JP5591398B2 - ガスレーザ及び当該ガスレーザの運転方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、冒頭で述べた形式のガスレーザ及び運転方法を改良して、形成されたレーザビームのレーザビーム方向の不都合な変化を可能な限り小さく保持することである。
上記目的は、レーザガスを冷却する付加的な冷却装置、及び/又は熱交換器の少なくとも1つの冷却通路内における冷却液体と、コーナケーシングの少なくとも1つの冷却通路の冷却液体との温度差を形成するための温度調節装置が設けられているガスレーザにより達成される。従来のガスレーザにおいて、流入する冷却されたレーザガスの温度は、典型的に約10K(ケルビン)、コーナケーシングにおける冷却液体の温度を超えている。上述の手段により、コーナケーシング内への進入時に冷却されたレーザガスの温度と、コーナケーシングにおける冷却液体の温度との間の差は、5K(ケルビン)より小さく、好ましくは2Kより小さく、特に0.2Kより小さく調節可能である、ということを達成することができる。
Claims (16)
- コーナケーシング(4,5)を介して互いに接続されている複数の放電管(3)であって、前記コーナケーシング(4,5)の夫々に、レーザビーム(6,10)のビーム案内用の少なくとも1つのミラーエレメント(7,8,9)、及び冷却液体(21)を内に備える少なくとも1つの冷却通路(20)が設けられている、複数の放電管(3)と、
各コーナケーシング(4,5)内への進入前にレーザガスを冷却する冷却液体(17)を内に備える少なくとも1つの冷却通路(16)を備えた熱交換器(19)と、を有するガスレーザ(1)であって、
前記レーザガスを冷却する付加的な冷却装置(25,26,27,29)、及び、
前記熱交換器(19)の少なくとも1つの冷却通路(16)における冷却液体(17)と、前記コーナケーシング(4,5)の少なくとも1つの冷却通路(20)の冷却液体(21)との温度差(TW,W−TW,B)を形成する温度調節装置(18,22)の、両方又は一方が設けられていて、
前記コーナケーシング(4,5)内への進入時の冷却されたレーザガスの温度(TG,K)と、前記コーナケーシング(4,5)の冷却通路(20)における冷却液体(21)の温度(TW,B)との差(TG,K−TW,B)が、5Kより小さく調節可能であることを特徴とする、ガスレーザ。 - 前記温度差は、2Kより小さく調節可能であることを特徴とする、請求項1記載のガスレーザ。
- 前記温度差は、0.2Kより小さく調節可能であることを特徴とする、請求項1記載のガスレーザ。
- 前記熱交換器(19)の冷却通路(16)及び前記コーナケーシング(4,5)の冷却通路(20)は、2つの異なる冷媒回路に属していることを特徴とする、請求項1から3までのいずれか一項記載のガスレーザ。
- 前記温度調節装置(22)は、前記コーナケーシング(4,5)の冷却通路(20)に供給される冷却液体(21)を加熱する加熱装置を有していることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか一項記載のガスレーザ。
- 前記温度調節装置(18)は、前記熱交換器(19)の冷却通路(16)に供給される冷却液体(17)を冷却する冷却装置を有することを特徴とする、請求項1から5までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 前記付加的な冷却装置は、前記コーナケーシング(4,5)内への進入時に前記レーザガスを断熱膨張させる膨張装置(25)を有することを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 前記付加的な冷却装置は、付加的なレーザガスを混合する混合装置(27,28)を有することを特徴とする、請求項1から7までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 前記付加的な冷却装置は、前記レーザガスを冷却するペルチェ素子(26)を有することを特徴とする、請求項1から8までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 前記付加的な冷却装置は、他の冷媒でもって運転される他の熱交換器(29)を有することを特徴とする、請求項1から9までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 前記ミラーエレメント(7,8,9)と前記コーナケーシング(4,5)との間に、熱絶縁部(30)が設けられていることを特徴とする、請求項1から10までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 前記ミラーエレメント(7,8,9)を直接的に冷却する他の冷却装置(31)が設けられていることを特徴とする、請求項1から11までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 前記コーナケーシング(4,5)の冷却通路(20)と共に1つの共通の冷媒回路を形成する少なくとも1つの冷却通路を有する共振フレーム(33)をさらに有することを特徴とする、請求項1から12までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 請求項1から13までのいずれか1項記載のガスレーザ(1)を運転するにあたり、前記ガスレーザ(1)のコーナケーシング(4,5)内への進入時の冷却されたレーザガスの温度(TG,K)と、前記コーナケーシング(4,5)の少なくとも1つの冷却通路(20)における冷却液体(21)の温度(TW,B)との差(TG,K−TW,B)を、該差が、5Kより小さいように調節する、ガスレーザの運転方法。
- 前記温度差を、2Kより小さく調節することを特徴とする、請求項14記載の方法。
- 前記温度差を、0.2Kより小さく調節することを特徴とする、請求項14記載の方法。
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