JP5587962B2 - ガス加圧により載置板の反りを抑制する載置板固定方法 - Google Patents
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Description
1a 反り部分
1b 上面
1c 下面
3 排気可能な治具
3a 穴開き面
5 穴
7 ガス通路
9 排気装置
11 耐熱密封層
100 フローチャート
101 対向している上下面を有する載置板を準備する。
103 複数の穴が設けられる穴開き面を有する排気可能な治具を準備する。
105 前記載置板の前記上下面のうち一面を前記穴開き面に向け、前記穴開き面に配置・固定する。そのうち前記穴開き面に向いている前記載置板の前記面を第1面と定義し、前記第1面に対向している別の面を第2面と定義する。
107 チャンバに対してガス加圧を行い、前記チャンバにある前記排気可能な治具に対して排気を行って前記載置板の前記第1面と前記第2面との間に圧力差を生じさせることにより、前記載置板を前記治具に押し付ける。前記チャンバを標準大気圧より大きい所定圧力まで加圧する。
200 フローチャート
201 対向している上下面を有する載置板を準備する。
203 複数の穴が設けられる穴開き面を備える排気可能な治具を準備する。
205 前記載置板の前記上下面のうち一面を前記穴開き面に向け、前記穴開き面に配置する。そのうち前記穴開き面に向いている前記載置板の前記面を第1面と定義し、前記第1面に対向している別の面を第2面と定義する。
207 前記治具に対して真空排気を行って前記治具に載置板を固定する。
209 前記載置板を有する治具をガス加圧可能なチャンバ中に置く。
211 前記チャンバに対してガス加圧を行い、前記載置板の前記第1面と前記第2面との間に圧力差を生じさせることにより、前記載置板を前記治具に押し付ける。前記チャンバを標準大気圧より大きい所定圧力まで加圧する。
Claims (7)
- 対向している上下面を有し、反り部分を有する載置板を準備するステップと、
複数の穴が設けられた穴開き面を有する排気可能な治具を準備するステップと、
前記載置板の前記上下面のうち一面を前記穴開き面に向け、前記穴開き面に配置・固定し、前記穴開き面に向いている前記載置板の前記面を第1面と定義し、前記第1面に対向している別の面を第2面と定義するステップと、
1atmより大きく、30atm以下の所定圧力により、チャンバに対してガス加圧を行い、同時に又はその後、前記チャンバ内にある前記排気可能な治具に対して非真空排気を行って、前記反り部分の前記第1面に気体を流動させ圧力を低下させて前記第2面との間に圧力差を生じさせることにより、前記反り部分を前記治具に押し付けるとともに、前記所定圧力による前記第1面と前記第2面との圧力差により、前記載置板が前記治具に押し付けられるステップと、
を備えるガス加圧により載置板の反りを抑制する載置板の固定方法。 - 前記載置板が、プリント回路板、基板、リードフレーム、ウェハ、シリコンインターポーザ又はパッケージのうちの少なくとも一つである、ことを特徴とする請求項1記載のガス加圧により載置板の反りを抑制する載置板の固定方法。
- 前記載置板の前記上下面のうち一面を前記穴開き面に向け、前記穴開き面に配置・固定するステップにおいて、前記固定方法は、粘着材料により前記載置板の面を前記穴開き面に固定する方法、及び前記載置板自体の重量により、前記載置板の面を前記穴開き面に固定する方法のうち少なくとも一つを含む、ことを特徴とする請求項1記載のガス加圧により載置板の反りを抑制する載置板の固定方法。
- 前記チャンバに対してガス加圧を行い、前記排気可能な治具に対して非真空排気を行うステップにおいて、前記チャンバに対してガス加圧を行う充気量は、前記排気可能な治具に対して非真空排気を行う排気量より大きい、ことを特徴とする請求項1記載のガス加圧により載置板の反りを抑制する載置板の固定方法。
- 前記載置板の前記第1面と前記治具の前記穴開き面との間に少なくとも一の耐熱密封層を設置し、前記耐熱密封層は前記穴を覆わない、ことを特徴とする請求項1記載のガス加圧により載置板の反りを抑制する載置板の固定方法。
- 前記耐熱密封層は、40℃以上300℃以下の処理温度に耐えられる、ことを特徴とする請求項5記載のガス加圧により載置板の反りを抑制する載置板の固定方法。
- 前記穴の位置は、前記載置板の周縁位置に対応している、ことを特徴とする請求項1記載のガス加圧により載置板の反りを抑制する載置板の固定方法。
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