KR102147130B1 - Apparatus for inspecting substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치는, 베이스 상에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 지지대; 지지대에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며, 제1 편광판, 제1 편광판의 상방에 구비되는 촬상 모듈, 제1 편광판을 Z축을 중심으로 회전시키는 제1 편광판 회전 모듈을 구비하는 기판 검사 헤드; 베이스에 구비되며 기판이 안착되는 기판 안착 부재; 기판 안착 부재의 하방에 구비되는 제2 편광판; 및 제2 편광판의 하방에 구비되는 조명 모듈을 포함할 수 있다.A substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes a support mounted on a base to be movable in a Y-axis direction; A substrate inspection head installed to be movable in the X-axis direction on the support and including a first polarizing plate, an imaging module provided above the first polarizing plate, and a first polarizing plate rotating module rotating the first polarizing plate about a Z axis; A substrate seating member provided on the base and on which the substrate is seated; A second polarizing plate provided below the substrate mounting member; And it may include a lighting module provided under the second polarizing plate.

Description

기판 검사 장치{APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE}Substrate inspection device {APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE}

본 발명은 기판을 검사하는 기판 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate inspection apparatus for inspecting a substrate.

일반적으로, 액정 디스플레이는 액정 분자의 광학적 이방성과 복굴절 특성을 이용하여 화상을 표현하는 표시 장치이다. 액정으로 전계가 인가되면 액정의 배열이 변화되며, 변화된 액정의 배열 방향에 따라 빛이 투과되는 특성이 달라진다.In general, a liquid crystal display is a display device that displays an image using optical anisotropy and birefringence properties of liquid crystal molecules. When an electric field is applied to the liquid crystal, the arrangement of the liquid crystals changes, and the characteristics of light transmission vary according to the changed arrangement direction of the liquid crystals.

액정 디스플레이용 기판(이하, '기판'이라 함)은 제1 패널 및 제2 패널과, 제1 패널 및 제2 패널 사이에 형성되는 액정층으로 구성된다. 제1 패널 및 제2 패널 중 어느 하나에는 박막 트랜지스터가 형성되며, 제1 및 제2 패널 중 다른 하나에는 컬러 필터가 형성된다.A substrate for a liquid crystal display (hereinafter, referred to as a “substrate”) includes a first panel and a second panel, and a liquid crystal layer formed between the first panel and the second panel. A thin film transistor is formed on one of the first panel and the second panel, and a color filter is formed on the other of the first and second panels.

이러한 기판을 검사하기 위해, 광원과, 기판을 사이에 두고 배치되어 광원에서 조사된 광을 편광시키는 한 쌍의 편광판이 사용된다. 한 쌍의 편광판 중 하나를 고정한 상태에서, 한 쌍의 편광판 중 다른 하나를 회전시키면서, 광원에서 조사된 광이 기판을 통과할 때 광이 왜곡되는지 여부를 검출함으로써, 기판에 결함이 존재하는지 여부를 판단한다.In order to inspect such a substrate, a light source and a pair of polarizing plates disposed between the substrate and polarizing light irradiated from the light source are used. While one of the pair of polarizing plates is fixed, by rotating the other of the pair of polarizing plates, detecting whether or not the light is distorted when the light irradiated from the light source passes through the substrate, it is possible to check whether a defect exists in the substrate. Judge.

그러나, 종래 기술에 따르면, 작업자가 직접 편광판을 수동으로 회전시키면서 광의 왜곡이 있는지를 육안으로 판별하였으므로, 작업자의 기판 검사 능력의 차이로 인하여 기판 검사 결과에 차이가 발생하는 문제가 있다. 또한, 매우 미세한 크기의 화소 불량은 작업자가 육안으로 판별하기 어려워 기판의 결함을 정확하게 검출하기 어렵다는 문제가 있다.However, according to the prior art, since the operator manually rotates the polarizing plate to determine whether there is distortion of light, there is a problem that a difference occurs in the substrate inspection result due to the difference in the operator's substrate inspection capability. In addition, there is a problem in that it is difficult to accurately detect defects of a substrate because it is difficult for an operator to visually determine defective pixels of very fine sizes.

본 발명은 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 한 쌍의 편광판 중 적어도 어느 하나의 편광판을 회전하면서 이미지를 획득하는 공정 등을 자동으로 수행함으로써, 작업자가 육안으로 기판을 검사하는 경우에 비하여, 기판의 결함을 보다 정확하게 검출할 수 있는 기판 검사 장치를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the problem of the prior art, and an object of the present invention is to automatically perform a process of acquiring an image while rotating at least one of a pair of polarizing plates, so that an operator can visually inspect a substrate. It is to provide a substrate inspection apparatus capable of more accurately detecting defects of a substrate compared to the case of inspection.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치는, 베이스 상에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 지지대; 지지대에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며, 제1 편광판, 제1 편광판의 상방에 구비되는 촬상 모듈, 제1 편광판을 Z축을 중심으로 회전시키는 제1 편광판 회전 모듈을 구비하는 기판 검사 헤드; 베이스에 구비되며 기판이 안착되는 기판 안착 부재; 기판 안착 부재의 하방에 구비되는 제2 편광판; 및 제2 편광판의 하방에 구비되는 조명 모듈을 포함할 수 있다.A substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes: a support mounted on a base to be movable in a Y-axis direction; A substrate inspection head installed to be movable in the X-axis direction on the support, and including a first polarizing plate, an imaging module provided above the first polarizing plate, and a first polarizing plate rotating module rotating the first polarizing plate about a Z axis; A substrate seating member provided on the base and on which the substrate is seated; A second polarizing plate provided below the substrate mounting member; And it may include a lighting module provided under the second polarizing plate.

기판 검사 헤드에는, 제1 편광판이 설치되고 Z축을 중심으로 회전 가능하게 구성되는 제1 편광판 회전 부재가 구비될 수 있고, 제1 편광판 회전 모듈은 제1 편광판 회전 부재의 외주부와 벨트, 링크 또는 기어를 통해 연결되는 회전 모터를 포함할 수 있다.In the substrate inspection head, a first polarizing plate may be installed and a first polarizing plate rotating member configured to be rotatable about a Z-axis may be provided, and the first polarizing plate rotating module includes an outer circumference of the first polarizing plate rotating member and a belt, link, or gear. It may include a rotation motor connected through.

지지대에는 복수의 기판 검사 헤드가 구비될 수 있으며, 복수의 기판 검사 헤드에 각각 구비되는 복수의 촬상 모듈은 상이한 배율을 가질 수 있다.A plurality of substrate inspection heads may be provided on the support, and a plurality of imaging modules each provided in the plurality of substrate inspection heads may have different magnifications.

본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치는 제2 편광판을 Z축을 중심으로 회전시키도록 구성되는 제2 편광판 회전 모듈을 더 포함할 수 있다.The substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a second polarizing plate rotation module configured to rotate the second polarizing plate about a Z axis.

제2 편광판은 조명 모듈과 일체로 연결될 수 있으며, 제2 편광판 회전 모듈은 조명 모듈을 Z축을 중심으로 회전시키도록 구성될 수 있다.The second polarizing plate may be integrally connected with the lighting module, and the second polarizing plate rotation module may be configured to rotate the lighting module around the Z axis.

본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치에 따르면, 기판이 기판 정렬 유닛에 의해 자동으로 정렬되고, 기판이 기판 반송 유닛에 의해 기판 검사 유닛으로 자동으로 반입되며, 제1 편광판 및/또는 제2 편광판이 자동으로 회전되면서, 촬상 모듈에 의해 이미지가 자동으로 획득될 수 있으므로, 작업자가 육안으로 기판을 검사하는 경우에 비하여, 기판의 결함을 보다 정확하게 검출할 수 있다.According to the substrate inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, the substrate is automatically aligned by the substrate alignment unit, the substrate is automatically carried into the substrate inspection unit by the substrate transfer unit, and the first polarizing plate and/or the second polarizing plate While this is automatically rotated, since an image can be automatically acquired by the imaging module, a defect of the substrate can be more accurately detected as compared to a case where an operator visually inspects the substrate.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치에 구비되는 기판 정렬 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치에 구비되는 기판 정렬 유닛이 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치에 구비되는 기판 정렬 유닛이 작동되는 상태가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치에 구비되는 기판 검사 유닛이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치에 구비되는 기판 검사 유닛의 기판 검사 헤드의 일부가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치에 구비되는 기판 검사 유닛의 기판 검사 헤드의 일부가 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 검사 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.1 is a side view schematically illustrating a substrate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 is a side view schematically showing a substrate alignment unit provided in the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
3 is a plan view schematically illustrating a substrate alignment unit included in the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
4 is a side view schematically showing a state in which the substrate alignment unit provided in the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention is operated.
5 is a perspective view schematically showing a substrate inspection unit included in the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
6 is a side view schematically illustrating a part of a substrate inspection head of a substrate inspection unit provided in the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
7 is a perspective view schematically illustrating a part of a substrate inspection head of a substrate inspection unit provided in the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
8 is a side view schematically illustrating a substrate inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치에 의해 검사되는 기판은 박막 트랜지스터가 형성되는 제1 패널과 컬러 필터가 형성되는 제2 패널이 액정층을 사이에 두고 합착된 LCD 패널일 수 있다.The substrate inspected by the substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention may be an LCD panel in which a first panel on which a thin film transistor is formed and a second panel on which a color filter is formed are bonded with a liquid crystal layer therebetween.

도 1을 참조하면, 기판(S)을 검사하는 과정에서 기판(S)이 기판 검사 유닛(40)을 향하여 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 교차하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다. 또한, Y축 방향은 기판(S)의 길이 방향이고, X축 방향을 기판(S)의 폭 방향이다.Referring to FIG. 1, in the process of inspecting the substrate S, the direction in which the substrate S is transported toward the substrate inspection unit 40 is defined as the Y-axis direction, and the direction in which the substrate S is transported (Y-axis Direction) is defined as the X-axis direction. In addition, a direction perpendicular to the X-Y plane on which the substrate S is placed is defined as the Z-axis direction. In addition, the Y-axis direction is the length direction of the substrate S, and the X-axis direction is the width direction of the substrate S.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치는, 외부로부터 반입된 기판(S)의 위치를 결정하는 기판 정렬 유닛(10)과, 기판(S)을 검사하도록 구성되는 기판 검사 유닛(40)과, 기판 정렬 유닛(10)으로부터 기판 검사 유닛(40)으로 기판(S)을 반송하도록 구성되는 기판 반송 유닛(30)을 포함한다.As shown in Fig. 1, the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention is to inspect the substrate alignment unit 10 and the substrate S to determine the position of the substrate (S) carried from the outside. A substrate inspection unit 40 configured, and a substrate transfer unit 30 configured to transfer the substrate S from the substrate alignment unit 10 to the substrate inspection unit 40.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 기판 정렬 유닛(10)은 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)으로 연장되며 X축 방향으로 소정의 간격으로 이격되게 배치되는 복수의 벨트(11)와, 복수의 벨트(11)와 연결되어 복수의 벨트(11)를 승강시키는 벨트 승강 모듈(12)과, 복수의 벨트(11) 사이에 배치되어 기판(S)을 부양시키는 복수의 부양 모듈(13)과, 복수의 부양 모듈(13)에 의해 부양된 기판(S)의 측면을 가압하는 가압 모듈(14)을 포함할 수 있다.1 to 4, the substrate alignment unit 10 extends in a direction in which the substrate S is transported (Y-axis direction) and is arranged to be spaced apart at predetermined intervals in the X-axis direction ( 11), a belt lifting module 12 connected to the plurality of belts 11 to lift the plurality of belts 11, and a plurality of lifting modules disposed between the plurality of belts 11 to lift the substrate S It may include a module 13 and a pressing module 14 that presses the side surface of the substrate S supported by the plurality of lifting modules 13.

복수의 벨트(11)는 각각 복수의 풀리(111)에 의해 지지될 수 있다. 각각의 벨트(11)에 연결된 복수의 풀리(111) 중 적어도 하나는 벨트(11)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 풀리일 수 있다.Each of the plurality of belts 11 may be supported by a plurality of pulleys 111. At least one of the plurality of pulleys 111 connected to each belt 11 may be a driving pulley that provides a driving force to rotate the belt 11.

벨트 승강 모듈(12)은 복수의 풀리(111)와 연결되는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.The belt lifting module 12 may be composed of a pneumatic or hydraulic actuator connected to the plurality of pulleys 111, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism. .

복수의 부양 모듈(13)은 가스 공급원(미도시)과 연결되는 복수의 가스 분사 노즐(131)을 포함할 수 있다. 복수의 가스 분사 노즐(131)은 Y축 방향으로 소정의 간격으로 이격될 수 있다.The plurality of flotation modules 13 may include a plurality of gas injection nozzles 131 connected to a gas supply source (not shown). The plurality of gas injection nozzles 131 may be spaced apart at predetermined intervals in the Y-axis direction.

복수의 가압 모듈(14)은 기판(S)의 서로 대향하는 적어도 두 개의 측면을 가압할 수 있도록 배치될 수 있다. 가압 모듈(14)은 기판(S)의 측면을 가압하도록 구성되는 가압 부재(141)와, 가압 부재(141)를 기판(S)을 향하는 방향 및 기판(S)으로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 가압 부재 이동 모듈(142)을 포함할 수 있다. 가압 부재(141)는 기판(S)의 측면을 가압할 수 있도록 기판(S)의 측면에 대응하는 형상을 가질 수 있다.The plurality of pressing modules 14 may be arranged to press at least two side surfaces of the substrate S that face each other. The pressing module 14 is a pressing member 141 configured to press the side of the substrate S, and a pressing member 141 that moves in a direction toward the substrate S and in a direction away from the substrate S. It may include a member movement module 142. The pressing member 141 may have a shape corresponding to the side surface of the substrate S so as to press the side surface of the substrate S.

다른 예로서, 복수의 가압 모듈(14)은 기판(S)의 서로 대향하는 적어도 두 개의 코너부를 가압하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 가압 부재(141)는 기판(S)의 코너부를 가압할 수 있도록 기판(S)의 코너부에 대응하는 형상을 가질 수 있다.As another example, the plurality of pressing modules 14 may be disposed to press at least two corner portions of the substrate S facing each other. In this case, the pressing member 141 may have a shape corresponding to the corner portion of the substrate S so as to press the corner portion of the substrate S.

이와 같은 구성에 따르면, 도 2에 도시된 바와 같이, 외부로부터 기판 정렬 유닛(10)으로 기판(S)이 반입되도록, 복수의 벨트(11)가 복수의 부양 모듈(13)로부터 상승된 상태를 유지한다. 이때, 기판(S)이 복수의 벨트(11)에 안착되고, 복수의 벨트(11)가 회전됨에 따라 기판(S)이 복수의 가압 부재(141) 사이의 소정의 위치로 이동될 수 있다.According to this configuration, as shown in FIG. 2, the plurality of belts 11 are raised from the plurality of lifting modules 13 so that the substrate S is carried from the outside to the substrate alignment unit 10. Keep. In this case, as the substrate S is seated on the plurality of belts 11 and the plurality of belts 11 are rotated, the substrate S may be moved to a predetermined position between the plurality of pressing members 141.

그리고, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 복수의 벨트(11) 상의 소정의 위치로 이동되면, 복수의 벨트(11)가 하강하는 것과 동시에 가스 분사 노즐(131)로부터 기판(S)을 향하여 가스가 분사되며, 분사된 가스에 의해 기판(S)이 부양된다.And, as shown in Figs. 3 and 4, when the substrate S is moved to a predetermined position on the plurality of belts 11, the plurality of belts 11 are lowered and simultaneously from the gas injection nozzle 131 Gas is injected toward the substrate S, and the substrate S is lifted by the injected gas.

그리고, 기판(S)이 부양된 상태에서, 가압 부재 이동 모듈(142)의 작동에 의해 가압 부재(141)가 기판(S)의 측면을 가압하며, 이에 따라, 기판(S)이 움직이면서 기판(S)의 위치 및 자세가 결정될 수 있다.And, in the state where the substrate S is lifted, the pressing member 141 presses the side surface of the substrate S by the operation of the pressing member moving module 142, and accordingly, the substrate S moves while the substrate ( The position and posture of S) can be determined.

그리고, 기판(S)의 위치 및 자세가 결정된 이후에는, 가스 분사 노즐(131)로부터의 가스의 분사가 중단되는 것과 동시에 복수의 벨트(11)가 상승하며, 이에 따라, 기판(S)은 그 위치가 결정된 상태로 복수의 벨트(11) 상에 지지될 수 있다.And, after the position and attitude of the substrate S is determined, the plurality of belts 11 are raised at the same time as the injection of the gas from the gas injection nozzle 131 is stopped, and accordingly, the substrate S is It may be supported on a plurality of belts 11 in a position determined state.

그리고, 위치 및 자세가 결정된 상태로 복수의 벨트(11) 상에 지지된 기판(S)은 기판 반송 유닛(30)에 의해 기판 검사 유닛(40)으로 이송될 수 있다.Further, the substrate S supported on the plurality of belts 11 in a state in which the position and posture are determined may be transferred to the substrate inspection unit 40 by the substrate transfer unit 30.

도 1에 도시된 바와 같이, 기판 반송 유닛(30)은 기판(S)을 유지하여 이송하기 위한 픽커 모듈(31)과, 픽커 모듈(31)이 Y축 방향으로 이동 가능하게 픽커 모듈(31)을 지지하는 지지 프레임(32)과, 픽커 모듈(31)을 지지 프레임(32)을 따라 Y축 방향으로 이동시키는 픽커 이동 모듈(33)과, 픽커 모듈(31)을 Z축 방향으로 이동시키는 픽커 승강 모듈(34)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1, the substrate transfer unit 30 includes a picker module 31 for holding and transferring the substrate S, and the picker module 31 so that the picker module 31 can move in the Y-axis direction. A support frame 32 supporting the frame, a picker moving module 33 that moves the picker module 31 along the support frame 32 in the Y-axis direction, and a picker that moves the picker module 31 in the Z-axis direction It may include an elevating module 34.

픽커 이동 모듈(33) 및 픽커 승강 모듈(34)로는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 적용될 수 있다. 픽커 모듈(31)은 진공원(미도시)과 진공 라인을 통하여 연결되는 복수의 흡착 패드(313)를 포함할 수 있다.As the picker moving module 33 and the picker lifting module 34, an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be applied. The picker module 31 may include a vacuum source (not shown) and a plurality of adsorption pads 313 connected through a vacuum line.

도 1, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 기판 검사 유닛(40)은, 베이스(460), 베이스(460) 상에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 X축 방향으로 연장되는 지지대(490)와, 지지대(490)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 제1 편광판(410) 및 촬상 모듈(440)을 구비하는 기판 검사 헤드(480)와, 베이스(460)에 구비되며 기판(S)이 안착되는 기판 안착 부재(450)와, 기판 안착 부재(450)의 하방에 배치되는 제2 편광판(420)과, 제2 편광판(420)의 하방에 배치되는 조명 모듈(430)을 포함할 수 있다.1, 5 to 7, the substrate inspection unit 40 is installed on the base 460 and the base 460 so as to be movable in the Y-axis direction and extends in the X-axis direction ( 490, a substrate inspection head 480 installed to be movable in the X-axis direction on the support 490 and having a first polarizing plate 410 and an imaging module 440, and provided on the base 460 and provided on the substrate ( S) includes a substrate mounting member 450 on which the substrate is mounted, a second polarizing plate 420 disposed below the substrate mounting member 450, and a lighting module 430 disposed below the second polarizing plate 420 can do.

그리고, 기판 검사 헤드(480)는, 제1 편광판(410)을 지지하는 제1 편광판 지지 부재(411)와, 제1 편광판 지지 부재(411)와 연결되며 Z축과 평행한 수직 중심축을 중심으로 회전 가능하게 구성되는 제1 편광판 회전 부재(412)와, 제1 편광판 회전 부재(412)와 연결되어 제1 편광판 회전 부재(412)를 Z축과 평행한 수직 중심축을 중심으로 회전시키는 것에 의해 제1 편광판(410)을 회전시키는 제1 편광판 회전 모듈(413)과, 제1 편광판 회전 부재(412)를 통해 제1 편광판 지지 부재(411)와 연결되며 기판 검사 헤드(480)에 고정되는 제1 편광판 고정 부재(414)를 포함할 수 있다.Further, the substrate inspection head 480 is connected to the first polarizing plate support member 411 for supporting the first polarizing plate 410 and the first polarizing plate support member 411 and is connected to a vertical central axis parallel to the Z axis. The first polarizing plate rotating member 412 configured to be rotatable and connected to the first polarizing plate rotating member 412 to rotate the first polarizing plate rotating member 412 about a vertical central axis parallel to the Z axis. 1 A first polarizing plate rotation module 413 that rotates the polarizing plate 410 and a first polarizing plate supporting member 411 connected to the first polarizing plate support member 411 through the first polarizing plate rotating member 412 and fixed to the substrate inspection head 480. A polarizing plate fixing member 414 may be included.

기판 안착 부재(450)는 베이스(460)와 일체로 형성될 수 있거나, 별개의 부재로서 형성될 수 있다.The substrate mounting member 450 may be formed integrally with the base 460 or may be formed as a separate member.

베이스(460)에는 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(491)이 설치되며, 지지대(490)는 가이드 레일(491)을 따라 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 이를 위해, 지지대(490)와 가이드 레일(491) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다.A guide rail 491 extending in the Y-axis direction is installed on the base 460, and the support 490 may be moved along the guide rail 491 in the Y-axis direction. To this end, a linear movement mechanism such as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a ball screw mechanism may be provided between the support 490 and the guide rail 491.

지지대(490)에는 X축 방향으로 연장되는 가이드 레일(492)이 설치되며, 기판 검사 헤드(480)에는 가이드 레일(492)을 따라 X축 방향으로 이동 가능한 헤드 이동 모듈(481)이 구비될 수 있다. 헤드 이동 모듈(481)로는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 적용될 수 있다.A guide rail 492 extending in the X-axis direction is installed on the support 490, and a head moving module 481 that is movable in the X-axis direction along the guide rail 492 may be provided on the substrate inspection head 480. have. As the head movement module 481, an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be applied.

지지대(490)가 Y축 방향으로 이동되고 기판 검사 헤드(480)가 X축 방향으로 이동됨에 따라, 제1 편광판(410) 및 촬상 모듈(440)이 기판 안착 부재(450)에 안착된 기판(S) 상부의 소정의 위치에 위치될 수 있고, 그 위치에서 기판(S)에 대한 검사를 수행할 수 있다.As the support 490 is moved in the Y-axis direction and the substrate inspection head 480 is moved in the X-axis direction, the first polarizing plate 410 and the imaging module 440 are mounted on the substrate mounting member 450 ( S) It may be located at a predetermined position on the top, and inspection of the substrate S may be performed at that position.

또한, 기판 검사 헤드(480)에는 제1 편광판(410) 및 촬상 모듈(440)을 Z축 방향으로 이동시키도록 구성되는 헤드 승강 모듈(482)이 구비될 수 있다. 헤드 승강 모듈(482)로는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 적용될 수 있다. 헤드 승강 모듈(482)에 의해 제1 편광판(410) 및 촬상 모듈(440)이 기판(S)에 인접하게 이동될 수 있거나 기판(S)으로부터 이격되게 이동될 수 있다.In addition, the substrate inspection head 480 may be provided with a head lifting module 482 configured to move the first polarizing plate 410 and the imaging module 440 in the Z-axis direction. As the head lifting module 482, an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be applied. The first polarizing plate 410 and the imaging module 440 may be moved adjacent to the substrate S by the head lifting module 482 or may be moved away from the substrate S.

지지대(490)에는 복수의 기판 검사 헤드(480)가 구비될 수 있다. 기판(S)을 검사하는 과정에서, 복수의 기판 검사 헤드(480)가 동시에 작동될 수 있거나, 복수의 기판 검사 헤드(480)가 순차적으로 작동될 수 있거나, 복수의 기판 검사 헤드(480) 중 어느 하나만이 선택적으로 작동될 수 있다.A plurality of substrate inspection heads 480 may be provided on the support 490. In the process of inspecting the substrate (S), a plurality of substrate inspection heads 480 may be operated simultaneously, a plurality of substrate inspection heads 480 may be sequentially operated, or among a plurality of substrate inspection heads 480 Only one can be selectively activated.

복수의 기판 검사 헤드(480)에 각각 구비되는 복수의 촬상 모듈(440)은 상이한 배율을 가질 수 있다. 낮은 배율을 갖는 촬상 모듈(440)은 기판(S)에 존재하는 결함의 위치를 신속하게 검출하는 데에 사용될 수 있고, 높은 배율을 갖는 촬상 모듈(440)은 검출된 결함을 정밀하게 검사하는 데에 사용될 수 있다. 따라서, 기판(S)을 검사하는 공정을 보다 신속하게 수행할 수 있다.The plurality of imaging modules 440 provided in each of the plurality of substrate inspection heads 480 may have different magnifications. The imaging module 440 having a low magnification can be used to quickly detect the location of a defect present on the substrate S, and the imaging module 440 having a high magnification is used to accurately inspect the detected defect. Can be used for Therefore, the process of inspecting the substrate S can be performed more quickly.

제2 편광판(420)은 베이스(460)에 지지되며 기판 안착 부재(450)의 하방에 배치된다. 제2 편광판(420)은 기판 안착 부재(450)에 안착된 기판(S)으로부터 하방으로 이격되게 배치된다.The second polarizing plate 420 is supported on the base 460 and disposed below the substrate mounting member 450. The second polarizing plate 420 is disposed to be spaced downward from the substrate S mounted on the substrate mounting member 450.

조명 모듈(430)은 베이스(460)에 지지되며 제2 편광판(420)으로부터 하방으로 이격되게 배치된다.The lighting module 430 is supported on the base 460 and is disposed to be spaced downward from the second polarizing plate 420.

이에 따라, 촬상 모듈(440)에는 조명 모듈(430)으로부터 조사되어 제2 편광판(420) 및 제1 편광판(410)을 순차적으로 통과한 광이 입사된다. 촬상 모듈(440)은 기판(S)의 일부 영역을 촬상하여 이미지를 획득하도록 구성될 수 있다. 그리고, 헤드 이동 모듈(481) 및 헤드 승강 모듈(482)에 의해 제1 편광판(410) 및 촬상 모듈(440)이 기판(S)의 상방에서 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동되면서 기판(S)에 전체 영역에 대한 이미지를 획득한다. 이에 따라, 기판(S)의 전체의 영역에 대한 이미지를 분석하여, 기판(S)의 결함을 검출할 수 있다.Accordingly, light irradiated from the illumination module 430 and sequentially passed through the second polarizing plate 420 and the first polarizing plate 410 is incident on the imaging module 440. The imaging module 440 may be configured to acquire an image by imaging a partial area of the substrate S. In addition, the first polarizing plate 410 and the imaging module 440 are moved from the top of the substrate S in the X-axis direction and the Y-axis direction by the head moving module 481 and the head lifting module 482, and the substrate S ) To acquire an image for the entire area. Accordingly, by analyzing an image of the entire area of the substrate S, defects of the substrate S can be detected.

베이스(460), 기판 안착 부재(450), 제1 편광판 회전 부재(412), 제1 편광판 고정 부재(414)는 조명 모듈(430)로부터 조사된 광이 제2 편광판(420), 기판(S), 제1 편광판(410)을 통과하여 촬상 모듈(440)에 도달할 수 있도록 광로를 제공한다. 이를 위해, 베이스(460), 기판 안착 부재(450), 제1 편광판 회전 부재(412), 제1 편광판 고정 부재(414)는 광이 통과할 수 있는 공간을 갖는 형상으로 형성된다. 예를 들면, 광로는 베이스(460), 기판 안착 부재(450), 제1 편광판 회전 부재(412), 제1 편광판 고정 부재(414)에 각각 형성되는 관통홀에 의해 제공될 수 있다.The base 460, the substrate mounting member 450, the first polarizing plate rotating member 412, and the first polarizing plate fixing member 414 receive light irradiated from the lighting module 430 to the second polarizing plate 420 and the substrate S ), an optical path is provided to pass through the first polarizing plate 410 and reach the imaging module 440. To this end, the base 460, the substrate mounting member 450, the first polarizing plate rotating member 412, and the first polarizing plate fixing member 414 are formed in a shape having a space through which light can pass. For example, the optical path may be provided by through holes formed in the base 460, the substrate mounting member 450, the first polarizing plate rotating member 412, and the first polarizing plate fixing member 414, respectively.

예를 들면, 제1 편광판 지지 부재(411)는 제1 편광판 회전 부재(412) 상에 설치될 수 있다. 따라서, 제1 편광판 지지 부재(411)는 제1 편광판 회전 부재(412)와 함께 Z축과 평행한 수직 중심축을 중심으로 회전할 수 있다. 제1 편광판 지지 부재(411)는 제1 편광판(410)의 둘레 방향으로 복수로 구비될 수 있고, 제1 편광판(410)의 외주부를 제1 편광판 회전 부재(412)에 고정할 수 있다.For example, the first polarizing plate support member 411 may be installed on the first polarizing plate rotating member 412. Accordingly, the first polarizing plate support member 411 may rotate about a vertical central axis parallel to the Z axis together with the first polarizing plate rotation member 412. The first polarizing plate support member 411 may be provided in plural in the circumferential direction of the first polarizing plate 410, and the outer periphery of the first polarizing plate 410 may be fixed to the first polarizing plate rotating member 412.

예를 들면, 제1 편광판 회전 부재(412)는 원판 형상을 가질 수 있다. 복수의 제1 편광판 지지 부재(411)는 제1 편광판 회전 부재(412)의 외주부에 둘레 방향으로 배치될 수 있다. 제1 편광판 회전 부재(412)는 제1 편광판 고정 부재(414)에 회전 가능하게 설치된다. 이를 위해, 제1 편광판 고정 부재(414)에는 링 형상의 가이드 레일(416)이 설치될 수 있으며, 제1 편광판 회전 부재(412)는 가이드 레일(416)을 따라 수직 중심축을 중심으로 회전될 수 있다.For example, the first polarizing plate rotating member 412 may have a disk shape. The plurality of first polarizing plate support members 411 may be disposed in a circumferential direction on the outer peripheral portion of the first polarizing plate rotating member 412. The first polarizing plate rotating member 412 is rotatably installed on the first polarizing plate fixing member 414. To this end, a ring-shaped guide rail 416 may be installed on the first polarizing plate fixing member 414, and the first polarizing plate rotating member 412 may be rotated about a vertical central axis along the guide rail 416. have.

예를 들면, 제1 편광판 회전 모듈(413)은 제1 편광판 회전 부재(412)의 외주부와 벨트를 통해 연결되는 회전 모터를 포함할 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 제1 편광판 회전 모듈(413)은 링크 부재, 기어 등의 다양한 전동 수단을 통해 제1 편광판 회전 부재(412)의 외주부와 연결될 수 있다. 이와 같이, 제1 편광판 회전 모듈(413)이 제1 편광판 회전 부재(412)의 외주부에 연결되므로, 조명 모듈(430)에 의해 조사되어 촬상 모듈(440)에 도달하는 광의 광로를 간섭하지 않고, 제1 편광판(410)을 회전시킬 수 있다.For example, the first polarizing plate rotation module 413 may include a rotation motor connected to the outer circumference of the first polarizing plate rotation member 412 through a belt. However, the present invention is not limited thereto, and the first polarizing plate rotation module 413 may be connected to the outer circumference of the first polarizing plate rotation member 412 through various transmission means such as a link member and a gear. In this way, since the first polarizing plate rotation module 413 is connected to the outer circumference of the first polarizing plate rotation member 412, it does not interfere with the optical path of light that is irradiated by the lighting module 430 and reaches the imaging module 440, The first polarizing plate 410 may be rotated.

제1 편광판 회전 모듈(413)은 제1 편광판 회전 부재(412)와 함께 제1 편광판 고정 부재(414) 상에 설치될 수 있다.The first polarizing plate rotating module 413 may be installed on the first polarizing plate fixing member 414 together with the first polarizing plate rotating member 412.

제1 편광판(410) 및 제2 편광판(420)은 원판 형상, 사각 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있다. 제2 편광판(420)은 기판(S)의 전체 영역을 커버할 수 있는 크기를 갖는다.The first polarizing plate 410 and the second polarizing plate 420 may have various shapes such as a disk shape and a square shape. The second polarizing plate 420 has a size capable of covering the entire area of the substrate S.

제1 편광판(410) 및 제2 편광판(420)은 상이한 편광 방향을 갖는다. 기판(S) 내의 액정에 이물질, 얼룩, 파티클이 있는 경우, 기판(S) 내의 액정의 양이 불충분한 경우, 또는 기판(S) 내의 밀봉재가 붕괴되는 경우 등, 기판(S) 내에 결함 부분이 있는 경우에는, 조명 모듈(430)로부터 조사된 광이 제2 편광판(420), 기판(S) 및 제1 편광판(410)을 통과하여 촬상 모듈(440)로 진행할 때, 광이 결함 부분에서 산란된다. 따라서, 촬상 모듈(440)에서 촬상된 이미지에 광이 왜곡된 부분이 존재하게 된다. 따라서, 촬상 모듈(440)에서 촬상된 이미지에 광이 왜곡된 부분이 존재하는지 여부를 검출함으로써, 기판(S) 내에 결함 부분이 존재하는지 여부를 판단할 수 있다.The first polarizing plate 410 and the second polarizing plate 420 have different polarization directions. When the liquid crystal in the substrate (S) contains foreign substances, stains, particles, the amount of liquid crystal in the substrate (S) is insufficient, or the sealing material in the substrate (S) collapses, etc. If there is, when the light irradiated from the lighting module 430 passes through the second polarizing plate 420, the substrate S, and the first polarizing plate 410 and proceeds to the imaging module 440, the light is scattered at the defective part. do. Accordingly, a portion in which light is distorted exists in the image captured by the imaging module 440. Accordingly, by detecting whether or not a portion of which light is distorted in the image captured by the imaging module 440 is present, it is possible to determine whether a defective portion exists in the substrate S.

이러한 과정에서, 제1 편광판(410) 및 제2 편광판(420) 사이의 광의 편광 방향을 변화시키기 위해, 제2 편광판(420)이 고정된 상태에서 제1 편광판(410)이 제1 편광판 회전 모듈(413)에 의해 회전된다. 예를 들면, 제1 편광판(410)의 편광 방향 및 제2 편광판(420)의 편광 방향이 서로 직교하는 초기 상태에서, 제1 편광판(410)은 45도 및 90도로 회전될 수 있다. 따라서, 초기 상태, 제1 편광판(410)이 45도 회전된 상태, 제1 편광판(410)이 90도 회전된 상태에서 촬상 모듈(440)이 각각의 이미지를 취득하여 이미지 내에 광의 왜곡이 있는지 여부를 검출한다.In this process, in order to change the polarization direction of light between the first polarizing plate 410 and the second polarizing plate 420, the first polarizing plate 410 rotates the first polarizing plate while the second polarizing plate 420 is fixed. Rotated by 413. For example, in an initial state in which the polarization direction of the first polarizing plate 410 and the polarization direction of the second polarizing plate 420 are orthogonal to each other, the first polarizing plate 410 may be rotated by 45 degrees and 90 degrees. Therefore, whether the image pickup module 440 acquires each image in an initial state, a state in which the first polarizing plate 410 is rotated by 45 degrees, and a state in which the first polarizing plate 410 is rotated by 90 degrees, and whether there is distortion of light in the image. Is detected.

본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치는, 기판(S)에 별도의 전기적 신호를 인가하지 않고, 기판(S) 내부의 결함(예를 들면, 얼룩, 빛 번짐, 결함, 파티클, 밀봉재 붕괴, 액정량 불충분)을 검출할 수 있다.In the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention, without applying a separate electrical signal to the substrate S, defects inside the substrate S (for example, spots, light bleeding, defects, particles, sealing material) Collapse, insufficient liquid crystal amount) can be detected.

또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치는, X축 방향 및 Y축 방향으로 이동 가능한 기판 검사 헤드(480)에 촬상 모듈(440), 제1 편광판(410), 제1 편광판 회전 모듈(413)이 구비된다. 따라서, 기판 검사 헤드(480)가 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동하고 제1 편광판(410)이 회전되면서 기판(S)의 전체 영역에 대한 이미지를 획득할 수 있다. 따라서, 대면적의 기판을 검사하기 위해, 대면적의 기판의 전제 영역을 커버할 수 있는 대면적의 편광판을 마련하고 대면적의 편광판을 회전시켜야 하는 구성을 설계하는 데에 있어서의 어려움을 해소할 수 있다. 따라서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치는 대면적의 기판(S)에 대해서도 기판 검사 공정을 용이하게 수행할 수 있다.Further, in the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention, the imaging module 440, the first polarizing plate 410, and the first polarizing plate rotate on the substrate inspection head 480 movable in the X-axis and Y-axis directions. A module 413 is provided. Accordingly, while the substrate inspection head 480 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the first polarizing plate 410 is rotated, an image of the entire area of the substrate S may be obtained. Therefore, in order to inspect a large-area substrate, the difficulty in designing a configuration requiring a large-area polarizing plate to cover the entire area of the large-area substrate and rotating the large-area polarizing plate can be solved. I can. Accordingly, the substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention can easily perform a substrate inspection process even on a large-area substrate S.

이하, 도 8을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 검사 장치에 대하여 설명한다. 본 발명의 제1 실시예의 구성 요소와 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a substrate inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 8. The same reference numerals are assigned to the same components as those of the first embodiment of the present invention, and detailed descriptions thereof will be omitted.

도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 검사 장치의 기판 검사 유닛(40)은, 제2 편광판(420)을 Z축과 평행한 수직 중심축을 중심으로 회전시키도록 구성되는 제2 편광판 회전 모듈(470)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 제2 편광판(420) 및 조명 모듈(430)은 일체로 연결될 수 있고, 제2 편광판 회전 모듈(470)은 베이스(460)에 지지되어 제2 편광판(420) 및 조명 모듈(430)을 함께 Z축과 평행한 수직 중심축을 중심으로 회전시키도록 구성될 수 있다. 이 경우, 제2 편광판 회전 모듈(470)은 조명 모듈(430)과 연결되는 회전 모터일 수 있다.As shown in Fig. 8, the substrate inspection unit 40 of the substrate inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention is configured to rotate the second polarizing plate 420 about a vertical central axis parallel to the Z axis. It may include a second polarizing plate rotation module 470. For example, the second polarizing plate 420 and the lighting module 430 may be integrally connected, and the second polarizing plate rotating module 470 is supported by the base 460 to provide the second polarizing plate 420 and the lighting module 430. ) May be configured to rotate about a vertical central axis parallel to the Z axis. In this case, the second polarizing plate rotation module 470 may be a rotation motor connected to the lighting module 430.

제1 편광판 회전 모듈(413) 및 제2 편광판 회전 모듈(470)이 함께 구비될 수 있다. 이 경우, 제1 편광판(410) 및 제2 편광판(420)이 동시에 회전될 수 있으므로, 기판을 검사하는 데에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 또한, 제1 편광판(410) 및 제2 편광판(420)의 회전 각도, 회전 방향 등을 서로 다르게 조절하거나, 제1 편광판(410) 및 제2 편광판(420) 중 어느 하나만을 선택적으로 회전시킬 수 있으므로, 기판(S)을 다양한 조건 하에서 검사할 수 있다.The first polarizing plate rotation module 413 and the second polarizing plate rotation module 470 may be provided together. In this case, since the first polarizing plate 410 and the second polarizing plate 420 can be rotated at the same time, the time required to inspect the substrate can be reduced. In addition, the rotation angle and direction of rotation of the first polarizing plate 410 and the second polarizing plate 420 may be differently adjusted, or only one of the first polarizing plate 410 and the second polarizing plate 420 may be selectively rotated. Therefore, the substrate S can be inspected under various conditions.

한편, 또 다른 예로서, 도시되지는 않았지만, 제2 편광판(420) 및 조명 모듈(430)이 일체로 연결되지 않고, 제2 편광판 회전 모듈(470)이 제2 편광판(420)에 직접 연결되어 제2 편광판(420)을 회전시키도록 구성될 수 있다. 이와 같은 경우, 본 발명의 제1 실시예에 따른 제1 편광판 회전 부재(412)와 동일한 구성을 갖는 제2 편광판 회전 부재(미도시)에 제2 편광판(420)이 지지될 수 있고, 제2 편광판 회전 모듈(470)은 제1 편광판 회전 모듈(413)과 동일한 구성을 가지면서, 제2 편광판 회전 부재의 외주부에 벨트, 링크 또는 기어를 통해 연결되는 회전 모터를 포함할 수 있다.Meanwhile, as another example, although not shown, the second polarizing plate 420 and the lighting module 430 are not integrally connected, and the second polarizing plate rotating module 470 is directly connected to the second polarizing plate 420. It may be configured to rotate the second polarizing plate 420. In this case, the second polarizing plate 420 may be supported on a second polarizing plate rotating member (not shown) having the same configuration as the first polarizing plate rotating member 412 according to the first embodiment of the present invention, and the second polarizing plate 420 may be supported. The polarizing plate rotation module 470 has the same configuration as the first polarizing plate rotation module 413 and may include a rotation motor connected to the outer circumference of the second polarizing plate rotation member through a belt, a link, or a gear.

본 발명의 실시예에 따른 기판 검사 장치에 따르면, 기판(S)이 기판 정렬 유닛(10)에 의해 자동으로 정렬되고, 기판(S)이 기판 반송 유닛(30)에 의해 기판 검사 유닛(40)으로 자동으로 이송되며, 제1 편광판(410) 및/또는 제2 편광판(420)이 자동으로 회전되면서, 촬상 모듈(440)에 의해 이미지가 자동으로 획득될 수 있으므로, 작업자가 육안으로 기판(S)을 검사하는 경우에 비하여, 기판(S)의 결함을 보다 정확하게 검출할 수 있다.According to the substrate inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, the substrate S is automatically aligned by the substrate alignment unit 10, and the substrate S is the substrate inspection unit 40 by the substrate transfer unit 30. And the first polarizing plate 410 and/or the second polarizing plate 420 are automatically rotated, and an image can be automatically acquired by the imaging module 440, so that the operator can visually obtain the substrate S Compared to the case of inspecting ), defects of the substrate S can be more accurately detected.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described exemplarily, the scope of the present invention is not limited to such specific embodiments, and may be appropriately changed within the scope described in the claims.

10: 기판 정렬 유닛
40: 기판 검사 유닛
410: 제1 편광판
420: 제2 편광판
430: 조명 모듈
30: 기판 반송 유닛
S: 기판10: substrate alignment unit
40: board inspection unit
410: first polarizing plate
420: second polarizing plate
430: lighting module
30: substrate transfer unit
S: substrate

Claims (5)

베이스 상에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 지지대;
상기 지지대에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며, 제1 편광판을 구비하는 기판 검사 헤드;
상기 베이스에 구비되며 기판이 안착되는 기판 안착 부재;
상기 기판 안착 부재의 하방에 구비되는 제2 편광판; 및
상기 제2 편광판의 하방에 구비되는 조명 모듈을 포함하고,
상기 기판 검사 헤드는,
상기 제1 편광판의 상방에 구비되는 촬상 모듈;
상기 제1 편광판을 지지하는 제1 편광판 지지 부재;
상기 제1 편광판 지지 부재와 연결되며 Z축과 평행한 수직 중심축을 중심으로 회전 가능하게 구성되는 제1 편광판 회전 부재;
상기 제1 편광판 회전 부재와 연결되어 상기 제1 편광판 회전 부재를 Z축과 평행한 수직 중심축을 중심으로 회전시키는 것에 의해 상기 제1 편광판을 회전시키는 제1 편광판 회전 모듈; 및
상기 제1 편광판 회전 부재를 통해 상기 제1 편광판 지지 부재와 연결되며 상기 기판 검사 헤드에 고정되는 제1 편광판 고정 부재를 포함하며,
상기 기판의 위치 및 상기 제2 편광판의 위치가 고정된 상태에서 상기 제1 편광판을 구비하는 상기 기판 검사 헤드가 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동하면서 상기 기판을 검사하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.A support mounted on the base to be movable in the Y-axis direction;
A substrate inspection head installed to be movable in an X-axis direction on the support and having a first polarizing plate;
A substrate seating member provided on the base and on which the substrate is seated;
A second polarizing plate provided under the substrate mounting member; And
Including a lighting module provided under the second polarizing plate,
The substrate inspection head,
An imaging module provided above the first polarizing plate;
A first polarizing plate support member supporting the first polarizing plate;
A first polarizing plate rotating member connected to the first polarizing plate supporting member and configured to be rotatable about a vertical central axis parallel to the Z axis;
A first polarizing plate rotating module connected to the first polarizing plate rotating member to rotate the first polarizing plate by rotating the first polarizing plate rotating member about a vertical central axis parallel to the Z axis; And
And a first polarizing plate fixing member connected to the first polarizing plate support member through the first polarizing plate rotating member and fixed to the substrate inspection head,
A substrate inspection apparatus, characterized in that the substrate inspection head including the first polarizing plate moves in an X-axis direction and a Y-axis direction to inspect the substrate while the position of the substrate and the position of the second polarizing plate are fixed. . 청구항 1에 있어서,
상기 제1 편광판 회전 모듈은 상기 제1 편광판 회전 부재의 외주부와 벨트, 링크 또는 기어를 통해 연결되는 회전 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The method according to claim 1,
The first polarizing plate rotation module comprises a rotation motor connected to the outer circumference of the first polarizing plate rotation member through a belt, link, or gear. 청구항 1에 있어서,
상기 지지대에는 복수의 기판 검사 헤드가 구비되고,
상기 복수의 기판 검사 헤드에 각각 구비되는 상기 복수의 촬상 모듈은 상이한 배율을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The method according to claim 1,
A plurality of substrate inspection heads are provided on the support,
The plurality of imaging modules provided in each of the plurality of substrate inspection heads have different magnifications. 청구항 1에 있어서,
상기 제2 편광판을 Z축을 중심으로 회전시키도록 구성되는 제2 편광판 회전 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The method according to claim 1,
The substrate inspection apparatus further comprising a second polarizing plate rotation module configured to rotate the second polarizing plate about a Z axis. 청구항 4에 있어서,
상기 제2 편광판은 상기 조명 모듈과 일체로 연결되며, 상기 제2 편광판 회전 모듈은 상기 조명 모듈을 Z축을 중심으로 회전시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.The method of claim 4,
The second polarizing plate is integrally connected with the lighting module, and the second polarizing plate rotation module is configured to rotate the lighting module about a Z axis.
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