles are arranged in parallel on both sides of the image pickup means, and intensively spray onto the inspection sheet.

本発明の望ましい一実施形態によれば、前記エア噴射部は、前記噴射ノズルの間隔を調節する幅調節部と、前記噴射ノズルの噴射角度を調節する噴射角調節部と、前記噴射ノズルの高さを調節する高さ調節部と、を含む。   According to a preferred embodiment of the present invention, the air injection unit includes a width adjustment unit that adjusts the interval between the injection nozzles, an injection angle adjustment unit that adjusts the injection angle of the injection nozzle, and a height of the injection nozzle. A height adjusting unit for adjusting the height.

本発明の望ましい一実施形態によれば、前記エア噴射部は、前記噴射ノズルに出力される圧縮空気の量を調節する弁がさらに含まれる。   According to a preferred embodiment of the present invention, the air injection unit further includes a valve for adjusting the amount of compressed air output to the injection nozzle.

本発明の望ましい一実施形態によれば、前記エア噴射部から噴射された圧縮空気が、前記検査シートの検査が進行する領域に正確に噴射されたか否かを感知するセンサーがさらに装着される。   According to a preferred embodiment of the present invention, a sensor for detecting whether or not the compressed air ejected from the air ejecting unit is accurately ejected to a region where the inspection of the inspection sheet proceeds is further mounted.

本発明の望ましい一実施形態によれば、前記検査ステージの上方から前記検査ステージ上の検査シートに光を照射する補助光源をさらに含む。   According to a preferred embodiment of the present invention, an auxiliary light source that irradiates light onto the inspection sheet on the inspection stage from above the inspection stage is further included.

本発明による光学検査装置によれば、変形されやすい素材の検査シートを精密に固定させ、検査が進行する検査シートの領域別に圧縮空気を噴射して、平面で圧着させた状態でビジョン検査を可能にすることによって、検査速度を高め、より正確な検査がなされうる。   According to the optical inspection apparatus of the present invention, an inspection sheet made of a material that is easily deformed is precisely fixed, and a visual inspection can be performed in a state in which compressed air is sprayed on each area of the inspection sheet where the inspection progresses and is compressed on a flat surface. Thus, the inspection speed can be increased and a more accurate inspection can be performed.

また、検査シートに加えられる物理的衝撃を最小化し、吸入固定力は高めることができて、検査シートの損傷及び変形を防止し、安定して検査が進行しうる。   In addition, the physical impact applied to the inspection sheet can be minimized, the suction fixing force can be increased, damage and deformation of the inspection sheet can be prevented, and the inspection can proceed stably.

本発明の一実施形態による光学検査装置の断面図である。It is sectional drawing of the optical inspection apparatus by one Embodiment of this invention. 図１のエア噴射部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the air injection part of FIG. 本発明の他の実施形態による光学検査装置の構成図である。It is a block diagram of the optical inspection apparatus by other embodiment of this invention. 圧縮空気の噴射を実施していない検査シートのＸ軸とＹ軸との歪曲及び高さ偏差を測定したデータを図表で示したものである。The data which measured the distortion and height deviation of the X-axis and Y-axis of the inspection sheet which are not injecting compressed air are shown with the graph. １つの噴射ノズルを用いて圧縮空気を噴射した検査シートのＸ軸とＹ軸との歪曲及び高さ偏差を測定したデータを図表で示したものである。The data which measured the distortion and height deviation of the X-axis and Y-axis of the test | inspection sheet which injected the compressed air using one injection nozzle are shown with a graph. 両側の噴射ノズルを用いて圧縮空気を噴射した検査シートのＸ軸とＹ軸との歪曲及び高さ偏差を測定したデータを図表で示したものである。The data which measured the distortion and height deviation of the X-axis and the Y-axis of the inspection sheet which injected the compressed air using the injection nozzle of both sides are shown with a chart.

本発明を添付した図面を参照して詳しく説明すれば、次の通りである。ここで、同じ構成に対しては、同じ符号を使い、反復される説明、本発明の要旨を不明にする恐れがある公知機能及び構成についての詳細な説明は省略する。本発明の実施形態は、当業者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状及びサイズなどは、より明確な説明のために誇張されうる。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Here, the same reference numerals are used for the same components, and repeated descriptions and detailed descriptions of known functions and configurations that may obscure the gist of the present invention are omitted. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape and size of elements in the drawings may be exaggerated for a clearer description.

図１は、本発明の一実施形態による光学検査装置の断面図であり、図２は、図１のエア噴射部を示す斜視図である。   FIG. 1 is a cross-sectional view of an optical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view illustrating an air injection unit of FIG.

本発明の一実施形態による光学検査装置は、透光材からなって、検査シート１０がローディングされる検査ステージ１００と、前記検査ステージ１００に形成されて、前記検査シート１０を固定する固定手段２００と、前記検査ステージ１００の側面または下面を支持する固定フレーム３００と、前記検査ステージ１００の下方から検査ステージ１００上の検査シート１０に光を照射するバックライトユニット４００と、前記検査ステージ１００の上方に配されて、前記検査ステージ１００にローディングされた検査シート１０のイメージを獲得する撮像手段５００と、前記撮像手段５００の下方に前記撮像手段５００と同軸上に配されて、前記検査シート１０に向けて圧縮空気を噴射して、検査シート１０を検査ステージ１００に密着させるエア噴射部６００とを含む。   An optical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes an inspection stage 100 made of a translucent material, on which an inspection sheet 10 is loaded, and a fixing unit 200 that is formed on the inspection stage 100 and fixes the inspection sheet 10. A fixed frame 300 that supports a side surface or a lower surface of the inspection stage 100, a backlight unit 400 that irradiates the inspection sheet 10 on the inspection stage 100 from below the inspection stage 100, and an upper portion of the inspection stage 100. An image pickup means 500 for acquiring an image of the inspection sheet 10 loaded on the inspection stage 100; and an image pickup means 500 disposed below the image pickup means 500 and coaxially with the image pickup means 500; Compressed air is sprayed toward the test sheet 10 to bring it into close contact with the test stage 100 And an air injection unit 600.

本発明で指称する検査シート１０は、フィルム、ホールが形成された基板、紙、布、薄板、薄膜を含めた公知の多様な板状素材が該当しうる。   The inspection sheet 10 referred to in the present invention may correspond to various known plate-like materials including a film, a substrate on which holes are formed, paper, cloth, thin plate, and thin film.

検査ステージ１００は、ガラス、アクリルのように、前記検査ステージ１００の下方に配されたバックライトユニット５００の光が透過できるように光透過性素材で構成しなければならない。また、前記検査ステージ１００の形状は、正方形、長方形、円形などを含めて検査が進行する検査シート１０の形状に対応して備えられることが望ましい。一例として、検査シート１０が正方形である場合、前記検査ステージ１００も正方形に形成される。   The inspection stage 100 must be made of a light-transmitting material such as glass or acrylic so that light from the backlight unit 500 disposed below the inspection stage 100 can be transmitted. In addition, it is desirable that the inspection stage 100 has a shape corresponding to the shape of the inspection sheet 10 in which the inspection proceeds including a square, a rectangle, a circle, and the like. As an example, when the inspection sheet 10 is square, the inspection stage 100 is also formed in a square.

固定手段２００は、前記検査ステージ１００に形成されて、前記検査シート１０を固定する役割を果たす。前記固定手段２００は、検査ステージ１００上の検査シート１０を固定することができる範囲で公知の多様な固定方法が適用可能であり、一例として、前記固定手段２００は、真空吸着方式であり得る。   The fixing means 200 is formed on the inspection stage 100 and plays a role of fixing the inspection sheet 10. As the fixing means 200, various known fixing methods can be applied as long as the inspection sheet 10 on the inspection stage 100 can be fixed. For example, the fixing means 200 may be a vacuum suction method.

この際、前記固定手段２００は、吸着パネルと、真空モジュールとを含みうる。吸着パネルは、多孔質のセラミック素材からなり、セラミックに形成された微細な空隙に空気が吸入されながら、吸着パネルの上面に吸着力が発生し、前記吸着力を通じて検査シート１０が固定されうる。一方、真空モジュールは、真空圧を加えて、前記吸着パネル上の検査シート１０を吸着させる機能を果す。   At this time, the fixing unit 200 may include a suction panel and a vacuum module. The suction panel is made of a porous ceramic material, and suction force is generated on the upper surface of the suction panel while air is sucked into a fine gap formed in the ceramic, and the inspection sheet 10 can be fixed through the suction force. On the other hand, the vacuum module performs a function of adsorbing the inspection sheet 10 on the adsorption panel by applying a vacuum pressure.

固定フレーム３００は、前記検査ステージ１００の側面または下面を支持して、前記検査ステージ１００を支持する役割を果たす。固定フレーム３００は、テーブル形態でなされるが、前記検査ステージ１００が差し込まれる空き空間が中心部に形成されうる。   The fixed frame 300 supports the inspection stage 100 by supporting the side surface or the lower surface of the inspection stage 100. The fixed frame 300 is in the form of a table, but an empty space into which the inspection stage 100 is inserted can be formed in the center.

バックライトユニット４００は、前記検査ステージ１００の下方に配され、前記検査ステージ１００上の検査シート１０に光を照射する光源として作用する。   The backlight unit 400 is disposed below the inspection stage 100 and functions as a light source for irradiating light onto the inspection sheet 10 on the inspection stage 100.

したがって、前記バックライトユニット４００から照射された光が検査ステージ１００を通過し、その上面にローディングされた検査シート１０を透過して撮像手段５００に入力されて、検査シート１０の不良の有無を検査することができる。一例として、前記検査シート１０に複数のホールが打孔された場合、前記ホールが諸位置に正確に打孔されたか否かを検査することができる。   Accordingly, the light emitted from the backlight unit 400 passes through the inspection stage 100, passes through the inspection sheet 10 loaded on the upper surface thereof, and is input to the imaging unit 500 to inspect for the presence or absence of the inspection sheet 10. can do. As an example, when a plurality of holes are punched in the inspection sheet 10, it is possible to inspect whether or not the holes are accurately punched at various positions.

撮像手段５００は、前記検査ステージ１００の上方に配されて、前記検査ステージ１００にローディングされた検査シート１０のイメージを獲得するものであって、カメラを含む。前記撮像手段５００で獲得したイメージを通じてイメージ分析を施行し、不良の有無を判別することができる。   The imaging means 500 is arranged above the inspection stage 100 and acquires an image of the inspection sheet 10 loaded on the inspection stage 100, and includes a camera. Image analysis can be performed through the image acquired by the imaging unit 500 to determine whether there is a defect.

エア噴射部６００は、前記撮像手段５００の下方に前記撮像手段５００と同軸上に配されて、前記検査シート１０に向けて圧縮空気を噴射して、検査シート１０を検査ステージ１００に密着させる作用を行う。前記エア噴射部６００は、複数のノズルが円状またはライン型に配された構造を取って、検査ステージ１００上の検査シート１０に均一な空圧を加えて、検査シート１０を検査ステージ１００に密着させて平面化させる。参考までに、前記エア噴射部６００から噴射された圧縮空気は、浄化過程を経てホコリなどが分離されたクリーンエア（ｃｌｅａｎ ａｉｒ）である。前記のように、エア噴射部６００の作用で多数の微細ホールが形成された薄い薄板の検査シート１０を検査ステージ１００上に定着し、検査または測定しようとする部位の表面の浮き上がり現象をエア噴射部６００を用いてクリーンエアを均一に噴射して、検査ステージ１００の上面に検査シート１０が密着されることによって、均一な平滑度を有するようになる。   The air ejecting unit 600 is arranged coaxially with the imaging unit 500 below the imaging unit 500 and injects compressed air toward the inspection sheet 10 to bring the inspection sheet 10 into close contact with the inspection stage 100. I do. The air injection unit 600 has a structure in which a plurality of nozzles are arranged in a circular shape or a line shape, and applies a uniform air pressure to the inspection sheet 10 on the inspection stage 100, so that the inspection sheet 10 is applied to the inspection stage 100. Adhere to a flat surface. For reference, the compressed air injected from the air injection unit 600 is clean air from which dust and the like are separated through a purification process. As described above, the thin, thin inspection sheet 10 in which a large number of fine holes are formed by the action of the air injection unit 600 is fixed on the inspection stage 100, and the air floating phenomenon of the surface of the part to be inspected or measured is air-injected. By injecting clean air uniformly using the part 600 and bringing the inspection sheet 10 into close contact with the upper surface of the inspection stage 100, uniform smoothness is achieved.

本発明の望ましい一実施形態によれば、前記エア噴射部６００は、圧縮空気を生成させる圧縮空気生成手段（図示せず）と、前記圧縮空気生成手段（図示せず）から生成された圧縮空気を噴射する噴射ノズル６２０とを含むが、前記噴射ノズル６２０は、前記撮像手段５００の両側に平行に配されて、前記検査シート１０に集中噴射する。   According to a preferred embodiment of the present invention, the air injection unit 600 includes compressed air generating means (not shown) for generating compressed air, and compressed air generated from the compressed air generating means (not shown). The injection nozzles 620 are arranged in parallel on both sides of the imaging unit 500 and intensively spray onto the inspection sheet 10.

圧縮空気生成手段は、フィルターなどを通じる浄化過程を経てホコリなどが除去されたクリーンエアをポンプのような圧縮手段を用いて圧縮して、前記噴射ノズル６２０に供給する。前記圧縮空気生成手段と噴射ノズル６２０は、ホースなどで連結されて圧縮空気を供給されうる。   The compressed air generation means compresses clean air from which dust and the like have been removed through a purification process through a filter or the like using a compression means such as a pump, and supplies the compressed air to the injection nozzle 620. The compressed air generating means and the injection nozzle 620 may be connected by a hose or the like and supplied with compressed air.

前記噴射ノズル６２０は、ライン形態で配されてエアカーテン（Ａｉｒ ｃｕｒｔａｉｎ）方式で検査シート１０に圧縮空気を噴射する。この際、方向性が何れか一側に偏る場合、検査シート１０が検査ステージ１００に密着されず、浮き上がる現象が発生する恐れがある。したがって、互いに対向する方向から検査が進行する検査シート１０の一地点に圧縮空気を噴射して、前記のような浮き上がり現象を防止し、検査シート１０を検査ステージ１００に固定する。   The injection nozzle 620 is arranged in a line form and injects compressed air onto the inspection sheet 10 by an air curtain method. At this time, if the directionality is biased to one side, the inspection sheet 10 may not be in close contact with the inspection stage 100 and may be lifted. Therefore, the compressed air is jetted to one point of the inspection sheet 10 where the inspection proceeds from the opposite directions to prevent the lifting phenomenon as described above, and the inspection sheet 10 is fixed to the inspection stage 100.

図４は、検査シート１０のフレームのみ固定させた状態で、圧縮空気の噴射を実施していない検査シート１０のＸ軸とＹ軸との歪曲及び高さ偏差を測定したデータを図表で示したものである。   FIG. 4 graphically illustrates data obtained by measuring distortion and height deviation between the X axis and the Y axis of the inspection sheet 10 in which only the frame of the inspection sheet 10 is fixed and compressed air is not injected. Is.

図５は、検査シート１０のフレームのみ固定させた状態で、１つの噴射ノズル６２０を用いて検査シート１０に圧縮空気を噴射した後、検査シート１０のＸ軸とＹ軸との歪曲及び高さ偏差を測定したデータを図表で示したものである。   FIG. 5 shows the distortion and height between the X axis and the Y axis of the inspection sheet 10 after jetting compressed air onto the inspection sheet 10 using one injection nozzle 620 with only the frame of the inspection sheet 10 fixed. The data which measured the deviation are shown with the chart.

図６は、検査シート１０のフレームのみ固定させた状態で、両側の噴射ノズル６２０いずれもを用いて検査シート１０に圧縮空気を噴射した後、検査シート１０のＸ軸とＹ軸との歪曲及び高さ偏差を測定したデータを図表で示したものである。   FIG. 6 shows a state in which only the frame of the inspection sheet 10 is fixed and after the compressed air is injected onto the inspection sheet 10 using both of the injection nozzles 620 on both sides, the distortion between the X axis and the Y axis of the inspection sheet 10 and The data which measured height deviation are shown with the chart.

前記図４ないし図６を参照すると、高さ偏差は、圧縮空気が噴射されていない場合に、３２４ｕｍで最も大きく表われ、両側いずれもで圧縮空気を噴射した場合、９６ｕｍで最も小さく表われ、結果的に圧縮空気を噴射する場合、その中でも両側いずれもで圧縮空気を噴射した場合、検査シート１０の平滑度が優れているように測定されるということを確認することができる。また、Ｘ軸とＹ軸との歪曲現象も、圧縮空気が噴射されていない場合、Ｘ軸６５０ｕｍ、Ｙ軸６５９ｕｍで最も大きく表われ、両側いずれもで圧縮空気を噴射した場合、Ｘ軸１１９ｕｍ、Ｙ軸１２３ｕｍで最も小さく表われた。したがって、両側いずれもで圧縮空気を噴射した場合、検査シート１０の歪曲が最も少なく測定されるということを確認することができる。   Referring to FIGS. 4 to 6, the height deviation is greatest at 324 um when compressed air is not injected, and is smallest at 96 um when compressed air is injected on both sides. As a result, when compressed air is injected, it can be confirmed that the measured smoothness of the test sheet 10 is excellent when compressed air is injected on both sides. Further, the distortion phenomenon between the X axis and the Y axis also appears most greatly on the X axis 650 um and the Y axis 659 um when the compressed air is not injected, and when the compressed air is injected on both sides, the X axis 119 um, It appeared smallest on the Y axis 123um. Therefore, it can be confirmed that when the compressed air is injected on both sides, the distortion of the inspection sheet 10 is measured with the least amount.

本発明の望ましい一実施形態によれば、前記エア噴射部６００は、前記噴射ノズル６２０の間隔を調節する幅調節部６３０と、前記噴射ノズル６２０の噴射角度を調節する噴射角調節部６４０と、前記噴射ノズル６２０の高さを調節する高さ調節部６５０とを含む。まず、前記幅調節部６３０は、検査が進行する検査シート１０の領域サイズによって、相互平行に配された噴射ノズル６２０間の間隔を調節する。また、噴射角調節部６４０は、噴射ノズル６２０の噴射角度を調節することができる。高さ調節部６５０は、噴射ノズル６２０の高さを調節するものであって、望ましくは、噴射ノズル６２０と検査ステージ１００との間隔を調節する。しかし、前記幅調節部６３０、噴射角調節部６４０または高さ調節部６５０のうちの何れか１つのみ操作しても、噴射角度は調節が可能である。   According to a preferred embodiment of the present invention, the air injection unit 600 includes a width adjusting unit 630 that adjusts the interval between the injection nozzles 620, an injection angle adjusting unit 640 that adjusts the injection angle of the injection nozzle 620, A height adjusting unit 650 that adjusts the height of the spray nozzle 620. First, the width adjusting unit 630 adjusts the interval between the jet nozzles 620 arranged in parallel to each other according to the region size of the inspection sheet 10 on which the inspection proceeds. Further, the injection angle adjusting unit 640 can adjust the injection angle of the injection nozzle 620. The height adjusting unit 650 adjusts the height of the injection nozzle 620, and preferably adjusts the interval between the injection nozzle 620 and the inspection stage 100. However, even if only one of the width adjusting unit 630, the injection angle adjusting unit 640, and the height adjusting unit 650 is operated, the injection angle can be adjusted.

本発明の望ましい一実施形態によれば、前記エア噴射部６００は、前記噴射ノズル６２０に出力される圧縮空気の量を調節する弁（図示せず）がさらに含まれる。   According to a preferred embodiment of the present invention, the air injection unit 600 further includes a valve (not shown) for adjusting the amount of compressed air output to the injection nozzle 620.

前記弁は、噴射される圧縮空気の量を調節して、結果的には、検査シート１０に加えられる圧力を調節する。したがって、検査シート１０が薄くて変形されやすい素材であれば、噴射される圧縮空気の量を減らし、検査シート１０の厚さが厚くて変形されない素材であれば、圧縮空気の量を増やして、検査シート１０が検査ステージ１００に密着されるようにする。   The valve adjusts the amount of compressed air that is injected, and consequently the pressure applied to the test sheet 10. Therefore, if the inspection sheet 10 is a thin and easily deformable material, the amount of compressed air to be injected is reduced, and if the inspection sheet 10 is a material that is not deformed due to a large thickness, the amount of compressed air is increased. The inspection sheet 10 is brought into close contact with the inspection stage 100.

図３は、本発明の他の実施形態による光学検査装置の構成図である。   FIG. 3 is a configuration diagram of an optical inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.

本発明の望ましい一実施形態によれば、前記エア噴射部６００から噴射された圧縮空気が、前記検査シート１０の検査が進行する領域に正確に噴射されたか否かを感知するセンサー７００がさらに装着される。   According to a preferred embodiment of the present invention, a sensor 700 for detecting whether or not the compressed air ejected from the air ejecting unit 600 is accurately ejected to a region where the inspection of the inspection sheet 10 proceeds is further mounted. Is done.

前記センサー７００は、レーザを利用した変位センサーとして備えられることができる。したがって、センサー７００は、検査が進行する検査シート１０との間隔を測定して、検査シート１０が検査ステージ１００に密着されて平滑であるか否かを把握し、前記エア噴射部６００から噴射された圧縮空気が、諸位置に噴射されたか否かを検出することができる。   The sensor 700 may be provided as a displacement sensor using a laser. Therefore, the sensor 700 measures the distance between the inspection sheet 10 and the inspection sheet 10 to determine whether the inspection sheet 10 is in close contact with the inspection stage 100 and is smooth, and is ejected from the air ejection unit 600. It is possible to detect whether or not the compressed air is injected to various positions.

本発明の望ましい一実施形態によれば、前記検査ステージ１００の上方から前記検査ステージ１００上の検査シート１０に光を照射する補助光源８００をさらに含む。   According to a preferred embodiment of the present invention, an auxiliary light source 800 for irradiating light onto the inspection sheet 10 on the inspection stage 100 from above the inspection stage 100 is further included.

前記補助光源８００は、前記検査シート１０の上部から検査シート１０に向けて光を照射する照明手段であって、前記検査ステージ１００の下方から照射されたバックライトユニット４００の光が、前記エア噴射部６００に遮断されて、前記撮像手段５００で検査シート１０の鮮かなイメージを撮影することができない場合を備えて、検査シート１０の上部で補助光源８００をさらに設置する。   The auxiliary light source 800 is an illuminating unit that irradiates light from above the inspection sheet 10 toward the inspection sheet 10, and the light of the backlight unit 400 irradiated from below the inspection stage 100 is emitted from the air jet. The auxiliary light source 800 is further installed on the upper part of the inspection sheet 10 in a case where the image capturing unit 500 is not able to capture a clear image of the inspection sheet 10 by being blocked by the unit 600.

前述したような本発明による光学検査装置によれば、変形されやすい素材の検査シート１０を精密に固定させ、検査が進行する検査シート１０の領域別に圧縮空気を噴射して、平面で圧着させた状態でビジョン検査を可能にすることによって、検査速度を高め、より正確な検査がなされうる長所がある。   According to the optical inspection apparatus according to the present invention as described above, the inspection sheet 10 made of a material that is easily deformed is precisely fixed, and compressed air is sprayed on each area of the inspection sheet 10 where the inspection progresses, and is pressed on a flat surface. By enabling vision inspection in a state, there is an advantage that inspection speed can be increased and more accurate inspection can be performed.

また、検査シート１０に加えられる物理的衝撃を最小化し、吸入固定力は高めることができて、検査シートの損傷及び変形を防止し、安定して検査が進行しうる長所がある。   In addition, the physical impact applied to the inspection sheet 10 can be minimized, the suction fixing force can be increased, the inspection sheet can be prevented from being damaged and deformed, and the inspection can proceed stably.

以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したものに過ぎないものであって、当業者ならば、本発明の本質的な特性から外れない範囲内で多様な修正、変更及び置き換えが可能であろう。したがって、本発明に開示された実施形態及び添付した図面は、本発明の技術思想を限定するためのものではなく、説明するためのものであり、このような実施形態及び添付した図面によって、本発明の技術思想の範囲が限定されるものではない。本発明の保護範囲は、下記の特許請求の範囲によって解析しなければならず、それと同等な範囲内にあるあらゆる技術思想は、本発明の権利範囲に含まれると解析しなければならない。   The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various modifications, changes, and replacements may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Would be possible. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are not intended to limit the technical idea of the present invention, but are to explain the present invention. The scope of the technical idea of the invention is not limited. The protection scope of the present invention must be analyzed by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope must be analyzed as being included in the scope of the right of the present invention.

本発明は、光学検査装置関連の技術分野に適用されうる。   The present invention can be applied to a technical field related to an optical inspection apparatus.

１００：検査ステージ
２００：固定手段
３００：固定フレーム
４００：バックライトユニット
５００：撮像手段
６００：エア噴射部
６２０：噴射ノズル
６３０：幅調節部
６４０：噴射角調節部
６５０：高さ調節部
７００：センサー
８００：補助光源 100: Inspection stage 200: Fixing means 300: Fixing frame 400: Backlight unit 500: Imaging means 600: Air injection part 620: Injection nozzle 630: Width adjustment part 640: Injection angle adjustment part 650: Height adjustment part 700: Sensor 800: Auxiliary light source

Claims (5)

透光材からなって、検査シートがローディングされる検査ステージと、
前記検査ステージに形成されて、前記検査シートを固定する固定手段と、
前記検査ステージの側面または下面を支持する固定フレームと、
前記検査ステージの下方から検査ステージ上の検査シートに光を照射するバックライトユニットと、
前記検査ステージの上方に配されて、前記検査ステージにローディングされた検査シートのイメージを獲得する撮像手段と、
前記撮像手段の下方に前記撮像手段と同軸上に配されて、前記検査シートに向けて圧縮空気を噴射して、検査シートを検査ステージに密着させるエア噴射部と、
を含み、
前記エア噴射部は、圧縮空気を生成させる圧縮空気生成手段と、前記圧縮空気生成手段から生成された圧縮空気を噴射する噴射ノズルとを含むが、前記噴射ノズルは、前記撮像手段の両側に平行に配されて、前記検査シートに集中噴射し、
前記噴射ノズルは、互いに対向する方向から検査シートの一地点に圧縮空気を噴射することを特徴とする光学検査装置。 An inspection stage made of a translucent material and loaded with an inspection sheet;
A fixing means formed on the inspection stage for fixing the inspection sheet;
A fixed frame that supports a side surface or a lower surface of the inspection stage;
A backlight unit that irradiates light onto the inspection sheet on the inspection stage from below the inspection stage;
An imaging means arranged above the inspection stage to obtain an image of an inspection sheet loaded on the inspection stage;
An air injection unit that is arranged coaxially with the imaging unit below the imaging unit, injects compressed air toward the inspection sheet, and causes the inspection sheet to closely contact the inspection stage;
Only including,
The air injection unit includes compressed air generating means for generating compressed air and an injection nozzle for injecting compressed air generated from the compressed air generating means. The injection nozzle is parallel to both sides of the imaging means. And concentrated spray on the inspection sheet,
The optical inspection apparatus , wherein the injection nozzle injects compressed air to one point of an inspection sheet from directions facing each other . 前記エア噴射部は、
前記噴射ノズルの間隔を調節する幅調節部と、
前記噴射ノズルの噴射角度を調節する噴射角調節部と、
前記噴射ノズルの高さを調節する高さ調節部と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。 The air injection unit is
A width adjusting unit for adjusting the interval between the spray nozzles;
An injection angle adjusting unit for adjusting an injection angle of the injection nozzle;
A height adjusting unit for adjusting the height of the injection nozzle;
The optical inspection apparatus according to claim 1 , comprising: 前記エア噴射部は、
前記噴射ノズルに出力される圧縮空気の量を調節する弁がさらに含まれたことを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。 The air injection unit is
The optical inspection apparatus according to claim 1 , further comprising a valve that adjusts an amount of compressed air output to the injection nozzle. 前記エア噴射部から噴射された圧縮空気が、前記検査シートの検査が進行する領域に正確に噴射されたか否かを感知するセンサーがさらに装着されたことを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。   The optical system according to claim 1, further comprising a sensor for detecting whether or not the compressed air ejected from the air ejecting unit is accurately ejected to a region where the inspection of the inspection sheet proceeds. Inspection device. 前記検査ステージの上方から前記検査ステージ上の検査シートに光を照射する補助光源をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。   The optical inspection apparatus according to claim 1, further comprising an auxiliary light source that irradiates light onto an inspection sheet on the inspection stage from above the inspection stage.
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