KR20130078721A - Inspection device for flat display panel - Google Patents

Inspection device for flat display panel Download PDF

Info

Publication number
KR20130078721A
KR20130078721A KR1020110147830A KR20110147830A KR20130078721A KR 20130078721 A KR20130078721 A KR 20130078721A KR 1020110147830 A KR1020110147830 A KR 1020110147830A KR 20110147830 A KR20110147830 A KR 20110147830A KR 20130078721 A KR20130078721 A KR 20130078721A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
panel
display panel
optical
flat
panel display
Prior art date
Application number
KR1020110147830A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101311981B1 (en
Inventor
이연호
Original Assignee
엘아이지에이디피 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘아이지에이디피 주식회사 filed Critical 엘아이지에이디피 주식회사
Priority to KR1020110147830A priority Critical patent/KR101311981B1/en
Publication of KR20130078721A publication Critical patent/KR20130078721A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101311981B1 publication Critical patent/KR101311981B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9501—Semiconductor wafers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels

Abstract

PURPOSE: A flat display panel inspecting device and a method are provided to accurately detect bubbles and foreign materials existed on positions of a panel in which depth are different by using camera modules focusing at different depth. CONSTITUTION: A flat display panel inspecting device includes a stage, a first optical unit (70A), and a second optical unit (70B). A flat display panel to be inspected is place on the stage. The first optical unit is arranged for performing the optical inspection of the flat display panel while a camera (74a) is focused at the specific depth of the flat display panel. The second optical unit is arranged for performing the optical inspection of the flat display panel while a camera (74b) is focused at the depth of the flat display panel different from that of the first optical unit.

Description

평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법{Inspection device for flat display panel}Flat panel display panel inspection apparatus and method {Inspection device for flat display panel}

본 발명은 평판 디스플레이 패널을 광학 장치를 이용하여 자동 검사하는 장치 및 이를 이용한 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for automatically inspecting a flat panel display panel using an optical device and a method using the same.

일반적으로 공정이 완료되어 제품으로 출시되기 전에 LCD 등의 평판표시장치나 반도체 웨이퍼 등의 기판을 육안 관찰하는 목시 검사를 통해 양호 또는 불량 여부를 판정하는 경우가 많이 있다. In general, there are many cases where a good or bad state is judged by a visual inspection of a flat panel display device such as an LCD or a substrate such as a semiconductor wafer before a product is released as a finished product.

이와 같은 수동 작업으로 기판을 검사하는 경우 외관이나 패턴 등에 대해 양호 또는 불량 여부가 정확하지 않을 뿐만 아니라 생산성도 저하시키는 문제점이 있다. When the substrate is inspected by such a manual operation, there is a problem that the quality or deficiency of the appearance or the pattern is not precise and the productivity is lowered.

따라서, 평판 디스플레이 패널 자동 검사 장치를 통해 기판의 외관이나 패턴을 검사하려는 다양한 시도가 이루어지고 있다.Accordingly, various attempts have been made to inspect the appearance or pattern of a substrate through an automatic flat panel display panel inspection device.

이러한 자동 검사 장치는 기판이 올려지는 스테이지와, 이 스테이지의 양쪽 측면에 지지되어 스테이지를 가로질러 설치되는 갠트리 구조의 스캔 지지대와, 이 스캔 지지대에 스캔 지지대의 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 스테이지에 올려진 기판을 촬영하는 복수의 카메라 스캔 모듈 등으로 구성된다.Such an automatic inspection device is provided with a stage on which a substrate is placed, a scan support of a gantry structure supported on both sides of the stage and installed across the stage, and installed on the scan support to be movable along the length direction of the scan support. It consists of several camera scan modules etc. which image the board | substrate mounted on it.

한편, 도 1은 상기한 바와 같은 자동 검사 장치를 이용하여 검사하려는 검사 대상체를 나타낸 도면으로서, LCD를 구성하는 전면패널(10)과 후면패널(20)이 합착된 상태의 단면이다. 여기서, 전면패널(10)은 터치 패널과 같은 커버 글래스를 나타내고, 후면패널(20)은 컬러필터와 TFT 합착 글래스일 수 있다. 또한 도면 부호 12, 22는 상측 및 하측의 보호 시트를 나타내고, 도면 부호 15는 후면패널에 전면패널을 부착하는 레진(Resin)층을 나타낸다.On the other hand, Figure 1 is a view showing a test object to be inspected using the automatic inspection device as described above, a cross-sectional view of the front panel 10 and the rear panel 20 constituting the LCD is bonded. Here, the front panel 10 may represent a cover glass such as a touch panel, and the rear panel 20 may be a color filter and a TFT bonding glass. Reference numerals 12 and 22 denote upper and lower protective sheets, and reference numeral 15 denotes a resin layer attaching the front panel to the rear panel.

전면패널(10)과 후면패널(20)을 합착한 후에 상기한 자동 검사 장치를 이용하여 상측 보호 시트(12) 쪽에 기포 및 이물을 검출하거나 레진층(15) 쪽의 기포 및 이물질 등을 검출하게 된다.After the front panel 10 and the rear panel 20 are bonded together, the above-described automatic inspection device is used to detect bubbles and foreign matters on the upper protective sheet 12 side or to detect bubbles and foreign matters on the resin layer 15 side. do.

그러나, 종래 평판 디스플레이 패널 자동 검사 장치는 하나의 초점을 가진 광학계를 가진 카메라 스캔 모듈만 구비되어 있기 때문에 도 1에서 상측 보호 시트(12) 쪽의 기포 및 이물질과 레진층(15) 쪽의 기포 및 이물질을 보다 정확하게 검사하는데 한계가 있는 문제점이 있다.
However, since the conventional flat panel display automatic inspection device includes only a camera scan module having an optical system having a single focus, bubbles and foreign matter on the upper protective sheet 12 side and bubbles on the resin layer 15 side and There is a limiting problem in inspecting foreign substances more accurately.

이상 설명한 배경기술의 내용은 이 건 출원의 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.The contents of the background art described above are technical information that the inventor of the present application holds for the derivation of the present invention or acquired in the derivation process of the present invention and is a known technology disclosed to the general public prior to the filing of the present invention I can not.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다른 심도의 초점을 갖는 카메라 모듈을 이용하여 깊이가 다른 위치에 존재하는 기포, 이물질 등을 보다 정확하게 검출하여 패널 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법을 제공하는 데 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, by using a camera module having a different depth of focus to detect the bubbles, foreign substances, etc. existing in different positions of the depth more accurately to improve the reliability of panel inspection An object of the present invention is to provide a display panel inspection apparatus and method.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치는, 검사할 평판 디스플레이 패널이 올려지는 스테이지와; 상기 스테이지 상에 올려진 평판 디스플레이 패널의 특정 심도에 카메라 초점이 맞추어져 평판 디스플레이 패널의 광학 검사를 실행하도록 구비된 제1광학 기구와; 상기 제1광학 기구와 다른 심도로 평판 디스플레이 패널에 카메라 초점이 맞추어져 상기 스테이지 상에 올려진 평판 디스플레이 패널의 광학 검사를 실행하도록 구비된 제2광학 기구를 포함한 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, a flat panel display panel inspection apparatus includes: a stage on which a flat panel display panel to be inspected is mounted; A first optical instrument adapted to perform an optical inspection of the flat panel display by focusing the camera on a specific depth of the flat panel display panel mounted on the stage; And a second optical instrument adapted to perform an optical inspection of the flat panel display panel mounted on the stage by focusing the camera on the flat panel display panel at a different depth than the first optical instrument.

여기서 상기 제1광학 기구와 제2광학 기구는 라인스캔 카메라를 포함하여 구성될 수 있다.Here, the first optical device and the second optical device may include a line scan camera.

상기 평판 디스플레이 패널은 전면패널과 후면패널이 합착되어 구성되고, 상기 제1광학 기구는 상기 전면패널의 상부 쪽에 초점이 맞추어지고, 상기 제2광학 기구는 상기 전면패널과 후면패널 사이의 레진층에 초점이 맞추어지는 것이 바람직하다.The flat panel display panel includes a front panel and a rear panel bonded to each other, wherein the first optical apparatus is focused on an upper side of the front panel, and the second optical apparatus is connected to a resin layer between the front panel and the rear panel. It is desirable to focus.

또한, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치는, 검사할 평판 디스플레이 패널이 올려지는 스테이지와; 상기 스테이지 상에 올려진 평판 디스플레이 패널의 광학 검사를 실행하도록 구비된 복수의 광학 기구를 포함하되, 상기 복수의 광학 기구는 평판 디스플레이 패널의 다른 심도에 카메라 초점이 맞추어지도록 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, a flat panel display panel inspection apparatus according to the present invention for realizing the above object is a stage on which the flat panel display panel to be inspected is mounted; And a plurality of optical instruments provided to perform optical inspection of the flat panel display panel mounted on the stage, wherein the plurality of optical instruments are configured to focus the camera at different depths of the flat panel display panel.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 방법은, 스테이지 상에 검사할 평판 디스플레이 패널을 올리는 제1단계와; 상기 제1단계 후에 평판 디스플레이 패널에 대해 서로 다른 심도의 카메라 초점을 갖는 복수의 광학 기구를 이용하여 평판 디스플레이 패널을 촬영하여 이미지를 획득하는 제2단계와; 상기 제2단계에서 획득된 각각의 이미지를 조합하여 평판 디스플레이 패널의 흠결을 판단하는 제3단계를 포함한 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flat panel display panel inspection method comprising: a first step of raising a flat panel display panel to be inspected on a stage; A second step of photographing the flat panel display panel by using a plurality of optical instruments having camera depths of different depths with respect to the flat panel display panel after the first step; And a third step of determining defects of the flat panel display panel by combining the respective images obtained in the second step.

상기 평판 디스플레이 패널은 전면패널과 후면패널이 합착되어 구성되고, 상기 복수의 광학 검사기구가 상기 전면패널의 상부 쪽에 초점이 맞추어진 제1광학 기구와 상기 전면패널과 후면패널 사이에 초점이 맞추어진 제2광학 기구로 구성될 경우에, 상기 제3단계는, 상기 제1광학 기구를 통해 획득한 전면패널 상면의 이물 및 기포 이미지와 제2광학 기구를 통해 획득한 전면패널과 후면패널 사이의 레진층 이미지를 중첩한 후에, 전면패널 상면의 이물 및 기포 이미지를 패턴 매칭하여 제거한 후에 전면패널과 후면패널 사이의 레진층 기포 및 이물질을 검출하는 것이 바람직하다.
The flat panel display panel includes a front panel and a rear panel bonded to each other, and the plurality of optical inspection mechanisms are focused between the first optical apparatus focused on an upper side of the front panel and the front panel and the rear panel. In the case of the second optical instrument, the third step may include a foreign material and bubble image on the upper surface of the front panel obtained through the first optical instrument and a resin between the front panel and the rear panel obtained through the second optical instrument. After superimposing the layer images, it is preferable to detect the foreign matter and bubble images between the front panel and the rear panel after pattern matching and removing foreign matter and bubble images on the front panel.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.
The main problem solving means of the present invention as described above, will be described in more detail and clearly through examples such as 'details for the implementation of the invention', or the accompanying 'drawings' to be described below, wherein In addition to the main problem solving means as described above, various problem solving means according to the present invention will be further presented and described.

본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법은 서로 다른 심도의 초점을 갖는 카메라 모듈을 이용하여 패널에서 깊이가 다른 위치에 존재하는 기포, 이물질 등을 보다 정확하게 검출할 수 있도록 구성되기 때문에 패널 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.
The apparatus and method for inspecting a flat panel display panel according to the present invention is configured to more accurately detect bubbles, foreign substances, etc. existing at different positions in the panel by using camera modules having different depths of focus. There is an effect that can increase the reliability.

도 1은 LCD 패널 등 검사 대상체를 보여주는 상세 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치가 도시된 일 실시예의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치에서 두 광학 기구의 초점 위치를 보여주는 개략적인 상세도이다.
도 4는 본 발명에서 두 광학 기구의 초점 심도를 나타내는 그래프이다.
도 5 및 도 6은 본 발명에서 두 광학 기구로 획득한 이미지를 비교한 도면들이다.1 is a detailed cross-sectional view showing a test object such as an LCD panel.
2 is a front view of an embodiment in which the flat panel display inspection apparatus according to the present invention is shown.
3 is a schematic detailed view showing a focus position of two optical instruments in the flat panel display panel inspection apparatus according to the present invention.
4 is a graph showing depth of focus of two optical instruments in the present invention.
5 and 6 are views comparing images obtained by the two optical instruments in the present invention.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치는, 도 2를 참조하면, 검사할 평판 디스플레이 패널 등의 기판(S)이 올려지는 스테이지(50)와, 이 스테이지(50)의 상측을 지나도록 갠트리 구조로 설치되는 스캔 지지대(60)와, 스캔 지지대(60)에 스캔 지지대(60)의 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 상기 스테이지(50)에 올려진 기판을 촬영하는 복수개의 카메라 스캔 모듈(70) 등으로 구성된다.Referring to FIG. 2, the flat panel display inspection apparatus according to the present invention includes a stage 50 on which a substrate S, such as a flat panel display panel to be inspected, is placed, and a gantry structure to pass through the upper side of the stage 50. A plurality of camera scan modules 70 which are installed to be movable along the longitudinal direction of the scan support 60 to the scan support 60 and the scan support 60 to be mounted on the stage 50. And the like.

여기서, 스테이지(50)는 지지 프레임(52)과, 이 지지 프레임(52)에 상측에 구비되어 에어 부상식으로 기판을 이송할 수 있도록 하는 ASU(Air Slider Unit) 플레이트(54) 등으로 구성될 수 있다.Here, the stage 50 may be composed of a support frame 52 and an ASU (Air Slider Unit) plate 54 provided on the support frame 52 to allow the substrate to be transported by air floating. Can be.

스캔 지지대(60)는 그 양단 지지부(62)가 상기 스테이지(50)에 세워지는 구조로 고정되고, 양단 지지부(62) 사이에는 카메라 스캔 모듈(70)들이 지지되는 동시에 왕복 운동이 가능하도록 안내하는 가이드부(64)가 포함되어 구성된다.The scan support 60 is fixed to the stage 50 so that the both end supports 62 are supported by the stage 50. The camera scan modules 70 are supported between the both end supports 62, And a guide portion 64 are included.

카메라 스캔 모듈(70)은 기판(S)을 스캔하여 이미지를 획득하여 기판에 형성된 패턴 불량, 기포 발생, 이물질 포함 여부 등 기판의 흠결을 검사하기 위한 구성 부분으로서, 크게 이미지 획득을 위한 라인스캔 카메라(72)와, 스캔 영역에 빛을 조사하는 조명장치(74), 이들을 스캔 지지대(60)에 지지하는 동시에 기판을 스캔하기 위한 각종 구성 부품들이 탑재된 모듈 바디(76)로 이루어지는 것이 바람직하다.The camera scanning module 70 is a component for scanning a substrate S to obtain an image and inspecting the defects of the substrate, such as pattern defects, bubbles, foreign substances, etc., An illumination device 74 for irradiating light to the scan area, and a module body 76 having various components for supporting the scan support 60 and scanning the substrate.

카메라 스캔 모듈(70)이 스캔 지지대(60)를 따라 좌우 왕복 운동하는 구조는 널리 공지되어 있으므로 여기서는 구체적인 설명은 생략한다.
Since the structure in which the camera scan module 70 reciprocates left and right along the scan support 60 is well known, a detailed description thereof will be omitted.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 카메라 스캔 모듈을 보여주는 개략적인 구성도이다.3 is a schematic diagram illustrating a camera scan module according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 카메라 스캔 모듈(70)은 스테이지(50) 상에 올려진 평판 디스플레이 패널의 특정 심도에 카메라 초점이 맞추어져 평판 디스플레이 패널과 같은 기판(S)의 광학 검사를 실행하도록 구비된 제1광학 기구(70A)와, 이 제1광학 기구(70A)와 다른 심도로 기판(S)에 카메라 초점이 맞추어져 상기 스테이지(50) 상에 올려진 기판(S)의 광학 검사를 실행하도록 구비된 제2광학 기구(70B)를 포함하여 구성된다.The camera scanning module 70 according to the present invention is a first focusing camera for a specific depth of a flat panel display panel mounted on the stage 50, and is provided to perform optical inspection of a substrate S such as a flat panel display panel. A camera focused on the substrate S at a different depth than the optical apparatus 70A and the first optical apparatus 70A, and provided to perform optical inspection of the substrate S mounted on the stage 50. It is comprised including the 2nd optical mechanism 70B.

여기서 제1광학 기구(70A) 및 제2광학 기구(70B)는 각각 라인스캔 카메라(72a)(72b)와 스캔 영역에 빛을 조사하는 조명장치(74a)(74b)를 포함하여 구성되고, 이러한 두 개의 광학 기구(70A, 70B)는 하나의 카메라 스캔 모듈(70)에 모두 구비되거나, 다른 카메라 스캔 모듈(70)에 각각 구비되게 구성될 수 있다.Here, the first optical device 70A and the second optical device 70B include a line scan camera 72a and 72b and an illumination device 74a and 74b for irradiating light to the scan area, respectively. Two optical apparatuses 70A and 70B may be provided in one camera scan module 70 or may be provided in each of the other camera scan module 70.

도 3에 예시된 바와 같이 평판 디스플레이 패널이 LCD와 같이 전면패널(10)과 후면패널(20)이 합착되어 구성될 경우에, 이를 검사하기 위해 상기 제1광학 기구(70A)는 상기 전면패널(10)의 상부 쪽에 초점이 맞추어지고, 상기 제2광학 기구(70B)는 상기 전면패널(10)과 후면패널(20) 사이에 초점이 맞추어지도록 구성되어, 상부 보호 커버(12) 쪽과 두 패널 사이의 레진층(15) 쪽의 이물질 및 기포 등을 검사할 수 있도록 구성된다.As illustrated in FIG. 3, when the flat panel display panel is configured such that the front panel 10 and the rear panel 20 are bonded together, such as an LCD, the first optical apparatus 70A may be configured to check the front panel ( 10 is focused on the upper side, and the second optical instrument 70B is configured to be focused between the front panel 10 and the rear panel 20, the upper protective cover 12 side and the two panels. It is configured to inspect the foreign matter and bubbles on the side of the resin layer 15 therebetween.

제1광학 기구(70A)는 전면패널(10)의 바로 상면에 초점이 맞추어지도록 구성할 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 전면패널(10) 위에 씌워지는 상측 보호 커버(12) 등을 고려하여 전면패널(10)의 상면으로부터 일정 정도 높은 위치에 초점이 맞추어지도록 구성하는 것도 가능하다.The first optical mechanism 70A may be configured to be focused on the top surface of the front panel 10, but is not limited thereto, and the first optical mechanism 70A may be configured to be disposed on the front panel 10 in consideration of the upper protective cover 12 and the like. It is also possible to configure such that the focus is at a certain position higher from the upper surface of the front panel 10.

도 4는 상기 두 광학 기구(70A, 70B)를 이용한 피사체와의 거리와 초점 관계 즉, 카메라 심도를 나타낸 그래프이다. 여기서 제1광학 기구(70A)의 초점은 전면패널(10) 상면이 아닌 그 상측에 초점이 맞추어진 상태로 나타내었다.
4 is a graph showing a distance and a focus relationship, that is, a camera depth, from a subject using the two optical apparatuses 70A and 70B. Here, the focus of the first optical instrument 70A is shown as being focused on the upper side of the front panel 10 rather than the upper surface thereof.

한편, 상기에서는 두 개의 광학 기구(70A, 70B)를 이용하여 LCD 패널의 합착 상태 등을 검사하는 실시예를 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 실시 조건에 따라서는 3개 또는 그 이상의 광학 기구를 이용하여 서로 다른 심도의 초점을 설정하여 기판과 같은 검사 대상체를 검사하도록 구성하는 것도 가능하다.
On the other hand, in the above described an embodiment of inspecting the bonding state of the LCD panel using the two optical instruments 70A, 70B, but not limited to this, depending on the implementation conditions using three or more optical instruments It is also possible to configure a different depth of focus to inspect the inspection object, such as a substrate.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치를 이용한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 방법에 대하여 설명한다.The flat panel display panel inspection method according to the present invention using the flat panel display panel inspection apparatus according to the present invention configured as described above will be described.

도 2를 참조하면, 먼저 스테이지(50) 상에 검사할 평판 디스플레이 패널, 예를 들면 전면패널(10)과 후면패널(20)이 합착된 LCD 패널을 로딩한다.Referring to FIG. 2, first, a flat panel display panel to be inspected on the stage 50, for example, an LCD panel in which the front panel 10 and the rear panel 20 are bonded are loaded.

이후, LCD 패널에 대해 상기한 바와 같이 서로 다른 심도의 카메라 초점을 갖는 제1광학 기구(70A) 및 제2광학 기구(70B)를 이용하여 LCD 패널을 촬영하여 이미지를 획득한다.Then, the LCD panel is photographed by using the first optical instrument 70A and the second optical instrument 70B having camera depths of different depths as described above with respect to the LCD panel to obtain an image.

도 5는 레진층(15)에 기포가 형성된 경우에 제1광학 기구(70A) 및 제2광학 기구(70B)를 통해 획득한 이미지를 보여준다. 제2광학 기구(70B)의 초점이 레진층(15)에 맞추어져 있으므로, 제1광학 기구(70A)를 통해 획득한 이미지 상의 기포보다 제2광학 기구(70B)를 통해 획득한 이미지 상의 기포가 보다 선명하고 정확히 나타난 것을 알 수 있다.FIG. 5 shows an image acquired through the first optical instrument 70A and the second optical instrument 70B when bubbles are formed in the resin layer 15. Since the focus of the second optical instrument 70B is focused on the resin layer 15, bubbles on the image acquired through the second optical instrument 70B are more than bubbles on the image obtained through the first optical instrument 70A. It is clearer and more accurate.

이후, 상기와 같이 획득된 두 이미지를 조합하여 LCD 패널의 흠결 즉, 기포 또는 이물질 존재 여부를 판단한다.Thereafter, the two images obtained as described above are combined to determine whether the LCD panel is defective, that is, bubbles or foreign substances are present.

이때, 제1광학 기구(70A)를 통해 획득한 전면패널(10) 상면의 이물 및 기포 이미지와 제2광학 기구(70B)를 통해 획득한 전면패널(10)과 후면패널(20) 사이의 레진층(15) 이미지를 중첩한 후에, 전면패널(10) 상면의 이물 및 기포 이미지를 패턴 매칭하여 제거한 후에 전면패널(10)과 후면패널(20) 사이의 레진층(15) 기포 및 이물질을 검출한다.At this time, the foreign material and bubble image of the upper surface of the front panel 10 obtained through the first optical instrument 70A and the resin between the front panel 10 and the rear panel 20 obtained through the second optical instrument 70B. After superimposing the layer 15 images, the foreign matter and bubble images on the top surface of the front panel 10 are pattern-matched and removed, and then the bubbles and the foreign matter of the resin layer 15 between the front panel 10 and the rear panel 20 are detected. do.

즉, 레진층(15)의 기포 존재 여부를 보다 정확히 판단하기 위해서 두 이미지를 조합할 때 제1광학 기구(70A)를 통해 얻은 이미지에서 흐릿한 레진층(15)의 기포 이미지를 제거하여 보다 정확한 레진층(15)의 기포 존재 여부를 검출하는 것이다.That is, in order to more accurately determine the presence or absence of bubbles in the resin layer 15, when the two images are combined, the bubble image of the blurry resin layer 15 is removed from the image obtained through the first optical instrument 70A, thereby making it more accurate. The presence or absence of bubbles in the layer 15 is detected.

물론, 전면패널(10) 상부의 기포 또는 이물질 존재여부도 상기와 같은 방법을 통해 검출할 수 있는데, 도 6에 도시된 바와 같이 역시 두 개의 광학 기구(70A, 70B)를 통해 얻은 이미지를 비교하여 기포 또는 이물질(파티클) 존재 여부를 검출할 수 있다.
Of course, the presence of bubbles or foreign substances on the front panel 10 can also be detected by the above method, as shown in FIG. 6 by comparing the images obtained through the two optical instruments 70A and 70B. The presence of bubbles or foreign matter (particles) can be detected.

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the technical ideas described in the embodiments of the present invention can be performed independently of each other, and can be implemented in combination with each other. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications, and variations will be apparent to those skilled in the art. It is possible. Accordingly, the technical scope of the present invention should be determined by the appended claims.

Claims (6)

검사할 평판 디스플레이 패널이 올려지는 스테이지와;
상기 스테이지 상에 올려진 평판 디스플레이 패널의 특정 심도에 카메라 초점이 맞추어져 평판 디스플레이 패널의 광학 검사를 실행하도록 구비된 제1광학 기구와;
상기 제1광학 기구와 다른 심도로 평판 디스플레이 패널에 카메라 초점이 맞추어져 상기 스테이지 상에 올려진 평판 디스플레이 패널의 광학 검사를 실행하도록 구비된 제2광학 기구를 포함한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
A stage on which a flat panel display panel to be inspected is mounted;
A first optical instrument adapted to perform an optical inspection of the flat panel display by focusing the camera on a specific depth of the flat panel display panel mounted on the stage;
And a second optical instrument adapted to perform an optical inspection of the flat panel display panel mounted on the stage by focusing the camera on the flat panel display panel at a different depth than the first optical instrument. .
청구항1에 있어서,
상기 제1광학 기구와 제2광학 기구는 라인스캔 카메라를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
The method according to claim 1,
And the first and second optical instruments comprise a line scan camera.
청구항1에 있어서,
상기 평판 디스플레이 패널은 전면패널과 후면패널이 합착되어 구성되고,
상기 제1광학 기구는 상기 전면패널의 상부 쪽에 초점이 맞추어지고,
상기 제2광학 기구는 상기 전면패널과 후면패널 사이의 레진층에 초점이 맞추어진 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
The method according to claim 1,
The flat panel display panel is composed of a front panel and a rear panel bonded together,
The first optical instrument is focused on an upper side of the front panel,
And the second optical instrument is focused on a resin layer between the front panel and the rear panel.
검사할 평판 디스플레이 패널이 올려지는 스테이지와;
상기 스테이지 상에 올려진 평판 디스플레이 패널의 광학 검사를 실행하도록 구비된 복수의 광학 기구를 포함하되,
상기 복수의 광학 기구는 평판 디스플레이 패널의 다른 심도에 카메라 초점이 맞추어지도록 구성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
A stage on which a flat panel display panel to be inspected is mounted;
A plurality of optical instruments equipped to perform optical inspection of the flat panel display panel mounted on the stage,
And the plurality of optical instruments are configured to focus the camera at different depths of the flat panel display panel.
스테이지 상에 검사할 평판 디스플레이 패널을 올리는 제1단계와;
상기 제1단계 후에 평판 디스플레이 패널에 대해 서로 다른 심도의 카메라 초점을 갖는 복수의 광학 기구를 이용하여 평판 디스플레이 패널을 촬영하여 이미지를 획득하는 제2단계와;
상기 제2단계에서 획득된 각각의 이미지를 조합하여 평판 디스플레이 패널의 흠결을 판단하는 제3단계를 포함한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 방법.
Raising a flat panel display panel to be inspected on the stage;
A second step of photographing the flat panel display panel by using a plurality of optical instruments having camera depths of different depths with respect to the flat panel display panel after the first step;
And a third step of determining defects of the flat panel display panel by combining the respective images acquired in the second step.
청구항5에 있어서,
상기 평판 디스플레이 패널은 전면패널과 후면패널이 합착되어 구성되고,
상기 복수의 광학 검사기구가 상기 전면패널의 상부 쪽에 초점이 맞추어진 제1광학 기구와 상기 전면패널과 후면패널 사이에 초점이 맞추어진 제2광학 기구로 구성될 경우에,
상기 제3단계는, 상기 제1광학 기구를 통해 획득한 전면패널 상면의 이물 및 기포 이미지와 제2광학 기구를 통해 획득한 전면패널과 후면패널 사이의 레진층 이미지를 중첩한 후에, 전면패널 상면의 이물 및 기포 이미지를 패턴 매칭하여 제거한 후에 전면패널과 후면패널 사이의 레진층에 존재하는 기포 및 이물질을 검출하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 방법.
The method of claim 5,
The flat panel display panel is composed of a front panel and a rear panel bonded together,
When the plurality of optical inspection mechanisms are composed of a first optical instrument focused on an upper side of the front panel and a second optical instrument focused between the front panel and the rear panel,
In the third step, after the foreign material and bubble image of the front panel obtained through the first optical instrument and the resin layer image between the front panel and the rear panel obtained through the second optical instrument are superimposed, the front panel upper surface Flat pattern panel inspection method characterized by detecting the bubbles and foreign substances present in the resin layer between the front panel and the rear panel after removing the foreign matter and bubble image of the pattern matching.
KR1020110147830A 2011-12-30 2011-12-30 Inspection device for flat display panel KR101311981B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110147830A KR101311981B1 (en) 2011-12-30 2011-12-30 Inspection device for flat display panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110147830A KR101311981B1 (en) 2011-12-30 2011-12-30 Inspection device for flat display panel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130078721A true KR20130078721A (en) 2013-07-10
KR101311981B1 KR101311981B1 (en) 2013-09-30

Family

ID=48991604

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110147830A KR101311981B1 (en) 2011-12-30 2011-12-30 Inspection device for flat display panel

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101311981B1 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150062754A (en) * 2013-11-29 2015-06-08 엘지디스플레이 주식회사 Substrate inspection apparatus and method
US9488598B2 (en) 2014-06-02 2016-11-08 Samsung Display Co., Ltd. Inspecting apparatus for inspecting a multilayer structure
US9588060B2 (en) 2013-11-15 2017-03-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Non-destructive inspection system for display panel and method, and non-destructive inspection apparatus thereof
KR20180113830A (en) * 2017-04-07 2018-10-17 에이티아이 주식회사 Optical element inspection apparatus
KR20190100616A (en) * 2018-02-21 2019-08-29 (주)오로스 테크놀로지 Surface defect inspection apparatus

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101688458B1 (en) 2016-04-27 2016-12-23 디아이티 주식회사 Image inspection apparatus for manufactured articles using deep neural network training method and image inspection method of manufactured articles thereby

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0854349A (en) * 1994-08-15 1996-02-27 Advantest Corp Camera and picture quality inspecting device using it
JP3343445B2 (en) * 1994-07-14 2002-11-11 株式会社アドバンテスト LCD panel image quality inspection system
JP2002015303A (en) * 2000-06-30 2002-01-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Defect detecting method for pattern and its device
KR100772608B1 (en) * 2006-05-29 2007-11-02 아주하이텍(주) System for optical automated inspection

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9588060B2 (en) 2013-11-15 2017-03-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Non-destructive inspection system for display panel and method, and non-destructive inspection apparatus thereof
KR20150062754A (en) * 2013-11-29 2015-06-08 엘지디스플레이 주식회사 Substrate inspection apparatus and method
US9488598B2 (en) 2014-06-02 2016-11-08 Samsung Display Co., Ltd. Inspecting apparatus for inspecting a multilayer structure
KR20180113830A (en) * 2017-04-07 2018-10-17 에이티아이 주식회사 Optical element inspection apparatus
KR20190100616A (en) * 2018-02-21 2019-08-29 (주)오로스 테크놀로지 Surface defect inspection apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR101311981B1 (en) 2013-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101311981B1 (en) Inspection device for flat display panel
JP5325807B2 (en) Foreign object detection device on flat glass surface
KR101325762B1 (en) Optical inspection device
KR101325761B1 (en) Optical inspection device
KR101074394B1 (en) Apparatus for Testing LCD Panel
TWI502186B (en) A bright spot detection device for filtering foreign matter noise and its method
JP2014119255A (en) Device for inspecting optical film and method for inspecting optical film
KR101129642B1 (en) Apparatus and method for inspecting LCD cell
JP2006292412A (en) Surface inspection system, surface inspection method and substrate manufacturing method
KR101197709B1 (en) Apparatus for inspecting substrate
KR101445126B1 (en) Back light unit inspecting apparatus and method
KR20130026264A (en) Light guide plate inspecting device
JP4793851B2 (en) Color filter substrate stage device and inspection device
KR100812408B1 (en) Apparatus for Processing Display Panel
KR101391312B1 (en) Camera assembly for back light unit inspecting apparatus
JP2007132911A (en) System for sensing vision and luminance of back light unit
KR101072390B1 (en) Backlight module for cell and Inspecting apparatus having the same
KR101144797B1 (en) Thin Film Material Testing Apparatus and method for the same
KR20100084829A (en) Inspecting apparatus having line scan camera
KR101046566B1 (en) Appartus for inspecting substrate and method using the same
KR101197708B1 (en) Apparatus for inspecting substrate
KR100971081B1 (en) Defect Inspection Method of Polarizing Film
KR20140139929A (en) Display Panel Inspection Apparatus and Its Method
JP5718116B2 (en) Transparent sheet material appearance inspection jig, and transparent sheet material appearance inspection method using the same
KR101867589B1 (en) Transparent Inspection Device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160920

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170918

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180918

Year of fee payment: 6