JP5594923B2 - 基板面高さ測定方法及びその装置 - Google Patents
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Description
z=x/tan θ
ここで、θは、スリット光15の光軸と基板位置認識カメラ14の光軸との交差角度である。
Claims (13)
- 回路基板の実装面(以下単に「基板面」という)の任意の測定対象点の高さを測定する基板面高さ測定方法において、
前記基板面に設定された4個以上の高さ測定点の中から隣り合う3個の高さ測定点を選択し、当該3個の高さ測定点を頂点とする三角形領域を形成する処理を繰り返して前記基板面を複数の三角形領域に分割する三角形領域分割工程と、
前記複数の三角形領域の中から実際に高さを測定しようとする測定対象点が含まれる三角形領域を選択し、当該三角形領域の3個の頂点となる3個の高さ測定点の高さを高さ測定手段により測定し、当該3個の高さ測定点の高さ測定値に基づいて当該三角形領域内の測定対象点の高さを補間計算により算出する工程とを含み、
前記三角形領域分割工程において、一辺を共通にする三角形領域の候補が複数存在する場合に他の2辺のうちの長い方の辺が最も短い三角形領域の候補を有効な三角形領域として選択することを特徴とすることを特徴とする基板面高さ測定方法。 - 回路基板の実装面(以下単に「基板面」という)の任意の測定対象点の高さを測定する基板面高さ測定方法において、
前記基板面に設定された4個以上の高さ測定点の中から隣り合う3個の高さ測定点を選択し、当該3個の高さ測定点を頂点とする三角形領域を形成する処理を繰り返して前記基板面を複数の三角形領域に分割する三角形領域分割工程と、
前記複数の三角形領域の中から実際に高さを測定しようとする測定対象点が含まれる三角形領域を選択し、当該三角形領域の3個の頂点となる3個の高さ測定点の高さを高さ測定手段により測定し、当該3個の高さ測定点の高さ測定値に基づいて当該三角形領域内の測定対象点の高さを補間計算により算出する工程とを含み、
前記三角形領域分割工程において、一辺を共通にする三角形領域の候補が複数存在する場合に他の2辺の合計長さが最も短い三角形領域の候補を有効な三角形領域として選択することを特徴とすることを特徴とする基板面高さ測定方法。 - 回路基板の実装面(以下単に「基板面」という)の任意の測定対象点の高さを測定する基板面高さ測定方法において、
前記基板面に設定された4個以上の高さ測定点の中から隣り合う3個の高さ測定点を選択し、当該3個の高さ測定点を頂点とする三角形領域を形成する処理を繰り返して前記基板面を複数の三角形領域に分割する三角形領域分割工程と、
前記複数の三角形領域の中から実際に高さを測定しようとする測定対象点が含まれる三角形領域を選択し、当該三角形領域の3個の頂点となる3個の高さ測定点の高さを高さ測定手段により測定し、当該3個の高さ測定点の高さ測定値に基づいて当該三角形領域内の測定対象点の高さを補間計算により算出する工程とを含み、
前記三角形領域分割工程において、1個の高さ測定点を共通の頂点とする三角形領域の候補が複数存在する場合に3辺の合計長さ又は最長辺が最も短い三角形領域の候補を有効な三角形領域として選択することを特徴とすることを特徴とする基板面高さ測定方法。 - 回路基板の実装面(以下単に「基板面」という)の任意の測定対象点の高さを測定する基板面高さ測定方法において、
前記基板面に設定された4個以上の高さ測定点を高さ測定手段により測定する高さ測定工程と、
前記4個以上の高さ測定点の中から隣り合う3個の高さ測定点を選択し、当該3個の高さ測定点を頂点とする三角形領域を形成する処理を繰り返して前記基板面を複数の三角形領域に分割する三角形領域分割工程と、
前記複数の三角形領域の中から実際に高さを測定しようとする測定対象点が含まれる三角形領域を選択し、当該三角形領域の3個の頂点となる3個の高さ測定点の高さ測定値に基づいて当該三角形領域内の測定対象点の高さを補間計算により算出する工程とを含み、 前記三角形領域分割工程において、一辺を共通にする三角形領域の候補が複数存在する場合に他の2辺のうちの長い方の辺が最も短い三角形領域の候補を有効な三角形領域として選択することを特徴とすることを特徴とする基板面高さ測定方法。 - 回路基板の実装面(以下単に「基板面」という)の任意の測定対象点の高さを測定する基板面高さ測定方法において、
前記基板面に設定された4個以上の高さ測定点を高さ測定手段により測定する高さ測定工程と、
前記4個以上の高さ測定点の中から隣り合う3個の高さ測定点を選択し、当該3個の高さ測定点を頂点とする三角形領域を形成する処理を繰り返して前記基板面を複数の三角形領域に分割する三角形領域分割工程と、
前記複数の三角形領域の中から実際に高さを測定しようとする測定対象点が含まれる三角形領域を選択し、当該三角形領域の3個の頂点となる3個の高さ測定点の高さ測定値に基づいて当該三角形領域内の測定対象点の高さを補間計算により算出する工程とを含み、 前記三角形領域分割工程において、一辺を共通にする三角形領域の候補が複数存在する場合に他の2辺の合計長さが最も短い三角形領域の候補を有効な三角形領域として選択することを特徴とすることを特徴とする基板面高さ測定方法。 - 回路基板の実装面(以下単に「基板面」という)の任意の測定対象点の高さを測定する基板面高さ測定方法において、
前記基板面に設定された4個以上の高さ測定点を高さ測定手段により測定する高さ測定工程と、
前記4個以上の高さ測定点の中から隣り合う3個の高さ測定点を選択し、当該3個の高さ測定点を頂点とする三角形領域を形成する処理を繰り返して前記基板面を複数の三角形領域に分割する三角形領域分割工程と、
前記複数の三角形領域の中から実際に高さを測定しようとする測定対象点が含まれる三角形領域を選択し、当該三角形領域の3個の頂点となる3個の高さ測定点の高さ測定値に基づいて当該三角形領域内の測定対象点の高さを補間計算により算出する工程とを含み、 前記三角形領域分割工程において、1個の高さ測定点を共通の頂点とする三角形領域の候補が複数存在する場合に3辺の合計長さ又は最長辺が最も短い三角形領域の候補を有効な三角形領域として選択することを特徴とすることを特徴とする基板面高さ測定方法。 - 前記基板面に対してスリット光を斜め上方から前記高さ測定点に跨がるように照射するスリット照明手段と、前記基板面の真上から前記スリット光の照射部分を撮像するカメラとを使用し、
前記高さ測定手段は、前記カメラで撮像した前記スリット光と前記高さ測定点とが重なる部分の位置と前記スリット光の照射角度とに基づいて当該高さ測定点の高さを算出することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の基板面高さ測定方法。 - 前記スリット照明手段は、前記スリット光を紫外光により形成し、
前記カメラは、紫外光領域に感度を持つ紫外光カメラであることを特徴とする請求項7に記載の基板面高さ測定方法。 - 回路基板の実装面(以下単に「基板面」という)の任意の測定対象点の高さを測定する基板面高さ測定装置において、
前記基板面に設定された4個以上の高さ測定点の高さを測定する高さ測定手段と、
前記4個以上の高さ測定点の中から隣り合う3個の高さ測定点を選択し、当該3個の高さ測定点を頂点とする三角形領域を形成する処理を繰り返して前記基板面を複数の三角形領域に分割する三角形領域分割手段と、
前記複数の三角形領域の中から実際に高さを測定しようとする測定対象点が含まれる三角形領域を選択し、当該三角形領域の3個の頂点となる3個の高さ測定点の高さ測定値に基づいて当該三角形領域内の測定対象点の高さを補間計算により算出する補間計算手段とを含み、
前記三角形領域分割手段は、一辺を共通にする三角形領域の候補が複数存在する場合に他の2辺のうちの長い方の辺が最も短い三角形領域の候補を有効な三角形領域として選択することを特徴とすることを特徴とする基板面高さ測定装置。 - 回路基板の実装面(以下単に「基板面」という)の任意の測定対象点の高さを測定する基板面高さ測定装置において、
前記基板面に設定された4個以上の高さ測定点の高さを測定する高さ測定手段と、
前記4個以上の高さ測定点の中から隣り合う3個の高さ測定点を選択し、当該3個の高さ測定点を頂点とする三角形領域を形成する処理を繰り返して前記基板面を複数の三角形領域に分割する三角形領域分割手段と、
前記複数の三角形領域の中から実際に高さを測定しようとする測定対象点が含まれる三角形領域を選択し、当該三角形領域の3個の頂点となる3個の高さ測定点の高さ測定値に基づいて当該三角形領域内の測定対象点の高さを補間計算により算出する補間計算手段とを含み、
前記三角形領域分割手段は、一辺を共通にする三角形領域の候補が複数存在する場合に他の2辺の合計長さが最も短い三角形領域の候補を有効な三角形領域として選択することを特徴とすることを特徴とする基板面高さ測定装置。 - 回路基板の実装面(以下単に「基板面」という)の任意の測定対象点の高さを測定する基板面高さ測定装置において、
前記基板面に設定された4個以上の高さ測定点の高さを測定する高さ測定手段と、
前記4個以上の高さ測定点の中から隣り合う3個の高さ測定点を選択し、当該3個の高さ測定点を頂点とする三角形領域を形成する処理を繰り返して前記基板面を複数の三角形領域に分割する三角形領域分割手段と、
前記複数の三角形領域の中から実際に高さを測定しようとする測定対象点が含まれる三角形領域を選択し、当該三角形領域の3個の頂点となる3個の高さ測定点の高さ測定値に基づいて当該三角形領域内の測定対象点の高さを補間計算により算出する補間計算手段とを含み、
前記三角形領域分割手段は、1個の高さ測定点を共通の頂点とする三角形領域の候補が複数存在する場合に3辺の合計長さ又は最長辺が最も短い三角形領域の候補を有効な三角形領域として選択することを特徴とすることを特徴とする基板面高さ測定装置。 - 前記基板面に対してスリット光を斜め上方から前記高さ測定点に跨がるように照射するスリット照明手段と、前記基板面の真上から前記スリット光の照射部分を撮像するカメラとを備え、
前記高さ測定手段は、前記カメラで撮像した前記スリット光と前記高さ測定点とが重なる部分の位置と前記スリット光の照射角度とに基づいて当該高さ測定点の高さを算出することを特徴とする請求項9乃至11のいずれかに記載の基板面高さ測定装置。 - 前記スリット照明手段は、前記スリット光を紫外光で形成し、
前記カメラは、紫外光領域に感度を持つ紫外光カメラであることを特徴とする請求項12に記載の基板面高さ測定装置。
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