JP5609225B2 - フェライト基板 - Google Patents

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本発明は、電子機器のEMI対策用や放熱対策用等として、当該電子機器等に貼着されるフェライト基板に関するものである。
近年、RF−IDの金属干渉抑制、電子機器のEMI対策用あるいは放熱対策用等として、高透磁率を有するフェライト焼結体を用いた基板を、当該RF-IDや電子機器に貼着する構造が採用されつつある。
ところで、この種の基板に用いられるフェライト焼結体は、高透磁率化によって高いノイズ対策性能を有するものの、弾性係数が小さいために、機械的応力や衝撃に対して脆弱であるという欠点を有している。このため、薄板状のフェライト焼結体を、そのまま凹凸を有する上記電子機器等に貼着すると、不規則な欠けや割れを生じて磁気特性(透磁率)の悪化を招き、この結果、所望のノイズ対策性能等が得られなくなるおそれがある。
そこで、従来は、上記フェライト焼結体を、予め規則的な小片に分割して、全体としての可撓性を高めた状態で、上記電気機器等の貼着する方法が採られている。この方法は、例えば下記特許文献1に見られるように、フェライト焼結体の製造時に、その表面に所定の深さの溝加工(ハーフカット加工)を施しておき、当該フェライト焼結体の表面に保護フィルムあるいは粘着層を形成した後に、上記溝に沿って分割して可撓性を有する上記フェライト基板とするものである。
ちなみに、上記フェライト焼結体に溝を加工する方法としては、焼結後のフェライト板に、ダイシングソー等によって加工する方法や、焼結前のフェライトグリーンシートに、裁断機等で凹溝を加工して焼結される方法等が採用されている。
特許第4277596号公報
ところが、予めフェライト焼結体に溝加工を行った上記従来のフェライト基板にあっては、フェライト焼結体が厚さ寸法の異なる部分を有する場合には、各部分に応じて、切断機による溝加工深さを個別に設定する必要があり、よって当該作業に手間を要するという問題点があった。
しかも、特に100μm以下の薄いフェライト焼結体あるはそのグリーンシートに対して上記溝加工を行う場合には、上記厚さ寸法の1/2以下の深さの溝を加工することになるために、精度の高い溝加工が要求されるという問題点を生じる。加えて、切断刃の平行度が僅かでも異なると、溝の深さに相違が生じ、この結果分割時に上記溝部以外の箇所に割れが進行したり、あるいはグリーンシートにおいて上記溝加工を行った場合には、焼結時に割れが生じてしまうという問題点もあった。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、フェライト焼結体が、部分的に厚さ寸法が異なる場合や100μm以下の薄肉である場合にも、簡易な加工によって容易に対応することができ、よって分割後に安定した特性を得ることができるフェライト基板を提供することを課題とするものである。
上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、薄板状に形成された焼結フェライト板の少なくとも一方の表面に、保護フィルム、粘着層または放熱シートが貼着されたフェライト基板において、上記焼結フェライト板は、表面上を第1の方向に延びるとともに厚さ方向に貫通する裁断部が当該第1の方向に不連続に形成されたミシン目状の第1の裁断線を、上記第1の方向と直交する方向に間隔をおいて複数本形成し、かつ上記第1の方向と交差する第2の方向に延びるとともに厚さ方向に貫通する裁断部が当該第2の方向に不連続に形成されたミシン目状の第2の裁断線を、上記第2の方向と直交する方向に間隔をおいて複数本形成するとともに、上記第1および第2の裁断線を、全ての上記裁断部において互いに交差させることにより、上記第1の裁断線および上記第2の裁断線において分割可能とされていることを特徴とするものである。
請求項に記載の発明によれば、焼結フェライト板に、厚さ方向に貫通する裁断部が不連続に形成された複数本の第1および第2の裁断線を、互いに交差する方向に形成しているために、上記焼結フェライト板の表面に保護フィルム等を貼着した後に、上記第1および第2の裁断線において分割することにより、当該フェライト基板に可撓性を付与することができる。
この際に、上記第1および第2の裁断線は、厚さ寸法に貫通する不連続な裁断部によって形成されているために、上記フェライト焼結体が、部分的に厚さ寸法が異なる場合や100μm以下の薄肉である場合にも、簡易な加工によって上記第1および第2の裁断線における裁断部を形成することができる。しかも、確実に上記第1および第2の裁断線に沿って分割することができるために、分割後に安定した特性を得ることができる。
特に、第1および第2の裁断線を形成するに際して、厚さ方向に貫通する全ての裁断部において互いに交差させているために、一層確実に上記第1および第2の裁断線に沿って分割することができる。
本発明に係るフェライト基板の一実施形態における焼結フェライト板を示す平面図である。 本発明の一実施形態を示すもので図1のA−A線視断面相当図である。 図1のフェライト基板の裁断部を加工する状態を示す正面図である。 本発明に係るフェライト基板の他の実施形態における裁断部を加工する状態を示す正面図である。 上記実施形態の変形例を示す図2相当図である。 上記実施形態の他の変形例を示す図2相当図である。
図1および図2は、本発明に係るフェライト基板の一実施形態を示すもので、図中符号1が焼結フェライト板である。
この焼結フェライト板1は、厚さ寸法が50μm〜1.0mmの長方形の薄板状(シート状)に形成されたもので、その一方の表面には、粘着層2が形成されるとともに、他方の表面には、保護フィルム3が貼着されることにより、このフェライト基板が構成されている。
そして、このフェライト基板においては、焼結フェライト板1の長辺方向をX方向(第1の方向)、短辺方向をY方向(第2の方向)とした時に、当該焼結フェライト板1に、X方向に延在する複数本(図では4本)のX方向裁断線(第1の裁断線)4が、Y方向に等間隔をおいて形成されている。また、この焼結フェライト板1には、Y方向に延在する複数本(図では6本)のY方向裁断線(第2の裁断線)5が、X方向に等間隔をおいて形成されている。
ここで、X方向裁断線4は、X方向に延びるとともに厚さ方向に貫通する裁断部4aがX方向に不連続に形成されたミシン目状のものであり、他方Y方向裁断線5は、Y方向に延びるとともに厚さ方向に貫通する裁断部5aがY方向に不連続に形成されたミシン目状のものである。そして、これら複数本のX方向裁断線4およびY方向裁断線5は、裁断部4a、5aが互いの中央において直交するようにして、全体として格子状に形成されている。
上記構成からなるフェライト基板において、上記X方向裁断線4およびY方向裁断線5が形成された薄板状の焼結フェライト板1を製造するには、先ずフェライト粉末と有機バインダとを混練してフェライトペーストとし、これをドクターブレード法、押出成形機等のシート成形機によって所定の厚さのグリーンシートに成形する。
次いで、図3に示すように、このグリーンシート6に、先ず切断刃7を用いて複数本のX方向裁断線4を形成する。ここで、切断刃7は、等間隔bを間に介して幅寸法aの複数(図では8本)の刃部7aを有しており、当該刃部7aの深さ寸法tがグリーンシート6の厚さ寸法よりも大きく形成されている。
そこで、上記切断刃7の刃部7aを、グリーンシート6上の所定箇所に望ませて、そのまま下方に向けて移動させれば、複数本の刃部7aによって、間隔bをおいた不連続な複数(図では8つ)の長さ寸法aの裁断部4aが同時に形成される。
そして、上記切断刃7を、Y方向に所定寸法移動させて、順次X方向裁断線4を形成した後に、当該切断刃7の向きを直角方向に変えて、同様にして裁断部5aを有するY方向裁断線5を形成して行く。この際に、切断刃7を、刃部7aによって形成されるY方向の裁断部5aが、先に形成したX方向の裁断部4の中央部において交差するように配置する。
このようにして、全てのX方向裁断線4およびY方向裁断線5を形成した後に、当該グリーンシート6を焼結して焼結フェライト板1とし、次いでその一方の表面1aに粘着層2を形成し、他方の表面1bに保護フィルム3を貼着することにより、上記フェライト基板が得られる。ちなみに、上記構成からなるフェライト基板は、RF-IDの金属干渉抑制用や電子機器のEMI対策用として好適である。
このように、上記構成からなるフェライト基板によれば、焼結フェライト板1に、厚さ方向に貫通する裁断部4a、5aが不連続に形成された複数本のX方向およびY方向裁断線4、5を、互いに直交する方向に形成しているために、焼結フェライト板1の表面に粘着層2および保護フィルム3を貼着した後に、X方向およびY方向裁断線4、5に沿って分割することにより、フェライト基板に可撓性を付与することができる。
この際に、X方向およびY方向裁断線4、5は、厚さ寸法に貫通する不連続な裁断部4a、5aによって形成されているために、フェライト焼結体1が、部分的に厚さ寸法が異なる場合や100μm以下の薄肉である場合にも、従来のように切断刃の平行度等を考慮することなく、図3に示したように、単に切断刃7を当該フェライト焼結体1のグリーンシート6に押し付けるといった簡易な加工によって、上記裁断部4a、5aを形成することができる。
しかも、X方向およびY方向裁断線4、5を形成するに際して、裁断部4a、5aが互いの中央において直交するように形成しているために、確実にフェライト焼結体1を、X方向およびY方向裁断線4、5に沿って分割することができ、よって分割後に安定した特性を得ることができる。
また、図4は、本発明に係るフェライト基板の他の実施形態において、そのX方向裁断線8を加工する状態を示すものである。
図4に示すように、このフェライト基板においては、その焼結フェライト板を得るためのグリーンシート6に対して、切断刃9によって上記X方向裁断線8およびこれと直交する図示されないY方向切断線が形成されている。
この切断刃9は、等間隔bを間に介して幅寸法aの複数(図では8本)の刃部9aを有しており、図3に示したものと相違する点は、刃部9aの深さ寸法tがグリーンシート6の厚さ寸法よりも小さい(図では、約1/2)に形成されていることにある。
この結果、上記切断刃9の刃部9aを、グリーンシート6上の所定箇所に望ませて、そのまま下方に向けて移動させると、複数本の刃部8aが厚さ方向に貫通することにより、間隔bをおいた不連続な複数(図では8つ)の長さ寸法aの裁断部8aが同時に形成される。さらに、これら厚さ方向に貫通する裁断部8a間には、グリーンシート6の下面から厚さtだけ残した深さ寸法の溝部8bが形成されている。
なお、上記実施形態においては、本発明を、焼結フェライト板1の一方の表面に粘着層2が形成されるとともに、他方の表面1bに保護フィルム3が貼着されたフェライト基板に適用した場合についてのみ説明したが、これに限定されるものではなく、例えば図5に示すように、焼結フェライト板1の両面に保護フィルム3が貼着され、RF-IDの金属干渉抑制用や電子機器のEMI対策用として、別途両面テープ等により上記電子機器等に取り付けられるフェライト基板にも同様に適用することが可能である。
さらに、図6に示すように、焼結フェライト板1の両面に、放熱シート10を貼着したフェライト基板としても用いることができる。
このフェライト基板は、電子機器のEMI対策用およびCPUやLSIから発生する熱を放熱するための電磁波抑制放熱シートとして好適に用いることができる。
ここで、放熱シート10の材質としては、熱伝導率が高く、かつゴム硬度が低くて熱抵抗を抑制し得るシリコーンが好ましく、さらにはシート全体の透磁率をより一層高めるために、シリコーンにフェライト粉末を充填したフェライト粉充填シリコーンがより好適である。
なお、上記実施形態においては、X方向裁断線4、8やY方向裁断線5の裁断部4a、5a、8aを、切断刃7、9によって形成した場合について説明したが、これに限らず、例えば、ローラーの表面にX方向裁断線4、8やY方向裁断線5の裁断部4a、5a、8aに対応した刃部を備えたローラーカッター等によって形成することも可能である。
さらに、上記実施形態においては、X方向裁断線4とY方向裁断線5とを、互いの厚さ方向に貫通する裁断部4a、5aの中央同士において直交させた場合について示したが、これら裁断部4a、5aを交差させずに、X方向裁断線4とY方向裁断線5とによって全体的に格子状を形成するようにしてもよい。
また、X方向裁断線4とY方向裁断線5とを、直交する格子状に限らず、菱形状の格子状に交差させてもよい。
電子機器のEMI対策用や放熱対策用等として、当該電子機器等に貼着されるフェライト基板として利用可能である。
1 焼結フェライト板
2 粘着層
3 保護フィルム
4、8 X方向裁断線(第1の裁断線)
5 Y方向裁断線(第2の裁断線)
4a、5a、8a 裁断部

Claims (1)

  1. 薄板状に形成された焼結フェライト板の少なくとも一方の表面に、保護フィルム、粘着層または放熱シートが貼着されたフェライト基板において、
    上記焼結フェライト板は、表面上を第1の方向に延びるとともに厚さ方向に貫通する裁断部が当該第1の方向に不連続に形成されたミシン目状の第1の裁断線を、上記第1の方向と直交する方向に間隔をおいて複数本形成し、かつ上記第1の方向と交差する第2の方向に延びるとともに厚さ方向に貫通する裁断部が当該第2の方向に不連続に形成されたミシン目状の第2の裁断線を、上記第2の方向と直交する方向に間隔をおいて複数本形成するとともに、上記第1および第2の裁断線を、全ての上記裁断部において互いに交差させることにより、上記第1の裁断線および上記第2の裁断線において分割可能とされていることを特徴とするフェライト基板。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP5206886B1 (ja) * 2012-01-20 2013-06-12 パナソニック株式会社 磁性シート及びそれを用いたアンテナ装置
JP5881012B2 (ja) * 2012-04-20 2016-03-09 日立金属株式会社 磁性シート、コイル部品および磁性シートの製造方法
JP6241701B2 (ja) * 2012-04-20 2017-12-06 日立金属株式会社 磁性シート、コイル部品および磁性シートの製造方法
CN114250445B (zh) * 2020-09-21 2023-12-19 广东众元半导体科技有限公司 一种带有升降装置的微波等离子体气相外延沉积设备
CN114656269B (zh) * 2022-04-06 2023-04-07 中国科学院电工研究所 一种同质纤维增强型锰锌铁氧体材料及其制备方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6066061U (ja) * 1983-10-12 1985-05-10 日本電気株式会社 セラミツク基板
JPH06238643A (ja) * 1993-02-23 1994-08-30 Nec Kansai Ltd フラットパッケ−ジ及びその製造方法
JP3916136B2 (ja) * 2002-03-12 2007-05-16 株式会社住友金属エレクトロデバイス セラミック基板
JP4277596B2 (ja) * 2003-06-27 2009-06-10 戸田工業株式会社 焼結フェライト基板
JP5023377B2 (ja) * 2007-05-30 2012-09-12 北川工業株式会社 セラミックシート

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