CN100525984C

CN100525984C - 加工装置

Info

Publication number: CN100525984C
Application number: CNB031023282A
Authority: CN
Inventors: 八十田寿; 福岛正人
Original assignee: UHT Corp
Current assignee: UHT Corp
Priority date: 2002-01-30
Filing date: 2003-01-30
Publication date: 2009-08-12
Anticipated expiration: 2023-01-30
Also published as: ITMI20030135A1; CN1435292A; KR20030065354A; US20030160029A1; JP2003225786A; DE10303087A1; US6818858B2; KR100600509B1

Abstract

提供容易向加工装置本体装拆更换、维护性能优良并可有效进行穿孔作业的激光加工部件和具有该激光加工部件的加工装置。由夹着工件插入空间(S)相对置的部件一方半部(11)与部件另一半部(12)、和将该部件一方半部(11)与部件另一半部(12)连接起来的连接部(13)一体构成可装拆于输入工件(W)的加工装置本体的框体(10)；在部件一方半部(11)内设置，将从激光射出口(25)射出的激光导入部件另一半部(12)中的加工区域(E)内、并将导入的激光进行聚光的光学装置(20)，同时在前述加工区域(E)内设置透过激光的受光板(12c)。

Description

加工装置

技术领域

本发明涉及由激光对薄板状工件进行穿孔的激光加工部件和具有该激光加工部件的加工装置。

背景技术

现有的激光加工装置一般是一体具有载置工件的XY移动台、向该XY移动台上导入激光进行聚焦的反射镜与聚光透镜、产生并射出激光的激光振动器、对前述XY台的移动与激光振动进行控制的控制盘等。

但是，在上述现有的激光加工装置中，由于是一体具有XY移动台与控制盘等的大型而大重量的构造，在维护性上有问题。

例如，在上述激光加工装置中，由于是大型而大重量的构造，为维护进行移动、或出现故障时暂时更换上替换机，都是很困难的。

另外，在变更将激光引导向工件的光学系统形式的情况下，比如由多束激光在同一工件上加工多个穿孔的激光加工装置中，在需要增减其可同时穿孔数量的情况下，变更前述光学系统的设计必须是全部更换。

再有，在同一工件上加工较大直径孔和微小直径孔两种孔的情况下，在加工较大直径孔时，由于须沿该孔的轮廓移动激光的焦点，有着加工时间变长的问题。

发明内容

本发明即是鉴于上述现有事实，其课题即在于提供容易向加工装置本体装拆更换且维护性能优良、可有效进行穿孔作业的激光加工部件和具有该激光加工部件的加工装置。

用于解决上述课题的本发明的技术方案是一种加工装置，其特征在于，将激光加工部件和冲孔部件可装拆地安装在机台上，并具有移送工件的移动机构，上述激光加工部件是通过激光对插入在工件插入空间的工件进行穿孔的穿孔部件，在具备工件插入空间的侧视为コ字形的框体内，具有将从激光射出口射出激光导入加工区域内、并将该导入的激光聚光或者/以及成像的光学装置和配置在上述加工区域、透过或者吸收上述激光的受光板，上述冲孔部件是通过冲头和冲模对插入在工件插入空间的工件进行穿孔的穿孔部件，在具备工件插入空间的侧视为コ字形的框体内，具有冲头和冲模，加工装置的构成为，通过上述移动机构，能够有选择地将工件插入上述激光加工部件或者冲孔部件的插入空间内，对该工件进行穿孔。

第二项发明的特征在于，在上述激光加工部件内，配设产生激光的激光振动器。

第三项发明的特征在于，具有多个上述激光加工部件，并且通过多个光缆将从单数或者复数的激光振动器射出的激光分开到上述各激光加工部件。

第四项发明的特征在于，上述激光加工部件的框体由夹着工件插入空间地相对置的部件一方半部与另一半部以及将这些部件一方半部与部件另一半部连接成一体的连接部构成，在上述部件一方半部内设置将从激光射出口射出的激光导入上述部件另一半部上的加工区内、并对该导入的激光聚光或者/以及成像的光学装置；在上述加工区内设置透过或吸放激光的受光板。

第五项发明的特征在于，上述激光加工部件的光学装置构成为：使从激光射出口射出的激光通过矫正为平行光的矫正透镜之后，使其分别反射到支承于Y轴转动装置的转动轴上的Y轴扫描镜和支承于X轴转动装置的转动轴上的X轴扫描镜上，将其反射的激光导入上述部件另一半部上的加工区域内，由聚光透镜聚光；通过上述X轴转动装置和Y轴转动装置可分别改变X轴扫描镜与Y轴扫描镜的反射角。

第六项发明的特征在于，上述激光加工部件的光学装置在激光光路中具有分光装置，将分光后的各激光导入加工区域内，并对该导入的激光进行聚光。

第七项发明的特征在于，在壳筒内构成上述激光加工部件的光学装置，并将该壳筒可装拆地配设于上述框体的部件一方半部。

这里，作为本发明的加工对象的工件，包括全部构成半导体装置中的挠性基板等的带或陶瓷投影片等由激光可加工的材料。

另外，所谓上述的加工包括切断加工、穿孔加工、在工件表面形成槽的划线加工、在工件表面加工出深度仅数微米的有底孔构成的标记的标记加工等可由激光加工的全部。

另外，上述成像，则是指在激光光路中设置具有规定形状贯穿孔的遮光板，使激光通过前述遮光板的贯穿孔，在工件上照射出该贯穿孔的形状。

上述光学装置，具体而言，乃是具有用于将激光聚光于工件上的聚光透镜、和在工件上照射出贯穿孔的形状的前述遮光板中的一方或两方。

而且，上述框体最好是容易进行为了进行维护的装拆、更换、移动；由机台与工件移动机构、控制回路等构成，且相对于输入工件的加工装置本体是可装拆的。

根据上述技术方案，从激光射出口发出的激光，通过光学装置导向加工区内并聚光，透过或吸收于加工区内的受光板。从而，如将工件插入框体的部件一方半部与部件另一半部间的工件插入空间，该工件即通过激光照射、进行穿孔。

附图说明

图1是表示本发明的激光加工部件之一例的剖面图。

图2是表示图1的激光加工部件的光学装置之一例的立体图。

图3是表示具有图1的激光加工部件的加工装置的立体图。

图4是表示本发明的激光加工部件另一例子的剖面图。

图5是表示光学装置其它示例的立体图。

图6是表示光学装置其它示例的立体图。

图7是表示本发明的激光加工部件又一例的剖面图。

图8A-图8C是表示对工件穿设组合孔顺序之一例的平面图。

图9A-图9C是表示对工件穿设格网孔顺序之一例的平面图。

图10A是表示将从单个激光振动器射出的激光分光到多个激光加工部件的概略平面图。

图10B是表示将从多个激光振动器射出的激光分别分光到多个激光加工部件之一例的概略平面图。

具体实施方式

下边根据附图说明本发明实施例。

图1与图2表示本发明的激光加工部件之一例。

该激光加工部件A是进行穿孔加工的部件，它具有可向输入工件W的加工装置本体1装拆的框体10和安装于该框体10内的光学装置20，通过由光学装置20导向聚光的激光对工件W进行穿孔。

框体10由夹着工件插入空间S配置的部件一方半部11与部件另一半部12和连接起该部件一方半部11与部件另一半部12的连接部13形成一体的コ字形。

部件一方半部11具有空间部，该空间部侧面看成倒L字形，它由从其上部前侧开始的弯曲空间部11a与其前端侧下部的聚光空间部11b连通构成。在弯曲空间部11a内将从后方导向前方朝向下方的激光，在圆筒状聚光空间部11b内聚光。

另外，在该弯曲空间部11a上方侧开口部，为方便从上方侧维护光学装置20，可装拆地安装着盖构件11c。

在部件一方半部11上端的盖构件11c上，可根据需要可装拆地安装CCD摄像机14，而且在矫正透镜23与Y轴扫描镜24b之间的激光光路中，配设将从Y轴扫描镜24b侧入射的摄像光向CCD摄像机14反射同时使激光透过的反射镜14a；由该CCD摄像机14对工件W基准标记摄像，同时进行图像处理，由后述的加工装置本体1的移动机构1b将工件W向XY方向控制移动并进行位置修正。

在弯曲空间部11a内的后端，根据需要可装拆地配设导向光射出部17，这时，上述反射镜22由可透过由光射出部17射出的光的透镜或棱镜构成。

光射出部17具体来说使用激光二极管构成。在工件上照射斑点状的光，从而可目视确认工件W上的加工位置；对其射出光的颜色没有什么特别限定，从可视性观点出发，最好是红色的。

另外，上述CCD摄像机14与光射出部17的配置，不限于上述这样，从可使入射到CCD摄像机14的摄像光或从光射出部17来的射出光与激光同轴、或可对应由于X轴扫描镜25b及Y轴扫描镜24b带来的激光照射位置的变化等来看，或采取上述配置，或者最好是将图示的CCD摄像机14与光射出部17的位置反转过来配置。

在工件插入空间S，根据需要可设置辅助气体喷射口15、吸引口16。

辅助气体喷射口15的作用是：通过喷射氮气或氩气等来防止激光加工的工件W的氧化，同时吹去加工渣体与异物等而将其导向吸引口16。

吸引口16，是真空吸引装置(未图示)的吸引部，用来吸引由激光加工产生的废气、渣体、异物等。

而且，前述辅助气体喷射口15与吸引口16可以可装拆地支承于框体10，也可以支承于框体10的外部。

部件另一半部12，在圆筒状聚光空间部11b中同轴状地设有激光透过空间部12a，在下端面，具有可将该激光加工部件A可装拆地装于加工装置本体1的断面成倒凸字形的槽部12b。

前述激光透过空间部12a，向下方透过从部件一方半部11侧向下方射出情况下的激光。

而且，由该激光加工部件A进行的穿孔加工，可以是在工件W形成贯穿孔，也可以在工件W形成有底孔。

在工件W上形成贯穿孔的情况下，使激光贯穿工件W，使其透过前述激光透过空间部12a。

而在工件W上形成通路孔(ビアホ—ル)等有底孔的情况下，断续地射出激光，通过控制其射出次数，来决定前述有底孔的深度尺寸。

在激光透过空间部12a的上端开口面，安装着可透过激光的受光板12c，该受光板12c上成为加工区域E。

前述受光板12c是网板状金属性构件，以使激光透过网眼。该受光板12c安装成相对于部件另一半部12可装拆形式，以便在由于激光照射而老化时进行更换。

而且，该受光板12c，只要是由可透过激光的材质构成，不是前述那样网板状也可以，比如也可以是可透过激光的有色玻璃板等。在这种构成的情况下，在前述玻璃板下方，最好设激光检测部18。该激光检测部18是众所周知的用来检测激光强度的传感器，根据反馈控制，可适当地调整由激光振动器(未图示)所产生的激光的强度。

另外，在上述构成中，示出了使激光透过受光板12c的一例，但也可以由黑色板状构件等吸收激光的材料来形成。

光学装置20构成为：将从贯穿部件一方半部11内的激光射出口25向下射出的激光，通过反射镜22向前方反射，通过矫正透镜23之后，依次反射到支承于Y轴转动装置24a的转动轴的Y轴扫描镜24b与支承于X轴转动装置25a的转动轴的X轴扫描镜25b上，将其反射的激光导入部件另一半部12上的加工区域E，同时由聚光透镜21聚光。

激光射出口25，其前端侧，在弯曲空间部11a内向下可装拆地贯穿安装于部件一方半部11的盖构件11c上，由连接于其后端部的光缆26传输的激光从前端部射出。

尚且，在本实施例中，在加工装置本体1装备有作为激光振动源的激光振动器(未图示)，通过光缆26将从该激光振动器射出的激光引导并从激光射出口25射出，但也可以构成为直接将激光振动器连接于激光射出口25的后端。

上述激光振动器，可以是YAG激光振动器、或CO2激光振动器等众所周知的构造的激光振动器，但在通过光缆26导向激光射出口25的情况下，最好是使用可以产生能通过光缆26的波长400-3000纳米的激光的激光振动器，比如使用YAG激光发振器；但也可以通过将前述光缆26变成CO2激光用光缆而使用CO2激光振动器。

另外，上述激光振动器，可由单个或多个构成。如图10A所示，将从激光振动器90射出的激光通过由棱镜等构成的分光装置(未图示)分光，将其分光后的多束激光分别通过光缆26分到多个激光加工部件A。

另外，如图10B所示，对于多个激光振动器90的各个振动器，可将由各激光振动器90射出的激光通过由棱镜等构成的分光装置(未图示)分光，将分开的多束激光，通过各自的光缆26分到多个激光加工部件A。

在这种构成情况下，可将多个激光振动器90做成激光输出量不同的振动器，对于进行直径比较小的穿孔加工的激光加工部件A，使用小容量的激光振动器90，而对进行直径比较大的穿孔加工的激光加工部件A，使用大容量的激光振动器90，这样可以构成能量损失小的激光加工装置。

在图10A与图10B所示例的构成中，如在各光缆26的中途设遮断激光的遮断装置(未图示)，可根据需要对多个激光加工部件A的加工进行有选择的遮断。

反射镜22是以大致45°倾斜角支承于弯曲空间部11a内、向前方反射从激光射出口25前端部向下射出的激光的镜子；只要能起到同样作用，当然也可以使用棱镜。

矫正透镜23是通过单个透镜或多个透镜的组合将激光矫正成平行光的镜子；最好是使用将激光光束直径扩大后调成平行光、可得到扩展角很小的平行状激光的光束扩张透镜。

Y轴转动装置24a，是构成为可改变转动轴的转动角的电流计或伺服马达等，Y轴扫描镜24b是固定于前述转动轴上的镜子。这些Y轴转动装置24a与Y轴扫描镜24b，为了将激光通过Y轴扫描镜24b反射而导向X轴扫描镜25b配置成轴垂直状，并成贯穿状安装于框体10的部件一方半部11。

Y轴转动装置24a，电气连接于加工装置本体1的控制回路(未图示)，通过控制其转动轴的转动角，可改变Y轴扫描镜24b的反射角。

X轴转动装置25a及X轴扫描镜25b，与上述Y轴转动装置24a和Y轴扫描镜24b同样构成，配置成：应将通过Y轴扫描镜24b所反射的激光再由X轴扫描镜向下方反射的成轴水平状，并贯穿状安装于框10的部件一方半部11前端面。

X轴扫描镜25b也和Y轴转动装置24a一样，电气连接于加工装置本体1的控制回路(未图示)，通过控制其转动轴的转动角，可改变X轴扫描镜25b的反射角。

聚光透镜21是将由上述X轴扫描镜25b扫描的激光大致成直角入射于加工区域E、同时向工件W聚光的所谓fθ透镜，由众所周知的固定装置(未图示)固定于聚光空间部11b内。该聚光透镜21，图示例中由1块透镜构成，但也可以根据需要由多块透镜构成。

如依据上述构成之激光加工部件A，Y轴转动装置24a由控制转动角可改变Y轴扫描镜24b的反射角，其结果，可改变在加工区域E上的扫描激光Y方向的位置(参照图2)。

同样，X轴转动装置25a借控制转动角可改变X轴扫描镜25b的反射角，其结果，可改变在加工区域E上扫描的激光的X方向的位置(参照图2)。

另外，该激光加工部件A，是通过对Y轴转动装置24a与X轴转动装置25a的动作控制、可在规定区域内的任意位置进行穿孔的装置，故适于图8A-图8C所例示的组合孔的穿孔。这种组合孔是在工件W上设置多个规定区域x，依次在各区域形成多个孔h。

对由激光穿孔部件A对该组合孔进行穿孔的顺序之一例详细说明如下：首先如图8A所示，在工件W上的一个规定区域x内，由上述激光加工部件A形成多个孔h。这时，前述规定区X内的各孔h，在以预先设于工件W上的基准标识m为基准的各坐标位置上依次穿孔。这时的各坐标位置，由激光加工部件A的Y轴转动装置24a及X轴转动装置25a控制动作来确定。

而后，在向一个规定区域x内的穿孔结束之后，将工件移动规定间距，如图8B所示，另一规定区域x内的多个穿孔与前述一样地进行，最后，如图8C所示，针对多个规定区域x的各个区域进行了多个穿孔加工。

下边对可装拆地安装着上述构成的激光加工部件A的加工装置本体1进行说明。

加工装置本体1，以机台1a上面为基准面，在机台1a的前端侧，在比机台1a上面低一个台阶的部件安装面1c上，可装拆地安装着上述激光加工部件A与冲孔部件B，在其后方装设夹着吸附工件保持架1b1、并可控制沿X·Y向移动的移动机构1b。该加工本体1，由吸附工件保持架1b1吸附从机台1a内向上方送出(未图示)的工件W，由前述移动机构1b移送，有选择地插入激光加工部件A或冲孔部件B的工件插入空间S、S’中。

前述移动机构1b，这里虽不进行详述，但其在X轴线方向、Y轴线方向共同以圆头螺钉方式在可控制运动的移动体1b2的前面侧具有2对上下一对的夹子1b3、1b3，可以通过该2对夹子1b3、1b3夹持着吸附工件保持架1b1。

吸附工件保持架1b1，其内部成中空状，其背面(下面)开设多个吸气孔，通过安装于与移动机构1b间的吸排气管1b4吸排其内部的空气来吸附·脱开工件。

在机台1a上，形成激光部件安装凹部1a1与冲孔部件安装凹部1a2，这些激光部件安装凹部1a1与冲孔部件安装凹部1a2的底面，与部件安装面1c的上面平齐。

在激光部件安装凹部1a1与冲孔部件安装凹部1a2的各底面上固定多个部件导轨1a3。

各部件导轨1a3，形成为与激光加工部件A底面侧的槽部12b相嵌合的T字形断面。而且，在冲孔部件B的底面侧也形成与激光加工部件A的槽部12b一样的槽部12b’，该槽部12b’嵌合于部件导轨1a3。

激光加工部件A与冲孔部件B，分别通过使槽部12b、12b’向Y向滑动、从其前端侧嵌合于部件导轨1a3，来安装于加工装置本体1。在其安装状态，激光加工部件A的加工区域E上面和冲孔部件B的模d上面，与机台1a的上面平齐。

冲孔部件B是上半部装冲头p、下半部装与其相对的模d的侧面看大致成コ字形的众所周知的构造的穿孔部件，在其底面侧，形成用于装拆于加工装置本体1的部件导轨1a3的槽部12b’。

如根据上述构成的加工装置本体1，由于激光加工部件A与冲孔部件B对加工装置本体1构成可装拆形式，故其安装数量的变更、各部件的维修、更换等都很容易进行。

另外，由于并设了激光加工部件A与冲孔部件B，可通过移动机构1b的控制，有选择地将工件W插入激光加工部件A的工件插入空间S或冲孔部件B的工件插入空间S’。从而，比如对由激光加工部件A对微小直径孔的穿孔，或以冲孔部件B对花费穿孔时间的直径较大的孔的穿孔等，可根据需要选择激光加工部件A与冲孔部件B。

另外，根据上述实施例，分别单设了激光部件安装凹部1a1与冲孔部件安装凹部1a2，但也可以是在单一的安装凹部上混合并设激光加工部件A与冲孔部件B。

下边来说明图4示出的激光加工部件的另一例。

该激光加工部件C，是内藏作为激光振动源的激光振动器30之构成的部件，对与激光加工部件A相同构成部位，赋予相同符号而省略其重复说明。

激光加工部件C具有输入工件W并可向加工装置本体1装拆的框体10’和安装于该框体10’内的光学装置20’及激光振动器30；通过光学装置20’将激光振动器射出的激光导入聚光于加工区域E，对工件W穿孔加工。

框体10’是在上述框体10的构成上，加上激光振动器安装空间部13a的构成。

激光振动器安装空间部13a是在连接部件一方半部11与部件另一半部12的连接部13内形成的空间，该空间的上端侧连通弯曲空间部11a的后端侧。

激光振动器安装空间部13a内的激光振动器30，可以用YAG激光振动器、或CO2激光振动器等众所周知构造的激光振动器，配置成可从一体设于其上端部的激光射出口31向上方射出激光。

光学装置20’是，将从激光振动器30的激光射出口31射出的激光依次由多个反射镜22a、22b、22c反射导向矫正透镜23的中央；而后将通过矫正透镜23的激光依次反射到支承于Y轴转动装置24a的转动轴上的Y轴扫描镜24b和支承于X轴转动装置25a的转动轴的X轴扫描镜25b，再将其反射的激光导向部件另半部12上的加工区域E内，同时由聚光透镜21聚光。

前述多个反射镜22a、22b、22c，只要是能将从激光振动器30的激光射出口31射出的激光导向矫正透镜23的中央，也可以是由单个的反射镜构成，也可以是由单个或多个棱镜构成。

如根据上述激光加工部件C，由于构成为内藏激光振动器30、且对加工装置本体1是可拆装的，故将其从加工装置本体1取下，可以很容易地对光学装置20’和激光振动器两者进行维修。

下边来说明图5所示激光加工部件再一实施例。

该激光加工部件D，由于是将上述激光加工部件A的光学装置20置换成光学装置20”，对光学装置20”以外的部位给予相同符号而省略重复说明。

光学装置20”，在激光光路中具有第一分光镜27a、第二分光镜27b、和第三分光镜27c的分光装置。

该光学装置20”，将从贯穿部件一方半部11内的激光射出口25向下射出的激光，由第一反射镜22a向前方反射后，由第一分光镜27a分为向前的第一光路x1和垂直于该第一光路x1方向的第二光路x2。

而且，该光学装置20”，将前述第一光路x1的激光，由第二分光镜27b向前方与下方分光，其分光后向前的激光再由第二反射镜22b向下反射。

在该光学装置20”中，由第三反射镜22c将前述第二光路x2的激光向前方反射，其向前的激光再由第三分光镜27c分为向前方与下方，其分光后向前方的激光再由第四反射镜22d向下方反射。

上述这样，分为向下的4个光路的各激光，由设于向下光路上的聚光透镜21’聚光于加工区域E内。

上述第一至第四反射镜22a、22b、22c、22d与第一至第三分光镜27a、27b、27c，可分别使用众所周知构造的镜子或棱镜。

如根据上述激光加工部件D，与上述激光加工部件A和激光加工部件C一样，由于对加工装置本体1是可装拆的，维修性能优良，同时可由分开的多束激光同时进行多个穿孔。

另外，这种激光加工部件D，由于可同时进行多个穿孔，故适用于图9A-图9C所例示的网格孔加工。这种网格孔这样形成；在工件W上设定多个规定区域x，对这些多个规定区域x，同时在各个区域对同一坐标位置进行穿孔，反复多次进行这种同时穿孔。

若对由上述激光加工部件D进行这种网格孔穿孔的顺序之一例详细说明，首先如图9A所例示，在四个规定区域x内各个区域，由激光穿孔部件D同时对各区域内同一坐标位置进行穿孔。这时，被穿孔的一个孔h的坐标位置，是以设于规定区域x之一的基准标识m为基准来确定的。这时同时穿孔的其他孔h的坐标位置，由激光穿孔部件D的分光装置来固定。

其次，将工件W在规定的XY方向控制移动，如图9B所例示，第二个孔的孔眼，由激光穿孔部件D，在4个规定区域x内的同一坐标上同时进行穿孔。

而后，如沿XY向移动前述工件W，通过反复进行激光穿孔部件D的同时穿孔，即可形成图9C所例示的网孔。

下边来说明图6所示激光加工部件另一例。

该激光加工部件E，由于是在上述激光加工部件A的光学装置20上加装遮光板的构造，故对除遮光板40以外的部位给予相同符号，而省略重复说明。

遮光板40是将不透过激光的众所周知的材料加工成板状，在其大致中央部穿设规定形状的贯穿孔41的构成，配置于矫正透镜23与Y轴扫描镜24b间的激光光路中，可装拆地固定。

从而，从激光射出口25向下射出、由反射镜22向前方反射并通过矫正透镜23的激光，其一部分由遮光板40的贯穿孔41外周部位遮着，而另外一部分通过贯穿孔41内。

而后，通过贯穿孔41内的激光，依次反射到支承于Y轴转动装置24a的转动轴的Y轴扫描镜24b与支承于X轴转动装置25a的转动轴的X轴扫描镜25b，导向加工区域E方向，通过聚光透镜21在聚光透镜21与加工区域E之间的中途位置上聚光再扩散后，以贯穿孔41的形状照射加工区域E内。

如根据上述激光加工部件E，由于可在短时间内穿孔成遮光板40的贯穿孔41的形状，通过将遮光板40更换成贯穿孔形状不同的遮光板，可以很容易地改变穿孔形状。

下边来说明图7示出的激光加工部件又一实施例。

该激光加工部件F，由于是在上述激光加工部件A上加装壳筒80构成，故对壳筒80以外的部位给予相同符号而省略重复说明。

该壳筒80是具有弯曲空间部11a与聚光空间部11b的中空体，形成为相对于框体10的部件一方半部11可装拆，在其内部空间(弯曲空间部11a与聚光空间部11b)，具有上述构成的光学装置20。

如根据该激光加工部件F，由于光学装置对于框体连同壳筒是可装拆的，可根据需要变更光学装置的形式，可以很容易地进行对光学装置的修理等、以及光学装置的装拆更换。

上述D、E、F各激光加工部件，分别例示了不内藏激光振动器的构造，但也可以是与上述激光加工部件C同样具有激光振动器30。

本发明，由于是上述说明的构成，故可以产生以下记述的效果。

如根据本发明，由于是具备光学装置等的一体部件构造，向加工装置本体装拆更换容易，维护性能优良。例如，在将该激光加工部件从加工装置本体取下状态下，可进行光学装置的维护或调整等作业，或对该激光加工部件换上新部件或不同形式产品，都非常容易。

而且，如在加工装置本体上并设多个该激光加工部件的话，可在同一工件上同时加工出多个穿孔的基础上，由增减该激光加工部件可很容易地改变其同时穿孔数量。

如根据本发明，由于将激光振动器与该激光加工部件同一体处理，故可更进一步提高其维护性能。

如根据本发明，由于可分别改变X轴扫描镜与Y轴扫描镜的反射角，故可很容易地改变穿孔位置与孔的形状等。

如根据本发明，由于可由分别改变X轴扫描镜与Y轴扫描镜的反射角来改变穿孔位置，故可对由多个孔构成的组合孔有效穿孔。

如根据本发明，由于是由分光装置分光后的激光分别导入并聚光于加工区域的构造，可在短时间内同时穿孔出多个孔。

如根据本发明，通过有效利用分光装置特性，可有效进行网格孔的穿孔。

如根据本发明，由于上述激光加工部件是扁平矩形体，可在加工装置本体侧限定的设置区域内，并设更多的这种部件。

如根据本发明，由于具有光学装置的壳筒相对于框体是可装拆的，比如根据需要可连同内筒更换光学装置，更进一步提高维护性能。

如根据本发明，可提供容易进行激光加工部件安装更换等、维护的激光加工装置。

如根据本发明，可根据需要有选择地使用激光加工部件与冲孔部件有效进行穿孔作业。比如，由激光加工部件进行微小直径孔的穿孔，而以冲孔部件对需花费较多穿孔时间直径较大的孔进行穿孔，可选择有效的穿孔作业模式。

如根据本发明，由于将从激光振动器射出的激光由光缆分光后使用，可构成具有最小必要数量、低成本的结构。

Claims

1.一种加工装置，其特征在于，

将激光加工部件和冲孔部件可装拆地安装在机台上，并具有移送工件的移动机构，

上述激光加工部件是通过激光对插入在工件插入空间的工件进行穿孔的穿孔部件，在具备工件插入空间的侧视为コ字形的框体内，具有将从激光射出口射出的激光导入加工区域内、并将该导入的激光聚光或者/以及成像的光学装置和配置在上述加工区域、透过或者吸收上述激光的受光板，

上述冲孔部件是通过冲头和冲模对插入在工件插入空间的工件进行穿孔的穿孔部件，在具备工件插入空间的侧视为コ字形的框体内，具有冲头和冲模，

所述加工装置的构成为，通过上述移动机构，能够有选择地将工件插入上述激光加工部件或者冲孔部件的插入空间内，对该工件进行穿孔。

2.如权利要求1所述的加工装置，其特征在于，在上述激光加工部件内，配设产生激光的激光振动器。

3.如权利要求1所述的加工装置，其特征在于，具有多个上述激光加工部件，并且通过多个光缆将从单数或者复数的激光振动器射出的激光分开到上述各激光加工部件。

4.如权利要求1所述的加工装置，其特征在于，上述激光加工部件的框体由夹着工件插入空间地相对置的部件一方半部与另一半部以及将这些部件一方半部与部件另一半部连接成一体的连接部构成，在上述部件一方半部内设置将从激光射出口射出的激光导入上述部件另一半部上的加工区内、并对该导入的激光聚光或者/以及成像的光学装置；在上述加工区内设置透过或吸放激光的受光板.

5.如权利要求4所述的加工装置，其特征在于，上述激光加工部件的光学装置构成为：使从激光射出口射出的激光通过矫正为平行光的矫正透镜之后，使其分别反射到支承于Y轴转动装置的转动轴上的Y轴扫描镜和支承于X轴转动装置的转动轴上的X轴扫描镜上，将其反射的激光导入上述部件另一半部上的加工区域内，由聚光透镜聚光；通过上述X轴转动装置和Y轴转动装置可分别改变X轴扫描镜与Y轴扫描镜的反射角。

6.如权利要求4所述的加工装置，其特征在于，上述激光加工部件的光学装置在激光光路中具有分光装置，将分光后的各激光导入加工区域内，并对该导入的激光进行聚光。

7.如权利要求4所述的加工装置，其特征在于，在壳筒内构成上述激光加工部件的光学装置，并将该壳筒可装拆地配设于上述框体的部件一方半部。