JP5586280B2 - 光学素子成形型の製造方法 - Google Patents
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Description
そして、このような微細構造体を有する光学素子の量産には型成形が有利である。
前記第1の材料の前記成形面に凹形状の微細構造体を形成する工程と、
を含み、前記曲面に前記微細構造体が形成された光学素子型の製造方法であって、
前記第1材料よりも相対的にエッチングレートの高い第2材料を前記微細構造体の前記凹形状に充填する工程と、
前記成形面の光軸方向に優位な異方性を有する異方性エッチングを行う工程と、
を更に含む光学素子成形型の製造方法を提供する。
前記第1の材料の前記成形面に凸形状の微細構造体を形成する工程と、
を含み、前記曲面に前記微細構造体が形成された光学素子型の製造方法であって、
前記第1材料よりも相対的にエッチングレートの高い第2材料で前記微細構造体を覆う工程と、
前記成形面の光軸方向に優位な異方性を有する異方性エッチングを行う工程と、
を更に含む光学素子成形型の製造方法を提供する。
傾けることができる。
このように、光軸方向に微細構造体が傾くことにより、型成形時に光学素子等の成形品の離型が円滑に行われるようになる。
すなわち、微細構造体の凹凸が曲面の法線方向に形成されている成形型に対し、比較的簡便な方法で形成方向を光軸方向に修正することにより、成形時の離型性を向上させることができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施の形態である光学素子成形型の製造方法の一例を工程順に例示した略断面図である。
図2は、本発明の一実施の形態である光学素子成形型の製造方法の一例を工程順に例示した拡大断面図である。
図5は、本発明の一実施の形態である光学素子成形型の製造方法で製作された成形型を用いた成形動作の一例を示す拡大断面図である。
この場合、一例として、複数の凹形微細構造体13は、たとえば、等方性の湿式エッチング等の方法で成形面12に形成される。
すなわち、型基材11(成形面12)のエッチングレートをR11、充填材料14のエッチングレートをR14とすると、R11<R14の関係となるようにする。
ッチング100により、自動的にアンダカット面部13bが消失するように残存充填材料14aが被着した形状の凹形微細構造体15形成される。
この場合、上述のように個々の凹形微細構造体15では、離型方向平行面13cと非アンダカット面部13dしか存在せず、アンダカット面部13bは存在しない。
に対する異方性エッチング100によって自動的に最適な形状に形成される。
図7は、本発明の他の実施の形態である光学素子成形型の製造方法の一例を工程順に例示した略断面図である。
図8は、本発明の他の実施の形態である光学素子成形型の製造方法の一例を工程順に例示した拡大断面図である。
図11は、本発明の他の実施の形態である光学素子成形型の製造方法で製作された成形型を用いた成形動作の一例を示す拡大断面図である。
この場合、一例として、複数の凸形微細構造体23は、たとえば、等方性の湿式エッチング等の方法で成形面22に形成される。
すなわち、型基材21のエッチングレートをR21、充填材料24のエッチングレートをR24とすると、R21<R24の関係となるようにする。
このようにして得られた凸形微細構造体25を具備した成形型20を用いた型成形により、図11に例示されるように反射防止光学素子40の成形を行う。
この場合、上述のように個々の凸形微細構造体25では、離型方向平行面23cと非アンダカット面部23dしか存在せず、アンダカット面部23bは存在しない。
すなわち、反射防止光学素子40の凹形微細構造体41が損傷されないので所望の反射防止効果を確実に実現できる。
すなわち、上述の各実施の形態では、まず、成形型10(成形型20)の成形面12(成形面22)の形状を決定して、当該成形面12を有する型基材11を製作する(ステップ301)(加工工程S11)(加工工程S21)。
次に、凹形微細構造体13(凸形微細構造体23)を充填材料14(充填材料24)で覆う(ステップ304)(加工工程S13)(加工工程S23)。
また、チャンバ210は、図示しない真空排気系に接続されており、内部を所望の真空度に排気することが可能になっている。
まず、チャンバ210の内部に、充填材料14で覆われた型基材11を、充填材料14を上部平面アノード電極230に向けて、下部平面カソード電極220の上に載置する。
たとえば、反射防止光学素子30や反射防止光学素子40としては、レンズに限らず、任意の曲面を有するミラーやプリズム等の一般の光学素子に広く適用できる。
(付記3)付記1または付記2の製造方法により作製された反射防止光学素子成形金型によって成形された反射防止光学素子。
11 型基材
12 成形面
12a 光軸
12b 法線
13 凹形微細構造体
13a 中心軸
13b アンダカット面部
13c 離型方向平行面
13d 非アンダカット面部
14 充填材料
14a 残存充填材料
15 凹形微細構造体
20 成形型
21 型基材
22 成形面
22a 光軸
22b 法線
23 凸形微細構造体
23a 中心軸
23b アンダカット面部
23c 離型方向平行面
23d 非アンダカット面部
24 充填材料
24a 残存充填材料
25 凸形微細構造体
30 反射防止光学素子
31 凸形微細構造体
31a 光軸平行面
31b 光軸傾斜面
32 光学機能面
32a 光軸方向
40 反射防止光学素子
41 凹形微細構造体
41a 光軸平行面
41b 光軸傾斜面
42 光学機能面
42a 光軸方向
100 異方性エッチング
101 エッチングガス
200 ドライエッチング装置
210 チャンバ
211 ガス供給口
220 下部平面カソード電極
230 上部平面アノード電極
240 高周波電源
241 ブロッキングコンデンサ
Claims (6)
- 成形面に曲面を有する第1材料を準備する工程と、
前記第1の材料の前記成形面に凹形状の微細構造体を形成する工程と、
を含み、前記曲面に前記微細構造体が形成された光学素子型の製造方法であって、
前記第1材料よりも相対的にエッチングレートの高い第2材料を前記微細構造体の前記凹形状に充填する工程と、
前記成形面の光軸方向に優位な異方性を有する異方性エッチングを行う工程と、
を更に含むことを特徴とする光学素子成形型の製造方法。 - 請求項1記載の光学素子成形型の製造方法において、
前記微細構造体を構成する個々の前記凹形状は、当該成形面の法線方向に形成され、前記異方性エッチングの後に、前記凹形状の内部の前記異方性エッチングに対して陰になる部位に前記第2材料が選択的に残存することを特徴とする光学素子成形型の製造方法。 - 請求項2記載の光学素子成形型の製造方法において、
さらに、前記異方性エッチングによって露出した前記成形面、および前記凹形状に残存する前記第2材料を覆うように金属メッキを行う工程を含むことを特徴とする光学素子成形型の製造方法。 - 成形面に曲面を有する第1材料を準備する工程と、
前記第1の材料の前記成形面に凸形状の微細構造体を形成する工程と、
を含み、前記曲面に前記微細構造体が形成された光学素子型の製造方法であって、
前記第1材料よりも相対的にエッチングレートの高い第2材料で前記微細構造体を覆う工程と、
前記成形面の光軸方向に優位な異方性を有する異方性エッチングを行う工程と、
を更に含むことを特徴とする光学素子成形型の製造方法。 - 請求項4記載の光学素子成形型の製造方法において、
前記微細構造体を構成する個々の前記凸形状は、当該成形面の法線方向に形成され、前記異方性エッチングの後に、前記凸形状の周囲の前記異方性エッチングに対して陰になる部位に前記第2材料が選択的に残存することを特徴とする光学素子成形型の製造方法。 - 請求項5記載の光学素子成形型の製造方法において、
さらに、前記異方性エッチングによって露出した前記成形面、および前記凸形状の周囲に残存する前記第2材料を覆うように金属メッキを行う工程を含むことを特徴とする光学素子成形型の製造方法。
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