JP5618430B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
また、トンネル電流は高濃度p型層108のキャリア濃度や膜厚によって大きく影響を受けるため、高濃度p型層の不均一性によって、特性が大きく変動することが分かった。
本発明は上記新たな知見に基づいて生まれたものである。
次に、本発明に係る半導体装置とその製造方法について実施例により、以下詳細に説明する。
<実施例1>
本発明の第1の実施例について、図1、図2A〜図2C、図6A、図6Bを用いて説明する。図1は、本実施例係る半導体装置の真性部分の断面構造図である。図2A〜図2Cは、本実施例の製造方法を工程順に示した断面構造図である。
または、第1の成長室内に清浄な水素を供給した状態でシリコン基板1を加熱することによっても基板表面のクリーニングを行うことが可能である。前に述べた真空中での加熱によるクリーニングでは、基板温度が500℃程度以上になると基板表面を終端していた水素は脱離し、基板表面のむき出しになったシリコン原子と成長室内の雰囲気中に含まれる水分や酸素が反応し、基板表面が再酸化されてしまう。そして、この酸化膜が再び還元されることにより、クリーニングと共に基板表面の凹凸が増大し、その後行うエピタキシャル成長の均一性や結晶性を悪化させるという問題がある。また、同時に成長室内の雰囲気中に含まれる炭酸ガスや有機系のガスが表面に付着することから、炭素汚染によるエピタキシャル成長層の結晶性の悪化も発生する。一方、水素を基板表面に供給した状態でシリコン基板を加熱した場合、500℃以上の温度で水素が基板表面から脱離してしまっても、常に清浄な水素ガスが供給されているため、基板表面のシリコンと水素が結合と脱離を繰り返す。その結果、表面のシリコンは再酸化されにくくなり、クリーニング中に表面の凹凸が発生することもなく、清浄な表面状態を得ることが可能となる。
Si2H6 + 2SiO2 → 4SiO↑ + 3H2↑ (2)
また、シリコンの原料ガスとしてモノシラン(SiH4)を用いたとき、
SiH4 + SiO2 → 2SiO↑ + 2H2↑ (3)
さらに、ジクロルシラン(SiH2Cl2)を原料ガスとして用いると、
SiH2Cl2 + SiO2 → 2SiO↑ + 2HCl↑ (4)
といった還元反応が生じる。また、ゲルマニウムの原料ガスであるゲルマン(GeH4)についても同様である。ゲルマンに関しての還元反応は、
GeH4 + SiO2 → SiO↑ + GeO↑ + 2H2↑ (5)
となる。
Si + 2Cl2 → SiCl4↑ (6)
Si + 2HCl → SiH2Cl2↑ (7)
といったものがある。
最後に表面側にもp型エミッタ2とゲート5にそれぞれ電極13、14を形成することで裏面にホール供給層を有するIGBTが完成する。(図1)
以上、基板の表面側にエミッタとゲートを形成し、裏面側にコレクタとホール供給領域を形成した構造について説明したが、表面側にエミッタとゲートを形成した後、エミッタとゲートを絶縁膜により保護し、表面側の別の領域にコレクタ層とホール供給領域を形成することもできる。
<実施例2>
第2の実施例について図3を用いて説明する。なお、実施例1に記載され本実施例に未記載の事項は特段の事情がない限り本実施例にも適用することができる。
<実施例3>
第3の実施例について図4を用いて説明する。なお、実施例1又は2に記載され本実施例に未記載の事項は特段の事情がない限り本実施例にも適用することができる。
(1) 第1のn型領域と、
前記第1のn型領域の第1領域上に設けられた第1のp型領域と、
前記第1のp型領域上に前記第1のn型領域とは隔てて設けられた第2のn型領域と、
前記p型領域上に設けられたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極と、
前記第1のn型領域の前記第1領域とは異なる第2領域上に形成された第2のp型領域と、
前記第2のp型領域上に設けられた第3のn型領域を有し、
前記第2のp型領域と前記第3のn型領域とでトンネル接合が形成され、前記第2のp型領域と前記第3のn型領域が異なる電極にそれぞれ接続されていることを特徴とする半導体装置。
(2) 前記第1のn型領域の前記第1領域と前記第2領域とは、前記第1のn型領域の互いに反対の面に設けられていることを特徴とする上記(1)記載の半導体装置。
(3) 前記第1のn型領域の前記第1領域と前記第2領域とは、前記第1のn型領域の同じ面に設けられていることを特徴とする上記(1)又は(2)に記載の半導体装置。
(4) 前記第2のp型領域がシリコンおよびゲルマニウムの少なくとも一方を含むことを特徴とする上記(1)乃至(3)のいずれか一に記載の半導体装置。
(5) 前記第2のp型領域は、絶縁膜により複数に分離されていることを特徴とする上記(1)乃至(4)のいずれか一に記載の半導体装置。
(6) 前記第1のp型領域と前記第2のp型領域の距離が200ミクロン以下であることを特徴とする上記(1)乃至(5)のいずれか一に記載の半導体装置。
(7) 前記第2のp型領域のキャリア濃度が5×1019cm―3以上、1×1021cm―3以下であることを特徴とする上記(1)乃至(6)のいずれか一に記載の半導体装置。
(8) 前記第2のp型領域の厚さが50nm以下であることを特徴とする上記(1)乃至(7)のいずれか一に記載の半導体装置。
(9) 上記(1)乃至(8)のいずれか一に記載の半導体装置を複数個含むことを特徴とする電源制御用モジュール。
(10) 第1のn型領域の第1領域上に第1のp型領域を形成する第1工程と、
前記第1のp型領域上に前記第1のn型領域とは隔てて第2のn型領域を形成する第2工程と、
前記p型領域上にゲート絶縁膜を形成する第3工程と、
前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する第4工程と、
前記第1のn型領域の前記第1領域とは異なる第2領域上に第2のp型領域を形成する第5工程と、
前記第2のp型領域上に第3のn型領域を形成して前記第2のp型領域と前記第3のn型領域とでトンネル接合を形成する第5工程と、
前記第2のp型領域と前記第3のn型領域にそれぞれ異なる電極を接続する第6工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(11) 前記第4工程は、前記第1のn型領域の表面をクリーニングする工程と、前記第2のp型領域をエピタキシャル成長により形成する工程とを含むことを特徴とする上記(10)記載の半導体装置の製造方法。
(12) 前記クリーニングする工程は、前記第1のn型領域の表面へ水素を供給しながら加熱する工程を含むことを特徴とする上記(11)記載の半導体装置の製造方法。
(13) 前記第2のp型領域をエピタキシャル成長により形成する工程の直前における前記水素ガスの流量は、前記エピタキシャル成長で用いるガスの総流量と同じとなるように設定されることを特徴とする上記(12)記載の半導体装置の製造方法。
(14) 前記クリーニングする工程は、原子状水素を用いることを特徴とする上記(11)記載の半導体装置の製造方法。
(15) 前記第5工程は、前記第3のn型領域を選択的にエピタキシャル成長する工程を含むことを特徴とする上記(10)乃至(14)のいずれか一に記載の半導体装置の製造方法。
(16) 前記第2のp型領域と前記電極との間には、第3のp型領域が形成されることを特徴とする上記(10)乃至(15)のいずれか一に記載の半導体装置の製造方法。
(17) 前記第4工程は、イオン打ち込みを用いて前記第2のp型領域を形成する工程を含み、
前記第5工程は、イオン打ち込みを用いて前記第3のn型領域を形成する工程を含むことを特徴とする上記(10)記載の半導体装置の製造方法。
Claims (17)
- 第1のn型領域と、
前記第1のn型領域の表面に位置する第1領域に設けられた第1のp型領域と、
前記第1のp型領域の前記第1のn型領域とは接していない面に設けられた第2のn型領域と、
前記第1のp型領域と接して設けられたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜と接して設けられたゲート電極と、
前記第1のn型領域の表面に位置する前記第1領域とは接していない第2領域に形成された第2のp型領域と、
前記第2のp型領域の前記第1のn型領域とは接していない面に設けられた第3のn型領域を有し、
前記第2のp型領域と前記第3のn型領域とでトンネル接合が形成され、前記第2のp型領域と前記第3のn型領域が異なる電極にそれぞれ接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のn型領域と前記第1のp型領域が接している面に対して対向する前記第1のn型領域の面に前記第2領域が設けられていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1のn型領域の前記第1領域と前記第2領域とは、前記第1のn型領域の同じ面に設けられていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第2のp型領域がシリコンおよびゲルマニウムの少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第2のp型領域は、絶縁膜により複数に分離されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1のp型領域と前記第2のp型領域の距離が200ミクロン以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第2のp型領域のキャリア濃度が5×1019cm―3以上、1×1021cm―3以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第2のp型領域の厚さが50nm以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 請求項5記載の半導体装置を用いた電源制御用モジュール。
- 第1のn型領域の第1領域の表面に第1のp型領域を形成する第1工程と、
前記第1のp型領域の前記第1のn型領域とは接していない面に第2のn型領域を形成する第2工程と、
前記第1のp型領域と接してゲート絶縁膜を形成する第3工程と、
前記ゲート絶縁膜と接してゲート電極を形成する第4工程と、
前記第1のn型領域の表面に位置する前記第1領域とは接していない第2領域に第2のp型領域を形成する第5工程と、
前記第2のp型領域の前記第1のn型領域とは接していない面に第3のn型領域を形成して前記第2のp型領域と前記第3のn型領域とでトンネル接合を形成する第6工程と、
前記第2のp型領域と前記第3のn型領域にそれぞれ異なる電極を接続する第7工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第5工程は、前記第1のn型領域の表面をクリーニングする工程と、前記第2のp型領域をエピタキシャル成長により形成する工程とを含むことを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。
- 前記クリーニングする工程は、前記第1のn型領域の表面へ水素を供給しながら加熱する工程を含むことを特徴とする請求項11記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2のp型領域をエピタキシャル成長により形成する工程の直前における前記水素ガスの流量は、前記エピタキシャル成長で用いるガスの総流量と同じとなるように設定されることを特徴とする請求項12記載の半導体装置の製造方法。
- 前記クリーニングする工程は、原子状水素を用いることを特徴とする請求項11記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第6工程は、前記第3のn型領域を選択的にエピタキシャル成長する工程を含むことを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2のp型領域と前記電極との間には、第3のp型領域が形成されることを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第5工程は、イオン打ち込みを用いて前記第2のp型領域を形成する工程を含み、
前記第6工程は、イオン打ち込みを用いて前記第3のn型領域を形成する工程を含むことを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。
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