JP5628666B2 - 走査後レンズ屈折によるレーザーマイクロマシニングシステム - Google Patents
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Description
上記した図1のトポロジーにおいて、集束ビーム14が、公称90度の角度にあるワーク表面に照射される。このような配置は、図示のような実質的に平坦なワークピースを穿孔する際には適しているが、他のジオメトリを扱う際には柔軟に対応できない。それとは対照的に、本発明の実施形態は、向上したレーザーマイクロマシニングシステムを提供する。この向上したレーザーマイクロマシニングシステムでは、修正されたシステム仰角を可能にする1つ以上の傾斜ミラーが、走査レンズと、ワークピースとの間に設けられる。本発明の実施形態について、図2〜図11を参照しながら説明する。
図5において、パートキャリア22は、矢印Aによって示すy軸に沿って移動するyステージを規定する。ワークピース18は図5には示されていないが、ワークピース18はパートキャリア22と共に移動する。パートキャリア22は、走査レンズアセンブリ44を支持するクロスビーム42に対して移動する。この実施形態において、走査レンズアセンブリ44は、クロスビーム42上にマウントされた可動サポート46に固定的にマウントされる。可動サポート46は、矢印Bによって示されるx軸に沿って移動するxステージを規定する。可動サポート46を移動させるためのマウントおよび方法の詳細については、当該分野において公知であるため、詳細には説明しない。
図7および図8に示す実施形態において、ミラー74中央からオフセットした8つの異なる位置に対応して、ミラー74上に8つのインデクス位置90がある。すなわち、実線の8つの交差部は、ビームステアリングモジュール12がゼロ(戻り止め)位置にある際に、ビーム14が8つのインデクス位置90においてミラー表面に照射される箇所を示す。
この実施形態において、ブラケット102は、ミラー74を支持し、かつ、ミラー74とマウントベース72との間にデブリが蓄積しないようにするための統合底縁部を持たない。その代わりに、平坦なカバーピース120が、ブラケット102の左側から右側(すなわち、対向する傾斜部位102a間)に延びて、ミラー74の底縁部と係合する。この平坦なカバーピース120は、ミラー74が容易に交換することができるように、傾斜部位102aの底表面中のアパチャ(図示せず)内に取り外し可能にネジ固定される。理解可能なように、ハウジング部位102bは、対向する傾斜部位102a間のその底縁部上に開口部を有する。ブラケット76の一体型底縁部76bと同様に、平坦なカバーピース120は好適には、ミラー74の外側対向表面と同一平面上になるかまたはミラー74の外側対向表面よりも若干下側になる。これらの2つの特徴により、ミラー72からのデブリの除去が容易化になる。
動作時において、ミラー74の多様なインデキシング位置90に対するマウントベース72に対するブラケット76の動きについて既述したように、ブラケット102はマウントベース72に対して移動する。スリット112および114は、窓部108および110の全体長さに延びることができるが、好適には、露出した領域を最小化するようにより小さくされる。ブラケット102がマウントベース72の表面72aにわたって移動すると、スリット112および114をビーム14および66と共に整列させる必要がある。この整列は、小さなスリットサイズへの所望と共に、ネジ116および窓部108を取り外し、U字型アパチャ104中のそれをスリット112と異なる方向および/または位置でスリットを有する窓部と交換し、ネジ118およびその固定された平坦な固定部位を緩めるかまたは取り外して、U字型アパチャ106内の窓部110を取り外し、U字型アパチャ104内の新規窓部に対応するスリットを有する窓部と交換することにより、達成可能である。図11の図示された例において、スリット112および114は、窓部108および110の長さのおよそ半分だけ延び、4組のインデキシング穴82により、ブラケット102の4つの位置が得られる。これら4つの位置は、ミラー72の回転と共に、ブラケット70について既述したような8つのインデキシング位置90を規定する。図示のように、ブラケットは、第1の左端の1組のインデキシング穴82内にある。ブラケット102が第2の組のインデキシング穴82へとする際、窓部108および110は図示の構成内に留まる。ブラケット102が第3および第4の組のインデキシング穴82へと移動すると、窓部108および110は取り外され、180度回転され、これにより、未露出表面は外側に露出し、スリット112および114が左側にあり各U字型アパチャ104および106内に再度挿入される。その後、窓部108は、ネジ116および窪み部117を用いてハウジング部位102bに固定される。その後、窓部110は、平坦な固定部位を用いて傾斜部位102a内に係合されたネジ118によってハウジング部位102bに固定される。
開示された発明は、特定のワークピースジオメトリに関する要求に対応するためにシステム仰角を修正する必要が有るようなシナリオに対応できるレーザーマイクロマシニングシステムの能力を大幅に向上させ、処理時においてミラーの一部のみを用いて汚染を低減させることにより、ミラー寿命を延ばすことができる。例えば、さらなる包囲されたブラケット102によって得られる恩恵が無くても、約500個の部分をインデクス可能なミラー74の各インデキシング位置90において動作させることができる。このようなシステムは、少しの追加コストおよび/または時間で、多様なシナリオに対応できるように迅速に再構成することができ、あるいは、部分処理時においてその仰角を修正するかまたはそのミラーを「オンザフライ」でインデクスすることができ、これにより、このようなシステムの容易な利用がさらに向上される。
Claims (12)
- レーザーパルスを走査レンズを通じてワーク表面上にマウントされたワークピースへと方向付けるように配置されたレーザーソースを含むレーザーマイクロマシニングシステムにおいて、前記システムは、
前記レーザーパルスの光路上において、前記走査レンズと前記ワークピースとの間に配置されたミラーであって、前記ミラーは、前記レーザーパルスを前記ワークピースへと反射させるように前記ワーク表面に対して傾斜され、前記ワーク表面に対して垂直に入射した前記レーザーパルスが前記ミラーに当たり、かつ前記レーザーパルスが前記ワーク表面に対して修正された角度で前記ワークピースに対して反射するような、ミラーと、
第1の部位および第2の部位を含むマウントであって、前記第1の部位は、前記ワーク表面に対して傾斜した対向表面を有し、前記第2の部位は、前記ミラーの少なくとも3つの側部を包囲するアパチャを含み、前記ミラーは、前記第1の部位の前記対向表面と前記第2の部位との間に配置される、マウントと、
によって特徴付けられる、レーザーマイクロマシニングシステム。 - 前記ミラーは、前記ワーク表面を規定するパートキャリアと、前記レーザーソースおよび前記走査レンズを支持する走査レンズアセンブリとのうちの1つにマウントされる、請求項1に記載のレーザーマイクロマシニングシステム。
- 前記ミラーは45度の角度で傾斜される、請求項1または2に記載のレーザーマイクロマシニングシステム。
- 前記ミラーは、前記ミラーによって提供される角度付き経路に加えて前記ワーク表面への垂直経路を走査レンズ出力ビームに提供するように、前記走査レンズにマウントされる、
請求項1又は2に記載のレーザーマイクロマシニングシステム。 - 前記ワーク表面を規定するパートキャリアにマウントされた第2のミラーであって、前記第2のミラーは、前記垂直経路からの前記走査レンズ出力ビームを受け入れるようにマウントされ、前記第2のミラーは、前記ワーク表面に対して角度を以てマウントされる、第2のミラー、
によって特徴付けられる、請求項4に記載のレーザーマイクロマシニングシステム。 - 前記ミラーは、前記第1の部位の対向表面に対向する第1の表面と、前記アパチャの外側に対向する第2の表面とを含み、前記第2の部位は、前記アパチャを含む傾斜部位と、前記アパチャの少なくとも一部を包囲するハウジング部位とを含み、前記ハウジング部位は、前記レーザーソースからの前記レーザーパルスを前記第2の表面において受け入れるように構成された第1のスリットと、前記ミラーの前記第2の表面によって屈折された前記レーザーパルスが前記ハウジング部位から前記ワークピースの方向に出ていくことを可能にするように構成された第2のスリットとを含む、
請求項1に記載のレーザーマイクロマシニングシステム。 - 前記ハウジング部位は、前記第2の部位の下端部において開口部を含み、前記開口部は、デブリが前記ミラーの前記第2の表面から前記ハウジング部位の外部へ移動することを可能にするように構成される、
請求項6に記載のレーザーマイクロマシニングシステム。 - 前記走査レンズに対向する前記ハウジング部位の側部にある第1のU字型開口部と、
前記ワークピースの方向に対向する前記ハウジング部位の側部にある第2のU字型開口部と、
前記第1のU字型開口部とスライド可能に係合する第1の取り外し可能なピースであって、前記第1のスリットを含む第1の取り外し可能なピースと、
前記第2のU字型開口部とスライド可能に係合する第2の取り外し可能なピースであって、前記第2のスリットを含む第2の取り外し可能なピースと、
によって特徴付けられる、請求項6又は7に記載のレーザーマイクロマシニングシステム。 - 前記第1の部位の前記対向表面内の複数のインデキシング穴と、
前記第2の部位を貫通する少なくとも1つのインデキシングネジであって、前記第1の部位の各インデキシング穴と係合するインデキシングネジと、
によって特徴付けられ、
前記第2の部位は、前記少なくとも1つのインデキシングネジが内部で係合している前記各インデキシング穴に対応する複数のインデキシング位置へと前記ミラーを移動させるように前記第1の部位と係合し、前記インデキシング位置はそれぞれ、前記レーザーパルスの接触領域を示す、
によって特徴付けられる、請求項1又は6に記載のレーザーマイクロマシニングシステム。 - 前記ミラーは、前記第1の部位の前記対向表面に対向する第1の表面と、前記アパチャの外側に対向する第2の表面とを含み、
前記第2の部位中に挿入された空気入口と、
前記ミラーの前記第2の部位と前記第2の表面との間で前記ミラーの上部位にある少なくとも1つの空気スロットであって、前記空気入口は、前記少なくとも1つの空気スロットに空気を提供するように前記少なくとも1つの空気スロットに接続される、空気スロットと、
によって特徴付けられる、請求項1又は6に記載のレーザーマイクロマシニングシステム。 - 前記第2の部位中に挿入された第1の空気入口と、
前記第2の部位と前記ミラーの前記第2の表面との間において前記ミラーの上部位に設けられた少なくとも1つの空気スロットであって、前記第1の空気入口は、前記少なくとも1つの空気スロットに空気を提供するように前記少なくとも1つの空気スロットに接続される、第1の空気入口と、
前記第2の部位の前記ハウジング部位中に挿入された第2の空気入口であって、前記ハウジング部位に空気を提供するように構成される第2の空気入口と、
によって特徴付けられる、請求項6又は7に記載のレーザーマイクロマシニングシステム。 - 前記第1の部位は、前記ワークピースに対して固定的にマウントされるかまたは移動可能にマウントされ、前記第2の部位は、前記第1の部位に対して移動可能である、請求項1又は6に記載のレーザーマイクロマシニングシステム。
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