JP5578829B2 - 3次元フォトニック結晶の作製方法および機能素子 - Google Patents
3次元フォトニック結晶の作製方法および機能素子 Download PDFInfo
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Description
102,104,107 薄膜
103,106,109 柱状構造部
105,108 窪み
200 3次元フォトニック結晶
201 第1の層
202 第2の層
203 第3の層
204 第4の層
Claims (6)
- 第1の媒質により形成された第1の構造部と該第1の媒質とは屈折率が異なる第2の媒質により形成された第2の構造部とが互いに異なる配置パターンで周期的又は離散的に配置された複数の層が積層された3次元フォトニック結晶の作製方法であって、
前記第1の媒質からなる第1の膜を形成する第1の工程と、
前記第1の膜の一部を除去することにより第1の層の前記第1の構造部を形成する第2の工程と、
前記第2の工程において除去された前記第1の膜の一部が存在した領域に、前記第2の媒質からなる前記第1の層の前記第2の構造部を形成し、前記第1の層に積層方向にて隣接する領域に前記第2の媒質からなる第2の膜を形成する第3の工程と、
前記第2の膜を平坦化する第4の工程と、
前記第2の膜の一部を除去することにより、第2の層の前記第2の構造部を形成する第5の工程と、
前記第5の工程において除去された前記第2の膜の一部が存在した領域に、前記第1の媒質からなる前記第2の層の前記第1の構造部を形成する第6の工程とを含み、
前記第4の工程において平坦化された前記第2の膜の厚みは、前記第2の層の厚みと等しいことを特徴とする3次元フォトニック結晶の作製方法。 - 前記第2の層に前記積層方向にて隣接する領域に前記第1の媒質からなる第3の膜を形成する第7の工程と、
前記第3の膜を、その積層方向の端面が前記第2の層の前記第2の構造部の端面に揃うように平坦化する第8の工程とを含むことを特徴とする請求項1に記載の3次元フォトニック結晶の作製方法。 - 前記第1の工程から前記第8の工程までを繰り返して行うことを特徴とする請求項2に記載の3次元フォトニック結晶の作製方法。
- 前記第2の層に前記積層方向にて隣接する領域に前記第1の媒質からなる第3の膜を形成する第7の工程と、
前記第3の膜を平坦化する第8の工程とを含み、
前記第8の工程において平坦化された前記第3の膜の厚みは、前記第1の層の厚みと等しい、ことを特徴とする請求項1に記載の3次元フォトニック結晶の作製方法。 - 前記第1の工程から前記第8の工程までを行った後に、前記第2の工程から前記第8の工程を繰り返して行うことを特徴とする請求項4に記載の3次元フォトニック結晶の作製方法。
- 前記第6の工程と前記第7の工程とは同一の工程で行われることを特徴とする請求項2から5のいずれか1項に記載の3次元フォトニック結晶の作製方法。
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