JP5072701B2 - 分析計用波長安定化レーザ装置 - Google Patents
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Description
本実施形態に係る分析計用レーザ装置100は、例えば、サンプルガス中における分析対象物の成分濃度を測定する赤外線ガス分析計に用いられるものであり、図1に模式的に示すような構成を有している。
次に、このような構成の分析計用レーザ装置100の動作を説明する。
このように構成した本実施形態に係る分析計用レーザ装置100によれば、ガス分析において温度変化の影響を受け得る半導体レーザ2、グレーティング3及び光検出手段5を、基板11によって一定温度に維持できるため、温度に対する脆弱性を大きく改善できる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
1・・・ペルチェモジュール
2・・・レーザ光源(半導体レーザ)
3・・・波長選択素子(グレーティング)
5・・・光検出手段
61・・・駆動電流制御手段(電流制御回路)
11・・・基板
Claims (6)
- 分析対象物の吸収波長近傍の光を出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力される光の一部を受光し、その波長成分の中から前記分析対象物の吸収波長と実質的に等しい波長の光を選択して導出する波長選択素子と、
前記波長選択素子から導出された光の強度を検出する光検出手段と、
前記レーザ光源の駆動電流を、当該レーザ光源が前記吸収波長の光を出力するための規定電流値の近傍で増減させ、前記光検出手段による光強度検出値がピークとなるときの電流値に設定する駆動電流制御手段と、
前記レーザ光源、波長選択素子及び光検出手段を搭載した、一定温度に調整可能な単一基板と、
前記波長選択素子が選択して導出する光の波長が分析対象物の吸収波長と合致するように前記単一基板の温度を調整する温度調整部と、
前記温度調整部により前記単一基板の温度が調整された状態において、前記光検出手段による光強度検出値がピークとなるように当該レーザ光源を制御する制御装置とを具備していることを特徴とする分析計用レーザ装置。 - 前記単一基板が、温度調整手段たるペルチェモジュールを利用したものである請求項1記載の分析計用レーザ装置。
- 前記レーザ光源が半導体レーザである請求項1又は2記載の分析計用レーザ装置。
- 前記波長選択素子が、レーザ光源の主たる光射出口とは逆側から漏れ出る漏れ光を受光する位置に配設されている請求項1乃至3いずれか記載の分析計用レーザ装置。
- 前記半導体レーザが中赤外領域の光を射出するものである請求項1乃至4いずれか記載の分析計用レーザ装置。
- 前記半導体レーザと波長選択素子との間の光路上に、波長選択素子から半導体レーザへの戻り光を抑制する戻り光抑制手段を設けている請求項1乃至5いずれか記載の分析計用レーザ装置。
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