JP5641913B2 - 除去効率測定システム - Google Patents

Description

本発明は、気体中に含まれる各種複数のガス成分のうちの所定の除去対象ガスを除去するガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定システムに関する。

原子力施設から放出される排気ガスに含まれる放射性ヨウ素をヨウ素吸着材によって除去するヨウ素フィルタの漏れを試験するリーク試験方法がある（特許文献１参照）。このリーク試験方法は、空気の組成を変化させる所定のガス成分を含ませた試験空気をヨウ素フィルタに流入させ、その試験空気がヨウ素フィルタの入口から出口に達したときの時間を検出することでヨウ素フィルタにおけるヨウ素の漏れの可能性を試験する。

このリーク試験方法では、正常にヨウ素吸着材が設置されたヨウ素フィルタのガス成分の通過時間がガス成分の種類や濃度（流量）、ヨウ素吸着材の量（層厚）に依存することに着目し、空気の組成を変化させるガス成分を含ませた試験空気の正常なヨウ素フィルタにおける比較通過時間をあらかじめ事前の試験によって求めておく。ヨウ素フィルタにおける大気中のガス成分のリークがあると、そのガス成分がヨウ素吸着剤と吸着・脱着反応を起こさずにヨウ素フィルタ中を通過し、リークがない場合と比較して試験空気が早くヨウ素フィルタから出てしまう。ゆえに、リークがある場合のヨウ素フィルタにおける試験空気の通過時間はリークがない場合のヨウ素フィルタにおける試験空気の通過時間よりも早い。したがって、正常なヨウ素フィルタにおいてあらかじめ求めた試験空気の比較通過時間と試験対象のヨウ素フィルタにおける試験空気の通過時間とを比較することで、そのヨウ素フィルタにおけるリークの有無を判定することができる。

特開平７−１４８４１８号公報

前記特許文献１に開示のリーク試験方法は、ヨウ素とは異なるガス成分を含む試験空気をヨウ素フィルタにおけるヨウ素のリーク有無の試験に利用し、その試験空気がヨウ素フィルタの入口から出口に達したときの時間を検出することでヨウ素フィルタにおけるヨウ素のリークの有無を推定する。ゆえに、ヨウ素そのものを利用してヨウ素フィルタにおけるヨウ素のリークを試験するものではないから、そのヨウ素フィルタにおいてヨウ素そのもののリークがあるかの確証を得ることが難しく、試験結果に高い信頼性や信憑性を求めることはできない。また、このリーク試験方法は、ヨウ素フィルタの入口側に空気導入装置を設置し、ヨウ素フィルタの出口側にガス測定装置を設置するとともに、それら装置とヨウ素フィルタとの間を密閉する密閉機構を取り付け、試験空気の漏れを防止しつつ、試験空気の流速や流量を一定に保持する必要があり、試験に手間と時間とを要するのみならず、試験空気の流速や流量を一定に保持することができない環境下で使用されている使用中のヨウ素フィルタでは試験を行うことができない。

本発明の目的は、除去対象ガスを直接利用してガス除去装置におけるその対象ガスの除去効率を測定することができ、信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる除去効率測定方法を提供することにある。本発明の他の目的は、使用中にあるガス除去装置の除去効率を測定することができる除去効率測定方法を提供することにある。

前記課題を解決するための本発明の前提は、気体中に含まれる各種複数のガス成分のうちの所定の除去対象ガスを除去するガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定システムである。

前記前提における本発明の特徴としては、除去効率測定システムが、除去対象ガスと同一の試験用ガスをガス除去装置に供給する試験用ガス供給装置と、ガス除去装置に除去されずにそれを通過するトレーサーガスをガス除去装置に供給するトレーサーガス供給装置と、気体中に含まれる試験用ガスおよびトレーサーガスの濃度を所定の時間間隔で間欠的に複数回測定することが可能な光音響ガスモニタと、コントローラとから形成され、コントローラが、試験用ガス供給装置を利用して所定量の試験用ガスをガス除去装置の入口側から供給しつつ、トレーサーガス供給装置を利用して所定量のトレーサーガスを試験用ガスと同時にガス除去装置の入口側から供給するガス供給手段と、ガス除去装置の入口に流入する気体に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度を光音響ガスモニタを利用して測定するガス濃度第１測定手段と、ガス除去装置を通ってその出口から流出した気体に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度を光音響ガスモニタを利用して測定するガス濃度第２測定手段と、光音響ガスモニタによって時系列に測定された複数の測定濃度データに基づいて、ガス除去装置の欠陥をガス除去機能の低下であるか、または、ガス除去装置やその設置器具の気体漏れであるかを分析する欠陥種類分析手段とを実行し、欠陥種類分析手段では、ガス濃度第２測定手段によって測定された試験用ガスの濃度が短時間に急激に上昇し、その後、試験用ガスの濃度が急激に下降している場合、ガス除去装置やその設置器具の気体漏れであると判断し、ガス濃度第２測定手段によって測定された試験用ガスの濃度が短時間に急激に上昇し、その後、試験用ガスの濃度が徐々に下降している場合、ガス除去装置のガス除去機能の低下であると判断することにある。

本発明の一例としては、コントローラが、試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、ガス除去装置の入口に流入する気体に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度を光音響ガスモニタを利用して測定するガス濃度第３測定手段と、ガス除去装置から飛散してその出口から流出した気体に含まれる試験用ガスの濃度を光音響ガスモニタを利用して測定するガス濃度第４測定手段とを含む。

本発明の他の一例としては、除去効率測定システムが、ガス除去装置の上流側に流れる気体を採集する気体第１採集装置と、ガス除去装置の下流側に流れる気体を採集する気体第２採集装置とを含み、気体第１採集装置と気体第２採集装置とが、気体を収容する所定容積の複数の第１〜第ｎ気体採集袋を利用し、あらかじめ設定された量の気体をそれら気体採集袋に順番に収容しつつ、それら気体採集袋に気体を所定時間連続して収容し、ガス濃度第１測定手段〜ガス濃度第４測定手段では、光音響ガスモニタを利用してそれら気体採集袋に収容された気体に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度を測定する。

本発明の他の一例としては、コントローラが、ガス濃度第１測定手段によって測定したガス除去装置の上流側の試験用ガスの濃度とガス濃度第２測定手段によって測定したガス除去装置の下流側の試験用ガスの濃度とからそのガス除去装置における試験用ガス除去効率を算出する除去効率算出手段を含む。

本発明の他の一例としては、コントローラが、ガス除去装置の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させてガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの気体に対する濃度の倍率を決定する濃度倍率決定手段を含む。

本発明の他の一例として、除去効率測定システムでは、ガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの濃度が光音響ガスモニタの検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高く、試験用ガスとトレーサーガスとの供給時間が同一である。

本発明の他の一例として、試験用ガスとトレーサーガスとのガス除去装置の入口側への供給時では、ガス除去装置の周囲の気体の風量または風速が不均一である。

本発明の他の一例として、除去効率測定システムでは、除去対象ガスを除去する使用中の状態にあるガス除去装置の除去効率を測定する。

本発明の他の一例としては、ガス除去装置が、気体に含まれる除去対象ガスを吸着するガス除去エアフィルタである。

本発明の他の一例としては、気体が空気であり、ガス除去エアフィルタが、原子力関連施設または放射性ヨウ素を取り扱う施設に設置され、それら施設の空気に含まれる放射性ヨウ素を吸着する放射性ヨウ素除去エアフィルタであり、試験用ガスが試験用ヨウ化メチルガスである。

本発明にかかる除去効率測定システムによれば、所定量の試験用ガスとトレーサーガスとをガス除去装置の入口側から同時に供給し、ガス除去装置の入口に流入する気体に含まれる試験用ガスおよびトレーサーガスの濃度を光音響ガスモニタを利用して測定するとともに、ガス除去装置を通ってその出口から流出した気体に含まれる試験用ガスおよびトレーサーガスの濃度を光音響ガスモニタを利用して測定するから、その測定中にトレーサーガスがガス除去装置の出入口側において光音響ガスモニタに検出された場合、試験用ガスがガス除去装置に確実に流入したことが実証され、逆に、その測定中にトレーサーガスがガス除去装置の出入口側において光音響ガスモニタに検出されない場合、試験用ガスもガス除去装置に流入していないことが実証される。ゆえに、ガス除去装置の出入口側においてトレーサーガスが検出されることでその測定中における試験用ガスのガス除去装置への流入を認定することができ、試験用ガスを使用してガス除去装置が設置された環境下の気体に含まれる除去対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定システムは、除去対象ガスと同一の試験用ガスを利用してガス除去装置における除去効率を測定するから、対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を測定したものとみなすことができ、さらに、複数種類のガスの濃度を所定の時間間隔で間欠的に複数回測定することが可能な光音響ガスモニタを使用することで、試験用ガスとトレーサーガスとを所定時間連続してガス除去装置に流入させたとしても、それらガスの濃度が光音響ガスモニタによって時系列に複数回測定されるから、対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を高い精度で測定することができ、対象ガスに対するガス除去装置の信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。除去効率測定システムは、ガス除去装置の出口側においてトレーサーガスとともに所定濃度の試験用ガスが光音響ガスモニタに検出され、その試験用ガスの濃度が短時間に急激に上昇し、その後、試験用ガスの濃度が急激に下降している場合、ガス除去装置やその設置器具の気体漏れであると判断し、その試験用ガスの濃度が短時間に急激に上昇し、その後、試験用ガスの濃度が徐々に下降している場合、ガス除去装置のガス除去機能の低下であると判断するから、ガス除去装置が劣化して対象ガス除去機能が低下していることを判定することができ、または、ガス除去装置やその設置器具に気体漏れ（リーク）等の構造的な欠陥があることを判定することができる。除去効率測定システムは、除去効果の測定結果を参照しつつ、試験用ガスの時系列に測定された複数の測定濃度によってガス除去装置の欠陥種類を判断することができるから、そのガス除去装置の交換時期を的確に判断することができ、ガス除去装置の設置器具の修理の必要性を判断することができるとともに、欠陥種類によってガス除去装置の交換またはガス除去装置や設置器具の修理のいずれかの方法を選択することができる。除去効果測定システムは、それを利用することでガス除去装置を適時に交換することができ、設置器具を適時に修理することができるから、常にガス除去機能を備えたガス除去装置を使用することができ、気体中に除去対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置によってその対象ガスを気体から確実に除去することができる。

試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、ガス除去装置の入口に流入する気体に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度を光音響ガスモニタを利用して測定するとともに、ガス除去装置から飛散してその出口から流出した気体に含まれる試験用ガスの濃度を光音響ガスモニタを利用して測定する除去効率測定システムは、試験用ガスとトレーサーガスとの供給を停止した後、ガス除去装置の入口側において所定濃度の試験用ガスやトレーサーガスが濃度測定装置に検出されない場合、それらガスの供給が確実に停止したことが実証される。除去効率測定システムは、ガス除去装置の出口側において所定濃度の試験用ガスが光音響ガスモニタに検出された場合、そのガス除去装置に構造的な欠陥以外の化学的な欠陥等の他の欠陥があることを知ることができる。また、それによってそのガス除去装置の使用限界を知ることができ、ガス除去装置を交換する時期を正確に判断することができる。除去効率測定システムは、ガス除去装置を適時に交換することができ、設置器具を適時に修理することができるから、常にガス除去機能を備えたガス除去装置を使用することができ、気体に除去対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを気体から確実に除去することができる。

ガス除去装置の上流側に流れる気体を採集する気体第１採集装置とガス除去装置の下流側に流れる気体を採集する気体第２採集装置とを含み、気体第１採集装置と気体第２採集装置とが気体を収容する所定容積の複数の第１〜第ｎ気体採集袋を利用し、あらかじめ設定された量の気体をそれら気体採集袋に順番に収容しつつ、それら気体採集袋に気体を所定時間連続して収容し、光音響ガスモニタを利用してそれら気体採集袋に収容された気体に含まれる試験用ガスとトレーサーガスとの濃度を測定する除去効率測定システムは、試験用ガスの濃度がそれら気体採集袋において平均化されるから、試験用ガスの濃度の平均値を使用することができ、気体に含まれる試験用ガスの濃度上昇から濃度下降までの時系列的な濃度変化を正確に把握することができる。除去効率測定システムは、試験用ガスの気体中における濃度変化を正確に確認することができ、濃度変化に基づいて、ガス除去装置の対象ガス除去機能の低下、または、ガス除去装置やその設置器具の構造的な欠陥あるいは化学的な欠陥のいずれかを確実に判断することができる。

ガス除去装置の上流側から検出された試験用ガスの濃度とガス除去装置の下流側から検出された試験用ガスの濃度とからそのガス除去装置における試験用ガス除去効率を算出する除去効率算出手段を含む除去効率測定システムは、ガス除去装置の現在における対象ガス除去効率を把握することができるから、その除去効率からガス除去装置の使用限界を判断することができ、ガス除去装置の交換時期を的確に判断することができる。除去効果測定システムは、対象ガス除去効率に基づいてガス除去装置を適時に交換することができるから、常に対象ガスの除去機能を備えたガス除去装置を使用することができ、気体中に除去対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置によってその対象ガスを気体から確実に除去することができる。

ガス除去装置の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させてガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの気体に対する濃度の倍率を決定する除去効率測定システムは、ガス除去装置の使用環境を考慮しつつ、ガス除去装置の交換の指標となる限界効率に応じて試験用ガスの気体に対する濃度の倍率を自由に決定することができる。除去効率測定システムは、ガス除去装置の限界効率に応じた倍率の濃度の試験用ガスが光音響ガスモニタに検出された場合、そのガス除去装置の使用限界を知ることができ、ガス除去装置を交換する時期を正確に判断することができる。

ガス除去装置の入口側から供給する試験用ガスの濃度が光音響ガスモニタの検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高く、試験用ガスとトレーサーガスとの供給時間が同一である除去効率測定システムは、必要以上に高い濃度の試験用ガスを供給すると、その試験用ガスによってガス除去装置の性能を低下させることになるが、トレーサーガスを利用して試験用ガスのガス除去装置への流入を実証することができるから、光音響ガスモニタの検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高い濃度の試験用ガスを除去効率の測定に使用することができるとともに、試験用ガスの供給時間を短くすることができ、ガス除去装置の性能を低下させることなく、そのガス除去装置の除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定システムは、光音響ガスモニタの検出限界濃度にあわせて試験用ガスの濃度を自由に設定することができる。除去効率測定システムは、試験用ガスとトレーサーガスとの供給時間が同一であるから、その測定中にトレーサーガスが光音響ガスモニタに検出された場合、試験用ガスがガス除去装置に流入したことが確実に実証され、逆に、その測定中にトレーサーガスが光音響ガスモニタに検出されない場合、試験用ガスもガス除去装置に流入していないことが確実に実証される。ゆえに、ガス除去装置の出口側においてトレーサーガスが検出されることでその測定中における試験用ガスのガス除去装置への流入を確証することができ、試験用ガスを使用してガス除去装置が設置された環境下の気体に含まれる除去対象ガスに対するガス除去装置の除去効率を確実に測定することができる。

試験用ガスとトレーサーガスとのガス除去装置の入口側への供給時においてガス除去装置の周囲の気体の風量または風速が不均一である除去効率測定システムは、ガス除去装置の実際の使用環境では気体の風量または風速が不均一であり、そのような環境下でガス除去装置の除去効率を測定することで、ガス除去装置の実際の使用環境に応じた除去効率を測定することができ、ガス除去装置の現実的な使用限界を知ることができるとともに、ガス除去装置を交換する時期を具体的に判断することができる。除去効率測定システムは、ガス除去装置の実際の使用環境を考慮しつつガス除去装置を適時に交換することができ、気体に除去対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを気体から確実に除去することができる。

除去対象ガスを除去する使用中の状態にあるガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定システムは、実際に設置された使用状態のガス除去装置の除去効率を測定することで、ガス除去機能が低下していることやガス除去装置やその設置器具に気体漏れ（リーク）等の構造的な欠陥または化学的な欠陥があることを判定することができ、それによって使用中のガス除去装置の使用限界を知ることができるとともに、ガス除去装置を交換する時期を具体的に判断することができ、設置器具の修理の必要性を判断することができる。除去効率測定システムは、ガス除去装置の実際の使用環境においてガス除去装置を適時に交換することができ、設置器具を適時に修理することができるから、気体に除去対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置を利用してその対象ガスを気体から確実に除去することができる。

ガス除去装置が気体中の除去対象ガスを吸着するガス除去エアフィルタである除去効率測定システムは、ガス除去エアフィルタの出口側においてトレーサーガスが検出されることで、その測定中における試験用ガスのガス除去エアフィルタへの流入を確証することができ、試験用ガスを使用してガス除去エアフィルタが設置された環境下の気体に含まれる対象ガスに対するガス除去エアフィルタの除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定システムは、対象ガスと同一の試験用ガスを利用してガス除去エアフィルタにおける除去効率を測定するから、対象ガスに対するエアフィルタの除去効率を測定したものとみなすことができ、対象ガスに対するエアフィルタの除去効率を高い精度で測定することができるとともに、対象ガスに対するエアフィルタの信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。除去効率測定システムは、ガス除去エアフィルタの出口側においてトレーサーガスとともに所定濃度の試験用ガスが光音響ガスモニタに検出された場合、ガス除去装置が劣化して対象ガス除去機能が低下していることを判定することができ、または、ガス除去装置やその設置器具に気体漏れ（リーク）等の構造的な欠陥あるいは化学的な欠陥があることを判定することができるから、除去効果の測定結果を参照しつつ、そのガス除去装置の交換時期を的確に判断することができるとともに、ガス除去装置の設置器具の修理の必要性を判断することができる。除去効果測定システムは、それを利用することでガス除去装置を適時に交換することができ、設置器具を適時に修理することができるから、常にガス除去機能を備えたガス除去装置を使用することができ、気体中に除去対象ガスが含まれたとしても、ガス除去装置によってその対象ガスを気体から確実に除去することができる。

気体が空気であり、ガス除去エアフィルタが原子力関連施設または放射性ヨウ素を取り扱う施設の空気に含まれる放射性ヨウ素を吸着する放射性ヨウ素除去エアフィルタであり、試験用ガスが試験用ヨウ化メチルガスである除去効率測定システムは、フィルタの下流側に流れる空気に含まれる試験用ヨウ化メチルガスの濃度を測定することで、原子力関連施設や放射性ヨウ素を取り扱う施設に設置された放射性ヨウ素除去エアフィルタの除去効果を測定するから、フィルタが設置された施設の空気中に含まれる放射性ヨウ素に対するフィルタ除去効率を高い精度で測定することができるとともに、フィルタの放射性ヨウ素に対する除去効率を高い信頼性および高い信憑性で検証することができる。除去効果測定システムは、放射性ヨウ素除去エアフィルタの下流側において試験用ヨウ化メチルガスが検出された場合、原子力関連施設や放射性ヨウ素を取り扱う施設に設置されたフィルタが劣化して放射性ヨウ素除去機能が低下していることを判定することができ、または、フィルタやその設置器具に空気漏れ（リーク）等の構造的な欠陥あるいは化学的な欠陥があることを判定することができるから、測定結果を参照しつつ、アフィルタの交換時期を的確に判断することができるとともに、フィルタの設置器具の修理の必要性を判断することができる。除去効果測定システムは、それを利用することで原子力関連施設や放射性ヨウ素を取り扱う施設に設置された放射性ヨウ素除去エアフィルタを適時に交換することができ、設置器具を適時に修理することができるから、それら施設において常に放射性ヨウ素の除去機能を備えたフィルタを使用することができ、それら施設の空気中に放射性ヨウ素が含まれたとしても、フィルタによってその放射性ヨウ素をそれら施設の空気から確実に除去することができる。

一例として示す除去効率測定システムの構成図。 一例として示すガス除去エアフィルタの斜視図。 ディスプレイに表示された初期画面の一例を示す図。 濃度倍率設定画面の一例を示す図。 ガス濃度第１および第２測定における条件設定画面の一例を示す図。 ガス濃度第３および第４測定における条件設定画面の一例を示す図。 システムによって実行される除去効率測定のフローチャート。 図７から続くフローチャート。 図８から続くフローチャート。 フィルタ指定画面の一例を示す図。 グラフ表示画面の一例を示す図。 グラフ表示画面の他の一例を示す図。 グラフ表示画面の他の一例を示す図。 濃度第１および第２測定データ表示画面の一例を示す図。 濃度第３および第４測定データ表示画面の一例を示す図。 他の一例として示す除去効率測定システムの構成図。 光音響ガスモニタによるガス濃度測定を説明する図。 システムによって実行される除去効率測定のフローチャート。 図１８から続くフローチャート。 図１９から続くフローチャート。

一例として示す除去効率測定システムの構成図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる除去効率測定システムの詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、一例として示すガス除去エアフィルタ１１の斜視図である。除去効率測定システム１０Ａは、所定の施設の除去対象ガスが発生するおそれがある環境下に設置されたガス除去エアフィルタ１１（ガス除去装置）の除去対象ガスに対する除去効率を測定する。

所定の施設には、原子力関連施設や放射性ヨウ素を取り扱う施設（たとえば、病院や研究所）、半導体製造施設、液晶製造施設等があるが、施設をそれらに限定するものではなく、除去対象ガスが発生するおそれがあるあらゆる施設が含まれる。原子力関連施設には、原子力発電所、中間貯蔵施設、再処理工場、ＭＯＸ燃料工場、高速増殖炉、高速増殖炉用燃料工場、高速増殖炉用再処理工場、高レベル放射性廃棄物最終処分施設等がある。なお、原子力関連施設や放射性ヨウ素を取り扱う施設では、除去対象ガスが放射性ヨウ素であり、ガス除去エアフィルタ１１としてヨウ素ガス除去エアフィルタが設置される。

除去効率測定システム１０Ａは、ガス除去エアフィルタ１１と、試験用ガス供給ユニット１２（試験用ガス供給装置）と、トレーサーガス供給ユニット１３（トレーサーガス供給装置）と、空気第１採集ユニット１４（気体第１採集装置）と、空気第２採集ユニット１５（気体第２採集装置）と、光音響ガスモニタ１６，１７と、流量計１８と、コントローラ１９とから形成されている。本実施の形態ではガス除去装置としてガス除去エアフィルタ１１を例示しているが、ガス除去装置をガス除去エアフィルタ１１に限定するものではなく、他のすべてのガス除去装置を用いて本発明にかかる除去効率測定を実行することができる。また、ガス濃度測定装置として光音響ガスモニタ１６，１７を例示しているが、ガス濃度測定装置を光音響ガスモニタ１６，１７に限定するものではなく、ガスクロマトグラフィー等の他のすべてのガス濃度測定装置を利用することができる。

ガス除去エアフィルタ１１には、セパレータ型エアフィルタやミニプリーツ型エアフィルタ等があり、その除去対象ガスには、酸性ガスや有機ガス、塩基性ガス等があり、二酸化炭素や酸素も含まれる。ガス除去エアフィルタ１１には、ガラス繊維や炭素繊維、合成樹脂繊維に吸着剤（化学薬品）を付着させたフィルタ、ガラス繊維や炭素繊維、合成樹脂繊維に活性炭を担持させたフィルタ、活性炭素繊維から作られたフィルタ等があり、図２に示すように、フィルタ収納カートリッジ２０（収納枠）に気密に収納されて使用される。ガス除去エアフィルタ１１は、蛇腹状に折り畳まれた四角柱状の立体構造を有する。なお、ガス除去エアフィルタ１１には、立体構造を有するそれの他に、略扁平のそれも含まれ、さらに、円柱状や多角柱状のものも含まれる。

なお、他のガス除去装置として、たとえば脱臭機能や有毒ガス除去機能を有する活性炭フィルタを例示することができる。活性炭フィルタは、空調用フィルタや空気清浄用フィルタ、排気処理用フィルタ、車両用エアフィルタとして使用される。活性炭フィルタの除去対象ガスには、アンモニアやアセトアルデヒド、トルエン、スチレン、キシレン、メチルメルカプタン、硫化水素、硫化メチル、二硫化メチル、トリメチルアミン、イソブタノール、酢酸エチル、メチルイソブチルケトン、プロピオン酸、ノルマル酸等がある。

ガス除去エアフィルタ１１は、図１に示すように、通気ダクト２１に設置器具（図示せず）を利用して着脱可能かつ気密に設置され、ダクト２１を通る空気に含まれる除去対象ガスを除去し、清浄空気を施設内または施設外に放出する。通気ダクト２１は、金属または合成樹脂から作られ、一方向へ略直状に延びる断面四角形の空気流路２２を有する。通気ダクト２１は、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に開口する空気取り入れ口２３と、フィルタ１１の下流側に開口する空気排気口２４とを備えている。通気ダクト２１には、図示はしていないが、その上流側と下流側との少なくとも一方に給気ファンや排気ファンが取り付けられている。それらファンは、施設内の空気を通気ダクト２１内に強制的に流入させる。

ガス除去エアフィルタ１１は施設において実際に使用中のそれであり、このシステム１０Ａでは除去対象ガスを除去する使用中の状態にある中古品のフィルタ１１の除去効率が測定される。なお、システム１０Ａは、使用中のガス除去エアフィルタ１１に限らず、使用する以前の新品のガス除去エアフィルタ１１の除去効率の測定に使用される場合もある。

試験用ガス供給ユニット１２は、通気ダクト２１の空気取り入れ口２３（ガス除去エアフィルタ１１の上流側）からダクト２１内に除去対象ガスと同一の試験用ガス２５を設定時間・設定量だけ供給する。試験用ガス供給ユニット１２は、圧縮された試験用ガス２５を貯蔵したガスボンベ２６と、試験用ガス２５の供給量を調節する質量流量計２７（定風量装置）と、切替バルブ２８（電磁弁）と、試験用ガス２５をダクト２１内に噴霧する噴霧器（図示せず）とから形成されている。試験用ガス供給ユニット１２では、ガス除去エアフィルタ１１に向かってボンベ２６、定流量装置２７、切替バルブ２８、噴霧器の順に並んでいる。

ガスボンベ２６や質量流量計２７、切替バルブ２８、噴霧器は、供給管路２９を介して接続されている。質量流量計２７や切替バルブ２８は、インターフェイス３０（有線または無線）を介してコントローラ１９に接続されている。噴霧器は、通気ダクト２１の空気取り入れ口２３に配置されている。切替バルブ２８は、その弁機構を開閉することで、試験用ガス２５の供給管路２９における流通をＯＮ／ＯＦＦする。質量流量計２７は、供給管路２９を通る試験用ガス２５を一定量に保持し、ガスボンベ２６内の試験用ガス２５の一定量を切替バルブ２８に向かって流入させる。

トレーサーガス供給ユニット１３は、通気ダクト２１の空気取り入れ口２３（ガス除去エアフィルタ１１の上流側）からダクト２１内にトレーサーガス３１を設定時間・設定量だけ供給する。トレーサーガス供給ユニット１３は、圧縮されたトレーサーガス３１を貯蔵したガスボンベ３２と、トレーサーガス３１の供給量を調節する質量流量計３３（定風量装置）と、切替バルブ３４（電磁弁）と、トレーサーガス３１をダクト２１内に噴霧する噴霧器（図示せず）とから形成されている。トレーサーガス供給ユニット１３では、ガス除去エアフィルタ１１に向かってボンベ３２、定流量装置３３、切替バルブ３４、噴霧器の順に並んでいる。

ガスボンベ３２や質量流量計３３、切替バルブ３４、噴霧器は、供給管路３５を介して接続されている。質量流量計３３や切替バルブ３４は、インターフェイス３０を介してコントローラ１９に接続されている。噴霧器は、通気ダクト２１の空気取り入れ口２３に配置されている。切替バルブ３４は、その弁機構を開閉することで、トレーサーガス３１の供給管路３５における流通をＯＮ／ＯＦＦする。質量流量計３３は、供給管路３５を通るトレーサーガス３１を一定量に保持し、ガスボンベ３２内のトレーサーガス３１の一定量を切替バルブ３４に向かって流入させる。

空気第１採集ユニット１４は、ガス除去エアフィルタ１１の上流側における通気ダクト２１（ダクト２１の空気取り入れ口２３とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びるダクト２１）に着脱可能に設置され、フィルタ１１の上流側に流れる空気を採集する。空気第１採集ユニット１４は、通気ダクト２１の空気流路２２を通る空気を採集する採集口３６と、採集した空気をダクト２１に戻す放出口３７と、吸引ポンプ３８と、流量計付き調節バルブ３９および切替バルブ４０，４１とから形成されている。採集口３６や放出口３７は、通気ダクト２１の空気流路２２に配置されている。採集口３６や放出口３７、吸引ポンプ３８、流量計付き調節弁３９、切替バルブ４０，４１はサンプリング管路４２を介して接続されている。空気第１採集ユニット１４では、通気ダクト２１の空気取り入れ口２３の側から採集口３６、吸引ポンプ３８、流量計付き調節弁３９、切替バルブ４０，４１、放出口３７の順に並んでいる。

空気第２採集ユニット１５は、ガス除去エアフィルタ１１の下流側における通気ダクト２１（フィルタ１１の出口とダクト２１の空気排気口２４との間に延びるダクト２１）に着脱可能に設置され、フィルタ１１の下流側に流れる空気を採集する。空気第２採集ユニット１５は、通気ダクト２０の空気流路２１を通る空気を採集する採集口４３と、採集した空気をダクト２１の空気流路２２に戻す放出口４４と、吸引ポンプ４５と、流量計付き調節バルブ４６（電磁弁）および切替バルブ４７，４８（電磁弁）とから形成されている。採集口４３や放出口４４は、通気ダクト２１の空気流路２２に配置されている。採集口４３や放出口４４、吸引ポンプ４５、流量計付き調節バルブ４６、切替バルブ４７，４８はサンプリング管路４９を介して接続されている。空気第２採集ユニット１５では、ガス除去エアフィルタ１１の出口側から採集口４３、吸引ポンプ４５、流量計付き調節弁４６、切替バルブ４７、切替バルブ４８、放出口４４の順に並んでいる。

吸引ポンプ３８，４５は、インターフェイス３０を介してコントローラ１９に接続されている。吸引ポンプ３８，４５は、その出力が一定に保持され、通気ダクト２１の空気流路２２を流れる空気を採集口３６，４３からサンプリング管路４２，４９に強制的に流入させる。流量計付き調節バルブ３９，４６は、インターフェイス３０を介してコントローラ１９に接続されている。流量計付き調節バルブ３９，４６は、サンプリング管路４２，４９を通るサンプル空気を一定量に保持し、吸引ポンプ３８，４５が吸引したサンプル空気の一定量を各切替バルブ４０，４１，４７，４８に向かって流入させる。切替バルブ４０，４１，４７，４８は、インターフェイス３０を介してコントローラ１９に接続されている。切替バルブ４１，４８は、その弁機構を開閉することで、サンプル空気のサンプリング管路４２，４９における流通をＯＮ／ＯＦＦする。切替バルブ４０，４７は、その弁機構を開閉することで、サンプル空気の光音響ガスモニタ１６，１７への流通をＯＮ／ＯＦＦする。

光音響ガスモニタ１６，１７は、インターフェイス３０を介してコントローラ１９に接続されている。光音響ガスモニタ１６，１７は、サンプリング管路４２，４８に流れるサンプル空気に含まれる除去対象ガスや試験用ガス２５、トレーサーガス３１の濃度（各種複数のガスの濃度）を所定の時間間隔で間欠的に複数回測定し、測定した除去対象ガスや試験用ガス２５、トレーサーガス３１の複数の濃度データをコントローラ１９に出力する。光音響ガスモニタ１６，１７は、その接続端子（図示せず）がサンプリング管路４２，４９に接続されている。流量計１８は、インターフェイス３０を介してコントローラ１９に接続されている。流量計１８は、通気ダクト２１の空気流路２２を流れる空気の流量を計測し、計測した流量をコントローラ１９に出力する。

コントローラ１９は、中央処理部（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリと大容量ハードディスクとを有するコンピュータである。コントローラ１９には、キーボード５０やマウス５１、ディスプレイ５２、プリンタ（図示せず）等の入出力装置（図示せず）がインターフェイスを介して接続されている。コントローラ１９のメモリには、後記する各種手段をコントローラ１９やそれら光音響ガスモニタ１６，１７に実行させるための除去効率測定アプリケーションが格納されている。

コントローラ１９は、試験用ガス２５やトレーサーガス３１の供給量の指示信号を質量流量計２７，３３に出力するとともに、切替バルブ２８，３４の弁機構を開放し、設定量の試験用ガス２５やトレーサーガス３１を噴霧器から通気ダクト２１の空気流路２２に供給する。コントローラ１９は、所定時間経過後に切替バルブ２８，３４の弁機構を閉鎖し、試験用ガス２５やトレーサーガス３１のダクト２１内への供給を停止する。なお、コントローラ１９は、試験用ガス２５とトレーサーガス３１とを同一時間同期してダクト２１内に供給する。

コントローラ１９は、サンプル空気の採集量の指示信号を流量計付き調節バルブ３９，４６に出力し、切替バルブ４１，４８の弁機構を閉鎖するとともに、切替バルブ４０，４７の弁機構を開放し、流量計付き調節バルブ３９，４６から切替バルブ４０，４７に達したサンプル空気の一定量を光音響ガスモニタ１６，１７に流入させる。コントローラ１９は、設定量のサンプル空気が設定時間（測定時間）光音響ガスモニタ１６，１７に流入すると、切替バルブ４０，４７の弁機構を閉鎖するとともに、切替バルブ４１，４８の弁機構を開放し、サンプル空気のガスモニタ１６，１７への流入を停止しつつ、採集したサンプル空気を放出口３７，４４から通気ダクト２１の空気流路２２に放出する。

コントローラ１９の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいて、メモリから除去効率測定アプリケーションを起動し、起動したアプリケーションに従って、以下の各手段を実行する。中央処理部は、ガス除去エアフィルタ１１のフィルタ名をハードディスクに格納するフィルタ名格納手段を実行し、入力された試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の供給量をバードディスクに格納するガス供給量格納手段を実行するとともに、入力された試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の供給時間をバードディスクに格納するガス供給時間格納手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、ガス除去エアフィルタ１１の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させてフィルタ１１に供給する試験用ガス２５のダクト２１内の空気に対する濃度の倍率を決定する濃度倍率決定手段を実行し、決定した濃度倍率をハードディスクに格納する濃度倍率格納手段を実行する。なお、中央処理部は、濃度倍率決定手段を実行することなく、あらかじめ入力された濃度倍率をハードディスクに格納する濃度倍率格納手段を実行し、入力された濃度の試験用ガス２５をガス除去エアフィルタ１１に供給する場合もある。

コントローラ１９の中央処理部は、選択された除去対象ガス２５をハードディスクに格納する除去対象ガス格納手段を実行し、選択されたトレーサーガス３１をハードディスクに格納するトレーサーガス格納手段を実行する。中央処理部は、トレーサーガス濃度倍率をハードディスクに格納するトレーサーガス濃度倍率格納手段を実行し、サンプル空気の採集時間をハードディスクに格納する空気採集時間格納手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、サンプル空気の採集量をハードディスクに格納する空気採集量格納手段を実行し、光音響ガスモニタ１５，１６におけるサンプル空気の濃度測定時間間隔をハードディスクに格納する濃度測定時間間隔格納手段を実行する。中央処理部は、通気ダクト２１の空気取り入れ口２３（ガス除去エアフィルタ１１の入口側）からガス除去エアフィルタ１１に向かって所定量の試験用ガス２５とトレーサーガス３１とを同時に供給するガス供給手段を実行する。

ガス供給手段では、ガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス２５の濃度が光音響ガスモニタ１６の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高い場合、または、ガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス２５の濃度が光音響ガスモニタ１６の検出限界濃度よりも高い場合がある。ガス供給手段では、試験用ガス２５とトレーサーガス３１との供給時間が同一である。なお、ガス供給手段における試験用ガス２５やトレーサーガス３１の供給時では、ガス除去エアフィルタ１１が施設において実際に使用中であり、通気ダクト２１の空気取り入れ口２３から取り入れられた空気の風量や風速が一定ではなく、ガス除去エアフィルタ１１の周囲の空気流路２２の空気の風量または風速が不均一である。

コントローラ１９の中央処理部は、ガス供給手段の実行前に、通気ダクト２１の空気取り入れ口２３とガス除去エアフィルタ１１の入口との間のダクト２１に流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１の入口側に流れる空気）の一部を空気第１採集ユニット１４に採集させるバックグラウンド空気第１採集手段を実行する。中央処理部は、バックグラウンド空気第１採集手段によってサンプル空気を採集した後、そのサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を光音響ガスモニタ１６を利用して測定するバックグラウンドガス濃度第１測定手段を実行する。中央処理部は、バックグラウンドガス濃度第１測定手段によって測定した除去対象ガスやトレーサーガスの濃度をハードディスクに格納するバックグラウンドガス濃度第１格納手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、ガス供給手段の実行前に、ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト２１の空気排出口２４との間のダクト２１に流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口側に流れる空気）の一部を空気第２採集ユニット１５に採集させるバックグラウンド空気第２採集手段を実行する。中央処理部は、バックグラウンド空気第２採集手段によってサンプル空気を採集した後、そのサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を光音響ガスモニタ１７を利用して測定するバックグラウンドガス濃度第２測定手段を実行する。中央処理部は、バックグラウンドガス濃度第２測定手段によって測定した除去対象ガスやトレーサーガスの濃度をハードディスクに格納するバックグラウンドガス濃度第２格納手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、ガス供給手段の実行中に、通気ダクト２１の空気取り入れ口２３とガス除去エアフィルタ１１の入口との間のダクト２１に流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１の入口側に流れる空気）の一部を空気第１採集ユニット１４に採集させるサンプル空気第１採集手段を実行する。中央処理部は、サンプル空気第１採集手段によってサンプル空気を採集した後、そのサンプル空気に含まれる試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度を光音響ガスモニタ１６を利用して測定するガス濃度第１測定手段を実行する。中央処理部は、ガス濃度第１測定手段によって測定した試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度をハードディスクに格納するガス濃度第１格納手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、ガス供給手段の実行中に、ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト２１の空気排出口２４との間のダクト２１に流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口側に流れる空気）の一部を空気第２採集ユニット１５に採集させるサンプル空気第２採集手段を実行する。中央処理部は、サンプル空気第２採集手段によってサンプル空気を採集した後、そのサンプル空気に含まれる試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度を光音響ガスモニタ１７を利用して測定するガス濃度第２測定手段を実行する。中央処理部は、ガス濃度第２測定手段によって測定した試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度をハードディスクに格納するガス濃度第２格納手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の供給を停止した後（ガス供給手段を停止した後）、ダクト２１の空気取り入れ口２３とガス除去エアフィルタ１１の入口との間のダクト２１に流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１の入口側に流れる空気）の一部を空気第１採集ユニット１４に採集させるサンプル空気第３採集手段を実行する。中央処理部は、サンプル空気第４採集手段によってサンプル空気を採集した後、そのサンプル空気に含まれる試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度を光音響ガスモニタ１４を利用して測定するガス濃度第３測定手段を実行する。中央処理部は、ガス濃度第４測定手段によって測定した試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度をハードディスクに格納するガス濃度第３格納手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の供給を停止した後（ガス供給手段を停止した後）、ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト２１の空気排出口２４との間のダクト２１に流れる空気（ガス除去エアフィルタ１１の出口側に流れる空気）の一部を空気第２採集ユニット１５に採集させるサンプル空気第４採集手段を実行する。中央処理部は、サンプル空気第３採集手段によってサンプル空気を採集した後、そのサンプル空気に含まれる試験用ガス２５の濃度を光音響ガスモニタ１７を利用して測定するガス濃度第４測定手段を実行する。中央処理部は、ガス濃度第３測定手段によって測定した試験用ガス２５の濃度をハードディスクに格納するガス濃度第４格納手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、試験用ガス２５やトレーサーガス３１の測定濃度データを出力する測定濃度データ出力手段を実行し、試験用ガス２５の測定濃度データを時系列に表示したグラフを生成するグラフ生成手段を実行する。中央処理部は、生成したグラフを格納するグラフ格納手段を実行し、そのグラフを出力するグラフ出力手段を実行する。中央処理部は、通気ダクト２１の空気取り入れ口２３から供給した試験用ガス２５の供給量とフィルタ１１の下流側から検出された試験用ガス２５の検出量とからフィルタ１１における現在の放射性ヨウ素除去効率を算出する除去効率算出手段を実行し、算出した除去効率をバードディスクに格納する除去効率格納手段を実行する。中央処理部は、ガス除去エアフィルタ１１の現在の対象ガス除去効率を出力する除去効率出力手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、光音響ガスモニタ１７によって時系列に測定された複数の測定濃度データに基づいて、ガス除去エアフィルタ１１の欠陥をそのガス除去機能の低下であるか、または、フィルタ１１やその設置器具の空気漏れ（リーク）であるかを分析する欠陥分析手段を実行し、その分析結果をバードディスクに格納する欠陥分析結果格納手段を実行する。中央処理部は、その分析結果を出力する欠陥分析結果出力手段を実行する。中央処理部は、フィルタ１１の現在の対象ガス除去効率とフィルタ１１の除去効率の下限値とを比較し、そのフィルタ１１の継続使用または交換を判定するフィルタ状態判定手段を実行する。中央処理部は、ヨウ素ガス除去エアフィルタ１１の継続使用または交換の判定結果をハードディスクに格納するフィルタ判定結果格納手段を実行し、フィルタ１１の継続使用または交換の判定結果を出力するフィルタ判定結果出力手段を実行する。

図３は、ディスプレイ５２に表示された初期画面の一例を示す図であり、図４は、濃度倍率設定画面の一例を示す図である。図５は、ガス濃度第１および第２測定における条件設定画面の一例を示す図であり、図６は、ガス濃度第３および第４測定における条件設定画面の一例を示す図である。図７は、このシステム１０Ａによって実行される除去効率測定のフローチャートの一例であり、図８は、図７から続くフローチャートである。図９は、図８から続くフローチャートである。図３〜図６では、各入力エリアや表示エリアに表示されるデータの図示を省略している。

図７〜図９のフローチャートに基づいて、このシステム１０Ａにおける除去効率測定手順の一例を説明すると、以下のとおりである。システム１０Ａを起動すると、試験用ガス供給ユニット１２、トレーサーガス供給ユニット１３、空気第１採集ユニット１４、空気第２採取ユニット１５、光音響ガスモニタ１６，１７、流量計１８、コントローラ１９が稼動する。さらに、ダクト２１に設置された給気ファンや排気ファンを別途起動させる。給気ファンや排気ファンを起動させると、図１に矢印Ｌ１で示すように、施設内の空気がダクト２１の空気取り入れ口２３からダクト２１の空気流路２２に進入し、その空気がガス除去エアフィルタ１１を通ってダクト２１の空気排気口２４から排気される。ダクト２１の空気流路２２に進入した空気に除去対象ガスが含まれている場合、その除去対象ガスがガス除去エアフィルタ１１によって吸着・除去される。

システム１０Ａを起動した後、コントローラ１９は、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。初期画面には、濃度倍率設定ボタンＡ１、条件設定ボタンＡ２、バックグラウンド測定ボタンＡ３、ガス濃度第１および第２測定ボタンＡ４、ガス濃度第３および第４測定ボタンＡ５、第１測定グラフ表示ボタンＡ６、第１および第２測定データ表示ボタンＡ７、第３および第４測定データ表示ボタンＡ８、ログアウトボタンＡ９が表示される。ログアウトボタンＡ９をクリックすると、コントローラ１９は、除去効率測定アプリケーションを終了する。システム１０Ａを利用した除去効率測定を継続する場合、最初に濃度倍率を設定する（Ｓ−１）。濃度倍率設定ボタンＡ１をクリックすると、コントローラ１９は、図４の濃度倍率設定画面をディスプレイ５２に表示する。濃度倍率設定画面には、測定対象フィルタ名入力エリアＢ１、限界効率入力エリアＢ２、除去対象ガス濃度倍率入力エリアＢ３、実行ボタンＢ４、キャンセルボタンＢ５、クリアボタンＢ６が表示される。

キーボード５０やマウス５１等の入力装置を利用して測定対象フィルタ名入力エリアＢ１に測定対象フィルタを特定する名称（番号や記号、仮称等を含む）を入力（フィルタ名入力エリアＢ１のプルダウンリストからフィルタ名称を選択）する。限界効率入力エリアＢ２にガス除去エアフィルタ１１の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率を入力（限界効率入力エリアＢ２のプルダウンリストから限界効率を選択）する。または、限界効率を入力せずに、除去対象ガス濃度倍率入力エリアＢ３に除去対象ガスの濃度倍率を入力（除去対象ガス濃度倍率入力エリアＢ３のプルダウンリストから濃度倍率を選択）する。キャンセルボタンＢ５をクリックすると、図３の初期画面に戻る。クリアボタンＢ６をクリックすると、入力エリアＢ１〜Ｂ３に入力された各データが消去され、入力エリアＢ１〜Ｂ３に各データを再入力する。

フィルタ名を入力するとともに限界効率を入力した後、実行ボタンＢ４をクリックすると、コントローラ１９は、限界効率入力エリアＢ２に入力された限界効率に基づいて、ガス除去エアフィルタ１１に供給する試験用ガス２５のダクト２１内の空気に対する濃度倍率を決定し（濃度倍率決定手段）、図示はしていないが、濃度倍率確認画面をディスプレイ５２に表示する。また、フィルタ名を入力するとともに濃度倍率を入力した後、実行ボタンＢ４をクリックすると、コントローラ１９は、図示はしていないが、濃度倍率確認画面をディスプレイ５２に表示する。

コントローラ１９は、たとえば、ガス除去エアフィルタ１１の限界効率が９０％の場合、通気ダクト２１内の空気に対する試験用ガス２５の濃度の倍率を１０倍（ダクト２１内の空気を１とした場合、試験用ガス２５は１０）に決定する。また、ガス除去エアフィルタ１１の限界効率が９９％の場合、ダクト２１内の空気に対する試験用ガス２５の濃度の倍率を１００倍（ダクト２１内の空気を１とした場合、試験用ガス２５は１００）に決定する。

濃度倍率確認画面には、濃度倍率表示エリア、濃度倍率確認ボタン、濃度倍率変更ボタンが表示される。濃度倍率表示エリアには、除去対象ガス（試験用ガス２５）の決定した濃度倍率が表示される。濃度倍率に変更があれば、濃度倍率変更ボタンをクリックする。濃度倍率変更ボタンをクリックすると、図４の濃度倍率入力画面に戻り、フィルタ名称や限界効率、濃度倍率の各データを再入力する。濃度倍率に変更がなければ、濃度倍率確認ボタンをクリックする。濃度倍率確認ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、測定対象フィルタ名入力エリアＢ１に入力された測定対象フィルタを特定するフィルタ識別子を生成し、フィルタ名（格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（フィルタ名格納手段）、濃度倍率（測定対象フィルタ名、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（濃度倍率格納手段）。コントローラ１９は、濃度倍率を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。

次に、ガス濃度測定条件を設定する（Ｓ−２）。初期画面において条件設定ボタンＡ２をクリックすると、コントローラ１９は、図示はしていないが、ガス濃度第１および第２測定条件設定ボタン（ガス供給手段実行中サンプリングにおける条件設定ボタン）、ガス濃度第３および第４測定条件設定ボタン（ガス供給停止後サンプリングにおける条件設定ボタン）、キャンセルボタンをディスプレイ５２に表示する。キャンセルボタンをクリックすると、図３の初期画面に戻る。

ガス濃度第１および第２測定条件設定ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、図５のガス濃度第１および第２測定条件設定画面をディスプレイ５２に表示する。図５の条件設定画面には、測定対象フィルタ名表示エリアＣ１、除去対象ガス入力エリアＣ２、トレーサーガス入力エリアＣ３、ガス供給時間入力エリアＣ４、ガス供給量入力エリアＣ５、トレーサーガス濃度倍率入力エリアＣ６、空気採集時間入力エリアＣ７、空気採集量入力エリアＣ８、濃度測定時間間隔入力エリアＣ９、実行ボタンＣ１０、キャンセルボタンＣ１１、クリアボタンＣ１２が表示される。

測定対象フィルタ名表示エリアＣ１には、図４の濃度倍率設定画面において入力された測定対象フィルタ名が表示される。除去対象ガス入力エリアＣ２に除去対象ガスを入力（除去対象ガス入力エリアＣ２のプルダウンリストから除去対象ガスを選択）し、トレーサーガス入力エリアＣ３にトレーサーガスを入力（トレーサーガス入力エリアＣ３のプルダウンリストからトレーサーガスを選択）する。ガス供給時間入力エリアＣ４にそれらガスの供給時間を入力（供給時間入力エリアＣ４のプルダウンリストから供給時間を選択）（たとえば、３０秒、１分、３分等で任意に設定可能）し、ガス供給量入力エリアＣ５にそれらガスの供給量を入力（ガス供給量入力エリアＣ５のプルダウンリストから供給量を選択）（たとえば、１０ｐｐｍ、３０ｐｐｍ、５０ｐｐｍ等で任意に設定可能）する。

さらに、トレーサーガス濃度倍率入力エリアＣ６にトレーサーガスの濃度倍率を入力（トレーサーガス濃度倍率入力エリアＣ６のプルダウンリストからトレーサーガス濃度倍率を選択）し、空気採集時間入力エリアＣ７にガス濃度第１および第２測定における空気採集時間を入力（空気採集時間入力エリアＣ７のプルダウンリストから採集時間を選択）（たとえば、１分、３分、５分等で任意に設定可能）する。空気採集量入力エリアＣ８にガス濃度第１および第２測定における空気採集量を入力（空気採集量入力エリアＣ８のプルダウンリストから採集量を選択）（たとえば、２０ミリリットル、５０ミリリットル、１リットル等で任意に設定可能）し、濃度測定時間間隔入力エリアＣ９にガス濃度第１および第２測定における濃度測定時間間隔を入力（濃度測定時間間隔入力エリアＣ９のプルダウンリストから測定時間間隔を選択）（たとえば、２０秒、３０秒、４０秒等で任意に設定可能）する。なお、キャンセルボタンＣ１１をクリックすると、図３の初期画面に戻る。クリアボタンＣ１２をクリックすると、入力エリアＣ２〜Ｃ９に入力された各データが消去され、入力エリアＣ２〜Ｃ９に各データを再入力する。

それら入力エリアＣ２〜Ｃ９に各データを入力した後、実行ボタンＣ１０をクリックすると、コントローラ１９は、図示はしていないが、条件設定確認画面をディスプレイ５２に表示する。条件設定確認画面では、表示エリアＣ１や各入力エリアＣ２〜Ｃ９にデータが表示されるとともに、条件確認ボタン、条件変更ボタンが表示される。入力したデータに変更があれば、条件変更ボタンをクリックする。条件変更ボタンをクリックすると、図５の条件設定画面に戻り、それら入力エリアＣ２〜Ｃ９に各データを再入力する。入力したデータに変更がなければ、条件確認ボタンをクリックする。

条件確認ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、入力（選択）された除去対象ガス（第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（除去対象ガス格納手段）、入力（選択）されたトレーサーガス（第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（トレーサーガス格納手段）。ガス供給時間（第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（ガス供給時間格納手段）、ガス供給量（第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス供給量格納手段）。

さらに、コントローラ１９は、入力（選択）されたトレーサーガス濃度倍率（第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（トレーサーガス濃度倍率格納手段）、空気採集時間（第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（空気採集時間格納手段）。コントローラ１９は、空気採集量（第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（空気採集量格納手段）、濃度測定時間間隔（第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（濃度測定時間間隔格納手段）。

コントローラ１９は、第１および第２測定における除去対象ガスやトレーサーガス、ガス供給時間、ガス供給量、トレーサーガス濃度倍率、空気採集時間、空気採集量を格納すると、ガス濃度第１および第２測定条件設定ボタン、ガス濃度第３および第４測定条件設定ボタン、キャンセルボタンをディスプレイ５２に表示する。ガス濃度第３および第４測定を行わず、ガス濃度第１および第２測定のみを行う場合は、キャンセルボタンをクリックする。ガス濃度第３および第４測定を行う場合、ガス濃度第３および第４測定条件設定ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、図６のガス濃度第３および第４測定条件設定画面をディスプレイ５２に表示する。図６の条件設定画面には、測定対象フィルタ名表示エリアＤ１、空気採集時間入力エリアＤ２、空気採集量入力エリアＤ３、濃度測定時間間隔入力エリアＤ４、実行ボタンＤ５、キャンセルボタンＤ６、クリアボタンＤ７が表示される。

測定対象フィルタ名表示エリアＤ１には、図４の濃度倍率設定画面において入力された測定対象フィルタ名が表示される。空気採集時間入力エリアＤ２にガス濃度第３および第４測定における空気採集時間を入力（空気採集時間入力エリアＤ２のプルダウンリストから採集時間を選択）（たとえば、１分、３分、５分等で任意に設定可能）し、空気採集量入力エリアＤ３にガス濃度第３および第４測定における空気採集量を入力（空気採集量入力エリアＤ３のプルダウンリストから採集量を選択）（たとえば、２０ミリリットル、５０ミリリットル、１リットル等で任意に設定可能）する。濃度測定時間間隔入力エリアＤ４にガス濃度第３および第４測定における濃度測定時間間隔を入力（濃度測定時間間隔入力エリアＤ４のプルダウンリストから測定時間間隔を選択）（たとえば、２０秒、３０秒、４０秒等で任意に設定可能）する。なお、キャンセルボタンＤ６をクリックすると、図３の初期画面に戻る。クリアボタンＤ７をクリックすると、入力エリアＤ２〜Ｄ４に入力された各データが消去され、入力エリアＤ２〜Ｄ４に各データを再入力する。

それら入力エリアＤ２〜Ｄ４に各データを入力した後、実行ボタンＤ５をクリックすると、コントローラ１９は、図示はしていないが、条件設定確認画面をディスプレイ５２に表示する。条件設定確認画面では、表示エリアＤ１や各入力エリアＤ２〜Ｄ４にデータが表示されるとともに、条件確認ボタン、条件変更ボタンが表示される。入力したデータに変更があれば、条件変更ボタンをクリックする。条件変更ボタンをクリックすると、図６の条件設定画面に戻り、それら入力エリアＤ２〜Ｄ４に各データを再入力する。入力したデータに変更がなければ、条件確認ボタンをクリックする。

条件確認ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、空気採集時間（第３および第４測定識別子または第３および第４測定フラグ、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（空気採集時間格納手段）、空気採集量（第３および第４測定識別子または第３および第４測定フラグ、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（空気採集量格納手段）、濃度測定時間間隔（第３および第４測定識別子または第３および第４測定フラグ、格納日時を含む）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（濃度測定時間間隔格納手段）。

コントローラ１９は、第３および第４測定における空気採集時間、空気採集量、濃度測定時間間隔を格納すると、図３の初期画面をディスプレイ４３に表示する。ガス濃度第３および第４測定における条件設定が完了した後、バックグラウンドの測定を行う。図３の初期画面において、バックグラウンド測定ボタンＡ３をクリックする。バックグラウンド測定ボタンＡ３をクリックすると、コントローラ１９は、空気第１採集ユニット１４を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト２１（ダクト２１の空気取り入れ口２３とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びるダクト２１）からサンプル空気を採集する（バックグラウンド空気第１採集手段）。さらに、空気第２採集ユニット１５を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト２１（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト２１の空気排出口２４との間に延びるダクト２１）からサンプル空気を採集する（バックグラウンド空気第２採集手段）（Ｓ−３）。

コントローラ１９は、図示はしていないが、バックグラウンド測定中メッセージをディスプレイ５２に表示する。なお、通気ダクト２１には図示しない給気ファンや排気ファンを介して施設内の空気が強制的に流入している。コントローラ１９は、設定量のサンプル空気の採集指示信号を流量計付き調節バルブ３９，４６に出力し、吸引ポンプ３８，４５を稼動させ、切替バルブ４１，４８の弁機構を閉鎖するとともに、切替バルブ４０，４７の弁機構を開放し、流量計付き調節バルブ３９，４６から切替バルブ４０，４７に達したサンプル空気の一定量を光音響ガスモニタ１６，１７に流入させる。

ガス除去エアフィルタ１１の入口側を流れる空気（ダクト２１の空気取り入れ口２３とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びる空気流路２２を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が採集口３６からポンプ３８に進入し、サンプリング管路４２を通って光音響ガスモニタ１６に流入し、ガスモニタ１６から再びサンプリング管路４２を通って放出口３７からダクト２１の空気流路２２に放出される。ガス除去エアフィルタ１１を通過した空気（フィルタ１１の出口とダクト２１の空気排気口２４との間に延びる空気流路２０を流動する空気）は、その一部（サンプル空気）が採集口４３からポンプ４５に進入し、サンプリング管路４９を通って光音響ガスモニタ１７に流入し、ガスモニタ１７から再びサンプリング管路４９を通って放出口４４からダクト２１の空気流路２２に放出される。

コントローラ１９は、空気第１採集ユニット１４が採集したサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度測定指示信号を光音響ガスモニタ１６に出力し、サンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度をガスモニタ１６に測定させる（バックグラウンドガス濃度第１測定手段）（Ｓ−４）。光音響ガスモニタ１６は、コントローラ１９からの指示にしたがって、サンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を設定された時間間隔（図５の条件設定画面の濃度測定時間間隔入力エリアＣ８において設定された時間間隔）で間欠的に複数回測定する。なお、サンプル空気は、光音響ガスモニタ１６からサンプル管路４２を通って放出口３７からダクト２１内に放出される。

コントローラ１９は、空気第２採集ユニット１５が採集したサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度測定指示信号を光音響ガスモニタ１７に出力し、サンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度をガスモニタ１７に測定させる（バックグラウンドガス濃度第２測定手段）（Ｓ−４）。光音響ガスモニタ１７は、コントローラ１９からの指示にしたがって、サンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を設定された時間間隔（図５の条件設定画面の濃度測定時間間隔入力エリアＣ８において設定された時間間隔）で間欠的に複数回測定する。なお、サンプル空気は、光音響ガスモニタ１７からサンプル管路４９を通って放出口４４からダクト２１内に放出される。

コントローラ１９は、バックグラウンドの測定時間が経過したかを判断する（Ｓ−５）。なお、バックグラウンドの測定時間は、コントローラ１９のハードディスクにあらかじめ格納されており、自由に設定することができる。測定時間が経過していない場合、コントローラ１９は、ステップ３（Ｓ−３）に戻ってバックグラウンドの測定を継続する。測定時間が経過した場合、コントローラ１９は切替バルブ４０，４７の弁機構を閉鎖し、サンプル空気の光音響ガスモニタ１６，１７への流入を停止し、切替バルブ４１，４８の弁機構を開放し、サンプル空気を放出口３７，４４からダクト２１の空気流路２２に放出する。次に、切替バルブ４１，４８の弁機構を閉鎖し、ポンプ３８，４５を停止してサンプル空気の採集を停止する（Ｓ−６）。

サンプル空気の採集を停止した後（バックグラウンド測定が完了した後）、コントローラ１９は、図示はしていないが、バックグラウンド測定完了メッセージ、バックグラウンド測定終了ボタンをディスプレイ５２に表示する。バックグラウンド測定終了ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、バックグラウンド測定が終了したと判断し、測定した濃度データの転送指示信号を光音響ガスモニタ１６，１７に出力する。光音響ガスモニタ１６，１７は、転送指示にしたがって、測定した複数の除去対象ガスバックグラウンド濃度データとトレーサーガスバックグラウンド濃度データとをコントローラ１９に出力する（Ｓ−７）。

コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６，１７から出力されたバックグラウンド濃度測定データ（複数の濃度データを平均した除去対象ガスバックグラウンド濃度、複数の濃度データを平均したトレーサーガスバックグラウンド濃度、格納日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（バックグラウンドガス濃度第１格納手段、バックグラウンドガス濃度第２格納手段）（Ｓ−８）。コントローラ１９は、図示はしていないが、バックグラウンド測定完了メッセージとバックグラウンド測定完了確認ボタンとをディスプレイ５２に表示する。バックグラウンド測定完了確認ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。

バックグラウンドガス濃度の格納が完了した後、ガス除去エアフィルタ１１の除去効率の測定を行う。図３の初期画面においてガス濃度第１および第２測定ボタンＡ４をクリックする。ガス濃度第１および第２測定ボタンＡ４をクリックすると、コントローラ１９は、ガス除去エアフィルタ１１の上流側の空気に含まれる試験用ガス２５およびトレーサーガス３１との濃度測定を行うとともに、ガス除去エアフィルタ１１を透過した空気に含まれる試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度測定を行う。コントローラ１９は、設定された供給量の試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の供給指示信号を質量流量計２７，３３に出力し、切替バルブ２８，３４の弁機構を開放するとともに、質量流量計２７，３３を調節し、ダクト２１を流れる空気に対して試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度があらかじめ設定された濃度倍率になるように、設定量（図５の条件設定画面のガス供給量入力エリアＣ５において設定された供給量）の試験用ガス２５およびトレーサーガス３１を噴霧器から通気ダクト２１の空気流路２２に供給する（ガス供給手段）（Ｓ−９）。

コントローラ１９は、あらかじめ設定された供給時間（図５の条件設定画面のガス供給時間入力エリアＣ４において設定された供給時間）の間、それらガス２５，３１をダクト２１に供給し、供給時間が経過すると、切替バルブ２８，３４の弁機構を閉鎖し、それらガス２５，３１の供給を停止する。コントローラ１９は、それらガス２５，３１の供給開始と供給停止とを同期して行い、それらガス２５，３１を同一時間ダクト２１に供給する。コントローラ１９は、図示はしていないが、ガス供給中メッセージおよびガス濃度測定中メッセージをディスプレイ５２に表示する。

噴霧器からダクト２１の空気流路２２に供給された試験用ガス２５およびトレーサーガス３１は、空気取り入れ口２３から流入する施設内の空気と混合されながらガス除去エアフィルタ１１に達する。空気は、除去エアフィルタ１１を透過し、空気流路２２を通って空気排気口２４から施設内または施設外に排気される。なお、通気ダクト２１には図示しない給気ファンや排気ファンを介して施設内の空気が強制的に流入しており、ガス除去エアフィルタ１１の周囲の空気の風量や風速が均一ではない。

ガス除去エアフィルタ１１が試験用ガス２５の十分な除去機能を有する場合、試験用ガス２５がフィルタ１１に吸着・除去され、試験用ガス２５がフィルタ１１を透過することはなく、または、試験用ガス２５がフィルタ１１から徐々に漏出することはない。逆に、ガス除去エアフィルタ１１の試験用ガス２５に対する除去機能が低下し、または、除去機能を喪失している場合、試験用ガス２５がフィルタ１１に吸着されず、試験用ガス２５が空気とともにフィルタ１１を透過し、または、試験用ガス２５が空気とともにフィルタ１１から徐々に漏出する。また、ガス除去エアフィルタ１１にピンホールや破損等の不具合が生じていたり、フィルタ１１の設置器具（フィルタ収納カートリッジ２０やパッキン、締め付け螺子等）に隙間や破損等の不具合が生じていると、試験用ガス２５が空気とともにフィルタ１１や設置器具を透過する。なお、トレーサーガス３１は、ガス除去エアフィルタ１１に吸着・除去されることはなく、空気とともにフィルタ１１を透過する。

コントローラ１９は、試験用ガス２５とトレーサーガス３１とを供給した直後から採集時間が経過するまでの間、空気第１採集ユニット１４を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト２１からサンプル空気を採集するとともに、空気第２採集ユニット１５を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト２１からサンプル空気を採集する。コントローラ１９は、設定された採集量のサンプル空気の採集指示信号を流量計付き調節バルブ３９に出力し、吸引ポンプ３８を稼動させ、切替バルブ４１の弁機構を閉鎖するとともに、切替バルブ４０の弁機構を開放し、流量計付き調節バルブ３９から切替バルブ４０に達したサンプル空気の設定量を光音響ガスモニタ１６に流入させる（サンプル空気第１採集手段）（Ｓ−１０）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６に濃度測定指示信号を出力し、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度をガスモニタ１６に測定させる（ガス濃度第１測定手段）（Ｓ−１１）。

コントローラ１９は、設定された採集量のサンプル空気の採集指示信号を流量計付き調節バルブ４６に出力し、吸引ポンプ４５を稼動させ、切替バルブ４８の弁機構を閉鎖するとともに、切替バルブ４７の弁機構を開放し、流量計付き調節バルブ４６から切替バルブ４７に達したサンプル空気の設定量を光音響ガスモニタ１７に流入させる（サンプル空気第２採集手段）（Ｓ−１０）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１７に濃度測定指示信号を出力し、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度をガスモニタ１７に測定させる（ガス濃度第２測定手段）（Ｓ−１１）。さらに、コントローラ１９は、通気ダクト２１の空気流路２２に流れる空気の風量の測定指示信号を流量計１８に出力し、測定した風量データの転送指示信号を流量計１８に出力する。

空気取り入れ口２３から流入した空気は、フィルタ１１の上流側においてその一部（サンプル空気）が採集口３６からサンプリング管路４２に進入し、吸引ポンプ３８から流量計付き調節バルブ３９を通って光音響ガスモニタ１６に流入し、ガスモニタ１６から再びサンプリング管路４２を通って放出口３７からダクト２１の空気流路２２に放出される。光音響ガスモニタ１６は、コントローラ１９からの濃度測定指示にしたがって、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度を設定された時間間隔（たとえば、１０秒間隔、２０秒間隔、３０秒間隔）で間欠的に複数回測定する。

ガス除去エアフィルタ１１を透過した空気は、フィルタ１１の下流側においてその一部（サンプル空気）が採集口４３からサンプリング管路４９に進入し、吸引ポンプ４５から流量計付き調節バルブ４６を通って光音響ガスモニタ１７に流入し、ガスモニタ１７から再びサンプリング管路４９を通って放出口４４からダクト２１１の空気流路２２に放出される。光音響ガスモニタ１７は、コントローラ１９からの濃度測定指示にしたがって、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度を設定された時間間隔（たとえば、１０秒間隔、２０秒間隔、３０秒間隔）で間欠的に複数回測定する。流量計１８は、コントローラ１９からの風量測定指示にしたがって、通気ダクト２１の空気流路２２に流れる空気の風量を測定し、転送指示にしたがって、測定した風量データをコントローラ１９に出力する。コントローラ１９は、流量計１８から出力された風量データ（格納日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する。

コントローラ１９は、濃度測定時間（空気採集時間）が経過したかを判断する（Ｓ−１２）。濃度測定時間が経過していない場合、コントローラ１９は、ステップ１０（Ｓ−１０）に戻って濃度測定を継続する。濃度測定時間が経過した場合、コントローラ１９は切替バルブ４０，４７の弁機構を閉鎖し、サンプル空気の光音響ガスモニタ１６，１７への流入を停止し、切替バルブ４１，４８の弁機構を開放し、サンプル空気を放出口３７，４４からダクト２１の空気流路２２に放出する。次に、切替バルブ４１，４８の弁機構を閉鎖し、ポンプ３８，４５を停止してサンプル空気の採集を停止する（Ｓ−１３）。

サンプル空気の採集を停止した後（濃度測定が完了した後）、コントローラ１９は、図示はしていないが、濃度測定完了メッセージ、濃度測定終了ボタン、濃度測定継続ボタンをディスプレイ５２に表示する。濃度測定終了ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、濃度測定が終了したと判断し（Ｓ−１４）、測定した濃度データの転送指示信号を光音響ガスモニタ１６，１７に出力する。なお、光音響ガスモニタ１６は、バックグラウンドガス濃度第１測定手段によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段によって測定した試験用ガス２５の濃度を補正するとともに、バックグラウンドガス濃度第１測定手段によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段によって測定したトレーサーガス３１の濃度を補正する。光音響ガスモニタ１７は、バックグラウンドガス濃度第２測定手段によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第２測定手段によって測定した試験用ガス２５の濃度を補正するとともに、バックグラウンドガス濃度第２測定手段によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第２測定手段によって測定したトレーサーガス３１の濃度を補正する。

光音響ガスモニタ１６は、コントローラ１９からの転送指示にしたがって、サンプル空気の試験用ガス２５の実測濃度データ（補正した複数の実測濃度データ）およびトレーサーガス３１の実測濃度データ（補正した複数の実測濃度データ）をコントローラ１９に出力する（Ｓ−１５）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６から出力された実測濃度データ（複数の試験用ガス実測濃度、複数のトレーサーガス実測濃度、第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第１格納手段）（Ｓ−１６）。

光音響ガスモニタ１７は、コントローラ１９からの転送指示にしたがって、サンプル空気の試験用ガス２５の実測濃度データ（補正した複数の実測濃度データ）およびトレーサーガス３１の実測濃度データ（補正した複数の実測濃度データ）をコントローラ１９に出力する（Ｓ−１５）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１７から出力された実測濃度データ（複数の試験用ガス実測濃度、複数のトレーサーガス実測濃度、第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第２格納手段）（Ｓ−１６）。コントローラ１９は、図示はしていないが、ガス濃度測定完了メッセージ、ガス濃度測定完了確認ボタン、濃度測定継続ボタンをディスプレイ５２に表示する。ガス濃度測定完了確認ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。

同じガス除去エアフィルタ１１においてサンプル空気（ガス供給手段実行中におけるサンプル空気）の試験用ガス２５とトレーサーガス３１との濃度測定を２回以上行う場合、濃度測定継続ボタンをクリックする。濃度測定継続ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、濃度測定が終了していないと判断し（Ｓ−１４）、光音響ガスモニタ１６，１７に濃度測定データの転送を指示する。光音響ガスモニタ１６，１７は、コントローラ１９からの転送指示にしたがって、サンプル空気の試験用ガス２５の実測濃度データ（補正した複数の実測濃度データ）およびトレーサーガス３１の実測濃度データ（補正した複数の実測濃度データ）をコントローラ１９に出力する（Ｓ−１７）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６，１７から出力された実測濃度データ（複数の試験用ガス実測濃度、複数のトレーサーガス実測濃度、第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第１格納手段、ガス濃度第２格納手段）（Ｓ−１８）。コントローラ１９は、濃度測定データを格納すると、図４の濃度倍率設定画面をディスプレイ５２に表示し、ステップ１（Ｓ−１）からの手順を繰り返す。その場合、濃度倍率や条件設定を従前と同一としつつ、バックグラウンド測定を省略した状態でステップ９（Ｓ−９）以降の手順を実施することができる。

次に、図３の初期画面において、ガス濃度第３および第４測定ボタンＡ５をクリックする。ガス濃度第３および第４測定ボタンＡ５をクリックすると、コントローラ１９は、試験用ガス２５とトレーサーガス３１との供給を停止した後、空気第１採集ユニット１４を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト２１からサンプル空気（ガス供給停止後のサンプル空気）を採集するとともに、空気第２採集ユニット１５を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト２１からサンプル空気（ガス供給停止後のサンプル空気）を採集する。

コントローラ１９は、設定された採集量のサンプル空気の採集指示信号を流量計付き調節バルブ３９に出力し、吸引ポンプ３８を稼動させ、切替バルブ４１の弁機構を閉鎖するとともに、切替バルブ４０の弁機構を開放し、流量計付き調節バルブ３９から切替バルブ４０に達したサンプル空気の設定量を光音響ガスモニタ１６に流入させる（サンプル空気第３採集手段）（Ｓ−１９）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６に濃度測定指示信号を出力し、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度をガスモニタ１６に測定させる（ガス濃度第３測定手段）（Ｓ−２０）。

コントローラ１９は、設定された採集量のサンプル空気の採集指示信号を流量計付き調節バルブ４６に出力し、吸引ポンプ４５を稼動させ、切替バルブ４８の弁機構を閉鎖するとともに、切替バルブ４７の弁機構を開放し、流量計付き調節バルブ４６から切替バルブ４７に達したサンプル空気の設定量を光音響ガスモニタ１７に流入させる（サンプル空気第４採集手段）（Ｓ−１９）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１７に濃度測定指示信号を出力し、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５の濃度をガスモニタ１７に測定させる（ガス濃度第４測定手段）（Ｓ−２０）。

コントローラ１９は、濃度測定時間（空気採集時間）が経過したかを判断する（Ｓ−２１）。濃度測定時間が経過していない場合、コントローラ１９は、ステップ１９（Ｓ−１９）に戻って濃度測定を継続する。濃度測定時間が経過した場合、コントローラ１９は切替バルブ４０，４７の弁機構を閉鎖し、サンプル空気の光音響ガスモニタ１６，１７への流入を停止し、切替バルブ４１，４８の弁機構を開放し、サンプル空気を放出口３７，４４からダクト２１の空気流路２２に放出する。次に、切替バルブ４１，４８の弁機構を閉鎖し、ポンプ３８，４５を停止してサンプル空気の採集を停止する（Ｓ−２２）。

サンプル空気の採集を停止した後（濃度測定が完了した後）、コントローラ１９は、図示はしていないが、濃度測定完了メッセージ、濃度測定終了ボタン、濃度測定継続ボタンをディスプレイ５２に表示する。濃度測定終了ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、濃度測定が終了したと判断し（Ｓ−２３）、測定した濃度データの転送指示信号を光音響ガスモニタ１６，１７に出力する。なお、光音響ガスモニタ１６は、バックグラウンドガス濃度第１測定手段によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第３測定手段によって測定した試験用ガス２５の濃度を補正するとともに、バックグラウンドガス濃度第１測定手段によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第３測定手段によって測定したトレーサーガス３１の濃度を補正する。光音響ガスモニタ１７は、バックグラウンドガス濃度第２測定手段によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第４測定手段によって測定した試験用ガス２５の濃度を補正する。

光音響ガスモニタ１６は、コントローラ１９からの転送指示にしたがって、サンプル空気の試験用ガス２５の実測濃度データ（補正した複数の実測濃度データ）およびトレーサーガス３１の実測濃度データ（補正した複数の実測濃度データ）をコントローラ１９に出力する（Ｓ−２４）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６から出力された実測濃度データ（複数の試験用ガス実測濃度、複数のトレーサーガス実測濃度、第３および第４測定識別子または第３および第４測定フラグ、格納日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第３格納手段）（Ｓ−２５）。

光音響ガスモニタ１７は、コントローラ１９からの転送指示にしたがって、サンプル空気の試験用ガス２５の実測濃度データ（補正した複数の実測濃度データ）をコントローラ１９に出力する（Ｓ−２４）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１７から出力された実測濃度データ（複数の試験用ガス実測濃度、第３および第４測定識別子または第３および第４測定フラグ、格納日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第４格納手段）（Ｓ−２５）。コントローラ１９は、図示はしていないが、ガス濃度測定完了メッセージ、ガス濃度測定完了確認ボタン、濃度測定継続ボタンをディスプレイ５２に表示する。ガス濃度測定完了確認ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。

同じガス除去エアフィルタ１１においてサンプル空気（ガス供給後におけるサンプル空気）の試験用ガス２５とトレーサーガス３１との濃度測定を２回以上行う場合、濃度測定継続ボタンをクリックする。濃度測定継続ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、濃度測定が終了していないと判断し（Ｓ−２３）、光音響ガスモニタ１６，１７に濃度測定データの転送を指示する。光音響ガスモニタ１６，１７は、コントローラ１９からの転送指示にしたがって、サンプル空気の試験用ガス２５の実測濃度データ（補正した複数の実測濃度データ）およびトレーサーガス３１の実測濃度データ（補正した複数の実測濃度データ）をコントローラ１９に出力する（Ｓ−２６）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６，１７から出力された実測濃度データ（複数の試験用ガス実測濃度、複数のトレーサーガス実測濃度、第３および第４測定識別子または第３および第４測定フラグ、格納日時）をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第３格納手段、ガス濃度第４格納手段）（Ｓ−２７）。コントローラ１９は、濃度測定データを格納すると、図４の濃度倍率設定画面をディスプレイ５２に表示し、ステップ１（Ｓ−１）からの手順を繰り返す。その場合、濃度倍率や条件設定を従前と同一としつつ、バックグラウンド測定を省略した状態でステップ１９（Ｓ−１９）以降の手順を実施することができる。

図１０は、フィルタ指定画面の一例を示す図であり、図１１は、グラフ表示画面の一例を示す図である。図１２は、グラフ表示画面の他の一例を示す図であり、図１３は、グラフ表示画面の他の一例を示す図である。図１４は、濃度第１および第２測定データ表示画面の一例を示す図であり、図１５は、濃度第３および第４測定データ表示画面の一例を示す図である。図１０，１４，１５では、各入力エリアや各表示エリアに表示されるデータの図示を省略している。図１１〜図１３のグラフＦ２，Ｇ２，Ｈ２では、縦軸に測定した試験用ガス２５の濃度が表示され、横軸に経過時間が表示されている。図１１〜図１３のグラフＦ２，Ｇ２，Ｈ２では、濃度測定時間内の経過時間における測定濃度の変化を表している。

ガス濃度第１および第２測定、ガス濃度第３および第４測定が終了した後、コントローラ１９は、横軸の時間軸に、複数の試験用ガス実測濃度を設定された時間間隔で表示し、それら濃度どうしを線分で結ぶことによって図１１〜図１３の折れ線グラフＦ２，Ｇ２，Ｈ２を生成する（グラフ生成手段）。コントローラ１９は、生成したグラフＦ２，Ｇ２，Ｈ２をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（グラフ格納手段）、その後、図３の初期画面をディスプレイ５２に表示する。

コントローラ１９は、試験用ガス２５の供給量と試験用ガス２５の検出量とから濃度測定が終了したガス除去エアフィルタ１１の除去効率を算出する（除去効率算出手段）。具体的には、式：η（％）＝（ｈ１／ｈ２）×１００＝｛（∫ｇ１×ｆ）／（∫ｇ２×ｆ）｝×１００によって算出する。ここで、ηは、除去効率、ｈ１は、試験用ガス２５の供給量であり、ｈ２は、試験用ガス２５の検出量である。∫ｇ１は、光音響ガスモニタ１６によって測定された試験用ガス２５の濃度の積分値、∫ｇ２は、光音響ガスモニタ１７によって測定された試験用ガス２５の濃度の積分値であり、ｆは、流量計１８から出力された風量である。コントローラ１９は、算出した除去効率をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（除去効率格納手段）。

コントローラ１９は、算出したガス除去エアフィルタ１１の現在の除去対象ガスに対する除去効率（％）とフィルタ１１の除去効率下限値（％）（フィルタ１１の継続使用に必要な除去効率の下限値）とを比較し、そのフィルタ１１の継続使用または交換を判定する（フィルタ状態判定手段）。コントローラ１９は、ガス除去エアフィルタ１１の継続使用または交換の判定結果をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（フィルタ判定結果格納手段）実行する。

コントローラ１９は、図１２，１３のグラフＧ２，Ｈ２（光音響ガスモニタ１７によって時系列に測定された複数の測定濃度データ）に基づいて、ガス除去エアフィルタ１１の欠陥をその除去機能の低下であるか、または、フィルタ１１やその設置器具の空気漏れ（リーク）であるかを分析する（欠陥分析手段）。コントローラ１９は、その分析結果（除去機能の低下またはリーク）をフィルタ識別子に関連付けた状態でバードディスクに格納する（欠陥分析結果格納手段）を実行する。

図３の初期画面において第１測定グラフ表示ボタンＡ６をクリックすると、コントローラ１９は、図１０に示すフィルタ指定画面をディスプレイ５２に表示する。図１０のフィルタ指定画面には、フィルタ名入力エリアＥ１、グラフ表示ボタンＥ２、データ表示画面Ｅ３、クリアボタンＥ４、キャンセルボタンＥ５が表示される。フィルタ名入力エリアＥ１にグラフ表示をするフィルタ名を入力（フィルタ名入力エリアＥ１のプルダウンリストからフィルタ名を選択）し、グラフ表示ボタンＥ２をクリックする。なお、クリアボタンＥ４をクリックすると、入力エリアＥ１に入力されたデータがクリアされ、入力エリアＥ１にフィルタ名を再入力する。キャンセルボタンＥ５をクリックすると、図３の初期画面が表示される。

図１０のフィルタ指定画面においてグラフ表示ボタンＥ２をクリックすると、コントローラ１９は、指定されたガス除去エアフィルタ１１に対応する図１１〜図１３のグラフＦ２，Ｇ２，Ｈ２をディスプレイ５２に表示する（グラフ出力手段）（Ｓ−１９）。なお、図１１〜図１３のグラフＨ２，Ｉ２，Ｈ２は、プリンタを介して出力することができる。図１１に示すグラフ表示画面には、フィルタ名が表示されたフィルタ名表示エリアＦ１、グラフ表示エリアＦ２、印刷ボタンＦ３、閉じるボタンＦ４が表示される。

図１１のグラフＦ２は、試験用ガス２５が検出されなかった場合のグラフＦ２であり、指定されたガス除去エアフィルタ１１が除去対象ガスの十分な除去機能を有し、また、フィルタ１１にピンホールや破損等の不具合がなく、フィルタ１１の設置器具（フィルタ収納カートリッジ２０やパッキン、締め付け螺子等）に隙間や破損等の不具合（リーク）がない場合である。図１１のグラフＦ２に示す濃度測定結果では、試験用ガス２５がガス除去エアフィルタ１１に吸着・除去され、試験用ガス２５がフィルタ１１を透過することはなく、そのフィルタ１１が除去対象ガスの十分な除去機能を有し、フィルタ１１の交換の必要はなく、設置器具の修理の必要はない。

図１１のグラフ表示画面を確認することで、その表示画面に表示されたガス除去エアフィルタ１１が試験用ガス２５（除去対象ガス）の十分な除去機能を有するとともに、フィルタ１１に不具合がなく、フィルタ１１の設置器具に不具合がないことを把握することができ、フィルタ１１の交換不要を判断することができるとともに、フィルタ１１の設置器具の修理不要を判断することができる。

図１２に示すグラフ表示画面には、フィルタ名が表示されたフィルタ名表示エリアＧ１、グラフ表示エリアＧ２、印刷ボタンＧ３、閉じるボタンＧ４が表示される。図１２のグラフＧ２は、試験用ガス２５が検出された場合のグラフＧ２であり、指定されたガス除去エアフィルタ１１にピンホールや破損等の不具合がある場合やフィルタ１１の設置器具に隙間や破損等の不具合（リーク）がある場合である。図１２のグラフＧ２に示す濃度測定結果では、試験用ガス２５の濃度が短時間に急激に上昇し、その後、急激に下降している。これは、試験用ガス２５が瞬時にガス除去エアフィルタ１１を通過し、または、試験用ガス２５が瞬時に設置器具を通過したことを表している。図１２のグラフＧ２に示す濃度測定結果では、試験用ガス２５がガス除去エアフィルタ１１に吸着・除去されず、試験用ガス２５がフィルタ１１や設置器具を透過し、そのフィルタ１１が除去対象ガスの十分な除去機能を有さず、フィルタ１１の交換が必要となり、設置器具の修理が必要となる。

図１２のグラフ表示画面を確認することで、その表示画面に表示されたガス除去エアフィルタ１１が試験用ガス２５（除去対象ガス）の除去機能を有さず、フィルタ１１に不具合があり、または、フィルタ１１の設置器具に不具合があることを把握することができ、フィルタ１１の交換必要を判断することができるとともに、フィルタ１１の設置器具の修理必要を判断することができる。

図１３に示すグラフ表示画面には、フィルタ名が表示されたフィルタ名表示エリアＨ１、グラフ表示エリアＨ２、印刷ボタンＨ３、閉じるボタンＨ４が表示される。図１３のグラフＨ２は、図１２と同様に、試験用ガス２５が検出された場合のグラフＨ２であり、指定されたガス除去エアフィルタ１１の試験用ガス２５に対する除去機能が低下している場合やフィルタ１１の試験用ガス２５に対する除去機能が喪失している場合である。図１３のグラフＨ２に示す濃度測定結果では、試験用ガス２５の濃度が短時間に急激に上昇し、その後、試験用ガス２５がフィルタ１１から徐々に漏出し、試験用ガス２５の濃度が徐々に下降している。これは、試験用ガス２５が一旦ガス除去エアフィルタ１１に吸着された後、フィルタ１１に吸着した試験用ガス２５を保持する機能が低下または喪失していることを表している。

図１３のグラフＨ２に示す濃度測定結果では、試験用ガス２５がガス除去エアフィルタ１１から次第に放出され、そのフィルタ１１が試験用ガス２５（除去対象ガス）の十分な除去機能を有さず、フィルタ１１の交換が必要になる。図１３のグラフ表示画面を確認することで、ガス除去エアフィルタ１１の試験用ガス２５に対する除去機能が低下し、または、フィルタ１１の試験用ガス２５に対する除去機能が喪失し、フィルタ１１に不具合があることを把握することができ、フィルタ１１の交換必要を判断することができる。

第１および第２測定データを表示する場合、図３の初期画面において、第１および第２測定データ表示ボタンＡ７をクリックする。第１および第２測定データ表示ボタンＡ７をクリックすると、コントローラ１９は、図１０に示すフィルタ指定画面をディスプレイ５２に表示する。図１０のフィルタ指定画面において、フィルタ名入力エリアＥ１にデータ表示をするフィルタ名を入力し、データ表示ボタンＥ３をクリックすると、コントローラ１９は、図１４に示す第１および第２測定データ表示画面をディスプレイ５２に表示する（測定濃度データ出力手段）（Ｓ−２８）。なお、図１４の測定データ表示画面に表示されたデータは、プリンタを介して出力することができる。

図１４の第１および第２測定データ表示画面には、フィルタ名表示エリアＩ１、測定日時表示エリアＩ２、ガス供給量表示エリアＩ３、ガス供給時間表示エリアＩ４、空気採集量表示エリアＩ５、空気採集時間表示エリアＩ６、濃度測定時間間隔表示エリアＩ７、除去対象ガス表示エリアＩ８、除去対象ガス濃度倍率表示エリアＩ９、トレーサーガス表示エリアＩ１０、トレーサーガス濃度倍率表示エリアＩ１１、入口側試験用ガス実測濃度表示エリアＩ１２、入口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＩ１３、出口側試験用ガス実測濃度表示エリアＩ１４、出口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＩ１５、除去効率表示エリアＩ１６、欠陥種類表示エリアＩ１７、フィルタ判定結果表示エリアＩ１８、印刷ボタンＩ１９、閉じるボタンＩ２０が表示される。

フィルタ名表示エリアＩ１には、図１０のフィルタ指定画面で指定したフィルタ名が表示され、測定日時表示エリアＩ２には、そのフィルタ名のフィルタの濃度測定日時が表示されるとともに、ガス供給量表示エリアＩ３には、試験用ガス２５やトレーサーガス３１の供給量が表示される。ガス供給時間表示エリアＩ４には、試験用ガス２５やトレーサーガス３１の供給時間が表示され、空気採集量表示エリアＩ５には、サンプル空気の採集量が表示されるとともに、空気採集時間表示エリアＩ６には、サンプル空気の採集時間が表示される。濃度測定時間間隔表示エリアＩ７には、濃度測定の時間間隔が表示され、除去対象ガス表示エリアＩ８には、図５の条件設定画面において指定した除去対象ガスが表示されるとともに、除去対象ガス濃度倍率表示エリアＩ９には、除去対象ガスの濃度倍率が表示される。トレーサーガス表示エリアＩ１０には、図５の条件設定画面において指定したトレーサーガスが表示され、トレーサーガス濃度倍率表示エリアＩ１１には、レーサーガスガスの濃度倍率が表示される。

入口側試験用ガス実測濃度表示エリアＩ１２には、ガス濃度第１測定における試験用ガスの実測濃度が表示され、入口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＩ１３には、ガス濃度第１測定におけるトレーサーガスの実測濃度が表示される。出口側試験用ガス実測濃度表示エリアＩ１４には、ガス濃度第２測定における試験用ガスの実測濃度が表示され、出口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＩ１５には、ガス濃度第２測定におけるトレーサーガスの実測濃度が表示される。除去効率表示エリアＩ１６には、除去効率が表示され（除去効率出力手段）、欠陥種類表示エリアＩ１７には、欠陥種類（除去機能の低下またはリーク）が表示されるとともに（欠陥分析結果出力手段）、フィルタ判定結果表示エリアＩ１８には、フィルタ１１の継続使用または交換の判定結果が表示される（フィルタ判定結果出力手段）。

第３および第４測定データを表示する場合、図３の初期画面において、第３および第４測定データ表示ボタンＡ８をクリックする。第３および第４測定データ表示ボタンＡ８をクリックすると、コントローラ１９は、図１０に示すフィルタ指定画面をディスプレイ５２に表示する。図１０のフィルタ指定画面において、フィルタ名入力エリアＥ１にデータ表示をするフィルタ名を入力し、データ表示ボタンＥ３をクリックすると、コントローラ１９は、図１５に示す第３および第４測定データ表示画面をディスプレイ５２に表示する（測定濃度データ出力手段）（Ｓ−２８）。なお、図１５の測定データ表示画面に表示されたデータは、プリンタを介して出力することができる。

図１５の第３および第４測定データ表示画面には、フィルタ名表示エリアＪ１、測定日時表示エリアＪ２、空気採集量表示エリアＪ３、空気採集時間表示エリアＪ４、濃度測定時間間隔表示エリアＪ５、入口側試験用ガス実測濃度表示エリアＪ６、入口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＪ７、出口側試験用ガス実測濃度表示エリアＪ８、印刷ボタンＪ９、閉じるボタンＪ１０が表示される。

フィルタ名表示エリアＪ１には、図１０のフィルタ指定画面で指定したフィルタ名が表示され、測定日時表示エリアＪ２には、そのフィルタ名のフィルタの濃度測定日時が表示される。空気採集量表示エリアＪ３には、サンプル空気の採集量が表示され、空気採集時間表示エリアＪ４には、サンプル空気の採集時間が表示される。濃度測定時間間隔表示エリアＪ５には、濃度測定の時間間隔が表示され、入口側試験用ガス実測濃度表示エリアＪ６には、ガス濃度第３測定における試験用ガスの実測濃度が表示される。入口側トレーサーガス実測濃度表示エリアＪ７には、ガス濃度第３測定におけるトレーサーガスの実測濃度が表示され、出口側試験用ガス実測濃度表示エリアＪ８には、ガス濃度第４測定における試験用ガスの実測濃度が表示される。

図７〜図９のフローチャートに基づいて説明した除去効率測定システム１０Ａは、所定量の試験用ガス２５とトレーサーガス３１とをダクト２１に同時に供給し、ガス除去エアフィルタ１１（ガス除去装置）の入口に流入する空気に含まれる試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度を光音響ガスモニタ１６を利用して測定するとともに、ガス除去エアフィルタ１１を通ってその出口から流出したサンプル空気に含まれる試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度を光音響ガスモニタ１７を利用して測定するから、その測定中にトレーサーガス３１がエアフィルタ１１の出入口側においてそれら光音響ガスモニタ１６，１７に検出された場合、試験用ガス２５がガス除去エアフィルタ１１に確実に流入したことが実証され、逆に、その測定中にトレーサーガス２５がエアフィルタ１１の出入口側においてそれら光音響ガスモニタ１６，１７に検出されない場合、試験用ガス２５もガス除去エアフィルタ１１に流入していないことが実証される。ゆえに、ガス除去エアフィルタ１１の出入口側においてトレーサーガス３１が検出されることで、その測定中における試験用ガス２５のガス除去エアフィルタ１１への流入を認定することができ、試験用ガス２５を使用してガス除去エアフィルタ１１が設置された環境下の空気に含まれる除去対象ガスに対するガス除去エアフィルタ１１の除去効率を確実に測定することができる。

除去効率測定システム１０Ａは、除去対象ガスと同一の試験用ガス２５を利用してガス除去エアフィルタ１１における除去効率を測定するから、除去対象ガスに対するフィルタ１１の除去効率を測定したものとみなすことができ、対象ガスに対するフィルタ１１の除去効率を高い精度で測定することができるとともに、対象ガスに対するフィルタ１１の信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる。除去効率測定システム１０Ａは、試験用ガス２４とトレーサーガス３１との供給を停止した後、ガス除去エアフィルタ１１の入口側において所定濃度の試験用ガス２５やトレーサーガス３１が検出されない場合、それらガス２５，３１の供給が確実に停止したことが実証される。また、試験用ガス２４とトレーサーガス３１との供給を停止した後、ガス除去エアフィルタ１１の出口側において所定濃度の試験用ガス２５が検出された場合、フィルタ１１に構造的な欠陥以外の化学的な欠陥等の他の欠陥があることを知ることができるから、それによってフィルタ１１の使用限界を知ることができ、フィルタ１１を交換する時期を正確に判断することができる。

除去効率測定システム１０Ａは、実際に設置された使用状態にあるガス除去エアフィルタ１１の出口側においてトレーサーガス３１とともに所定濃度の試験用ガス２５が光音響ガスモニタ１７に検出された場合、使用状態にあるフィルタ１１が劣化して対象ガス除去機能が低下していることを判定することができ、または、フィルタ１１やその設置器具に空気漏れ（リーク）等の構造的な欠陥があることを判定することができるから、除去効率の測定結果を参照しつつ、フィルタ１１の交換時期を的確に判断することができるとともに、フィルタ１１の設置器具の修理の必要性を判断することができる。除去効率測定システム１０Ａは、それを利用することでガス除去エアフィルタ１１を適時に交換することができ、設置器具を適時に修理することができるから、常に除去対象ガスに対する除去機能を備えたフィルタ１１を使用することができ、空気中に除去対象ガスが含まれたとしても、フィルタ１１によってその除去対象ガスを空気から確実に除去することができる。

除去効率測定システム１０Ａは、ガス除去エアフィルタ１１の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させてフィルタ１１の入口側から供給する試験用ガス２５の空気に対する濃度の倍率を決定するから、フィルタ１１の使用環境を考慮しつつ、フィルタ１１の交換の指標となる限界効率に応じて試験用ガス２５の空気に対する濃度の倍率を自由に決定することができる。除去効率測定システム１０Ａは、ガス除去エアフィルタ１１の限界効率に応じた倍率の濃度の試験用ガス２５が光音響ガスモニタ１７に検出された場合、そのフィルタ１１の使用限界を知ることができ、フィルタ１１を交換する時期を正確に判断することができる。

必要以上に高い濃度の試験用ガス２５を使用するとフィルタ１１の性能を低下させることになるが、除去効率測定システム１０Ａは、トレーサーガス３１を利用して試験用ガス２５のフィルタ１１への流入を実証することができるから、光音響ガスモニタ１６の検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高い濃度の試験用ガス２５を除去効率の測定に使用することができるとともに、試験用ガス２５の供給時間を短くすることができ、フィルタ１１の性能を低下させることなく、そのフィルタ１１の除去効率を確実に測定することができる。除去効率測定システム１０Ａは、光音響ガスモニタ１６の検出限界濃度にあわせて試験用ガス２５の濃度を自由に設定することができる。

図１６は、他の一例として示す除去効率測定システム１０Ｂの構成図であり、図１７は、光音響ガスモニタ１６によるガス濃度測定を説明する図である。図１８は、このシステム１０Ｂによって実行される除去効率測定のフローチャートの一例であり、図１９は、図１８から続くフローチャートである。図２０は、図１９から続くフローチャートである。

このシステム１０Ｂが図１のそれと異なるところはサンプル空気を所定容積の複数のテドラーバックＴＡ１〜ＴＡ３，ＴＢ１〜ＴＢ３，ＴＣ１〜ＴＣ３，ＴＤ１〜ＴＤ３，ＴＥ１〜ＴＥ３，ＴＦ１〜ＴＦ３，ＴＧ１〜ＴＧ３，ＴＨ１〜ＴＨ３（第１〜第ｎ空気採集袋）（第１〜第ｎ気体採集袋）によって採集する点にあり、その他の構成は図１のシステム１０Ａのそれらと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１の説明を援用することで、このシステム１０Ｂのその他の構成の説明は省略する。

それらテドラーバックＴＡ１〜ＴＡ３，ＴＢ１〜ＴＢ３，ＴＣ１〜ＴＣ３，ＴＤ１〜ＴＤ３，ＴＥ１〜ＴＥ３，ＴＦ１〜ＴＦ３，ＴＧ１〜ＴＧ３，ＴＨ１〜ＴＨ３は、合成樹脂フィルムから作られ、サンプル空気を気密に収容する。サンプル空気を収容した後、テドラーバックＴＡ１〜ＴＡ３，ＴＢ１〜ＴＢ３，ＴＣ１〜ＴＣ３，ＴＤ１〜ＴＤ３，ＴＥ１〜ＴＥ３，ＴＦ１〜ＴＦ３，ＴＧ１〜ＴＧ３，ＴＨ１〜ＴＨ３は管路４０から取り外される。除去効率測定システム１０Ｂは、ガス除去エアフィルタ１１（ガス除去装置）と、試験用ガス供給ユニット１２（試験用ガス供給装置）と、トレーサーガス供給ユニット１３（トレーサーガス供給装置）と、空気第１採集ユニット１４（空気第１採集装置）と、空気第２採集ユニット１５（空気第２採集装置）と、光音響ガスモニタ１６と、流量計１８と、コントローラ１９とから形成されている。

空気第１採集ユニット１４のサンプリング管路４２の接続端子（図示せず）には、４個のテドラーバックＴＡ１〜ＴＤ１が接続されている。管路４２に設置された切替バルブ４０Ａ〜４０Ｄは、インターフェイス３０を介してコントローラ１９に接続されている。空気第２採集ユニット１５のサンプリング管路４９の接続端子（図示せず）には、４個のテドラーバックＴＥ１〜ＴＨ１が接続されている。管路４９に設置された切替バルブ４７Ａ〜４７Ｄは、インターフェイス３０を介してコントローラ１９に接続されている。

なお、図１６では、２４個のテドラーバックＴＡ１〜ＴＡ３，ＴＢ１〜ＴＢ３，ＴＣ１〜ＴＣ３，ＴＤ１〜ＴＤ３，ＴＥ１〜ＴＥ３，ＴＦ１〜ＴＦ３，ＴＧ１〜ＴＧ３，ＴＨ１〜ＴＨ３を図示しているが、テドラーバックの個数を２４個に限定するものではなく、３０個以上のテドラーバックを使用することもできる。光音響ガスモニタ１６は、テドラーバックＴＡ１〜ＴＡ３，ＴＢ１〜ＴＢ３，ＴＣ１〜ＴＣ３，ＴＤ１〜ＴＤ３，ＴＥ１〜ＴＥ３，ＴＦ１〜ＴＦ３，ＴＧ１〜ＴＧ３，ＴＨ１〜ＴＨ３に収納されたサンプル空気に含まれる除去対象ガスや試験用ガス２５、トレーサーガス３１の濃度を所定の時間間隔で間欠的に複数回測定し、測定した除去対象ガスや試験用ガス２５、トレーサーガス３１の複数の濃度データをコントローラ１７に出力する。

図１７〜図１９に基づいて、このシステム１０Ｂにおける除去効率測定手順を説明すると、以下のとおりである。なお、テドラーバックＴＡ１〜ＴＡ３，ＴＢ１〜ＴＢ３，ＴＣ１〜ＴＣ３，ＴＤ１〜ＴＤ３，ＴＥ１〜ＴＥ３，ＴＦ１〜ＴＦ３，ＴＧ１〜ＴＧ３，ＴＨ１〜ＴＨ３にサンプル空気を収容する手順、テドラーバックＴＡ１〜ＴＡ３，ＴＢ１〜ＴＢ３，ＴＣ１〜ＴＣ３，ＴＤ１〜ＴＤ３，ＴＥ１〜ＴＥ３，ＴＦ１〜ＴＦ３，ＴＧ１〜ＴＧ３，ＴＨ１〜ＴＨ３に収納されたサンプル空気に含まれる除去対象ガスや試験用ガス２５、トレーサーガス３１の濃度の測定手順以外の除去効率測定手順の詳細は、図７〜図９のフローチャートにおいて既に説明済みであるから、図７〜図９の説明を援用することで、このシステム１０Ｂにおけるサンプル空気収容手順や濃度測定手順以外の他の除去効率測定手順の詳細な説明は省略する。

図４の濃度倍率設定画面において濃度倍率を決定した後（濃度倍率決定手段）（Ｓ−３０）、コントローラ１９は、フィルタ名をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納するとともに（フィルタ名格納手段）、濃度倍率をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（濃度倍率格納手段）。次に、図５のガス濃度第１および第２測定における条件設定画面において測定条件を設定し、図６のガス濃度第３および第４測定における条件設定画面において測定条件を設定した後（Ｓ−３１）、コントローラ１９は、除去対象ガスをフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（除去対象ガス格納手段）、トレーサーガスをフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（トレーサーガス格納手段）。ガス供給時間をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（ガス供給時間格納手段）、ガス供給量をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス供給量格納手段）。

さらに、コントローラ１９は、トレーサーガス濃度倍率をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（トレーサーガス濃度倍率格納手段）、テドラーバックＴＡ１〜ＴＡ３，ＴＢ１〜ＴＢ３，ＴＣ１〜ＴＣ３，ＴＤ１〜ＴＤ３，ＴＥ１〜ＴＥ３，ＴＦ１〜ＴＦ３，ＴＧ１〜ＴＧ３，ＴＨ１〜ＴＨ３への空気採集時間をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（空気採集時間格納手段）。コントローラ１９は、テドラーバックＴＡ１〜ＴＡ３，ＴＢ１〜ＴＢ３，ＴＣ１〜ＴＣ３，ＴＤ１〜ＴＤ３，ＴＥ１〜ＴＥ３，ＴＦ１〜ＴＦ３，ＴＧ１〜ＴＧ３，ＴＨ１〜ＴＨ３への空気採集量をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納し（空気採集量格納手段）、濃度測定時間間隔をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（濃度測定時間間隔格納手段）。

図３の初期画面においてバックグラウンド測定ボタンＡ３をクリックすると、コントローラ１９は、空気第１採集ユニット１４を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト２１（ダクト２１の空気取り入れ口２３とガス除去エアフィルタ１１の入口との間に延びる空気流路２２）からサンプル空気を採集する（バックグラウンド空気第１採集手段）（Ｓ−３２）。さらに、空気第２採集ユニット１５を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト２１（ガス除去エアフィルタ１１の出口とダクト２１の空気排気口２４との間に延びる空気流路２２）からサンプル空気を採集する（バックグラウンド空気第２採集手段）（Ｓ−３２）。なお、バックグラウンド空気第１採集手段では、サンプリング管路４２の接続端子にテドラーバックＴＡ１〜ＴＤ１が接続され、バックグラウンド空気第２採集手段では、サンプリング管路４９の接続端子にテドラーバックＴＥ１〜ＴＨ１が接続されている。

コントローラ１９は、設定量のサンプル空気の採集指示信号を流量計付き調節バルブ３９，４６に出力し、吸引ポンプ３８，４５を稼動させ、切替バルブ４０Ｂ〜４０Ｄ，４１，４７Ｂ〜４７Ｄ，４８の弁機構を閉鎖するとともに、切替バルブ４０Ａ，４７Ａの弁機構を開放し、流量計付き調節バルブ３９，４６から切替バルブ４０Ａ，４７Ａに達したサンプル空気の一定量をテドラーバックＴＡ１，ＴＥ１に流入させる。サンプル空気は、採集口３６，４３からポンプ３８，４５に進入し、サンプリング管路４２，４９を通ってテドラーバックＴＡ１，ＴＥ１に収容される。

コントローラ１９は、切替バルブ４１，４８の弁機構を閉鎖しつつ、切替バルブ４０Ｂ〜４０Ｄ，４７Ｂ〜４７Ｄの弁機構を順に開放し、流量計付き調節バルブ３９，４６から切替バルブ４０Ｂ〜４０Ｄ，４７Ｂ〜４７Ｄに達したサンプル空気の一定量をテドラーバックＴＢ１〜ＴＤ１，ＴＦ１〜ＴＨ１に順に流入させ、テドラーバックＴＢ１〜ＴＤ１，ＴＦ１〜ＴＨ１にサンプル空気を収容させる（バックグラウンド空気第１採集手段、バックグラウンド空気第２採集手段）（Ｓ−３２）。コントローラ１９は、すべてのテドラーバックＴＡ１〜ＴＨ１にサンプル空気が収容されたかを判断し（Ｓ−３３）、サンプル空気がそれらテドラーバックＴＡ１〜ＴＨ１に収容されたと判断すると、サンプル空気の採集を停止し（Ｓ−３４）、切替バルブ４０Ａ〜４０Ｄ，４７Ａ〜４７Ｄの弁機構を閉鎖し、切替バルブ４１，４８の弁機構を開放し、サンプル空気を放出口３７，４４から通気ダクト２１の空気流路２２に放出する。

サンプル空気の採集が終了した後、サンプリング管路４２，４９の接続端子からテドラーバックＴＡ１〜ＴＤ１，ＴＥ１〜ＴＨ１を取り外し、図１６に示すように、それらテドラーバックＴＡ１〜ＴＤ１，ＴＥ１〜ＴＨ１を光音響ガスモニタ１６の接続端子に順番に接続する。テドラーバックＴＡ１〜ＴＤ１，ＴＥ１〜ＴＨ１を光音響ガスモニタ１６に接続すると、コントローラ１９は、図示はしていないが、テドラーバックバックグラウンド濃度第１測定ボタン、テドラーバックバックグラウンド濃度第２測定ボタン、キャンセルボタンをディスプレイ５２に表示する。

テドラーバックバックグラウンド濃度第１測定ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、テドラーバックＴＡ１〜ＴＤ１に収容されたサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度測定指示信号を光音響ガスモニタ１６に出力し、サンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度をガスモニタ１６に測定させる（バックグラウンドガス濃度第１測定手段）（Ｓ−３５）。テドラーバックバックグラウンド濃度第２測定ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、テドラーバックＴＥ１〜ＴＨ１に収容されたサンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度測定指示信号を光音響ガスモニタ１６に出力し、サンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度をガスモニタ１６に測定させる（バックグラウンドガス濃度第２測定手段）（Ｓ−３５）。

光音響ガスモニタ１６は、サンプル空気に含まれる除去対象ガスやトレーサーガスの濃度を設定された時間間隔で間欠的に複数回測定する。なお、それらテドラーバックＴＡ１〜ＴＤ１，ＴＥ１〜ＴＨ１に収容されたサンプル空気に除去対象ガスやトレーサーガスが含まれている場合、除去対象ガスやトレーサーガスが所定容積のテドラーバックＴＡ１〜ＴＤ１，ＴＥ１〜ＴＨ１内のサンプル空気と混合され、除去対象ガスやトレーサーガスの濃度が平均化される。

光音響ガスモニタ１６は、測定した複数の除去対象ガスバックグラウンド濃度データとトレーサーガスバックグラウンド濃度データとをコントローラ１９に出力する（Ｓ−３６）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６から出力されたバックグラウンド濃度測定データ（テドラーバックＴＡ１〜ＴＤ１，ＴＥ１〜ＴＨ１において平均化された複数の除去対象ガスバックグラウンド濃度データ、テドラーバックＴＡ１〜ＴＤ１，ＴＥ１〜ＴＨ１において平均化された複数のトレーサーガスバックグラウンド濃度データ、格納日時）をフィルタ識別子（テドラーバックを個別に特定するテドラーバック識別子を含む）に関連付けた状態でハードディスクに格納する（バックグラウンドガス濃度第１格納手段、バックグラウンドガス濃度第２格納手段）（Ｓ−３７）。

バックグラウンドガス濃度の格納が完了した後、ガス除去エアフィルタ１１の除去効率の測定を行う。図３において初期画面のガス濃度第１および第２測定ボタンＡ４をクリックすると、コントローラ１９は、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に流れる空気に含まれる除去対象ガスと同一の試験用ガス２５とトレーサーガス３１との濃度測定を行うとともに、フィルタ１１を透過した空気に含まれる除去対象ガスと同一の試験用ガス２５とトレーサーガス３１との濃度測定を行う。コントローラ１９は、ダクト２１を流れる空気に対して試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度があらかじめ設定された濃度倍率になるように、設定量の試験用ガス２５およびトレーサーガス３１を噴霧器から通気ダクト２１の空気流路２２に供給する（ガス供給手段）（Ｓ−３８）。なお、サンプリング管路４２の接続端子には、テドラーバックＴＡ２〜ＴＤ２が接続され、サンプリング管路４９の接続端子には、テドラーバックＴＥ２〜ＴＨ２が接続されている。

コントローラ１９は、試験用ガス２５とトレーサーガス３１とを供給した直後から採集時間が経過するまでの間、空気第１採集ユニット１４を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の上流側に延びるダクト２１からサンプル空気を採集するとともに、空気第２採集ユニット１５を利用し、ガス除去エアフィルタ１１の下流側に延びるダクト２１からサンプル空気を採集する。コントローラ１９は、バックグラウンド濃度測定と同様に、流量計付き調節バルブ３９，４６から切替バルブ４０Ａ，４７Ａに達したサンプル空気の一定量をテドラーバックＴＡ２，ＴＥ２に流入させる。サンプル空気は、採集口３６，４３からポンプ３８，４５に進入し、サンプリング管路４２，４９を通ってテドラーバックＴＡ２，ＴＥ２に収容される（サンプル空気第１採集手段、サンプル空気第２採集手段）（Ｓ−３９）。コントローラ１９は、サンプル空気の一定量をテドラーバックＴＢ２〜ＴＤ２，ＴＦ２〜ＴＨ２に順に流入させ、テドラーバックＴＢ２〜ＴＤ２，ＴＦ２〜ＴＨ２にサンプル空気を収容させる（サンプル空気第１採集手段、サンプル空気第２採集手段）（Ｓ−３９）。コントローラ１９は、すべてのテドラーバックＴＡ２〜ＴＨ２にサンプル空気が収容されたかを判断し（Ｓ−４０）、サンプル空気がそれらテドラーバックＴＡ２〜ＴＨ２に収容されたと判断すると、サンプル空気の採集を停止し（Ｓ−４１）、サンプル空気を放出口３７，４４から通気ダクト２１の空気流路２２に放出する。

コントローラ１９は、サンプル空気採集を終了するかを判断する（Ｓ−４２）。サンプル空気の採集が終了した後、サンプリング管路４４，４９の接続端子からテドラーバックＴＡ２〜ＴＤ２，ＴＥ２〜ＴＨ２を取り外し、図１６に示すように、それらテドラーバックＴＡ２〜ＴＤ２，ＴＥ２〜ＴＨ２を光音響ガスモニタ１６の接続端子に順番に接続する。テドラーバックＴＡ２〜ＴＤ２，ＴＥ２〜ＴＨ２を光音響ガスモニタ１６に接続すると、コントローラ１９は、図示はしていないが、テドラーバックガス濃度第１測定ボタン、テドラーバックガス濃度第２測定ボタン、キャンセルボタンをディスプレイ４３に表示する。

テドラーバックガス濃度第１測定ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、テドラーバックＴＡ２〜ＴＤ２に収容されたサンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度測定指示信号を光音響ガスモニタ１６に出力し、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度をガスモニタ１６に測定させる（ガス濃度第１測定手段）（Ｓ−４３）。テドラーバックガス濃度第２測定ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、テドラーバックＴＥ２〜ＴＨ２に収容されたサンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度測定指示信号を光音響ガスモニタ１６に出力し、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度をガスモニタ１６に測定させる（ガス濃度第２測定手段）（Ｓ−４３）。

光音響ガスモニタ１６は、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度を設定された時間間隔で間欠的に複数回測定する。なお、それらテドラーバックＴＡ２〜ＴＤ２，ＴＥ２〜ＴＨ２に収容されたサンプル空気に試験用ガス２５やトレーサーガス３１が含まれている場合、試験用ガス２５やトレーサーガス３１が所定容積のテドラーバックＴＡ２〜ＴＤ２，ＴＥ２〜ＴＨ２内のサンプル空気と混合され、試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度が平均化される。

光音響ガスモニタ１６は、バックグラウンドガス濃度測定によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段やガス濃度第２測定手段によって測定した試験用ガス２５の濃度を補正する。さらに、バックグラウンドガス濃度測定によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第１測定手段やガス濃度第２測定手段によって測定したトレーサーガス３１の濃度を補正する。

光音響ガスモニタ１６は、測定した複数の試験用ガス２５の実測濃度データ（補正後の濃度データ）とトレーサーガス３１の実測濃度データ（補正後の濃度データ）とをコントローラ１９に出力する（Ｓ−４４）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６から出力された実測濃度データ（テドラーバックＴＡ２〜ＴＤ２において平均化された複数の試験用ガス２５の実測濃度データ、テドラーバックＴＡ２〜ＴＤ２において平均化された複数のトレーサーガス３１の実測濃度データ、第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時）をフィルタ識別子（テドラーバック識別子を含む）に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第１格納手段）（Ｓ−４５）。さらに、光音響ガスモニタ１６から出力された実測濃度データ（テドラーバックＴＥ２〜ＴＨ２において平均化された複数の試験用ガス２５の実測濃度データ、テドラーバックＴＥ２〜ＴＨ２において平均化された複数のトレーサーガス３１の実測濃度データ、第１および第２測定識別子または第１および第２測定フラグ、格納日時）をフィルタ識別子（テドラーバック識別子を含む）に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第２格納手段）（Ｓ−４５）。

ステップ４２（Ｓ−４２）において、サンプル空気採集を終了しない場合、コントローラ１９は、テドラーバックＴＡ〜ＴＤ，ＴＥ２〜ＴＨ２に収容されたサンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度をガスモニタ１６に測定させ（ガス濃度第１測定手段、ガス濃度第２測定手段）（Ｓ−４６）、光音響ガスモニタ１６は、測定した複数の試験用ガス２５の実測濃度データとトレーサーガス３１の実測濃度データとをコントローラ１９に出力する（Ｓ−４７）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６から出力された実測濃度データをフィルタ識別子（テドラーバック識別子を含む）に関連付けた状態でハードディスクに格納した後（ガス濃度第１格納手段、ガス濃度第２格納手段）（Ｓ−４８）、ステップ３０（Ｓ−３０）からの手順を繰り返す。

ガス濃度第１および第２測定が終了した後、ガス濃度第３および第４測定を行う。なお、サンプリング管路４２の接続端子には、テドラーバックＴＡ３〜ＴＤ３が接続され、サンプリング管路４９の接続端子には、テドラーバックＴＥ３〜ＴＨ３が接続されている。図３の初期画面において、ガス濃度第３および第４測定ボタンＡ５をクリックすると、コントローラ１９は、試験用ガス２５とトレーサーガス３１との供給を停止した後、バックグラウンド濃度測定やガス濃度第１および第２測定と同様に、流量計付き調節バルブ３９，４６から切替バルブ４０Ａ，４７Ａに達したサンプル空気の一定量をテドラーバックＴＡ３，ＴＥ３に流入させる。サンプル空気は、採集口３６，４３からポンプ３８，４５に進入し、サンプリング管路４２，４９を通ってテドラーバックＴＡ３，ＴＥ３に収容される（サンプル空気第３採集手段、サンプル空気第４採集手段）（Ｓ−４９）。コントローラ１９は、サンプル空気の一定量をテドラーバックＴＢ３〜ＴＤ３，ＴＦ３〜ＴＨ３に順に流入させ、テドラーバックＴＢ３〜ＴＤ３，ＴＦ３〜ＴＨ３にサンプル空気を収容させる（サンプル空気第３採集手段、サンプル空気第４採集手段）（Ｓ−４９）。コントローラ１９は、すべてのテドラーバックＴＡ３〜ＴＨ３にサンプル空気が収容されたかを判断し（Ｓ−５０）、サンプル空気がそれらテドラーバックＴＡ３〜ＴＨ３に収容されたと判断すると、サンプル空気の採集を停止し（Ｓ−５１）、サンプル空気を放出口３７，４４から通気ダクト２１の空気流路２２に放出する。

コントローラ１９は、サンプル空気採集を終了するかを判断し（Ｓ−５２）、サンプル空気の採集が終了した後、サンプリング管路４２，４９の接続端子からテドラーバックＴＡ３〜ＴＤ３，ＴＥ３〜ＴＨ３を取り外し、図１６に示すように、それらテドラーバックＴＡ３〜ＴＤ３，ＴＥ３〜ＴＨ３を光音響ガスモニタ１６の接続端子に順番に接続する。テドラーバックＴＡ３〜ＴＤ３，ＴＥ３〜ＴＨ３を光音響ガスモニタ１６に接続すると、コントローラ１９は、図示はしていないが、テドラーバックガス濃度第３測定ボタン、テドラーバックガス濃度第４測定ボタン、キャンセルボタンをディスプレイ５２に表示する。

テドラーバックガス濃度第３測定ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、テドラーバックＴＡ３〜ＴＤ３に収容されたサンプル空気に含まれる試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度測定指示信号を光音響ガスモニタ１６に出力し、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度をガスモニタ１６に測定させる（ガス濃度第３測定手段）（Ｓ−５３）。テドラーバックガス濃度第４測定ボタンをクリックすると、コントローラ１９は、テドラーバックＴＥ３〜ＴＨ３に収容されたサンプル空気に含まれる試験用ガス２５の濃度測定指示信号を光音響ガスモニタ１６に出力し、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５の濃度をガスモニタ１６に測定させる（ガス濃度第４測定手段）（Ｓ−５３）。

光音響ガスモニタ１６は、サンプル空気に含まれる試験用ガス２５およびトレーサーガス３１の濃度を設定された時間間隔で間欠的に測定する。なお、それらテドラーバックＴＡ３〜ＴＤ３に収容されたサンプル空気に試験用ガス２５やトレーサーガス３１が含まれている場合、試験用ガス２５やトレーサーガス３１が所定容積のテドラーバックＴＡ３〜ＴＤ３内のサンプル空気と混合され、試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度が平均化される。また、それらテドラーバックＴＥ３〜ＴＨ３に収容されたサンプル空気に試験用ガス２５が含まれている場合、試験用ガス２５が所定容積のテドラーバックＴＥ３〜ＴＨ３内のサンプル空気と混合され、試験用ガス２５の濃度が平均化される。

光音響ガスモニタ１６は、バックグラウンドガス濃度測定によって測定した除去対象ガスの濃度を参照し、ガス濃度第３測定手段やガス濃度第４測定手段によって測定した試験用ガス２５の濃度を補正する。さらに、バックグラウンドガス濃度測定によって測定したトレーサーガスの濃度を参照し、ガス濃度第３測定手段によって測定したトレーサーガス３１の濃度を補正する。

光音響ガスモニタ１６は、測定した複数の試験用ガス２５の実測濃度データ（補正後の濃度データ）とトレーサーガス３１の実測濃度データ（補正後の濃度データ）とをコントローラ１９に出力する（Ｓ−５４）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６から出力された実測濃度データ（テドラーバックＴＡ３〜ＴＤ３において平均化された複数の試験用ガス２５の実測濃度データ、テドラーバックＴＡ３〜ＴＤ３において平均化された複数のトレーサーガス３１の実測濃度データ、第３および第４測定識別子または第３および第４測定フラグ、格納日時）をフィルタ識別子（テドラーバック識別子を含む）に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第３格納手段）（Ｓ−５５）。さらに、光音響ガスモニタ１６から出力された実測濃度データ（テドラーバックＴＥ３〜ＴＨ３において平均化された複数の試験用ガス２５の実測濃度データ、第３および第４測定識別子または第３および第４測定フラグ、格納日時）をフィルタ識別子（テドラーバック識別子を含む）に関連付けた状態でハードディスクに格納する（ガス濃度第４格納手段）（Ｓ−５５）。

ステップ５２（Ｓ−５２）において、サンプル空気採集を終了しない場合、コントローラ１９は、テドラーバックＴＡ３〜ＴＤ３，ＴＥ３〜ＴＨ３に収容されたサンプル空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度をガスモニタ１６に測定させ（ガス濃度第３測定手段、ガス濃度第４測定手段）（Ｓ−５６）、光音響ガスモニタ１６は、測定した複数の試験用ガス２５やトレーサーガス３１の実測濃度データをコントローラ１９に出力する（Ｓ−５７）。コントローラ１９は、光音響ガスモニタ１６から出力された実測濃度データをフィルタ識別子（テドラーバック識別子を含む）に関連付けた状態でハードディスクに格納した後（ガス濃度第３格納手段、ガス濃度第４格納手段）（Ｓ−５８）、ステップ３０（Ｓ−３０）からの手順を繰り返す。

ガス濃度第１および第２測定、ガス濃度第３および第４測定が終了した後、コントローラ１９は、横軸の時間軸に、複数の試験用ガス実測濃度を設定された時間間隔で表示し、それら濃度どうしを線分で結ぶことによって図１１〜図１３の折れ線グラフＦ２，Ｇ２，Ｈ２を生成する（グラフ生成手段）（図１１〜図１３援用）。コントローラ１９は、生成したグラフＦ２，Ｇ２，Ｈ２をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（グラフ格納手段）。

次に、コントローラ１９は、試験用ガス２５の供給量と試験用ガス２５の検出量とから濃度測定が終了したガス除去エアフィルタ１１の除去効率を前記式：η（％）＝（ｈ１／ｈ２）×１００＝｛（∫ｇ１×ｆ）／（∫ｇ２×ｆ）｝×１００によって算出する（除去効率算出手段）。コントローラ１９は、算出した除去効率をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（除去効率格納手段）。コントローラ１９は、算出したガス除去エアフィルタ１１の現在の除去対象ガスに対する除去効率（％）とフィルタ１１の除去効率下限値（％）とを比較し、そのフィルタ１１の継続使用または交換を判定する（フィルタ状態判定手段）。コントローラ１９は、ガス除去エアフィルタ１１の継続使用または交換の判定結果をフィルタ識別子に関連付けた状態でハードディスクに格納する（フィルタ判定結果格納手段）。

コントローラ１９は、図１２，１３のグラフＧ２，Ｈ２に基づいて、ガス除去エアフィルタ１１の欠陥をその除去機能の低下であるか、または、フィルタ１１やその設置器具の空気漏れ（リーク）であるかを分析する（欠陥分析手段）。コントローラ１９は、その分析結果（除去機能の低下またはリーク）をフィルタ識別子に関連付けた状態でバードディスクに格納する（欠陥分析結果格納手段）。

なお、図３の初期画面において第１測定グラフ表示ボタンＡ６をクリックし、図１０のフィルタ指定画面においてフィルタ名を入力した後、グラフ表示ボタンＥ２をクリックすると、コントローラ１９は、指定されたガス除去エアフィルタ１１に対応する図１１〜図１３のグラフＦ２，Ｇ２，Ｈ２をディスプレイ５２に表示する（グラフ出力手段）（図１１〜図１３援用）。また、データ表示ボタンＥ３をクリックすると、コントローラ１９は、図１４の濃度第１および第２測定データ表示画面や図１５の濃度第３および第４測定データ表示画面をディスプレイ５２に表示する（測定濃度データ出力手段）。（図１４、図１５援用）。なお、測定データ表示画面には、除去効率が表示され（除去効率出力手段）、欠陥種類が表示されるとともに（欠陥分析結果出力手段）、フィルタ１１の継続使用または交換の判定結果が表示される（フィルタ判定結果出力手段）。

除去効率測定システム１０Ｂは、除去効率測定システム１０Ａが有する効果に加え、以下の効果を有する。除去効率測定システム１０Ｂは、空気をそれらテドラーバックＴＡ〜ＴＨ（第１〜第ｎ空気採集袋）に順番に収容しつつ所定時間連続して収容することで、それらテドラーバックＴＡ〜ＴＨ毎に空気に含まれる試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度が平均化され、試験用ガス２５やトレーサーガス３１の濃度の平均値を求めることができる。除去効果測定システム１０Ｂは、試験用ガス２５の濃度の平均値を使用することで、空気における試験用ガス２５の濃度上昇から濃度下降までの時系列的な濃度変化を正確に把握することができ、試験用ガス２５の濃度変化に基づいて、ガス除去エアフィルタ１１の対象ガス除去機能の低下、または、フィルタ１１やその設置器具の構造的な欠陥あるいは化学的な欠陥のいずれかを確実に判断することができる。

１０Ａ 除去効率測定システム
１０Ｂ 除去効率測定システム
１１ ガス除去エアフィルタ（ガス除去装置）
１２ 試験用ガス供給ユニット（試験用ガス供給装置）
１３ トレーサーガス供給ユニット（トレーサーガス供給装置）
１４ 空気第１採集ユニット（空気第１採集装置）
１５ 空気第２採集ユニット（空気第２採集装置）
１６ 光音響ガスモニタ（ガス検出装置）
１７ 光音響ガスモニタ（ガス検出装置）
１８ 流量計
１９ コントローラ
２５ 試験用ガス
３１ トレーサーガス
ＴＡ〜ＴＤ テドラーバック（第１〜第ｎ空気採集袋）
ＴＥ〜ＴＨ テドラーバック（第１〜第ｎ空気採集袋）

Claims (10)

1. 気体中に含まれる各種複数のガス成分のうちの所定の除去対象ガスを除去するガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定システムにおいて、
   前記除去効率測定システムが、前記除去対象ガスと同一の試験用ガスを前記ガス除去装置に供給する試験用ガス供給装置と、前記ガス除去装置に除去されずにそれを通過するトレーサーガスを該ガス除去装置に供給するトレーサーガス供給装置と、気体中に含まれる前記試験用ガスおよび前記トレーサーガスの濃度を所定の時間間隔で間欠的に複数回測定することが可能な光音響ガスモニタと、コントローラとから形成され、
   前記コントローラが、前記試験用ガス供給装置を利用して所定量の試験用ガスを前記ガス除去装置の入口側から供給しつつ、前記トレーサーガス供給装置を利用して所定量のトレーサーガスを前記試験用ガスと同時に前記ガス除去装置の入口側から供給するガス供給手段と、前記ガス除去装置の入口に流入する気体に含まれる前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの濃度を前記光音響ガスモニタを利用して測定するガス濃度第１測定手段と、前記ガス除去装置を通ってその出口から流出した気体に含まれる前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの濃度を前記光音響ガスモニタを利用して測定するガス濃度第２測定手段と、前記光音響ガスモニタによって時系列に測定された複数の測定濃度データに基づいて、前記ガス除去装置の欠陥をガス除去機能の低下であるか、または、前記ガス除去装置やその設置器具の気体漏れであるかを分析する欠陥種類分析手段とを実行し、
   前記欠陥種類分析手段では、前記ガス濃度第２測定手段によって測定された試験用ガスの濃度が短時間に急激に上昇し、その後、試験用ガスの濃度が急激に下降している場合、前記ガス除去装置やその設置器具の気体漏れであると判断し、前記ガス濃度第２測定手段によって測定された試験用ガスの濃度が短時間に急激に上昇し、その後、試験用ガスの濃度が徐々に下降している場合、前記ガス除去装置のガス除去機能の低下であると判断することを特徴とする除去効率測定システム。
2. 前記コントローラが、前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの供給を停止した後、前記ガス除去装置の入口に流入する気体に含まれる前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの濃度を前記光音響ガスモニタを利用して測定するガス濃度第３測定手段と、前記ガス除去装置から飛散してその出口から流出した気体に含まれる前記試験用ガスの濃度を前記光音響ガスモニタを利用して測定するガス濃度第４測定手段とを含む請求項１に記載の除去効率測定システム。
3. 前記除去効率測定システムが、前記ガス除去装置の上流側に流れる気体を採集する気体第１採集装置と、前記ガス除去装置の下流側に流れる気体を採集する気体第２採集装置とを含み、前記気体第１採集装置と前記気体第２採集装置とが、気体を収容する所定容積の複数の第１〜第ｎ気体採集袋を利用し、あらかじめ設定された量の気体をそれら気体採集袋に順番に収容しつつ、それら気体採集袋に気体を所定時間連続して収容し、前記ガス濃度第１測定手段〜ガス濃度第４測定手段では、前記光音響ガスモニタを利用してそれら気体採集袋に収容された気体に含まれる前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの濃度を測定する請求項２に記載の除去効率測定システム。
4. 前記コントローラが、前記ガス濃度第１測定手段によって測定した前記ガス除去装置の上流側の前記試験用ガスの濃度と前記ガス濃度第２測定手段によって測定した該ガス除去装置の下流側の該試験用ガスの濃度とからそのガス除去装置における試験用ガス除去効率を算出する除去効率算出手段を含む請求項１ないし請求項３いずれかに記載の除去効率測定システム。
5. 前記コントローラが、前記ガス除去装置の除去対象ガスに対する使用可能な限界効率に対応させて該ガス除去装置の入口側から供給する前記試験用ガスの気体に対する濃度の倍率を決定する濃度倍率決定手段を含む請求項１ないし請求項４いずれかに記載の除去効率測定システム。
6. 前記除去効率測定システムでは、前記ガス除去装置の入口側から供給する前記試験用ガスの濃度が前記光音響ガスモニタの検出限界濃度と同一またはそれよりもわずかに高く、前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの供給時間が同一である請求項１ないし請求項５いずれかに記載の除去効率測定システム。
7. 前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの前記ガス除去装置の入口側への供給時では、前記ガス除去装置の周囲の気体の風量または風速が不均一である請求項１ないし請求項６いずれかに記載の除去効率測定システム。
8. 前記除去効率測定システムでは、前記除去対象ガスを除去する使用中の状態にある前記ガス除去装置の除去効率を測定する請求項１ないし請求項７いずれかに記載の除去効率測定システム。
9. 前記ガス除去装置が、気体に含まれる前記除去対象ガスを吸着するガス除去エアフィルタである請求項１ないし請求項８いずれかに記載の除去効率測定システム。
10. 前記気体が、空気であり、前記ガス除去エアフィルタが、原子力関連施設または放射性ヨウ素を取り扱う施設に設置され、それら施設の空気に含まれる前記放射性ヨウ素を吸着する放射性ヨウ素除去エアフィルタであり、前記試験用ガスが、試験用ヨウ化メチルガスである請求項９に記載の除去効率測定システム。

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