JP5594291B2 - 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(i)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
前記膜強化機能層は、発光層以外の機能層であることが好ましく、発光層に隣接する機能層であることが好ましい。膜強化機能層は、発光層と電子注入層との間の機能層であることがより好ましい。膜強化機能層は、発光層に隣接し、比較的膜厚が厚い電子輸送層であることが好ましい。
注入層は必要に応じて設け、電子注入層と正孔注入層があり、上記の如く陽極と発光層または正孔輸送層の間、及び陰極と発光層または電子輸送層との間に存在させてもよい。
正孔輸送材料としては上記正孔注入層のものを使用することができるが、さらには、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、特に芳香族第3級アミン化合物を用いることが好ましい。
電子輸送層とは電子を輸送する機能を有する材料からなり、広い意味で電子注入層、正孔阻止層も電子輸送層に含まれる。電子輸送層は単層または複数層設けることができる。
本発明に係る発光層は、電極または電子輸送層、正孔輸送層から注入されてくる電子及び正孔が再結合して発光する層であり、発光する部分は発光層の層内であっても発光層と隣接層との界面であってもよい。
本発明において、各発光層間に非発光性の中間層(非ドープ領域等ともいう)を設ける場合について説明する。
有機EL素子における陽極としては、仕事関数の大きい(4eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが好ましく用いられる。このような電極物質の具体例としては、Au等の金属、CuI、インジウムチンオキシド(ITO)、SnO2、ZnO等の導電性透明材料が挙げられる。また、IDIXO(In2O3−ZnO)等非晶質で透明導電膜を作製可能な材料を用いてもよい。陽極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させ、フォトリソグラフィー法で所望の形状のパターンを形成してもよく、あるいはパターン精度をあまり必要としない場合は(100μm以上程度)、上記電極物質の蒸着やスパッタリング時に所望の形状のマスクを介してパターンを形成してもよい。あるいは、有機導電性化合物のように塗布可能な物質を用いる場合には、印刷方式、コーティング方式等湿式成膜法を用いることもできる。この陽極より発光を取り出す場合には、透過率を10%より大きくすることが望ましく、また陽極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましい。さらに膜厚は材料にもよるが、通常は、10〜1000nmの範囲であり、好ましくは10〜200nmの範囲で選ばれる。
一方、陰極としては仕事関数の小さい(4eV以下)金属(電子注入性金属と称する)、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが用いられる。このような電極物質の具体例としては、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al2O3)混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等が挙げられる。これらの中で、電子注入性及び酸化等に対する耐久性の点から、電子注入性金属とこれより仕事関数の値が大きく安定な金属である第二金属との混合物、例えば、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al2O3)混合物、リチウム/アルミニウム混合物、アルミニウム等が好適である。陰極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させることにより、作製することができる。また、陰極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましく、膜厚は通常10nm〜5μm、好ましくは50〜200nmの範囲で選ばれる。なお、発光した光を透過させるため、有機EL素子の陽極または陰極のいずれか一方が透明または半透明であれば発光輝度が向上し好都合である。
本発明の有機EL素子に用いることのできる支持基板(以下、基体、基板、基材、支持体等とも言う)としては、ガラス、プラスチック等の種類には特に限定はなく、また透明であっても不透明であってもよい。支持基板側から光を取り出す場合には、支持基板は透明であることが好ましい。好ましく用いられる透明な支持基板としては、ガラス、石英、透明樹脂フィルムを挙げることができる。リジットな基板よりもフレキシブルな基板で、膜強化機能層の効果が大きく現れるため、特に好ましい支持基板は、有機EL素子にフレキシブル性を与えることが可能な樹脂フィルムである。
本発明に用いられる封止手段としては、例えば、封止部材と電極、支持基板とを接着剤で接着する方法を挙げることができる。
有機層を挟み支持基板と対向する側の前記封止膜、あるいは前記封止用フィルムの外側に、素子の機械的強度を高めるために保護膜、あるいは保護板を設けてもよい。特に封止が前記封止膜により行われている場合には、その機械的強度は必ずしも高くないため、このような保護膜、保護板を設けることが好ましい。これに使用することができる材料としては、前記封止に用いたのと同様なガラス板、ポリマー板・フィルム、金属板・フィルム等を用いることができるが、軽量かつ薄膜化ということからポリマーフィルムを用いることが好ましい。
有機EL素子は空気よりも屈折率の高い(屈折率が1.7〜2.1程度)層の内部で発光し、発光層で発生した光のうち15%から20%程度の光しか取り出せないことが一般的にいわれている。これは、臨界角以上の角度θで界面(透明基板と空気との界面)に入射する光は、全反射を起こし素子外部に取り出すことができないことや、透明電極ないし発光層と透明基板との間で光が全反射を起こし、光が透明電極ないし発光層を導波し、結果として光が素子側面方向に逃げるためである。
本発明の有機EL素子は基板の光取り出し側に、例えば、マイクロレンズアレイ状の構造を設けるように加工したり、あるいは所謂集光シートと組み合わせることにより、特定方向、例えば、素子発光面に対し正面方向に集光したりすることにより、特定方向上の輝度を高めることができる。
本発明の有機EL素子の作製方法の一例として、陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極からなる有機EL素子の作製法を説明する。
本発明の有機EL素子は、表示デバイス、ディスプレイ、各種発光光源として用いることができる。発光光源として、例えば、家庭用照明、車内照明、時計や液晶用のバックライト、看板広告、信号機、光記憶媒体の光源、電子写真複写機の光源、光通信処理機の光源、光センサーの光源、さらには表示装置を必要とする一般の家庭用電気器具等広い範囲の用途が挙げられるが、特にカラーフィルターと組み合わせた液晶表示装置のバックライト、照明用光源としての用途に有効に用いることができる。
《有機EL素子1−1の作製》
陽極としてガラス上にITOを100nm成膜した基板(NHテクノグラス社製:NA−45)にパターニングを行った後、このITO透明電極を設けた透明支持基板をiso−プロピルアルコールで超音波洗浄し、乾燥窒素ガスで乾燥し、UVオゾン洗浄を5分間行った。
H−A 22.4質量部
Ir−A 2.5質量部
Ir−1 0.05質量部
Ir−14 0.05質量部
酢酸イソプロピル 2,000質量部
続いて、30mgのET−Aを4mlのテトラフルオロプロパノール(TFPO)に溶解した溶液を1500rpm、30秒でスピンコート法により製膜した後、120℃で30分間保持し、膜厚30nmの電子輸送層とした。
有機EL素子1−1の作製において、電子注入層をCH3COOCsに変更した以外は同様にして、有機EL素子1−2(比較例)を作製した。
有機EL素子1−1の作製において、正孔輸送層への膜強化剤の添加以外は同様にして、有機EL素子1−3を作製した。膜強化剤添加を添加した正孔輸送層は30mgの例示正孔輸送材料(8)に6質量%となるようCH3COOCsを加え、4mlのテトラフルオロプロパノール(TFPO)に溶解した溶液を1500rpm、30秒でスピンコート法により製膜した後、120℃で30分間保持し、膜厚30nmの膜強化機能層とした。
有機EL素子1−3の作製において、アルカリ金属塩を添加する層を表1のように変更した以外は同様にして、有機EL素子1−4及び1−5を作製した。
有機EL素子1−3の作製において、正孔輸送層の例示正孔輸送材料(8)を正孔輸送材料HT−Dに変更し、アルカリ金属塩CH3COOCsを添加せずに正孔輸送層を塗布乾燥後、加熱したまま、高圧水銀ランプ(株式会社オーク製作所製OHD−110M−ST)を用い30mW/cm2の紫外光を20秒間照射し、さらに120℃で30分間加熱したこと以外は同様にして、有機EL素子1−6を作製した。
(駆動電圧)
有機EL素子を室温(約23〜25℃)、1,000cd/m2の定輝度条件下による点灯を行い、点灯開始直後の駆動電圧を測定した。ここで、発光輝度の測定はCS−1000(コニカミノルタセンシング社製)を用いた。駆動電圧は、有機EL素子1−1の駆動電圧を1.0とする相対値で表す。
ダークスポットは、85℃で500時間放置した後の素子を発光させた状態で顕微鏡観察し、数を計測し、下記評価ランクに従って評価した。
◎:発生数0個/mm2(ダークスポットの発生が全くない。)
○:発生数1個/mm2
△:発生数2〜4個/mm2
×:発生数5個以上/mm2
評価の結果を表1に示す。
《有機EL素子2−1の作製》
実施例1の有機EL素子1−1と同様にして陰極まで作製した有機EL素子に対して、下記方法による封止を施し、有機EL素子2−1(比較例)を作製した。
バリア層として厚さ100μmのアルミ箔を準備し、アルミ箔の片面に熱硬化型の液状接着剤(エポキシ系樹脂)を厚さ30μmで塗設し、封止部材とした。有機EL素子の第1電極、第2電極の引き出し電極の端部は外に出るように、封止部材の接着剤面と素子の有機層面を重ね合わせ、ドライラミネート法により接着を行った。
アルカリ金属塩を表2のように変更した以外は実施例1の有機EL素子1−5と同様にして、有機EL素子を作製し、有機EL素子2−1と同様の方法で封止を施し、有機EL素子2−2〜2−9を作製した。
有機EL素子2−9の作製において、電子輸送層の電子輸送材料ET−Aを電子輸送材料HS−110に変更した以外は同様にして、有機EL素子2−10を作製した。
(外部圧力耐性)
封止のドライラミネートの際の圧力により、有機EL素子がダメージを受けダークスポットが発生する。そこで外部圧力耐性の評価は、封止直後のダークスポット数により評価した。ダークスポットは、有機EL素子を発光させた状態で顕微鏡観察し、数を計測し、下記評価ランクに従って評価した。
◎:発生数0個/mm2(ダークスポットの発生が全くない。)
○:発生数0個より多く2個未満/mm2
△:発生数2個以上〜5個未満/mm2
×:発生数5個以上/mm2
(ダークスポット)
実施例1と同様の方法により評価した。
有機EL素子を室温下、初期輝度1,000cd/m2となる電流による定電流条件下で連続点灯を行い、初期輝度の半分の輝度になるのに要する時間(τ1/2)を測定した。発光寿命は有機EL素子2−1の発光寿命を1.0とする相対値で表す。
有機EL素子の機能層の膜硬度は、ダイプラウインテス性サイカスNN−04型の硬度測定器(SAICAS)を用い、膜のせん断力を測定することで評価した。測定条件としては、サンプリングステップは0.2sec/pointで、ダイヤモンド製1mm幅の刃を使用し、剪断角度は45°、押圧荷重を2μN、バランス加重1μNとし、垂直速度1nm/sec、水平速度100nm/secにて切削を行い、水平方向及び垂直方向の力を記録し、水平方向及び垂直方向のせん断力とした。
《有機EL素子3−1〜3−9の作製》
膜強化剤の添加量を表3のように変更した以外は、実施例1の有機EL素子1−5と同様の方法で、有機EL素子3−1〜3−9を作製した。
電子輸送層以外は、実施例1の有機EL素子1−5と同様の方法で、本発明の有機EL素子3−10を作製した。電子輸送層は5mgのET−Aに6質量%となるようCH3COOCsを加え、4mlのテトラフルオロプロパノール(TFPO)に溶解した溶液を1500rpm、30秒でスピンコート法により製膜した後、120℃で30分間保持し、膜厚5nmの膜強化機能層とした。
電子輸送層以外は、実施例1の有機EL素子1−5と同様の方法で、本発明の有機EL素子3−11を作製した。電子輸送層は100mgのET−Aに6質量%となるようCH3COOCsを加え、4mlのテトラフルオロプロパノール(TFPO)に溶解した溶液を1500rpm、30秒でスピンコート法により製膜した後、120℃で30分間保持し、膜厚100nmの膜強化機能層とした。
電子輸送層以外は、実施例1の有機EL素子1−5と同様の方法で、本発明の有機EL素子3−12を作製した。電子輸送層は100mgのET−Aに6質量%となるようCH3COOCsを加え、4mlのテトラフルオロプロパノール(TFPO)に溶解した溶液を600rpm、30秒でスピンコート法により製膜した後、120℃で30分間保持し、膜厚300nmの膜強化機能層とした。
(ダークスポット)
実施例1と同様の方法により評価した。
有機EL素子を室温(約23〜25℃)、1,000cd/m2の定輝度条件下による点灯を行い、点灯開始直後の駆動電圧を測定した。次に素子を85℃環境下で500時間保存後、同様の方法で駆動電圧を測定し、保存前後の駆動電圧差を算出した。
有機EL素子を室温下、初期輝度1,000cd/m2となる電流による定電流条件下で連続点灯を行い、初期輝度の半分の輝度になるのに要する時間(τ1/2)を測定した。発光寿命は、有機EL素子3−1の発光寿命を1.0とする相対値で表した。
《有機EL素子4−1、4−2の作製》
素子作製時の窒素雰囲気下中の水分量を表4のように変更した以外は、実施例3の有機EL素子3−1と同様の方法で、比較例の有機EL素子4−1、4−2を作製した。
素子作製時の窒素雰囲気下中の水分量を表4のように変更した以外は、実施例3の有機EL素子3−5と同様の方法で、本発明の有機EL素子4−3、4−4を作製した。
素子作製時の窒素雰囲気下中の水分量を表4のように変更した以外は、実施例2の有機EL素子2−10と同様の方法で、本発明の有機EL素子4−5、4−6を作製した。
(駆動電圧変化量)
実施例3と同様の方法で測定した。
Claims (14)
- 基板上に、少なくとも陽極及び陰極と、該陽極及び該陰極との間に、少なくとも発光層、正孔注入層及び電子注入層を含む複数の機能層を有する有機EL素子において、発光層と電子注入層との間の該発光層に隣接する機能層がマトリックス材料に膜強化剤を添加した膜強化機能層であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記膜強化機能層が、電子輸送層であることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記膜強化機能層の膜厚が10〜200nmであることを特徴とする請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記膜強化機能層に用いられる膜強化剤が、有機化合物のアルカリ金属塩であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記膜強化剤が、脂肪族カルボン酸のアルカリ金属塩であることを特徴とする請求項4に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記脂肪族カルボン酸の炭素数が4以下であることを特徴とする請求項5に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記脂肪族カルボン酸が酢酸であることを特徴とする請求項6に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記アルカリ金属塩のアルカリ金属がカリウムまたはセシウムであることを特徴とする請求項4〜7のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記アルカリ金属がセシウムであることを特徴とする請求項8に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記膜強化剤の添加量が、膜強化機能層に対し1.5〜35質量%であることを特徴とする請求項4〜9のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記膜強化剤の添加量が、膜強化機能層に対し3〜25質量%であることを特徴とする請求項10に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記正孔注入層がウェットプロセスにより形成されることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記膜強化機能層が、前記マトリックス材料のガラス転移温度より低い温度まで加熱する安定化処理を施されていることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 請求項13に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、発光層と電子注入層との間の該発光層に隣接する機能層を、前記膜強化剤を添加したマトリックス材料を用いて膜強化機能層として形成した後、該マトリックス材料のガラス転移温度より低い温度まで加熱する安定化処理に供することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
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JP2000091078A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-31 | Minolta Co Ltd | 有機エレクトロルミネセンス素子 |
JP2001265251A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Minolta Co Ltd | 表示素子及び積層型表示素子 |
JP2001332390A (ja) * | 2000-02-02 | 2001-11-30 | Mitsubishi Chemicals Corp | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
JP2003303691A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-24 | Samsung Nec Mobile Display Co Ltd | 有機電子発光素子 |
JP2003347061A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-12-05 | Tdk Corp | 有機el素子およびその製造方法 |
JP2004335137A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Canon Inc | 発光素子 |
JP2004335136A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Canon Inc | 有機発光素子 |
JP2007281039A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Seiko Epson Corp | 有機無機複合半導体材料、液状材料、有機発光素子、有機発光素子の製造方法、発光装置および電子機器 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000091078A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-31 | Minolta Co Ltd | 有機エレクトロルミネセンス素子 |
JP2001332390A (ja) * | 2000-02-02 | 2001-11-30 | Mitsubishi Chemicals Corp | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
JP2001265251A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Minolta Co Ltd | 表示素子及び積層型表示素子 |
JP2003347061A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-12-05 | Tdk Corp | 有機el素子およびその製造方法 |
JP2003303691A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-24 | Samsung Nec Mobile Display Co Ltd | 有機電子発光素子 |
JP2004335137A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Canon Inc | 発光素子 |
JP2004335136A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Canon Inc | 有機発光素子 |
JP2007281039A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Seiko Epson Corp | 有機無機複合半導体材料、液状材料、有機発光素子、有機発光素子の製造方法、発光装置および電子機器 |
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