JP5580866B2 - 紫外光発生用ターゲット、電子線励起紫外光源、及び紫外光発生用ターゲットの製造方法 - Google Patents
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Description
続いて、上記実施形態の第1実施例について説明する。本実施例では、まず、直径12mm、厚さ2mmのサファイア基板を2枚準備した。次に、La:LuAG単結晶基板およびSc:LuAG単結晶基板を準備し、乳鉢を用いてこれらの単結晶基板を粉砕することにより、La:LuAG単結晶及びSc:LuAG単結晶を粉末状又は粒状とした。続いて、粉末状又は粒状のLa:LuAG単結晶を沈降法により一方のサファイア基板上に堆積させることにより、発光層を形成した。また、粉末状又は粒状のSc:LuAG単結晶を沈降法により他方のサファイア基板上に堆積させることにより、別の発光層を形成した。その後、これらの発光層の上に有機膜(ニトロセルロース)を形成し、その有機膜上にアルミニウム膜を蒸着した。最後に、焼成することにより、有機膜を分解し気化させて、発光層にアルミニウム膜が接する構造とした。焼成後における各発光層の厚さは、10μmであった。
続いて、上記実施形態の第2実施例について説明する。本実施例では、バインダを利用した発光層の形成と、バインダを利用しない、熱処理による発光層の形成とを説明する。
先ず、直径12mm、厚さ2mmのサファイア基板を準備した。次に、付活剤としてPrが添加された希土類含有アルミニウムガーネット結晶であるPr:LuAG単結晶基板を準備し、乳鉢を用いてこのPr:LuAG単結晶基板を粉砕することにより、粉末状又は粒状のPr:LuAG単結晶を作製した。
先ず、直径12mm、厚さ2mmのサファイア基板を準備した。次に、付活剤としてPr、Sc、La、及びBiがそれぞれ添加された4つのLuAG単結晶基板を準備し、乳鉢を用いてこれらの単結晶基板を粉砕することにより粉末状又は粒状とした。
続いて、上記実施形態の第3実施例について説明する。本実施例では、紫外光発生用ターゲットの基板材料による影響について調べるために、合成石英基板と、サファイア基板とを準備した。合成石英基板としては、直径18.6mm、厚さ1.2mmの基板を準備した。また、サファイア基板としては、直径18mm、厚さ0.43mmの基板を準備した。そして、これらの基板上に、粉末状又は粒状のPr:LuAG単結晶を含む発光層とアルミニウム膜とを、第1実施例と同様の方法により作製した。
続いて、上記実施形態の第4実施例について説明する。本実施例では、第1実施例と同様の方法によって紫外光発生用ターゲットを作製し、発光層の厚さと紫外光のピーク強度との関係について実験を行った。すなわち、様々な厚さでもって粉末状又は粒状のPr:LuAG結晶を堆積させて発光層を作製し、それらの発光層に電子線を照射して発生する紫外光のピーク強度を計測したのち、それらの発光層の断面をSEMを用いて観察することによって厚さを測定した。図24は、その結果である発光層の厚さと紫外光のピーク強度との関係を示すグラフである。なお、図中の曲線G31は、近似曲線である。また、図24では、電子線の加速電圧を10kVとし、電子線の強さ(電流量)を50μAとし、電子線の径を2mmとした。
続いて、上記実施形態の第5実施例について説明する。本実施例では、発光層に含まれる粉末状又は粒状のPr:LuAG結晶のメディアン径と紫外光のピーク強度との関係について実験を行った。すなわち、粉末状又は粒状のPr:LuAG結晶を堆積させて複数の基板上に発光層を作製し、それらの発光層に電子線を照射して発生する紫外光のピーク強度を計測した。なお、発光層に含まれるPr:LuAG結晶のメディアン径は、基板上に堆積させる前に粒度分布計を用いて測定した。図25は、その結果であるPr:LuAG結晶のメディアン径と紫外光のピーク強度との関係を示すグラフである。なお、図中の曲線G41は、近似曲線である。また、図25では、電子線の加速電圧を10kVとし、電子線の強さ(電流量)を70μAとし、電子線の径を2mmとした。
続いて、上記実施形態の第6実施例について説明する。本実施例では、まず、Prを0.7原子パーセント含有する多結晶板を作製した。次に、この多結晶板を乳鉢を用いて粉砕することにより、粉末状又は粒状のPr:LuAG多結晶を作製した。続いて、この粉末状又は粒状のPr:LuAG多結晶を、沈降法により合成石英基板上に堆積させることにより、発光層を形成した。その後、この発光層の上に有機膜(ニトロセルロース)を形成し、その有機膜上にアルミニウム膜を蒸着した。最後に、焼成することにより、有機膜を分解し気化させて、発光層にアルミニウム膜が接する構造とした。焼成後における発光層の厚さは、10μmであった。
続いて、上記実施形態の第7実施例について説明する。本実施例では、発光層に含まれる粉末状又は粒状のPr:LuAG結晶のメディアン径が様々な値を有する場合に、発光層の厚さと紫外光のピーク強度との関係について実験を行った。すなわち、メディアン径が0.5μm、1.0μm、6.5μm、及び30μmであるPr:LuAG結晶をそれぞれ堆積させ、各メディアン径において厚さが異なる複数の発光層を作製し、それらの発光層に電子線を照射して発生する紫外光のピーク強度を計測した。なお、発光層に含まれるPr:LuAG結晶のメディアン径は、基板上に堆積させる前に粒度分布計を用いて測定した。
Claims (12)
- 紫外光を透過する基板と、
前記基板上に設けられ、電子線を受けて紫外光を発生する発光層とを備え、
前記発光層が、粉末状または粒状であり付活剤が添加された希土類含有アルミニウムガーネット結晶を含み、該発光層の紫外発光ピーク波長が300nm以下であることを特徴とする、紫外光発生用ターゲット。 - 前記希土類含有アルミニウムガーネット結晶の表面が、熱処理によって溶融し再び固化した結晶溶融層に覆われていることを特徴とする、請求項1に記載の紫外光発生用ターゲット。
- 前記結晶溶融層によって、前記希土類含有アルミニウムガーネット結晶同士、および前記希土類含有アルミニウムガーネット結晶と前記基板とが互いに融着していることを特徴とする、請求項2に記載の紫外光発生用ターゲット。
- 前記付活剤が希土類元素であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の紫外光発生用ターゲット。
- 前記希土類含有アルミニウムガーネット結晶がLuAGであり、前記付活剤がSc、La、及びBiのうち少なくとも一つであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の紫外光発生用ターゲット。
- 前記希土類含有アルミニウムガーネット結晶がYAGであり、前記付活剤がSc及びLaのうち少なくとも一つであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の紫外光発生用ターゲット。
- 前記発光層の厚さが0.5μm以上30μm以下であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の紫外光発生用ターゲット。
- 前記希土類含有アルミニウムガーネット結晶のメディアン径が0.5μm以上30μm以下であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の紫外光発生用ターゲット。
- 前記基板が、サファイア、石英または水晶から成ることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の紫外光発生用ターゲット。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載された紫外光発生用ターゲットと、
前記紫外光発生用ターゲットに電子線を与える電子源とを備えることを特徴とする、電子線励起紫外光源。 - 粉末状または粒状であり、付活剤が添加されて紫外発光ピーク波長が300nm以下である希土類含有アルミニウムガーネット結晶を、紫外光を透過する基板上に堆積させ、前記希土類含有アルミニウムガーネット結晶に対して熱処理を行うことにより、前記希土類含有アルミニウムガーネット結晶の表面を溶融し、再び固化させて結晶溶融層を形成することを特徴とする、紫外光発生用ターゲットの製造方法。
- 前記熱処理の温度が1400℃以上2000℃以下であることを特徴とする、請求項11に記載の紫外光発生用ターゲットの製造方法。
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