JP7377933B1 - ビーム結合装置及びレーザ加工機 - Google Patents
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Abstract
【課題】少ない光学部品で、2つの波長のレーザビームを結合し、ガイド光を結合したレーザビームの光軸と同じ光軸上に射出することができるビーム結合装置を提供する。【解決手段】ウェッジプリズム23の第1の面23aには第1のコーティングが施され、第2の面23bには第2のコーティングが施されている。ウェッジプリズム23は、第1の面23aで反射した第1のレーザビームと、第2の面23b及び第1の面23aをこの順で透過した第2のレーザビームとを互いに重畳させた結合レーザビームを射出する。第2のコーティングは、ガイド光を反射する特性を有する。ウェッジプリズム23は、第2の面23bで反射して第1の面23aを透過したガイド光を結合レーザビームの光軸と同じ光軸上に射出する。【選択図】図1
Description
本発明は、ビーム結合装置及びレーザ加工機に関する。
近年、レーザ加工機が被加工材である板金を加工する際に使用するレーザビームの高出力化(高輝度化)が進んでいる。レーザ加工機は、2つのレーザ発振器より射出された波長が異なる2つのレーザビームを、波長選択性コーティングを施したダイクロイックミラー等の光学部品で互いに重畳してレーザビームの高出力化することがある。また、レーザ加工機は、加工開始位置を決めたり、加工の軌跡を確認したりするために、可視光よりなるガイド光を板金に照射する機能を備えている(特許文献1参照)。
ビーム結合装置であるビームカプラ内に設けたダイクロイックミラーを用いて、2つの波長のレーザビームを結合し、ガイド光を結合したレーザビームの光軸と同じ光軸上に射出させようとすると、少なくとも2枚のミラーが必要となる。光学部品が増えると各光学部品の位置調整機構が必要となり、調整作業の煩雑さを招き、ビームカプラが大型化してしまう。レーザビームが高出力になればなるほど熱レンズの影響を受けやすくなるため、レンズまたはミラー等の光学部品をできるだけ少なくすることが望まれる。
1またはそれ以上の実施形態の第1の態様は、第1のレーザ発振器より射出される第1の波長を有する発散光の第1のレーザビームをコリメート光に変換する第1のコリメートレンズと、第2のレーザ発振器より射出される第2の波長を有する発散光の第2のレーザビームをコリメート光に変換する第2のコリメートレンズと、前記第1のコリメートレンズによってコリメート光に変換された前記第1のレーザビームを反射し、かつ可視光よりなるガイド光を透過させる特性を有する第1のコーティングが施された第1の面と、前記第2のコリメートレンズによってコリメート光に変換された前記第2のレーザビームを透過させ、かつ前記ガイド光を反射する特性を有する第2のコーティングが施された第2の面とを含み、前記第1のコーティングは、前記第2の面を透過した前記第2のレーザビームを透過させる特性を有し、前記第1の面で反射した前記第1のレーザビームと、前記第2の面及び前記第1の面をこの順で透過した前記第2のレーザビームとを結合させた結合レーザビームを射出し、前記第2の面で反射して前記第1の面を透過した前記ガイド光を前記結合レーザビームの光軸と同じ光軸上に射出するウェッジプリズムと、前記ウェッジプリズムより射出された前記結合レーザビームまたは前記ガイド光を集束させて、前記結合レーザビームまたは前記ガイド光を伝送する光ファイバに入射させる集束レンズとを備えるビーム結合装置を提供する。
1またはそれ以上の実施形態の第1の態様によれば、ウェッジプリズムによって2つの波長のレーザビームを結合し、ガイド光を結合したレーザビームの光軸と同じ光軸上に射出するので、少ない光学部品で結合レーザビームとガイド光とを同じ光軸上に射出する構成が実現される。
1またはそれ以上の実施形態の第2の態様は、前記第1のレーザ発振器と、前記第2のレーザ発振器と、第1の態様のビーム結合装置と、前記ガイド光を前記ウェッジプリズムに向けて射出するガイド光射出部と、前記光ファイバによって伝送される前記結合レーザビームまたは前記ガイド光を加工対象の被加工材に照射する加工ヘッドとを備えるレーザ加工機を提供する。
1またはそれ以上の実施形態の第2の態様によれば、ウェッジプリズムによって2つの波長のレーザビームを結合し、ガイド光を結合したレーザビームの光軸と同じ光軸上に射出するので、少ない光学部品で結合レーザビームとガイド光とを同じ光軸上に射出する構成が実現される。1またはそれ以上の実施形態の第2の態様によれば、ガイド光によって加工開始位置を決めたり、加工の軌跡を確認したりした上で、被加工材を加工することができる。
1またはそれ以上の実施形態に係るビーム結合装置及びレーザ加工機によれば、少ない光学部品で、2つの波長のレーザビームを結合し、ガイド光を結合したレーザビームの光軸と同じ光軸上に射出することができる。
1またはそれ以上の実施形態に係るビーム結合装置は、第1のコリメートレンズ、第2のコリメートレンズ、ウェッジプリズム、集束レンズを備える。前記第1のコリメートレンズは、第1のレーザ発振器より射出される第1の波長を有する発散光の第1のレーザビームをコリメート光に変換する。前記第2のコリメートレンズは、第2のレーザ発振器より射出される第2の波長を有する発散光の第2のレーザビームをコリメート光に変換する。
前記ウェッジプリズムは、前記第1のコリメートレンズによってコリメート光に変換された前記第1のレーザビームを反射し、かつ可視光よりなるガイド光を透過させる特性を有する第1のコーティングが施された第1の面と、前記第2のコリメートレンズによってコリメート光に変換された前記第2のレーザビームを透過させ、かつ前記ガイド光を反射する特性を有する第2のコーティングが施された第2の面とを含む。前記第1のコーティングは、前記第2の面を透過した前記第2のレーザビームを透過させる特性を有する。
前記ウェッジプリズムは、前記第1の面で反射した前記第1のレーザビームと、前記第2の面及び前記第1の面をこの順で透過した前記第2のレーザビームとを結合させた結合レーザビームを射出し、前記第2の面で反射して前記第1の面を透過した前記ガイド光を前記結合レーザビームの光軸と同じ光軸上に射出する。
前記集束レンズは、前記ウェッジプリズムより射出された前記結合レーザビームまたは前記ガイド光を集束させて、前記結合レーザビームまたは前記ガイド光を伝送する光ファイバに入射させる。
1またはそれ以上の実施形態に係るレーザ加工機は、前記第1のレーザ発振器と、前記第2のレーザ発振器と、第1の態様のビーム結合装置と、前記ガイド光を前記ウェッジプリズムに向けて射出するガイド光射出部と、前記光ファイバによって伝送される前記結合レーザビームまたは前記ガイド光を加工対象の被加工材に照射する加工ヘッドとを備える。
以下、1またはそれ以上の実施形態に係るビーム結合装置及びレーザ加工機について、添付図面を参照して具体的に説明する。図1は、1またはそれ以上の実施形態に係るビーム結合装置及びレーザ加工機を示す。図1に示す1またはそれ以上の実施形態に係るレーザ加工機100は、第1のレーザ発振器11、第2のレーザ発振器12、1またはそれ以上の実施形態に係るビーム結合装置であるビームカプラ20、加工ヘッド40を備える。第1のレーザ発振器11及び第2のレーザ発振器12は、例えば、ファイバレーザ発振器、ディスクレーザ発振器、またはダイレクトダイオードレーザ発振器である。
第1のレーザ発振器11より射出される第1のレーザビームを伝送するフィーディングファイバ13のコネクタ13cは、ビームカプラ20の筐体201における突出部201pの端部に接続されている。第2のレーザ発振器12より射出される第2のレーザビームを伝送するフィーディングファイバ14のコネクタ14cは、筐体201における本体部201mの一方の端部に接続されている。プロセスファイバ30の第1のコネクタ30c1は本体部201mの他方の端部に接続され、第2のコネクタ30c2は加工ヘッド40の筐体401に接続されている。
ビームカプラ20は、筐体201内に、第1のコリメートレンズ21、第2のコリメートレンズ22、ウェッジプリズム23、集束レンズ24を備える。ビームカプラ20の外部には、加工開始位置を決めたり、加工の軌跡を確認したりするための可視光よりなるガイド光を射出するガイド光射出部26が設けられている。図1においては、ガイド光射出部26は筐体201の外面に取り付けられており、筐体201に設けた開口を介して破線で示すガイド光をウェッジプリズム23に照射する。ガイド光射出部26が筐体201内に設けられていてもよい。
ウェッジプリズム23の第1の面23aには、後述する第1のコーティングが施されている。ウェッジプリズム23の第1の面23aと対向する第2の面23bには、後述する第2のコーティングが施されている。
第1のレーザ発振器11より射出される第1のレーザビームは波長λ1を有し、第2のレーザ発振器12より射出される第2のレーザビームは波長λ1より短波長である波長λ2を有する。第1のレーザビーム、第2のレーザビーム、及び後述する結合レーザビームを一点鎖線で示す。ガイド光は波長λ3を有し、λ1>λ2>λ3の関係を有する。例えば、波長λ1及び波長λ2は1030nm~1090nmの波長であり、波長λ3は600nm~700nmである。
第1のレーザ発振器11より射出された第1のレーザビームは、フィーディングファイバ13によってビームカプラ20へと伝送される。第2のレーザ発振器12より射出された第2のレーザビームは、フィーディングファイバ14によってビームカプラ20へと伝送される。
第1のコリメートレンズ21は、フィーディングファイバ13の端部より射出される発散光の第1のレーザビームをコリメート光に変換する。コリメート光に変換された第1のレーザビームは、ウェッジプリズム23の第1の面23aに入射する。第2のコリメートレンズ22は、フィーディングファイバ14の端部より射出される発散光の第2のレーザビームをコリメート光に変換する。コリメート光に変換された第2のレーザビームは、ウェッジプリズム23の第2の面23bに入射する。
図1においては、第1のコリメートレンズ21及び第2のコリメートレンズ22をレーザビームの入射面及び射出面の双方が凸面である両凸レンズとしているが、入射面が平面で射出面が凸面である平凸レンズであってもよい。第1のコリメートレンズ21及び第2のコリメートレンズ22のレンズの形状は限定されない。同様に、集束レンズ24及び加工ヘッド40内の後述するコリメートレンズ41または集束レンズ43も、両凸レンズであってもよいし、平凸レンズであってもよく、レンズの形状は限定されない。
図2Aは、ビームカプラ20が備える第1のコリメートレンズ21の位置調整機構50をZ軸と直交する面で切断した断面図である。図2Bは、ビームカプラ20が備える第1のコリメートレンズ21の位置調整機構50をX軸と直交する面で切断した断面図である。第1のコリメートレンズ21は、図2A及び図2Bに示すような位置調整機構50によって位置が調整されている。第2のコリメートレンズ22も、図2A及び図2Bに示す位置調整機構50と同様の位置調整機構によって位置が調整されている。第1のコリメートレンズ21より射出される第1のレーザビームの光軸方向をZ軸、Z軸に直交する2つの直交する方向をX軸及びY軸とする。図2Bに示すように、ここでは第1のコリメートレンズ21を平凸レンズとしている。
図2A及び図2Bに示すように、第1のコリメートレンズ21はレンズホルダ51によって位置調整機構50に保持されている。図2Aに示すように、X軸方向に伸びる2つのコイルスプリング53xはレンズホルダ51にX軸方向の力を与えており、Y軸に伸びる2つのコイルスプリング53yはレンズホルダ51にY軸方向の力を与えている。X軸調整用ねじ部材52xを回すことによってレンズホルダ51のX軸方向の位置を調整することができ、Y軸調整用ねじ部材52yを回すことによってレンズホルダ51のY軸方向の位置を調整することができる。
図2Bに示すように、コネクタ13cは、突出部201pの端部に設けられている図1では図示が省略されているレシーバ20Rに装着されている。Z軸方向に伸びる2つのコイルスプリング53zはレンズホルダ51にZ軸方向の力を与えている。突出部201p内には、レンズホルダ51に隣接して可動内筒54が設けられている。可動内筒54の端部にはねじ54swが形成されており、突出部201pの対向する内周面にはねじ20swが形成されている。可動内筒54の位置をZ軸方向に調整することにより、レンズホルダ51のZ軸方向の位置を調整することができる。
図1に戻り、ウェッジプリズム23の第1の面23aに施されている第1のコーティングは、コリメート光に変換された第1のレーザビームを反射する特性を有する。従って、第1のレーザビームは、第1の面23aで反射して集束レンズ24へと向かう。ウェッジプリズム23の第2の面23bに施されている第2のコーティングは、コリメート光に変換された第2のレーザビームを透過させる特性を有する。第1のコーティングは、第2の面23bを透過した第2のレーザビームを透過させる特性を有する。従って、第2のレーザビームは、第2の面23b及び第1の面23aをこの順で透過して集束レンズ24へと向かう。
第1のコーティングは、さらに、ガイド光射出部26より射出されるガイド光を透過させる特性を有する。第2のコーティングは、さらに、ガイド光を反射する特性を有する。従って、ガイド光は、第1の面23aを透過して第2の面23bで反射し、第1の面23aを再び透過して集束レンズ24へと向かう。
第1のコリメートレンズ21及び第2のコリメートレンズ22は、第1の面23aで反射した第1のレーザビームと、第2の面23b及び第1の面23aを透過した第2のレーザビームとが互いに重畳するように位置が調整されている。ガイド光射出部26は、第2の面23bで反射したガイド光が、結合したレーザビームの光軸と同じ光軸上を進行して集束レンズ24へと向かうように、筐体201に対する取り付け位置及びガイド光を照射する向きが調整されている。
上記のように、第1のコリメートレンズ21は位置調整機構50によって第1のコリメートレンズ21におけるX軸、Y軸、Z軸の各方向の位置が調整されている。第2のコリメートレンズ22は、位置調整機構50と同様の位置調整機構によって第2のコリメートレンズ22におけるX軸、Y軸、Z軸の各方向の位置が調整されている。
従って、ウェッジプリズム23は、第1のレーザビームと第2のレーザビームとを互いに重畳させることにより結合させた結合レーザビームを生成して射出する。集束レンズ24は、結合レーザビームを集束させてプロセスファイバ30のコアに入射させる。プロセスファイバ30は、結合レーザビームを加工ヘッド40へと伝送する光ファイバである。ウェッジプリズム23にガイド光が入射されるときには、集束レンズ24はガイド光を集束させてプロセスファイバ30のコアに入射させる。
加工ヘッド40は、筐体401内に、コリメートレンズ41、ベンドミラー42、集束レンズ43を備える。コリメートレンズ41は、プロセスファイバ30の端部より射出される発散光の結合レーザビームをコリメート光に変換する。コリメートレンズ41は、コリメート光に変換された結合レーザビームの進行方向を90度曲げる。集束レンズ43は、入射された結合レーザビームを集束させて、加工対象の板金Wに照射する。レーザ加工機100は、板金Wを切断する加工機であってもよいし、板金Wを溶接する加工機であってもよい。板金Wは被加工材の一例であり、被加工材は板金に限定されない。
加工ヘッド40にガイド光が入射されるときには、集束レンズ43は、入射されたガイド光を集束させて板金Wに照射する。ガイド光を板金Wに照射することにより、オペレータは、加工開始位置を決めたり、加工の軌跡を確認したりすることができる。なお、図1においては、破線で示すガイド光が加工ヘッド40に入射されて板金Wに照射される様子を図示していないが、一点鎖線で示す結合レーザビームと同様に板金Wに照射される。
図3は、ビームカプラ20が備えるウェッジプリズム23の第1の面23a及び第2の面23bに施されている第1及び第2のコーティングに施されている反射・透過特性を示す特性図である。図3には、第1のコーティングの反射・透過特性Caと第2のコーティングの反射・透過特性Cbを示している。図3に示すように、第1のコーティングの反射・透過特性Caは、波長λ1を有する第1のレーザビームを反射し、波長λ2を有する第2のレーザビーム及び波長λ3を有するガイド光を透過させる特性である。第2のコーティングの反射・透過特性Cbは、波長λ3を反射し、波長λ2を有する第2のレーザビームを透過させる特性である。
従って、ウェッジプリズム23を備えるビームカプラ20は、上記のように、第1及び第2のレーザビームが入射されるときには、結合レーザビームを加工ヘッド40へと供給し、ガイド光が入射されるときには、ガイド光を加工ヘッド40へと供給することができる。
以上のように、ビームカプラ20は、ウェッジプリズム23が第1のレーザビームと第2のレーザビームとを互いに重畳させることにより結合させた結合レーザビームを射出するように構成されているので、レーザビームを高出力化することができる。ビームカプラ20は、ウェッジプリズム23がガイド光を結合レーザビームの光軸と同じ光軸上に射出するように構成されているので、少ない光学部品で結合レーザビームとガイド光とを同じ光軸上に射出する構成を実現している。
レーザ加工機100は、第1のレーザ発振器11、第2のレーザ発振器12、ビームカプラ20、プロセスファイバ30によって伝送される結合レーザビームを加工対象の板金Wに照射する加工ヘッド40を備える。レーザ加工機100によれば、少ない光学部品で結合レーザビームとガイド光とを同じ光軸上に射出することができ、オペレータは、加工開始位置を決めたり、加工の軌跡を確認したりした上で、板金Wを加工することができる。
本発明は以上説明した本実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。
11 第1のレーザ発振器
12 第2のレーザ発振器
13,14 フィーディングファイバ
13c,14c コネクタ
20 ビームカプラ(ビーム結合装置)
21 第1のコリメートレンズ
22 第2のコリメートレンズ
23 ウェッジプリズム
24,43 集束レンズ
26 ガイド光射出部
30 プロセスファイバ
40 加工ヘッド
41 コリメートレンズ
42 ベンドミラー
100 レーザ加工機
W 板金(被加工材)
12 第2のレーザ発振器
13,14 フィーディングファイバ
13c,14c コネクタ
20 ビームカプラ(ビーム結合装置)
21 第1のコリメートレンズ
22 第2のコリメートレンズ
23 ウェッジプリズム
24,43 集束レンズ
26 ガイド光射出部
30 プロセスファイバ
40 加工ヘッド
41 コリメートレンズ
42 ベンドミラー
100 レーザ加工機
W 板金(被加工材)
Claims (2)
- 第1のレーザ発振器より射出される第1の波長を有する発散光の第1のレーザビームをコリメート光に変換する第1のコリメートレンズと、
第2のレーザ発振器より射出される第2の波長を有する発散光の第2のレーザビームをコリメート光に変換する第2のコリメートレンズと、
前記第1のコリメートレンズによってコリメート光に変換された前記第1のレーザビームを反射し、かつ可視光よりなるガイド光を透過させる特性を有する第1のコーティングが施された第1の面と、前記第2のコリメートレンズによってコリメート光に変換された前記第2のレーザビームを透過させ、かつ前記ガイド光を反射する特性を有する第2のコーティングが施された第2の面とを含み、前記第1のコーティングは、前記第2の面を透過した前記第2のレーザビームを透過させる特性を有し、前記第1の面で反射した前記第1のレーザビームと、前記第2の面及び前記第1の面をこの順で透過した前記第2のレーザビームとを結合させた結合レーザビームを射出し、前記第2の面で反射して前記第1の面を透過した前記ガイド光を前記結合レーザビームの光軸と同じ光軸上に射出するウェッジプリズムと、
前記ウェッジプリズムより射出された前記結合レーザビームまたは前記ガイド光を集束させて、前記結合レーザビームまたは前記ガイド光を伝送する光ファイバに入射させる集束レンズと、
を備えるビーム結合装置。 - 前記第1のレーザ発振器と、
前記第2のレーザ発振器と、
請求項1に記載のビーム結合装置と、
前記ガイド光を前記ウェッジプリズムに向けて射出するガイド光射出部と、
前記光ファイバによって伝送される前記結合レーザビームまたは前記ガイド光を被加工材に照射する加工ヘッドと、
を備えるレーザ加工機。
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