JP5586062B2 - 電子部品の搬送機構及びそれを備えた電子部品検査装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明に係る代表的な実施形態について、図1〜図3を参照して具体的に説明する。図1、図2は電子部品の搬送機構における吸着ノズルの正面図、図3は本実施形態に係る電子部品検査装置の概略構成を示す平面図である。
本実施形態に係る電子部品検査装置はテストハンドラHであり、電子部品であるデバイスDに対し各種の工程処理を施す複数の工程処理ユニットと、デバイスDを各種の工程処理ユニットを搬送する搬送機構を備えている。まず、図3を参照して、テストハンドラHの概略構成について説明する。
図1、図2に示すように、保持ユニット1ごとに、2本の吸着ノズル2a、2bが設置されている。この点が本実施形態の構成上の特徴の一つである。図3では保持ユニット1は24あるので、吸着ノズル2a、2bは合計48本ある。吸着ノズル2a、2bは、ターンテーブルTの外周端に取り付けられた支持部によってターンテーブルTに対して上下動可能となっている。
テストハンドラHにおける各種の工程処理ユニットとしては、ターンテーブルTの回転方向に順に、以下の14台のユニットが配置されている。すなわち、2台のフィーダユニット3A、3B、方向判別ユニット4、方向反転ユニット5、電気テストユニット6、7、方向反転ユニット8、外観検査ユニット9、11、良品・不良品分類ユニット13、2台のテーピングユニット14A、14Bが配置されている。
以上のテストハンドラHでは、図示しない制御部により、ターンテーブルTを回転させるダイレクトドライブモータ、吸着ノズル2a、2bを上下動させる駆動部21a、21b、真空発生装置、及び各種の工程処理ユニット3A、3B、4〜14A、14Bに電気信号を送出することで、これらの動作タイミングを制御している。
以上の構成を有する本実施形態では、1つの保持ユニット1に2本の吸着ノズル2a、2bを取り付けたので、ターンテーブルTの旋回時間が同じでも、デバイスDの搬送量を飛躍的に増加させることができる。したがって、デバイスDの搬送効率を大幅に高めることが可能であり、テストハンドラHの生産性を高めることができる。
以上のように本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。この実施形態は、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
2a、2b…吸着ノズル
21a、21b…駆動部
3A、3B…フィーダユニット
4…方向判別ユニット
5、8…方向反転ユニット
6、7…電気テストユニット
9、11…外観検査ユニット
13…良品・不良品分類ユニット
14A、14B…テーピングユニット
D…デバイス
H…テストハンドラ
T…ターンテーブル
Claims (2)
- 間欠回転するターンテーブルが設けられ、前記ターンテーブル外周に沿って等間隔に離間した保持手段が取り付けられ、前記ターンテーブル外周に沿って位置する工程処理ユニットに対し前記保持手段にて電子部品を保持して搬送するように構成された電子部品の搬送機構において、
前記保持手段は2本ずつ、1つの保持ユニットに取り付けられ、この保持ユニットの配置間隔が前記ターンテーブルの1ピッチの回転角度と等しく設定され、
同一の前記保持ユニットに設けられた2本の前記保持手段は、両方を同時に昇降させ前記電子部品の吸着動作を行う制御と、片方だけを昇降させ互いに独立して前記電子部品の吸着動作を行う制御の両方を行うように構成され、
前記工程処理ユニットには、ターンテーブルの間欠回転が停止した時の前記保持手段と一致する加工点が2つあるものと、前記加工点が1つだけのものとが設けられ、
前記加工点が2つある工程処理ユニットでは前記保持ユニットは、2本の前記保持手段を同時に昇降させ前記電子部品の吸着動作を行う制御を行うか、もしくは片方の前記保持手段だけを昇降させ前記電子部品の吸着動作を行う制御を行い、これと同時に、
前記加工点が1つだけの工程処理ユニットでは前記保持ユニットは片方の前記保持手段だけを昇降させ前記電子部品の吸着動作を行う制御を行うように構成されたことを特徴とする電子部品の搬送機構。 - 請求項1に記載の電子部品の搬送機構を備えたことを特徴とする電子部品検査装置。
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