JP5581952B2 - 搬送車及び搬送システム - Google Patents

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本発明は、例えば天井に敷設された軌道に沿って走行することで被搬送物を搬送する搬送車、及び該搬送車を備える搬送システムの技術分野に関する。
この種の搬送車として、例えば天井に敷設された軌道に沿って走行する懸垂型の搬送車(所謂OHT:Overhead Hoist Transport)がある。OHTは、被搬送物であるFOUP(Front Opening Unified Pod)を移載する際に、巻き出し及び巻き取り可能な昇降ベルトによって取り付けられた把持部を用いる。把持部を昇降させる昇降ベルトには、把持部に各種信号(例えば、把持部の開閉動作を制御する信号等)を伝達するための芯線が設けられている。この芯線への信号伝達には、回転動作による断線等を防止するためにスリップリングが用いられている(例えば、特許文献1参照)。
特開2006−143343号公報
昇降ベルトの芯線を介して伝達すべき信号の種類は、把持部における制御の種類が増えると、それに伴って増加する。しかしながら、昇降ベルト1本で伝達できる信号の数は、例えば芯線の抵抗値に応じて決まるため、その数に限界がある。よって、多くの信号を伝達しようとする場合には、複数の昇降ベルトを用いて信号を伝達することが求められる。
ここで仮に、2本の昇降ベルト間に減速機等の介在物があるとする。この場合、両方の昇降ベルトに信号を伝達させるためには、介在物を避けるように信号線を配置することが求められる。具体的には、昇降ベルトが取り付けられるシャフトに穴を空け、そこに信号線を通す方法が考えられる。しかしながら、この方法では、シャフトの強度不足を招くおそれがある。また、シャフトの径が小さい場合には、シャフトの中に信号線を通すことができない。或いは、上述した特許文献1に記載されているようなスリップリングを複数設ける方法も考えられるが、スリップリングは比較的高価な部材であるため、装置のコストを大幅に増大させてしまうという問題点がある。
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、被搬送物を把持する把持部に対して、好適に信号を伝達可能な搬送車及び搬送システムを提供することを課題とする。
本発明の搬送車は上記課題を解決するために、被搬送物を把持する把持部を昇降部によって昇降させて前記被搬送物を移載し、軌道に沿って走行することで前記被搬送物を搬送する搬送車であって、導電性の材料を含んでなるシャフトと、前記昇降部において、前記シャフトを回転可能に支持する支持部と、前記支持部から見て、前記シャフトの一端側に取り付けられた複数の第1のドラムと、前記支持部から見て、前記シャフトの他端側に取り付けられた複数の第2のドラムと、前記複数の第1のドラムの各々に一端側が固定されると共に他端側が前記把持部に固定され、前記複数の第1のドラムの各々によって巻き出し及び巻き取りされる複数の第1のベルトと、前記複数の第2のドラムの各々に一端側が固定されると共に他端側が前記把持部に固定され、前記複数の第2のドラムの各々によって巻き出し及び巻き取りされる複数の第2のベルトと、前記支持部から見て、前記シャフトの一端側に設けられており、信号を送信する昇降部側送信部と、前記把持部に設けられており、信号を受信する把持部側受信部と、前記複数の第1のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁され、他端側が前記把持部側受信部と導通される第1の芯線と、前記複数の第2のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと導通され、他端側が前記把持部側受信部と導通される第2の芯線とを備え、前記第1の芯線及び前記第2の芯線のうち一方は、前記一端側が前記昇降部側送信部に導通されることで、前記昇降部側送信部から前記把持部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能し、他方は、アース線として機能する。
本発明の搬送車によれば、被搬送物を把持する把持部を昇降部が昇降させることで被搬送物が移載される。より具体的には、先ず被搬送物を把持する把持部が、昇降部によって被搬送物を把持可能な位置まで降下される。そして、把持部が被搬送物を把持すると、昇降部によって把持部が元の位置へと上昇される。被搬送物が移載されると、例えば天井に敷設された軌道に沿って搬送車が走行する。これにより、軌道に沿って配置された半導体製造装置や一時保管棚等の間で、被搬送物が搬送される。
本発明の搬送車は特に、導電性の材料を含んでなるシャフトを有している。このシャフトは、昇降部に設けられた支持部によって回転可能に支持されている。支持部から見てシャフトの一端側には、複数の第1のドラムが取り付けられている。また支持部から見てシャフトの他端側には、複数の第2のドラムが取り付けられている。即ち、シャフトには、支持部を介在させて対向するような位置に、第1のドラム及び第2のドラムが夫々設けられている。
複数の第1のドラムの各々には、第1のベルトがそれぞれ取り付けられている。即ち、第1のドラムの数だけ、第1のベルトが設けられている。第1のベルトは、一端が第1のドラムに固定されると共に他端が把持部に固定されており、第1のドラムによって巻き出し及び巻き取り可能に構成されている。また第2のドラムの各々には、第2のベルトがそれぞれ取り付けられている。即ち、第2のドラムの数だけ、第2のベルトが設けられている。第2のベルトは、一端が第2のドラムに固定されると共に他端が把持部に固定されており、第2のドラムによって巻き出し及び巻き取り可能に構成されている。よって、第1のベルト及び第2のベルトを巻き出せば、昇降部に対して把持部を降下させることができる。また、第1のベルト及び第2のベルトを巻き取れば、降下させた把持部を上昇させることができる。
支持部から見てシャフトの一端側には、昇降部側送信部が設けられている。即ち、昇降部側送信部は、支持部から見て第1のドラム側に設けられている。昇降部側送信部は、例えば把持部における各種制御(例えば、把持部の開閉動作、被搬送物の存在検出、被搬送物の移載位置の教示、把持部の揺れ検出等等)を行うための制御信号を送信する。一方で、把持部には把持部側受信部が設けられており、昇降部側送信部から送信される信号を受信する。把持部側受信部は、例えば受信した制御信号を用いて把持部側の動作を制御する。
第1のドラムに取り付けられた複数の第1のベルトのいずれかには、その長さ方向に延在するように、第1の芯線が設けられている。第1の芯線は導電性を有しており、一端側において昇降部に設けられたシャフトと絶縁され、他端側で把持部に設けられた把持部側受信部と導通されている。一方、第2のドラムに取り付けられた複数の第2のベルトのいずれかには、その長さ方向に延在するように、第2の芯線が設けられている。第2の芯線は導電性を有しており、一端側において昇降部に設けられたシャフトと導通され、他端側で把持部に設けられた把持部側受信部と導通されている。尚、第1の芯線及び第2の芯線は、それぞれ複数設けられていてもよい。この場合には、第1の芯線及び第2の芯線が、それぞれ複数の第1のベルト及び複数の第2のベルトに設けられてもよいし、一本の第1のベルト及び第2のベルトにまとめて設けられてもよい。
本発明では上述したように、第1の芯線がシャフトと絶縁されているのに対し、第2の芯線はシャフトと導通されている。このため、第2の芯線を介して伝達される信号を、シャフトを介して第2のドラム側から第1ドラム側へと伝達することが可能である。或いは、第1のドラム側から送信される信号を、シャフトを介して第2のドラム側の第2の芯線へと伝達することが可能である。このような効果は、シャフトを支持する支持部が、例えば減速機のように比較的大きな部材として構成される場合に顕著に発揮される。即ち、支持部が介在することによって、信号線を迂回させなければならないような場面において非常に有効である。
尚、例えばシャフトに穴を空けて、その中に信号線を通すような構成も考えられる。しかしながら、この方法では、シャフトに空けた穴によって強度不足を招くおそれがある。また、シャフトの径が小さい場合には、シャフトの中に信号線を通すことができない。また、複数のスリップリングを用いる方法も考えられるが、スリップリングは比較的高価な部材であるため、装置のコストを大幅に増大させてしまう。しかるに本発明は、シャフトを導電性の材料を含むように構成し、そのまま信号線として機能させているだけなので、極めて簡単な構成で、上述した不都合を確実に回避することが可能である。
本発明では、第1の芯線及び第2の芯線のうち一方は、一端側が昇降部側送信部に導通されることで、昇降部側送信部から把持部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能し、他方は、アース線(即ち、接地線)として機能する。即ち、第1の芯線及び第2の芯線は、互いに異なる信号を伝達する。第1の芯線及び第2の芯線のうち一方が信号線として機能することで、昇降部から把持部への信号伝達を、比較的簡単な構成で実現できる。また、他方がアース線として機能することで装置の誤作動防止や安全性の向上を実現することができる。尚、第2の芯線はシャフトを介して信号を伝達するため、シャフトを介さない第1の芯線と比べると、信号の伝達効率が悪くなってしまうおそれがある。このため、第2の芯線は、正確性の求められないアース線として機能させることが好ましい。
以上説明したように、本発明の搬送車によれば、被搬送物を把持する把持部に対して、好適に信号を伝達することが可能である。
本発明の搬送車の一態様では、前記昇降部の、前記支持部から見て前記シャフトの一端側に設けられており、信号を受信する昇降部側受信部と、前記把持部に設けられており、信号を送信する把持部側送信部と、前記複数の第1のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁されると共に前記昇降部側受信部と導通され、他端側が前記把持部側送信部と導通されることで、前記把持部側送信部から前記昇降部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能する第3の芯線とを更に備える
この態様によれば、昇降部における支持部から見てシャフトの一端側に、信号を受信する昇降部側受信部が設けられている。即ち、昇降部側受信部は、昇降部側送信部と同様に、第1のドラム側に設けられている。また把持部には、信号を送信する把持部側送信部が設けられている。
昇降部側受信部及び把持部側送信部は、第1のベルトに設けられた第3の芯線によって夫々導通されている。このため、把持部側送信部から送信された信号は、第3の芯線を介して昇降部側受信部へと伝達される。ちなみに、第3の芯線は、一端側がシャフトと絶縁するように設けられているため、第1、第2及び第3の芯線は、互いに異なる信号を伝達することが可能である。尚、第3の芯線は、第1の芯線が設けられる第1のベルトと同じベルト上に設けられていてもよいし、他の第1のベルト上に設けられていてもよい。
第3の芯線が把持部側送信部から昇降部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能することで、第1の芯線及び第2の芯線のうち、昇降部側送信部から把持部側へと信号を伝達する信号線と機能するものと併せて、昇降部及び把持部間での信号の送受信を実現できる。
本発明の搬送車の他の態様では、前記昇降部に設けられた第1の制御部と、前記把持部に設けられた第2の制御部と、前記把持部に設けられた電気機器とを更に備え、前記第1の制御部は、前記昇降部側送信部に前記電気機器を制御する制御信号を送信すると共に、前記昇降部側受信部から検出信号を受信し、前記第2の制御部は、前記把持部側受信部から前記制御信号を受信して該制御信号に基づいて前記電気機器を制御すると共に、前記電気機器から検出された前記検出信号受信して前記把持部側送信部に送信する。
この態様によれば、昇降部に第1の制御部が設けられ、把持部に第2の制御部が設けられる。また把持部には、各種制御を実行するための電気機器が設けられる。尚、電気機器は、複数種類設けられてもよい。
本態様に係る搬送車では、先ず第1の制御部から、電気機器を制御するための制御信号が、昇降部側送信部に送信される。そして昇降部送信部からは、第1の芯線及び第2の芯線のうち一方を介して、把持部側受信部へと制御信号が送信される。把持部側受信部は、第2の制御部に受信した制御信号を送信する。第2の制御部は、把持部側受信部から受信した制御信号に基づいて電気機器を制御する。
電気機器では、その制御の結果として検出信号が検出される。この検出信号は、第2の制御部へと送信される。第2の制御部は、受信した検出信号を把持部側送信部へと送信する。把持部側送信部からは、受信した検出信号が、第3の芯線を介して昇降部側受信部へと送信される。昇降部側受信部は、受信した検出信号を、第1の制御部へと送信する。
上述した制御が第1の制御部及び第2の制御部によって行われることで、把持部側の電気機器を昇降部側から総括的に制御することができる。また、把持部側の動作状況等を昇降部側が総括的に把握することができる。
本発明の搬送車の他の態様では、前記昇降部に設けられた電源部と、前記把持部に設けられた受電部と、前記複数の第1のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁されると共に前記電源部と導通され、他端側が前記受電部と導通されることで、前記電源部から前記受電部へと電源電位を伝達する給電線として機能する第4の芯線及び第5の芯線とを更に備える。
この態様によれば、昇降部に電源電位を供給する電源部が設けられており、把持部に電源電位を受け取る受電部が設けられている。また第1のベルトのいずれかには、一端側がシャフトと絶縁されると共に電源部と導通され、他端側が受電部と導通される第4の芯線及び第5の芯線が設けられている。第4の芯線及び第5の芯線は、典型的には、互いに同じベルト上に設けられが、互いに異なるベルト上に別々に設けられてもよい。また、第4の芯線及び第5の芯線は、第1の芯線や第3の芯線が設けられるベルト上に設けられてもよいし、他のベルトに設けられてもよい。
本態様では、第4の芯線及び第5の芯線によって電源電位が供給されるため、把持部において消費される電力を昇降部から供給できる。よって、把持部自体に電源部を設けずに済む。これにより、把持部の構成を簡単なものとすることができ、小型化や軽量化を実現することができる。
本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、上述した本発明の搬送車(但し、その各種態様も含む)を具備してなる。
本発明の搬送システムによれば、上述した搬送車を備えているため、各々の搬送車において、把持部への好適な信号伝達を実現できる。
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。
実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す上面図である。 実施形態に係る搬送車の構成を示す側面図である。 実施形態に係る搬送車の移載動作を示す斜視図である。 実施形態に係る搬送車の横移載動作を示す斜視図である。 昇降部の全体構成を示す下面図である。 昇降ベルトの具体的な構成を示す平面図である。 図5のA−A’線断面図である。 図5のB−B’線断面図である。 図5のC−C’線断面図である。 図5における領域Dの内部構造を示す断面図である。 各昇降ベルトの電気的接続を示すブロック図である。
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
先ず、本実施形態に係る搬送システムの全体構成について、図1を参照して説明する。ここに図1は、本実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す平面図である。
図1において、本実施形態に係る搬送システムは、軌道100と、搬送車200と、コントローラ300とを備えて構成されている。
軌道100は、例えば天井に敷設されており、アルミニウムやステンレス等の金属から構成される。
搬送車200は、軌道100上に複数配置されており、軌道100に沿って走行することで、被搬送物であるFOUPやレチクル等を搬送することが可能である。
また搬送車200は、車上コントローラ205を夫々有している。車上コントローラ205は、コントローラ300から搬送指令を受け取り、搬送車200の走行を制御する。尚、車上コントローラ205は、搬送車200の走行を制御するだけでなく、搬送車200に備えられた各機器を総括的に制御するという機能も有している。
コントローラ300は、例えば演算回路やメモリ等を含んで構成されており、車上コントローラ205を介して、搬送車200に搬送指令を与えることが可能に構成されている。
尚、ここでの図示は省略しているが、軌道100に沿った位置には、FOUPを一時的に保管する一時保管棚や半導体製造装置等が複数設けられている。
次に、搬送車のより具体的な構成について、図2を参照して説明する。ここに図2は、搬送車の構成を示す側面図である
図2において、搬送車200は、走行部210、本体部220、移動部230、昇降部235、昇降ベルト240及び把持部250を備えて構成されている。
搬送車200は、走行部210が例えばリニアモータ等によって推進力を与えることで、走行ローラ215が転動されつつ、軌道100に沿って走行する。走行部210の下面には、本体部220が吊り下がる形で取り付けられている。
本体部220には、移動部230が取り付けられている。移動部230は、軌道100の側方(即ち、図における左右方向)に移動することが可能である。移動部230の下面には、昇降部235が取り付けられている。
昇降部235の下面には、FOUPを把持する把持部250が昇降ベルト240によって取り付けられている。把持部250は、昇降ベルト240を巻き出す或いは巻き取ることで、本体部220に対し昇降可能である。
次に、搬送車によるFOUPの移載方法について、図3及び図4を参照して説明する。ここに図3及び図4は夫々、実施形態に係る搬送車のFOUPの移載方法を示す斜視図である。
図3において、搬送車200が、軌道100の真下に位置する一時保管棚510上のFOUP400を移載する際には、先ず搬送車200が軌道100上を走行して、一時保管棚510上に設置されたFOUP400の上方に停止する。
続いて、図に示すように、昇降部235によって昇降ベルト240が巻き出されることで把持部250がFOUP400の位置まで降下する。そして、把持部250とFOUP400との位置の微調整が行われ、FOUP400が把持される。
FOUP400が把持されると、昇降ベルト240が巻き取られ、把持部250及び把持されたFOUP400が本体部220の位置まで上昇する。そして、再び搬送車200が軌道100上を走行して、FOUP400が搬送される。
図4において、FOUP400が、軌道100の側方にそれた位置にある一時保管棚520に設置されている場合には、移動部230が軌道100の側方に移動した後に、昇降部235によって昇降ベルト240が巻き出され、把持部250がFOUP400の位置まで降下する。このように動作することで、軌道部100からFOUP400の横移載を行うことが可能となる。
次に、上述した移載動作を実現する昇降部235の具体的な構成について、図5及び図6を参照して説明する。ここに図5は、昇降部の全体構成を示す下面図である。また図6は、昇降ベルトの具体的な構成を示す平面図である。
図5において、本実施形態に係る昇降部235では、シャフト610が減速機620によって回転可能に支持されている。シャフト610は、導電性を有する金属等を含んで構成されている。尚、ここでの減速機620は、本発明の「支持部」の一例である。
シャフト610の左端には、第1のドラム710及び730が夫々取り付けられている。一方、シャフト620の右端には、第2のドラム720及び740が夫々取り付けられている。即ち、シャフト610には、その両端に夫々2つずつドラムが取り付けられている。但し、シャフト620の両端には、それぞれ3個以上の第1のドラム及び第2のドラムが設けられていてもよい。
第1のドラム710及び730には、昇降ベルト240の1つとして、第1のベルト241及び243が夫々取り付けられている。同様に、第2のドラム720及び740には、第2のベルト242及び244が夫々取り付けられている。第1のベルト241及び243、並びに第2のベルト242及び244は、各々が取り付けられたドラムの回転に応じて夫々巻き出し或いは巻き取られて、ドラムとは他端側に取り付けられた把持部250を昇降させる。
図6において、昇降ベルト240には、長さ方向に延在するように芯線811及び812が設けられている。芯線811及び812は、夫々接続端子821及び822に対して電気的に接続されており、接続端子821及び822から入力された信号を他端側へと伝達することができる。即ち、本実施形態に係る昇降ベルト240は、昇降部235と把持部250との間で信号を伝達する信号線として機能する。尚、本実施形態に係る昇降ベルト240は、ベルト1本あたり2種類の信号を伝達することが可能である。
次に、昇降ベルトの電気的接続機構について、図7から図10を参照して説明する。ここに図7は、図5のA−A’線断面図、図8は、図5のB−B’線断面図、図9は、図5のC−C’線断面図である。また図10は、図5における領域Dの内部構造を示す断面図である。
図7において、第1のベルト241は、第1のドラム710中を通すように設けられたコネクタ751と電気的に接続されている。コネクタ751は、シャフト610の端部に設けられたスリップリング630(図5参照)を介して信号を供給している。尚、第1のベルト241は、シャフト610とは絶縁されている。
図8において、もう1つの第1のベルト243は、第3のドラム730中を通すように設けられたコネクタ752と電気的に接続されている。コネクタ752は、上述したコネクタ751と同様に、シャフト610の端部に設けられたスリップリング630を介して信号を供給している。尚、第1のベルト243も、第1のベルト241と同様に、シャフト610とは絶縁されている。
図9において、シャフト610は、スリップリング630が設けられている側の端部において、アース線と電気的に接続されている。具体的には、図に示すように、シャフト610にはアース接続ネジ761が設けられている。アース接続ネジ761は、スリップリング630と電気的に接続されている。即ち、シャフト610は、スリップリング630と電気的に接続されている
図10において、シャフト610のスリップリング630が設けられていない側の端部にも、アース接続ネジ762が設けられている。アース接続ネジ762は、第2のベルト242(図5参照)と電気的に接続されている。これにより、第2のベルト242上に設けられた芯線を、アース線として機能させることが可能となる。
次に、昇降部235及び把持部250における電気的接続について、図11を参照して説明する。ここに図11は、各昇降ベルトの電気的接続を示すブロック図である。
図11において、スリップリング630は、車上コントローラ205と電気的に接続されており、車上コントローラから出力される制御信号を、昇降ベルト241へと伝達している。第1のベルト241を介して伝達される制御信号は、把持部250における把持部側制御部900に入力され、そこから開閉モータ910、在荷センサ920、教示部930及び揺れ検出センサ940へと夫々供給される。尚、開閉モータ910、在荷センサ920、教示部930及び揺れ検出センサ940は、本発明の「電気機器」の一例である。
開閉モータ910は、把持部250の開閉を制御するモータである。即ち、FOUP400を把持するための動作を実現するための動力機構である。開閉モータ910は、動作状況を示す検出信号を把持部側制御部900に出力する。
在荷センサ920は、FOUPを移載する一時保管棚510(図3参照)や一時保管棚520等(図4参照)に、FOUPが存在しているか否かを検出する。これにより、移載動作の異常等を検知することが可能となる。尚、在荷センサ920における検出結果は、検出信号として把持部側制御部900に出力される。
教示部930は、把持部250がFOUPを把持する位置の自動ティーチングを行う。これにより、FOUP400の把持動作の精度を高めることが可能である。教示データは、検出信号として把持部側制御部900に出力される。
揺れ検出センサ940は、把持部250の揺れの大きさ(言い換えれば、把持したFOUP400が揺れ過ぎていないか)を検出することが可能である。尚、揺れ検出センサ940における検出結果は、検出信号として把持部側制御部900に出力される。
開閉モータ910、在荷センサ920、教示部930及び揺れ検出センサ940の各部位から出力される検出信号は、把持部側制御部900から、第1のベルト241及びスリップリング630を介して車上コントローラへ205と伝達される。これにより、把持部250側の動作状況を、昇降部235側で総括的に把握することが可能となる。尚、ここでの車上コントローラ205は、本発明の「第1の制御部」の一例であり、スリップリング630は、本発明の「昇降部側送信部」及び「昇降部側受信部」の一例である。また、把持部側制御部900は、本発明の「第2の制御部」、「把持部側受信部」及び「把持部側送信部」の一例である。
車上コントローラ205からは、スリップリング630を介して電源電位も供給されている。具体的には、第1のベルト243を介して、正の電源電位及び負の電源電位が、それぞれ把持部側制御部900に供給されている。即ち、車上コントローラ205は、本発明の「電源部」の一例としても機能し、把持部側制御部900は、本発明の「受電部」の一例としても機能する。
ここで供給される電源電位は、開閉モータ910、在荷センサ920、教示部930及び揺れ検出センサ940の制御に用いられる。本実施形態のような構成によれば、把持部250において消費される電力を昇降部235側から供給できるため、把持部250自体に電源部を設けずに済む。これにより、把持部250の構成を簡単なものとすることができ、小型化や軽量化を実現することができる。
本実施形態では更に、図9及び図10に示したように、スリップリング630とは逆側の端部に設けられた第2のベルト242が、アース線として機能するように構成されている。そして特に、第2のベルト242は、シャフト610を介して、スリップリング630に電気的に接続されている。スリップリング630は、搬送車200のフレーム(即ち、本体部220)に電気的に接続されている。これにより、把持部250は基準電位に落とされ、装置の誤作動防止や安全性の向上を実現できる。
上述した構成では、シャフト610の一端側と他端側との電気的接続を、極めて簡単に実現できる。即ち、本来であればシャフト610の中央付近に介在する減速機620を迂回するように信号線を配置すべきところを、導電性を有するシャフト610を利用することで、極めて簡単な構成で実現できる。
本実施形態では、図を見ても分かるように、シャフト610両端に2本の昇降ベルト240が設けられており、これらの昇降ベルト240によって夫々2種類の信号を伝達できる。即ち、シャフト610の一端側で、最大4種類の信号を伝達可能に構成されている。しかしながら、このような構成では、5種類以上の信号を伝達しようとした場合に、シャフトの一端側の昇降ベルト240だけでは全てを伝達することができず、シャフト610の他端側に設けられた昇降ベルト240を用いることが求められてしまう。
シャフト610の他端側に設けられた昇降ベルト240に信号を伝達させるためには、例えば、シャフト610に穴を空け、そこに信号線を通す方法が考えられる。しかしながら、この方法では、シャフト610の強度不足を招くおそれがある。また、シャフト610の径が小さい場合には、シャフトの中に信号線を通すことができない。或いは、スリップリング630を他端側にも設ける方法も考えられるが、スリップリング630は比較的高価な部材であるため、装置のコストを大幅に増大させてしまうという問題点がある。本実施形態では、シャフト610を導電材料で構成し、自らを信号線として機能させることで、上述した不都合を回避している。
以上説明したように、本実施形態に係る搬送システムによれば、各々の搬送車200において、把持部250への好適な信号伝達を実現できる。
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う落下防止柵及び搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
100…軌道、200…搬送車、205…車上コントローラ、210…走行部、215…走行ローラ、220…本体部、230…移動部、235…昇降部、240…昇降ベルト、241,243…第1のベルト、242,244…第2のベルト、250…把持部、300…コントローラ、400…FOUP、510…一時保管棚、520…一時保管棚、610…シャフト、620…減速機、630…スリップリング、710,730…第1のドラム、720,240…第2のドラム、751,752…コネクタ、761,762…アース接続ネジ、811,812…芯線、821,822…接続端子、900…把持部側制御部、910…開閉モータ、920…在荷センサ、930…教示部、940…揺れ検出センサ

Claims (5)

  1. 被搬送物を把持する把持部を昇降部によって昇降させて前記被搬送物を移載し、軌道に沿って走行することで前記被搬送物を搬送する搬送車であって、
    導電性の材料を含んでなるシャフトと、
    前記昇降部において、前記シャフトを回転可能に支持する支持部と、
    前記支持部から見て、前記シャフトの一端側に取り付けられた複数の第1のドラムと、
    前記支持部から見て、前記シャフトの他端側に取り付けられた複数の第2のドラムと、
    前記複数の第1のドラムの各々に一端側が固定されると共に他端側が前記把持部に固定され、前記複数の第1のドラムの各々によって巻き出し及び巻き取りされる複数の第1のベルトと、
    前記複数の第2のドラムの各々に一端側が固定されると共に他端側が前記把持部に固定され、前記複数の第2のドラムの各々によって巻き出し及び巻き取りされる複数の第2のベルトと、
    前記支持部から見て、前記シャフトの一端側に設けられており、信号を送信する昇降部側送信部と、
    前記把持部に設けられており、信号を受信する把持部側受信部と、
    前記複数の第1のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁され、他端側が前記把持部側受信部と導通される第1の芯線と、
    前記複数の第2のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと導通され、他端側が前記把持部側受信部と導通される第2の芯線と
    を備え、
    前記第1の芯線及び前記第2の芯線のうち一方は、前記一端側が前記昇降部側送信部に導通されることで、前記昇降部側送信部から前記把持部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能し、他方は、アース線として機能する
    ことを特徴とする搬送車。
  2. 前記昇降部の、前記支持部から見て前記シャフトの一端側に設けられており、信号を受信する昇降部側受信部と、
    前記把持部に設けられており、信号を送信する把持部側送信部と、
    前記複数の第1のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁されると共に前記昇降部側受信部と導通され、他端側が前記把持部側送信部と導通されることで、前記把持部側送信部から前記昇降部側受信部へと信号を伝達する信号線として機能する第3の芯線と
    を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の搬送車。
  3. 前記昇降部に設けられた第1の制御部と、
    前記把持部に設けられた第2の制御部と、
    前記把持部に設けられた電気機器と
    を更に備え、
    前記第1の制御部は、前記昇降部側送信部に前記電気機器を制御する制御信号を送信すると共に、前記昇降部側受信部から検出信号を受信し、
    前記第2の制御部は、前記把持部側受信部から前記制御信号を受信して該制御信号に基づいて前記電気機器を制御すると共に、前記電気機器から検出された前記検出信号受信して前記把持部側送信部に送信する
    ことを特徴とする請求項2に記載の搬送車。
  4. 前記昇降部に設けられた電源部と、
    前記把持部に設けられた受電部と、
    前記複数の第1のベルトのいずれかに設けられており、一端側が前記シャフトと絶縁されると共に前記電源部と導通され、他端側が前記受電部と導通されることで、前記電源部から前記受電部へと電源電位を伝達する給電線として機能する第4の芯線及び第5の芯線と
    を更に備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の搬送車。
  5. 請求項1から4のいずれか一項に記載の搬送車を具備してなることを特徴とする搬送システム。
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