JP5637474B2 - ビームフィルタ、それを備えたレーザチップ及び外部共振器レーザ - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る外部共振器レーザ1の概略を示す図である。本レーザ1は、光乱散乱体薄膜を用いたビームフィルタ21を備えたレーザチップ2と、レーザチップ2からの光を回折させる回折格子3と、回折格子3からの光を反射するミラー4と、を有する。また本レーザ1には、回折格子3とレーザチップ2との間にコリメートレンズ5と、λ/2板6が配置されている。
レーザチップ2として、銅のマウントにハンダ層を介してサブマウントを固定し、その上に更にはんだを介して固定されたレーザダイオードを用いた。なおレーザダイオードとしては通常での利得中心が1060nmのレーザダイオードを用い、回折格子3としては1200L/mmのもの(Nwe Port社製、型番10RG 1200−1000−2)を用い、ミラーとしては金コートのもの(エドモンド・オプティクス・ジャパン社製、直径25φ、厚さ3mm)を用いた。また、レーザチップ2及び回折格子3に関しては支持具を用いて固定し、ミラー4については、回転中心PPを中心に回転可能に支持し、Littman型の配置とした。また本実施例ではマウントの前端面に、0.6mmのピンホールが形成されたセラミックス(直径1cmの略円形状、厚さ0.5mm)からなる光乱散乱体を配置し、接着部材により貼り付けた。
上記実施例において、ピンホールを形成した光乱散乱体薄膜を備えたビームフィルタを、レーザダイオードの前端面に塗布したペイントに変えた以外はほぼ実施例1と同様の構成として、外部共振器を駆動させた。すると、高出力時において反射ビームによりペイントが焼け、燃焼物がレーザチップの前面に付着し、端面反射の増加と同調特性の劣化を引き起こしてしまった。上記実施例と同様モーターのカウント数に対する中心波長を測定した結果を図8に示す。この結果、寄生発振が発生していることが確認できた。
Claims (2)
- マウントと、前記マウント上に固定されるサブマウントと、前記サブマウント上に形成されるレーザダイオードと、前記マウント及び前記サブマウントの前端面を覆う一方前記レーザダイオードから放出される光を乱散乱させず、反射されて前記マウント及び前記サブマウントに戻る光を乱散乱させる光乱散乱体薄膜と、を有するレーザチップと、
前記レーザチップからの光を回折させる鋸状の歯を複数形成してなる回折格子と、
前記回折格子からの光を反射するよう前記回折格子と所定の角度をもって向き合って配置されるミラーと、を有し、
前記回折格子及び前記ミラーの少なくとも一方の表面は回転中心を通る直線上にあり、かつ、前記回転中心を軸に回転可能であり、前記ミラーと前記回折格子の向き合う角度を調整することによって光路長を変化させることが可能な外部共振器レーザ。 - 前記光乱散乱体薄膜にはピンホールが形成されてなる請求項1記載の外部共振器レーザ。
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