JP5647648B2 - 回路装置及びインクジェットヘッドアッセンブリ - Google Patents

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Description

本発明は回路装置及びインクジェットヘッドアッセンブリに係り、特に回路基板における電気配線パターンの保護技術に関する。
樹脂フィルムやガラスエポキシなどの基材に銅などの金属材料の薄膜が形成され、エッチングなどの手法を用いて金属膜をパターンニングして電気配線パターンが形成され、さらに、電気配線パターンがソルダーレジストなどの絶縁材料により被覆された構造を有する回路基板が知られている。
回路基板は、産業用機器や民生用機器に広く用いられる。このように、様々な用途、環境において使用されると、高湿環境、高温環境、粉塵等の異物が存在する環境において使用されることが想定される。
このような場合に、絶縁材料の劣化による電気配線の短絡(ショート)又は断線(オープン)、絶縁層と基材との間に水分や異物が浸入することによる電気配線の短絡といった問題が発生することがある。
一般に、回路基板が高湿環境や、異物(特に導電性を有するもの)が多い環境で使用されると、長期的な信頼性(耐久性)が問題となる。電気配線パターンの短絡や断線を防止するために、電気配線パターンは絶縁材料によって被覆されているので、短期間の使用では問題が発生しないものの、長期間にわたり使用される場合には、長期的な信頼性の確保という観点でさらなる対策が必要となる。
特許文献1は、導電性パターンが形成され、半導体素子が搭載された基板の半導体素子が搭載される面が封止樹脂により被覆され、導電性パターンを被覆する被覆膜(ソルダーレジストの膜)の表面がガラス膜により被覆された構造が記載されている。
かかる構造によって、被覆層への水分の進入が抑制され、導電性パターンどうしの短絡が防止されている。
特開2010−86992号公報
しかしながら、特許文献1に記載された回路装置は、基板表面(半導体素子が搭載されている面)からの水分の進入による、比較的短期間の使用で発生する導電性パターンの短絡を防止することができるものの、長期間の使用により封止樹脂が劣化して引き起こされ、徐々に進行するエレクトロケミカルマイグレーションに起因する故障の発生が懸念される。
ここで、「エレクトロケミカルマイグレーション」とは、プリント基板等における本来良好な絶縁物が、電気的バイアス電圧が印加されている状態で電気化学的な現象でイオンマイグレーションが発生成長し、電極間や配線間が短絡する現象である。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、比較的高湿の環境において長期間にわたって使用された場合でも、回路基板の短絡等に起因する故障の発生が防止される回路装置及びインクジェットヘッドアッセンブリを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係る回路装置は、基材に1層以上の配線層が形成され、1層以上の配線層の基材と反対側の面に絶縁層が積層される回路基板と、回路基板の端面の少なくとも一部を囲むことで端面との間に空間が形成され、形成された空間に供給される乾燥体の移動を規制する規制部材と、を備え、規制部材は、中空構造を有し、中空構造は回路基板の主面に接触して回路基板を支持する構造を有している
本発明によれば、規制部材によって乾燥体の移動を規制しつつ、回路基板の端部に乾燥体を接触させるので、回路基板の端面から内部への水分(湿気)の浸入が防止され、エレクトロケミカルマイグレーションに起因する配線間のショートに起因する故障の発生が防止される。また、中空構造内へ乾燥体を供給(充填)することで、中空構造の内部、すなわち、回路基板の端面の周囲雰囲気の乾燥状態が維持される。
本発明の実施形態に係る回路装置の概略構成図 図1に示す回路基板の構造例を示す断面図 (a):比較例1の説明図、(b):比較例2の説明図、(c):比較例3の説明図、(d):比較例4の説明図 本例に示す回路装置の作用効果の説明図 図1に示す規制部材の他の態様の説明図 図1に示す規制部材の他の態様の説明図 図1に示す規制部材の他の態様の説明図 本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドアッセンブリの概略構成を示す斜視図 図8に示すインクジェットヘッドアッセンブリの分解斜視図 吐出ダイの斜視図 図8に示すインクジェットヘッドアッセンブリの部分断面図 吐出ダイとフレキシブル配線基板との接続構造の説明図 図8に示すインクジェットヘッドアッセンブリの断面図 (a):フレキシブル配線基板の底面図、(b):吐出ダイとフレキシブル配線基板との接続状態における断面図、(c):吐出ダイの平面図 図9の取付枠の内部構造を示す斜視図 図15の取付枠の他の内部構造例を示す斜視図 インクジェットヘッドアッセンブリのノズル配置を示す平面図 複数のインクジェットヘッドアッセンブリをつなぎ合わせて構成されたインクジェットヘッドの構成例を示す平面図
以下、添付図面に従って本発明を実施するための形態について詳説する。
〔回路装置の説明〕
(全体構成)
図1は、本発明の実施形態に係る回路装置の概略構成図である。同図に示す回路装置10は、回路基板12と、回路基板12の端面14に乾燥気体の移動を規制して、回路基板12の端面14に乾燥気体を接触させる規制部材16と、を備えている。
回路基板12の詳細な構造は後述するが、回路基板12は配線層(図1中不図示、図2に符号32を付して図示)が絶縁層(図1中不図示、図2に符号34を付して図示)によって被覆された構造を有し、端面14は基材の端、配線層の端及び絶縁層の端がむき出しとなっている。
ここで、回路基板12の「端面」とは、絶縁層が形成される面と交差(直交)する面を示している。
規制部材16は、円筒形状の中空構造を有し、回路基板12をはさみ込むための切欠部18が形成されている。すなわち、規制部材16の断面形状は、円環形状の一部が欠落した形状となっている。
図1に示す態様では、四角形の平面形状を有する回路基板12の4辺の端面14のうち、3辺の端面14が規制部材16によって覆われており、規制部材16の一方の端20又は他方の端22から内部へ乾燥気体を供給することで、規制部材16の内部に乾燥気体が充填され、規制部材16によって乾燥気体の移動が規制されることで、規制部材16に覆われている回路基板12の端面14に乾燥気体を接触させる。
本例に示す回路装置10は、少なくとも回路基板12の端面14の一部が規制部材16によって覆われていればよいが、図1に示すように、規制部材16によって回路基板12の周囲部24を覆う構造としてもよい。
回路基板12の周囲部24の幅(回路基板12の周囲部24の面積、回路基板12の周囲部24として規制部材16によって覆われる領域)は、規制部材16の取り付けの観点から決められてもよいし、回路基板12の構造(配線パターンが形成される領域など)の観点から決められてもよい。例えば、規制部材16の取り付けの観点から、回路基板12の端面14から規制部材16の厚み分の長さの領域を周囲部24としてもよいし、回路基板12の構造の観点から、配線パターンが形成されていない領域(配線パターンの非形成領域)を周囲部24としてもよい。
ここで、「乾燥気体」とは、少なくとも回路基板12の雰囲気湿度未満の湿度を有する気体であり、空気のような混合気体を適用してもよいし、単体の気体を適用してもよい。
図1に示すように、規制部材16は、両端20,22に開口を形成してもよいし、一方の端20(又は22)のみに開口を形成してもよい。規制部材16の両端20,22に開口を形成すると、一方の端20の開口から乾燥気体を供給し、回路基板12の端面14に接触させた乾燥気体を他方の端22の開口から排出させることで、乾燥気体の良好な乾燥状態が維持される。
図2は、図1に示す回路基板12の構造例を示す断面図である。図2に示す回路基板12は、基材30の一方の面に配線層32が形成され、配線層32及び基材30の配線層32が形成される面36は絶縁層34によって被覆されている。
なお、基材30の配線層32が形成される面と反対側面38が絶縁層34によって被覆されていてもよい。
一方、回路基板12の端面14は、基材30の端及び絶縁層34の端が被覆されずにむき出しになっている。
基材30は、樹脂フィルム、ガラスエポキシ、紙(フェノール樹脂を含浸させたもの)、セラミック等の材料を適用することが可能である。また、配線層は、銅、金、銀、プラチナなど、電気伝導率が高く、エッチング等によるパターンニングが可能な材料を適用することが可能である。絶縁層34には、良好な絶縁性を有するエポキシ樹脂(ソルダーレジスト)等の絶縁材料を適用することが可能である。
本例に示す回路装置10は、回路基板12の端面14に乾燥気体を接触させることで、回路基板12の端面14及びその近傍の雰囲気の乾燥状態が維持される。すなわち、回路基板12の端面14から基材30と絶縁層34との境界面36に沿って回路基板12の内部へ水分(湿気)が浸入することを防止している。
回路基板12の内部への水分の浸入が防止されることで、配線層32に水分が到達し、配線層32に電流が流れることにより発生する、エレクトロケミカルマイグレーションに起因する故障が防止される。
(回路装置の作用効果の説明)
次に、回路基板12の端面14(図1,2参照)に乾燥気体を接触させた場合(実施例)の作用効果を、比較例1から比較例4と対比して説明する。
図3(a)から(d)は、比較例1から4の説明図である。図4は、図1に図示した回路装置10の効果の説明図であり、以下に説明する評価実験の評価結果を示す表となっている。
この評価実験は、プリント配線基板の使用開始(電圧の印加開始)から、故障(短絡)が発生するまでの期間を、環境条件、プリント配線基板の条件ごとに調査をした。実施例及び比較例1,3(図3(a),(c))のプリント配線基板には、図2に示す回路基板12が適用される。他の条件は以下に説明するとおりである。
また、実施例及び比較例1から4における「回路基板12の周囲部24以外の領域」は、配線パターンが形成されている領域(配線層32が除去されていない領域)とした。
以上説明した回路装置10は、様々な用途に使用されるプリント配線基板を支持する装置、プリント配線基板を保護する装置としての用途を有している。
<実施例>
規制部材16(図1参照)は、ポリ塩化ビニル(PVC)のチューブ(直径10ミリメートル)が適用される。チューブの外周部の一部が中心軸に沿って切開され、切欠部(図1に符号18を付して図示)が形成される。
回路基板12(図1参照)の各辺を切欠部18へ差し込み、回路基板12のすべての端面が規制部材16により被覆される(図6参照)。
回路基板12の表面(配線層32が形成され、絶縁層34により覆われる面)と規制部材16との接触界面、及び回路基板12の裏面と規制部材16との接触界面には、接着剤が付与され封止される。
規制部材16が取り付けられた回路基板12は、不図示の恒温恒湿槽(85℃、85%(RH))に入れられ、12ボルトの直流電圧が印加される。規制部材16の内部は乾燥気体(85℃、25%(RH))が供給され、規制部材16の内部は85℃、25%(RH)の恒温恒湿環境が維持されるように、乾燥気体を循環させる。
<比較例1>
先に説明した実施例と同様に、プリント配線基板として図2に図示した回路基板12が使用される。
図3(a)に示すように、回路基板12の表面50及び裏面52の周囲部(端面14の近傍)24を残して、周囲部24以外の部分に封止部材56が取り付けられる。
この封止部材56は、内部に空間部58が形成されるとともに、空間部58と連通する流路部60,62が形成されている。
封止部材56が取り付けられた回路基板12は、実施例と同様の環境条件が設定され、恒温恒湿槽(85℃、85%(RH))に入れられ、配線層32に12ボルトの直流電圧が印加される。封止部材56の内部は乾燥気体(85℃、25%(RH))が供給され、封止部材56の内部は85℃、25%(RH)の恒温恒湿環境が維持されるように、乾燥気体を循環させる。
言い換えると、比較例1は、回路基板12の端面14及び周囲部24を高湿環境(85%(RH))とし、回路基板12の端面14及び周囲部24以外を低湿環境(25%(RH))とした。
<比較例2>
図3(b)に示すように、比較例2は、図2に図示した回路基板12の表面50及び裏面52の周囲部24以外の部分が水ガラス64により被覆された回路基板12’が適用される。
水ガラス64により周囲部24以外の部分が被覆された回路基板12’は、実施例と同様の環境条件が設定される恒温恒湿槽(85℃、85%(RH))に入れられ、配線層32に12ボルトの直流電圧が印加される。
<比較例3>
図3(c)に示すように、比較例3は、図2に図示した回路基板12が適用され、この回路基板12は規制部材16が取り付けられない。回路基板12は、実施例と同様の環境条件が設定される恒温恒湿槽(85℃、85%(RH))に入れられ、配線層32に12ボルトの直流電圧が印加される。
<比較例4>
図3(d)に示すように、図2に図示した回路基板12の絶縁層34が剥離された(配線層32がむき出しにされた)回路基板12”が適用される。回路基板12”は、規制部材16が取り付けられず、かつ、実施例と同様の環境条件が設定される恒温恒湿槽(85℃、85%(RH))に入れられ、配線層32に12ボルトの直流電圧が印加される。
<評価結果>
実施例は、回路基板12の使用開始から90日を経過しても、故障(短絡)は発生していないので、高温高湿環境下において長期間にわたり連続して通電されたとしても、故障が発生する可能性が極めて低く、長期的な信頼性が確保されている。
これに対して、比較例1は、回路基板12の使用開始から56日で故障(短絡)の発生が確認された。つまり、短期間の信頼性が得られる可能性があるものの、長期的信頼性を得ることが困難であると考えられる。
また、比較例2は回路基板12’の使用開始から11日で故障(短絡)が発生し、比較例3は回路基板12の使用開始から3日で故障(短絡)が発生した。さらに、比較例4は、回路基板12”の使用開始直後に故障(短絡)が発生した。つまり、これらの条件では、短期的な信頼性の確保すら困難であると推認される。
特に、実施例と比較例1との違いに着目すると、いずれの場合も回路基板12を乾燥状態に置いているものの、実施例では回路基板12の端面14を乾燥させているのに対して、比較例1では回路基板12の表面50及び裏面52(主面)のうち、周囲部24以外の領域を乾燥させている。
つまり、比較例1では、回路基板12の端面14は、基材30の端及び絶縁層34の端がむき出しになっていることから水分が浸入しやすい構造となっていることが実施例との大きな相違点である。
仮に、樹脂など防湿性を有する材料によって回路基板12の端面14が被覆されたとしても、回路基板12と被覆材との間に界面が形成されるため、長期の使用により被覆材が劣化すると、回路基板12と被覆材との間の界面から水分が浸入しやすくなる。
そうすると、回路基板12の内部への水分の浸入を防ぐには、回路基板12の端面14に直接乾燥気体を接触させることが、最も効果的であるといえる。
〔規制部材の他の態様〕
図5から図7は、図1に図示した規制部材16の他の態様の説明図である。なお、図5から図7において、図1及び図2と同一又は類似する部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。また、図5から図7では、回路基板12の配線層32及び絶縁層34の図示は省略されている。
図5に示す態様は、四角形の平面形状を有する回路基板12の1辺のみが規制部材16’によって覆われている。言い換えると、規制部材16’は、回路基板12の1辺に対応する長さ及び形状を有している。
すなわち、特に高湿になる可能性が高い領域に対応して、少なくとも回路基板12の一部の端面14に乾燥気体を接触させることで、回路基板12内部への水分の浸入が防止されうる。
図6に示す態様は、四角形の平面形状を有する回路基板12の4辺が規制部材16”によって覆われている。図6に示す規制部材16”は、回路基板12の全周の長さに対応する全長を有し、図1の端20,22がつなげられて全体として回路基板12の平面形状と相似形状となっている。
また、図6に示す規制部材16”は、外周部の対頂角となる位置に乾燥気体の導入口70、排出口72が設けられている。
図6に示す規制部材16”は、回路基板12の全周にわたる端面14(図5等参照)が覆われるので、より確実に回路基板12内部への水分の浸入を防止することが可能となる。
図7に示す規制部材74は、2枚の板状部材76,78によって回路基板12をはさみ込み、板状部材76と板状部材78との間に乾燥気体が導入される。
図7に示す態様では、板状部材76,78の端面80,82が回路基板12の端面14よりも外側に突き出ており、板状部材76,78間の空間が乾燥空気の流路として機能する。
図7に矢印線で図示したように、回路基板12の端面14と対向する位置から回路基板12の端面14に乾燥気体を吹き付けてもよいし、回路基板12の端面14に沿って乾燥気体を通過させてもよい。
さらに、板状部材76,78のいずれかを箱形状として、回路基板12を完全に覆う構造としてもよい。
図7に示す態様では、回路基板12の4つの端面14のすべてについて、板状部材76,78の端面80,82が回路基板12の4つの端面14よりも外側に突き出ているが、少なくとも回路基板12の4つの端面14のうち、少なくとも1つの面について、板状部材76,78の端面80,82が回路基板12の4つの端面14よりも外側に突き出ていればよい。
本例に示す回路装置10では、回路基板12の平面形状は四角形に限定されない。例えば、四角形以外の多角形状や、円形状、鈍角及び鋭角の頂角を有する複雑な形状など、様々な平面形状を有する回路基板を適用することができる。
また、乾燥気体を生成する手段には、公知の除湿装置を適用することができる。例えば、コンプレッサーとエアドライヤを備え、コンプレッサーを動作させてエアドライヤへ圧縮空気を送り、エアドライヤを動作させて乾燥気体を生成することができる。エアドライヤは冷凍式、フィルタ式のいずれも適用可能である。
また、規制部材16(16’,16”,74)における乾燥気体の流入口と接続される乾燥気体流路部材を備え、乾燥気体が乾燥気体流路部材を介してエアドライヤから規制部材16の内部へ供給される。
本例では、乾燥気体を回路基板12の端面14に接触させる態様を例示したが、回路基板12の端面14に固体状、液体状の乾燥剤を接触させることにより、同様の作用効果を得ることができると考えられる。
例えば、図1に図示した規制部材16の内部に固体状、液体状の乾燥剤を充填することとで、回路基板12の端面14の周囲を除湿しうる。
換言すると、回路基板12の端面14に乾燥気体、液体状の乾燥剤(例えば、硫酸、エチレングリコール等)、固体状の乾燥剤などの「乾燥体」を接触させることで、回路基板12の端面14から回路基板12の内部への水分の浸入が防止される。
本例では、主として円環形状の断面形状を有する規制部材16を例示したが、規制部材16の断面形状には、四角形などの多角形、鈍角及び鋭角の頂角を有する複雑な形状など、様々な平面形状を適用することができる。
上記の如く構成された回路装置によれば、規制部材16と回路基板12の端面14との間の空間に乾燥体が導入され、規制部材16によって乾燥体の移動が規制されることで、回路基板12の端面14に乾燥体を接触させることができ、回路基板12の端面14の周囲の乾燥状態を維持することで、基板内部への水分の浸入が防止される。
本例に示す回路装置10に適用される回路基板12は、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)などの集積回路、トランジスタ等の能動素子、抵抗器等の受動素子、コネクタなどの接続部材が搭載されていてもよい。
上記した例では、基材30の一方の面に配線層32が形成される態様を示したが、基材30の両面に配線層32が形成されていてもよいし、複数の配線層32と絶縁層が交互に積層された多層構造を有していてもよい。また、配線層間の電気接続形態として、スルーホール、ビア等を用いた形態がある。
さらに、回路基板12の端面14にシール剤等が付与されている場合にも本例に示した構成を適用することができる。かかる場合の端面は、シール剤の表面となる。
〔インクジェットヘッドアッセンブリへの適用例〕
次に、先に説明した回路装置10のインクジェットヘッドアッセンブリへの適用例について詳細に説明する。インク吐出面(ノズル面)に形成された複数のノズルからインク等の液体を吐出させるインクジェットヘッドは、ノズル面の近傍や流路構造の近傍にフレキシブル配線基板が配置されることがありうる。
ノズル面の近傍や流路構造の近傍は、他の領域よりも高湿の環境となりうる。そうすると、フレキシブル配線基板のエレクトロケミカルマイグレーションに起因する故障の発生が懸念される。
以下に、先に説明した回路装置10の特徴を利用したインクジェットヘッド(インクジェットヘッドアッセンブリ)について説明する。
(インクジェットヘッドアッセンブリの全体構成)
図8は、フルライン型インクジェットヘッドを構成するインクジェットヘッドアッセンブリの概略構成を示す斜視図である。同図に示すインクジェットヘッドアッセンブリ100を複数個つなぎ合わせることで、長尺のライン型インクジェットヘッドを構成することが可能である。
一方、インクジェットヘッドアッセンブリ100は、単体でもインクジェットヘッドとして機能しうる構造等を有しているので、インクジェットヘッドアッセンブリ100を1つだけ具備してインクジェットヘッドを構成することも可能である。
図8に示すインクジェットヘッドアッセンブリ100は、ヘッド本体102、一対のフレキシブル配線基板(回路基板)104、一対の取付枠106等から構成される。図1に示すように、フレキシブル配線基板104は、ヘッド本体102と取付枠106との間に挟み込まれて支持される。
図8に示すように、ヘッド本体102は、最下部に吐出ダイ108が設けられ、最上部にチューブ接続ノズル110が設けられている。2つのチューブ接続ノズル110の一方はインク供給用であり、他方はインク回収用である。
インク供給用のチューブ接続ノズル110は、インクチューブを介してインク供給タンクと連通される。また、インク回収用のチューブ接続ノズル110は、インクチューブを介してインク回収タンクと連通される。
フレキシブル配線基板104は、不図示の制御回路から送出される制御信号(指令信号)の伝送路となる配線(銅配線)(図14に符号170を付して図示)が形成される。なお、センサ信号等の他の信号を伝送する配線が形成されていてもよい。
取付枠106は、その内部に形成される乾燥気体流路(図8中不図示、図9に符号124を付して図示)と連通する開口112が2か所に形成され、さらに、フレキシブル配線基板104の厚みに対応する凹部(図8中不図示、図9に符号122を付して図示)が形成されている。
また、取付枠106は取付部114が形成されており、複数のインクジェットヘッドアッセンブリ100を組み合わせる際の支持や位置決めに用いられる。
図9は、図8に示すインクジェットヘッドアッセンブリ100の分解斜視図である。なお、以降の説明において、先に説明した部分と同一又は類似する部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。
取付枠106のフレキシブル配線基板104と接触する面には、フレキシブル配線基板104の厚みに対応する深さを有し、フレキシブル配線基板104が収容される凹部122が形成されている。
また、凹部122の周囲部は他の部分よりも深い溝部124となっており、この部分は乾燥気体流路として機能する。ヘッド本体102との間にフレキシブル配線基板104を挟み込んだ状態でヘッド本体102に取付枠106が取り付けられると、乾燥気体流路となる溝部124によって、フレキシブル配線基板104の端面126と取付枠106との間に空間が形成される。
ヘッド本体102とフレキシブル配線基板104及び取付枠106とを組み付けた状態で、開口112から乾燥気体が供給されると、溝部124に乾燥気体が充填され、フレキシブル配線基板104の端面126に乾燥気体を接触させることができる。なお、乾燥気体は先に説明した乾燥気体を適用することができる。もちろん、液体、固体の乾燥体を適用してもよい。
ヘッド本体102と取付枠106との接合、フレキシブル配線基板104と取付枠106との接合には、接着剤が用いられる。
(ヘッド本体各部の説明)
図10は、図8及び図9に図示した吐出ダイ108の斜視図である。吐出ダイ108は平面形状が平行四辺形の板状部材からなり、内部にはインク流路(図10中不図示、図11に符号146等を付して図示)が形成される。
吐出ダイ108の上面130には駆動IC132が搭載され、駆動IC132の入出力端子(不図示)が接続される電気配線(図11中不図示、図12に符号152を付して図示)及び、電気配線と導通し、フレキシブル配線基板104が接続される接続端子部134が形成される。なお、図10に符号136を付して図示した穴は、インク通路開口である。
図11は、図8に示すインクジェットヘッドアッセンブリの部分断面図であり、ヘッド本体102にフレキシブル配線基板104及び取付枠106が取り付けられた状態が図示されている。
図11に示すように、吐出ダイ108は、インクを吐出させるノズル140と、ノズル140から吐出させるインクが収容される圧力室142と、圧力室142の天井面となる振動板144と、圧力室142へインクを供給する供給流路146と、が形成される。
供給流路146は、供給側のフィルタハウジング(図11中不図示、図13に符号162を付して図示)と連通される。また、ノズル140から分岐される循環流路147は、回収側のフィルタハウジング(図11中不図示、図13に符号164を付して図示)と連通される。
振動板144の圧力室142と反対側の面には、圧電素子148が設けられ、圧電素子148の上部電極(不図示)は、電気配線を介して駆動IC132と導通される。
駆動IC132から圧電素子148へ駆動電圧が印加されると、圧電素子148のたわみ変形に対応して振動板144が変形して、圧力室142の体積減少分に対応した体積のインクがノズル140から吐出される。
圧電素子148が静定状態に復元されると、圧力室142は元の体積(形状)に復元され、供給流路146を介して圧力室142へインクが充填される。
循環流路147は、ノズル140の近傍のインクを循環させるための流路であり、ノズル140近傍のインクを適宜循環させることで、ノズル140近傍のインクの増粘が防止され、ノズル140の詰まりが回避される。
図11に示すように、フレキシブル配線基板104は、吐出ダイ108の上面130の近傍で吐出ダイ108の上面130の方向へ湾曲され、吐出ダイ108の上面130に形成される接続端子部134と接合される。
フレキシブル配線基板104が接続端子部134に接合されると、支持体138等が吐出ダイ108に取り付けられ、ヘッド本体102が完成する。
また、フレキシブル配線基板104と取付枠106の凹部122との位置合わせがされ、取付枠106の凹部122にフレキシブル配線基板104が収納された状態で、取付枠106がヘッド本体102へ取り付けられる。
図12は、吐出ダイ108とフレキシブル配線基板104との接続構造の説明図である。同図に示すように、フレキシブル配線基板104には、接続端子部150が形成されており、接続端子部150は吐出ダイ108の接続端子部150と接合される。
フレキシブル配線基板104の接続端子部150と、吐出ダイ108の接続端子部134との接合には、はんだや導電性接着剤などの導電性を有する接合部材が用いられる。
また、吐出ダイ108の上面130には、インク通路開口136、圧電素子148が設けられるとともに、圧電素子148へ印加される駆動電圧を伝送する電気配線152が形成される。
本例では、インクジェットヘッドアッセンブリ100のインク吐出方式として、圧電素子148のたわみ変形を利用した圧電方式を例示したが、圧力室(液室)142内に設けられたヒータによって圧力室142内のインクを加熱し、膜沸騰現象を利用してインクを吐出させるサーマル方式等の他の吐出方式を適用することも可能である。
(ヘッド本体の流路構造の説明)
図13は、図8に示すインクジェットヘッドアッセンブリの断面図である。同図に示すように、ヘッド本体102は、仕切板160をはさんで一方に供給側のフィルタハウジング162が設けられ、他方に回収側のフィルタハウジング164が設けられている。
フィルタハウジング162,164のそれぞれには、各室の対角線方向にステンレス製のフィルタ166,168が収納されている。
(フレキシブル配線基板と吐出ダイとの接続方法の説明)
図14(a)は、フレキシブル配線基板104の底面図であり、図14(b)は、吐出ダイ108とフレキシブル配線基板104との接続状態における断面図である。また、図14(c)は、吐出ダイの平面図である。
図14(a)に示すように、フレキシブル配線基板104は、ポリイミド製の絶縁層(図14(b)に符号174を付して図示)に銅配線170(破線により図示)が施され、接続端子部150を除く領域は、接着層(図14(b)に符号176を付して図示)を介してポリイミド製の保護層(図14(b)に符号178を付して図示)が接着される。
本例に適用されるフレキシブル配線基板104における絶縁層174の厚みは25マイクロメートルであり、接着層178の厚みは17.5マイクロメートルである。
銅配線170は、銅合金を適用してもよいし、金などの電気伝導率が高い他の金属材料を適用してもよい。本例に適用されるフレキシブル配線基板104における銅配線170の厚みは12マイクロメートルである。
フレキシブル配線基板104の接続端子部150の各接続端子172は、吐出ダイ108の接続端子部134との接続を容易にするために、表面にはんだ、金、スズによるめっき処理が施される。めっき処理された材料は加熱圧着による接合時に溶解して、フレキシブル配線基板104の接続端子部150の各接続端子172と、吐出ダイ108の接続端子部134の各接続端子(図14(c)に符号182を付して図示)と一体化される。
図14(b)に示すように、フレキシブル配線基板104の接続端子部150(図14(a)参照)は、吐出ダイ108の接続端子部134(図14(c)参照)と接合される。その接合方法として、加熱圧着によるはんだ付けが適用される。
すなわち、フレキシブル配線基板104には、銅イオン拡散抑制皮膜180が形成され、その後、フレキシブル配線基板104の接続端子部150と、吐出ダイ108の接続端子部134との位置合わせがされ、図14(b)に示すように、フレキシブル配線基板104と吐出ダイ108が接合される。
(取付枠の内部構造説明)
次に、取付枠106の内部構造について詳細に説明する。図15は、取付枠106の内部構造を示す斜視図である。なお、同図には一点破線によりフレキシブル配線基板104の収納状態が図示されている。収納状態におけるフレキシブル配線基板104は、紙面手前側へ湾曲され、吐出ダイ108と接合される(図11参照)。
図15に示す取付枠106は、ヘッド本体102(図13参照)と対向する面に凹部122が設けられている。凹部122は、フレキシブル配線基板104の形状に対応する形状を有し、フレキシブル配線基板104のサイズよりもわずかに小さいサイズを有し、フレキシブル配線基板104の厚みに対応した深さを有している。
凹部122の周囲は、乾燥気体流路として機能する2本の縦溝部190及び1本の横溝部192(図9では、縦溝部190及び横溝部192を総称して溝部とし、符号124を付している。)が形成される。各縦溝部190の上側の端は開口112が形成され、下側の端で横溝部192と連通している。
取付枠106をヘッド本体102に取り付けて、フレキシブル配線基板104を支持した状態では、フレキシブル配線基板104の端面126の周囲に空間が形成される。この状態で開口112から乾燥空気を導入すると、フレキシブル配線基板104の端面126の周囲に形成された空間が乾燥空気で満たされるので、フレキシブル配線基板104の端面126に乾燥空気を接触させることができる。
特に、吐出ダイ108の近傍はインクによる高湿環境となっているので、高湿環境となる吐出ダイ108の近傍において、フレキシブル配線基板104の内部への水分の浸入が防止され、フレキシブル配線基板104に形成された銅配線170の短絡による故障の発生が回避される。
(取付枠の他の内部構造例の説明)
図16は、図15に示す取付枠106の他の内部構造例を示す斜視図である。図16に示す取付枠106’は、フレキシブル配線基板支持部材として機能する第1取付枠194(第1規制部材)と、乾燥気体導入流路が形成される第2取付枠196(第2規制部材)と、から構成される二重構造を有している。
第1取付枠194は、図15に示す縦溝部190の下端部分(符号190’を付して図示)、及び横溝部192が形成される。また、第1取付枠194を厚み方向に貫通し、縦溝部190’及び横溝部192の少なくともいずれか一方と連通する第1乾燥気体導入流路198(貫通穴)が形成される。
第2取付枠196は、第1乾燥気体導入流路198に対応する位置に第2乾燥気体導入流路199(穴)が形成され、第2乾燥気体導入流路199は不図示の乾燥気体導入口と連通している。
かかる構造を有する取付枠106’が取り付けられると、高湿となる可能性が高い吐出ダイ108の近傍に集中的に乾燥気体が導入され、効率よく良好な乾燥状態を維持することが可能である。
以上説明したインクジェットヘッドアッセンブリ100についても、先に説明した回路装置10と同様に、乾燥気体に代わり、又はこれと併用して、液体状の乾燥体、固体状の乾燥体を適宜適用することができる。
(ノズル配置の説明)
図17は、インクジェットヘッドアッセンブリ100のノズル配置を示す平面透視図である。同図はインクジェットヘッドアッセンブリ100から、吐出された液体が着弾する面を見た図となっている。
同図に示すように、インクジェットヘッドアッセンブリ100は、ノズル140が二次元状に並べられた構造を有し、このようなノズル140の配置を有するインクジェットヘッドはマトリクスヘッドと呼ばれる。
図17に示したインクジェットヘッドアッセンブリ100は、副走査方向Yに対して角度αをなす列方向W、及び主走査方向Xに対して角度βをなす行方向Vに沿って多数のノズル140が並べられた構造を有し、主走査方向Xの実質的なノズル配置密度が高密度化(例えば、1200ドット毎インチ)されている。
図17では、行方向Vに沿って並べられたノズル群(ノズル行)は符号200を付して図示され、列方向Wに沿って並べられたノズル群(ノズル列)は符号202を付して図示されている。
なお、本発明に適用可能なノズル配は、図17に図示したノズル配に限定されず、例えば、主走査方向に沿う行方向及び主走査方向に対して斜めの列方向に沿って複数のノズルがマトリクス配された態様にも適用可能である。
(インクジェットヘッドの構成例)
図18は、複数のインクジェットヘッドアッセンブリ100をつなぎ合わせて構成されたインクジェットヘッドの構成例を示す平面図である。
同図に示すインクジェットヘッド210は、複数のインクジェットヘッドアッセンブリ100を一列につなぎ合わせてマルチヘッドを構成している。なお、インクジェットヘッドアッセンブリ100を千鳥状に配置してマルチヘッドを構成することも可能である。
複数のインクジェットヘッドアッセンブリ100により構成されるマルチヘッドの適用例として、記録媒体の全幅に対応したフルライン型ヘッドが挙げられる。フルライン型ヘッドは、記録媒体の移動方向(副走査方向)と直交する方向(主走査方向)に沿って、記録媒体の主走査方向における長さ(幅)に対応して、複数のノズル(図11に符号140を付して図示)が並べられた構造を有している。
かかる構造を有するインクジェットヘッド210と記録媒体とを相対的に一回だけ走査させて画像記録を行う、いわゆるシングルパス画像記録方式により、記録媒体の全面にわたって画像を形成し得る。
本例に示すインクジェットヘッド210は、記録媒体上にカラー画像を形成するインクジェット記録装置、基板上に機能性液体を吐出させてマスクパターンや電気配線パターンを形成する液体吐出装置など、インクジェット方式が適用される装置に広く適用することができる。
インクジェット記録装置の構成例として、インクジェットヘッドと記録媒体とを相対的な搬送させる記録媒体搬送手段と、インクジェットヘッドのインク吐出を制御する吐出制御部と、入力画像データからインクの吐出データを生成する画像処理部と、吐出データに基づきインクジェットヘッドに印加される駆動信号を生成する駆動信号生成部と、を備える構成が挙げられる。
また、先に説明した乾燥気体生成部と、乾燥気体の流路となる乾燥気体流路部材とを備え、乾燥気体流路部を介して、乾燥気体生成部からインクジェットヘッドへ乾燥気体が供給される構成とすることが可能である。
インクジェットヘッドの外部に設けられた制御系からインクジェットヘッドへ送出される制御信号や、インクジェットヘッドのセンサ類から制御系へ送出される検出信号等の伝送部材として、フレキシブル配線基板が適用される。
インクジェットヘッドと外部との間で電気信号を伝送する電気配線としてフレキシブル配線基板を適用することで、電気配線が配置されるスペースが省スペース化されうる。
上記の如く構成されたインクジェットヘッドアッセンブリによれば、吐出動作の際の圧力発生素子として機能する圧電素子へ印加される駆動信号(制御信号)が伝送される配線170が形成されるフレキシブル配線基板104の端面126に乾燥空気を接触させるので、フレキシブル配線基板104がノズル近傍や流路近傍の高湿環境下に置かれたとしても、フレキシブル配線基板104の内部への水分の浸入によって発生する、エレクトロケミカルマイグレーションに起因する配線間の短絡が防止される。
以上説明した回路装置及びインクジェットヘッドアッセンブリにおける乾燥性能の制御は、予め設定された湿度となるように乾燥気体の流量を調整してもよいし、湿度センサを備え、検出結果に基づいて設定された湿度となるように流量を調整してもよい。
上述した回路装置及びインクジェットヘッドアッセンブリは、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成要素を適宜追加、変更、削除が可能である。
〔本明細書が開示する発明〕
上記に詳述した発明の実施形態についての記載から把握されるとおり、本明細書は少なくとも以下に示す態様を含む多様な技術思想の開示を含んでいる。
(第1態様):基材に1層以上の配線層が形成され、1層以上の配線層の基材と反対側の面に絶縁層が積層される回路基板と、回路基板の端面の少なくとも一部を囲むことで端面との間に空間が形成され、形成された空間に供給される乾燥体の移動を規制する規制部材と、を備えた回路装置。
かかる態様によれば、規制部材によって乾燥体の移動を規制しつつ、回路基板の端部に乾燥体を接触させるので、回路基板の端面から内部への水分(湿気)の浸入が防止され、エレクトロケミカルマイグレーションに起因する配線間のショートに起因する故障の発生が防止される。
乾燥体とは、気体、液体、固体を含む概念であり、回路基板の端面の雰囲気を乾燥状態とする機能を有するものである。
かかる態様は、基材の一方の面のみに配線層が形成される片面基板、基材の一方の面及び一方の面と反対側の他方の面に配線層が形成される両面基板、複数の配線層を具備し、各配線層間に絶縁層が形成される多層基板のいずれにも適用可能である。
(第2態様):第1態様に記載の回路装置において、乾燥体は乾燥流体であり、乾燥流体を規制部材の内部の空間へ供給する乾燥流体供給手段を備えた回路装置。
かかる態様によれば、規制部材の内部へ乾燥流体が供給されることで、回路基板の端面に乾燥流体を接触させ、回路基板の端面の雰囲気の乾燥状態が維持される。
乾燥流体とは、気体、液体を含む概念であり、その一例として、低湿度状態の気体が挙げられる。
(第3態様):第2態様に記載の回路装置において、乾燥流体は、回路基板の周囲の湿度未満の湿度を有する乾燥気体である回路装置。
かかる態様によれば、回路基板の端面の雰囲気の湿度を、回路基板の周囲の雰囲気の湿度未満とすることで、回路基板の端面の雰囲気の乾燥状態が維持される。
(第4態様):第1態様から第3態様のいずれかに記載の回路装置において、中空構造を有し、回路基板を挟み込む切欠部が形成される回路装置。
かかる態様によれば、中空構造内へ乾燥体を供給(充填)することで、中空構造の内部、すなわち、回路基板の端面の周囲雰囲気の乾燥状態が維持される。
(第5態様):第1態様から第4態様のいずれかに記載の回路装置において、回路基板は、多角形の平面形状を有し、規制部材は、回路基板の複数の辺のうち少なくとも一辺を覆う構造を有する回路装置。
かかる態様において、高湿状態となる端面について規制部材により覆うことが好ましい。
(第6態様):第1態様から第5態様のいずれかに記載の回路装置において、規制部材は、回路基板の全周を覆う構造を有する回路装置。
かかる態様によれば、回路基板の端面の全周に対して乾燥体を接触させることができるので、回路基板の端面の全周について好ましい乾燥状態が維持されうる。
(第7態様):第1態様から第3態様のいずれかに記載の回路装置において、規制部材は、回路基板の一方の面、及び一方の面の反対側の他方の面から回路基板を挟み込む複数の部材を含み、部材の端面の少なくとも一部は、回路基板の端面よりも外側に突出している回路装置。
かかる態様において、複数の部材を板状部材とする態様がありうる。また、一方を板状部材、他方を箱型の部材として、回路基板の全体を覆う態様もありうる。
(第8態様):第1態様から第7態様のいずれかに記載の回路装置において、回路基板は、基材の一方の面及び一方の面と反対側の他方の面に配線層が形成される回路装置。
かかる態様によれば、基材の両面に配線層及び配線層に積層される絶縁層を備える両面基板においても、回路基板の端面から内部への水分(湿気)の浸入が防止され、エレクトロケミカルマイグレーションに起因する配線間のショートに起因する故障の発生が防止される。
(第9態様):第1態様から第8態様のいずれかに記載の回路装置において、回路基板は、配線層を複数備え、各配線層の間に絶縁層が形成される回路装置。
かかる態様によれば、複数の配線層が積層され、各配線層間に絶縁層が形成される多層基板においても、回路基板の端面から内部への水分(湿気)の浸入が防止され、エレクトロケミカルマイグレーションに起因する配線間のショートに起因する故障の発生が防止される。
(第10態様):液体を吐出させるノズルが設けられるインクジェットヘッドを構成するインクジェットヘッドアッセンブリであって、電気配線と、電気配線と導通する取出電極と、取出電極と接合される回路基板を備えた回路装置と、を備え、回路装置は、基材に1層以上の配線層が形成され、1層以上の配線層の基材と反対側の面に絶縁層が積層され、配線層に電気信号が伝送される配線パターンが形成され、取出電極に接合される回路基板と、回路基板の端面の少なくとも一部を囲むことで端部との間に空間が形成され、形成された空間に供給される乾燥体の移動を規制する規制部材と、を具備するインクジェットヘッドアッセンブリ。
かかる態様によれば、液体吐出部の近傍や液体流路部の近傍など、高湿環境に回路基板が設置される場合でも、回路基板の端面に乾燥体を接触させることで、好ましい乾燥状態が維持されるので、回路基板の端面から内部への水分(湿気)の浸入が防止され、エレクトロケミカルマイグレーションに起因する配線間のショートに起因する故障の発生が防止される。
インクジェットヘッドアッセンブリは、単体でもインクジェットヘッドとして機能させることができ、複数のインクジェットヘッドアッセンブリをつなぎ合わせてインクジェットヘッドを構成することもできる。
(第11態様):第10態様に記載のインクジェットヘッドアッセンブリにおいて、ノズルと連通する液室と、液室に収容される液体を加圧する加圧素子と、を備え、電気配線は、加圧素子を動作させる駆動信号が伝送されるインクジェットヘッドアッセンブリ。
かかる態様における加圧素子として、駆動電圧の印加によりたわみ変形が生じる圧電素子が挙げられる。
(第12態様):第11態様に記載のインクジェットヘッドアッセンブリにおいて、液室が形成される本体部と、本体部を支持する支持部材と、を備え、回路基板は、支持部材によって本体部と支持部材との間で支持され、支持部材は、規制部材と兼用され、回路基板と接触する面に乾燥体の移動を規制する空間となる構造が形成されるインクジェットヘッドアッセンブリ。
かかる態様において、支持部材の内部に溝や凹部を形成して、回路基板の収納部や乾燥体の通路とする態様がありうる。
(第13態様):第12態様に記載のインクジェットヘッドアッセンブリにおいて、支持部材と兼用される規制部材は、回路基板の周囲の一部を囲む溝部が形成され、溝部と連通し、厚み方向に貫通する貫通穴が形成される第1規制部材と、貫通穴と連通する穴が形成される第2規制部材と、を備えたインクジェットヘッドアッセンブリ。
かかる態様において、乾燥体の通路となる溝部とは別に第1規制部材に回路基板が収納される収納部が形成される態様が好ましい。
また、特に高湿状態となる位置に対応して、第1規制部材の溝部を形成する態様が好ましい。
(第14態様):第10態様から第13態様のいずれかに記載の回路装置において、回路基板は、基材として樹脂フィルムが用いられ、柔軟性を有するフレキシブル配線基板であるインクジェットヘッドアッセンブリ。
かかる態様によれば、インクジェットヘッドアッセンブリの構成の隙間に回路基板を配置させることができ、インクジェットヘッドアッセンブリと外部との間の電気配線が配置されるスペースが省スペース化される。
(第15態様):第10態様から第14態様に記載のインクジェットヘッドアッセンブリにおいて、乾燥体は乾燥流体であり、乾燥流体を規制部材の内部の空間へ供給する乾燥流体供給手段を備えたインクジェットヘッドアッセンブリ。
(第16態様):第15態様に記載のインクジェットヘッドアッセンブリにおいて、乾燥流体は、回路基板の周囲の湿度未満の湿度を有する乾燥気体であるのインクジェットヘッドアッセンブリ。
10…回路装置、12…回路基板、14…端面、16,16’,16”,74…規制部材、18…切欠部、30…基材、32…配線層、34…絶縁層、100…インクジェットヘッドアッセンブリ、102…ヘッド本体、104…フレキシブル配線基板、106…取付枠、108…吐出ダイ、112…開口、122…凹部、124…溝部、134…接続端子部、140…ノズル、142…圧力室、148…圧電素子、150…接続端子部、190、190’…縦溝部、192…横溝部、194…第1取付枠、196…第2取付枠、198…第1乾燥気体導入流路、199…第2乾燥気体導入流路

Claims (20)

  1. 基材に1層以上の配線層が形成され、前記1層以上の配線層の基材と反対側の面に絶縁層が積層される回路基板と、
    前記回路基板の端面の少なくとも一部を囲むことで前記端面との間に空間が形成され、前記形成された空間に供給される乾燥体の移動を規制する規制部材と、
    を備え
    前記規制部材は中空構造を有し、前記中空構造は前記回路基板の主面に接触して前記回路基板を支持する構造を有する回路装置。
  2. 前記乾燥体は乾燥流体であり、
    前記乾燥流体を前記規制部材の内部の空間へ供給する乾燥流体供給手段を備えた請求項1に記載の回路装置。
  3. 前記乾燥流体は、前記回路基板の周囲の湿度未満の湿度を有する乾燥気体である請求項2に記載の回路装置。
  4. 前記規制部材は、前記回路基板の主面に接触して支持する構造として前記回路基板を挟み込む切欠部が形成される請求項1から3のいずれか1項に記載の回路装置。
  5. 前記回路基板は、多角形の平面形状を有し、
    前記規制部材は、前記回路基板の複数の辺のうち少なくとも一辺を覆う構造を有する請求項1から4のいずれか1項に記載の回路装置。
  6. 前記規制部材は、前記回路基板の全周を覆う構造を有する請求項1から5のいずれか1項に記載の回路装置。
  7. 前記規制部材は、前記回路基板の一方の面、及び前記一方の面の反対側の他方の面から前記回路基板を挟み込む複数の部材を含み、
    前記部材の端面の少なくとも一部は、前記回路基板の端面よりも外側に突出している請求項1から3のいずれか1項に記載の回路装置。
  8. 前記回路基板は、前記基材の一方の面及び前記一方の面と反対側の他方の面に前記配線層が形成される請求項1から7のいずれか1項に記載の回路装置。
  9. 前記回路基板は、前記配線層を複数備え、各配線層の間に絶縁層が形成される請求項1から8のいずれか1項に記載の回路装置。
  10. 前記規制部材は、前記回路基板を構成する一つの端面が前記中空構造の内部に配置される構造であり、前記中空構造の端に開口が設けられる構造を有する請求項1から9のいずれか1項に記載の回路装置。
  11. 前記規制部材は、前記回路基板を構成する一つの端面と交差する他の端面が配置される中空構造を有し、前記回路基板を構成する一つの端面が配置される中空構造と、前記一つの端面と交差する他の端面が配置される中空構造とを連通させた構造を有する請求項10に記載の回路装置。
  12. 液体を吐出させるノズルが設けられるインクジェットヘッドを構成するインクジェットヘッドアッセンブリであって、
    電気配線と、
    前記電気配線と導通する取出電極と、
    前記取出電極と接合される回路基板を備えた回路装置と、
    を備え、
    前記回路装置は、基材に1層以上の配線層が形成され、前記1層以上の配線層の基材と反対側の面に絶縁層が積層され、前記配線層に電気信号が伝送される配線パターンが形成され、前記取出電極に接合される前記回路基板と、
    前記回路基板の端面の少なくとも一部を囲むことで前記端面との間に空間が形成され、前記形成された空間に供給される乾燥体の移動を規制する規制部材と、
    を具備し、
    前記規制部材は、溝を有し、前記溝の端が前記回路基板の主面に接触して前記回路基板を支持する構造を有するインクジェットヘッドアッセンブリ。
  13. 前記ノズルと連通する液室と、
    前記液室に収容される液体を加圧する加圧素子と、
    を備え、
    前記電気配線は、前記加圧素子を動作させる駆動信号が伝送される請求項12に記載のインクジェットヘッドアッセンブリ。
  14. 前記液室が形成される本体部と、
    前記本体部を支持する支持部材と、
    を備え、
    前記回路基板は、前記支持部材によって前記本体部と前記支持部材との間で支持され、 前記支持部材は、前記規制部材と兼用され、前記回路基板と接触する面に前記乾燥体の移動を規制する空間となる構造が形成される請求項13に記載のインクジェットヘッドアッセンブリ。
  15. 前記支持部材と兼用される規制部材は、前記回路基板の周囲の一部を囲む溝部が形成され、前記溝部と連通し、厚み方向に貫通する貫通穴が形成される第1規制部材と、前記貫通穴と連通する穴が形成される第2規制部材と、
    を備えた請求項14に記載のインクジェットヘッドアッセンブリ。
  16. 前記規制部材は、前記回路基板を構成する一つの端面が前記溝の内部に配置される構造であり、前記溝の端に開口が設けられる構造を有する請求項12から15のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドアッセンブリ。
  17. 前記規制部材は、前記回路基板を構成する一つの端面と交差する他の端面が配置される溝を有し、前記回路基板を構成する一つの端面が配置される溝と、前記一つの端面と交差する他の端面が配置される溝とを連通させた構造を有する請求項16に記載のインクジェットヘッドアッセンブリ。
  18. 前記回路基板は、前記基材として樹脂フィルムが用いられ、柔軟性を有するフレキシブル配線基板である請求項12から17のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドアッセンブリ。
  19. 前記乾燥体は乾燥流体であり、
    前記乾燥流体を前記規制部材の内部の空間へ供給する乾燥流体供給手段を備えた請求項12から18のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドアッセンブリ。
  20. 前記乾燥流体は、前記回路基板の周囲の湿度未満の湿度を有する乾燥気体である請求項19に記載のインクジェットヘッドアッセンブリ。
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