JP7143974B2 - 高さ調整された光回折格子を製造する方法 - Google Patents
高さ調整された光回折格子を製造する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7143974B2 JP7143974B2 JP2019566802A JP2019566802A JP7143974B2 JP 7143974 B2 JP7143974 B2 JP 7143974B2 JP 2019566802 A JP2019566802 A JP 2019566802A JP 2019566802 A JP2019566802 A JP 2019566802A JP 7143974 B2 JP7143974 B2 JP 7143974B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- temporary
- elements
- grating
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/01—Head-up displays
- G02B27/0101—Head-up displays characterised by optical features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1847—Manufacturing methods
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/0074—Production of other optical elements not provided for in B29D11/00009- B29D11/0073
- B29D11/00769—Producing diffraction gratings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/01—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes on temporary substrates, e.g. substrates subsequently removed by etching
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C16/045—Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
- C23C16/345—Silicon nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
- C23C16/405—Oxides of refractory metals or yttrium
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0081—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means for altering, e.g. enlarging, the entrance or exit pupil
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/01—Head-up displays
- G02B27/017—Head mounted
- G02B27/0172—Head mounted characterised by optical features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0938—Using specific optical elements
- G02B27/0944—Diffractive optical elements, e.g. gratings, holograms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1847—Manufacturing methods
- G02B5/1857—Manufacturing methods using exposure or etching means, e.g. holography, photolithography, exposure to electron or ion beams
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1861—Reflection gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1866—Transmission gratings characterised by their structure, e.g. step profile, contours of substrate or grooves, pitch variations, materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/01—Head-up displays
- G02B27/0101—Head-up displays characterised by optical features
- G02B2027/0123—Head-up displays characterised by optical features comprising devices increasing the field of view
- G02B2027/0125—Field-of-view increase by wavefront division
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4233—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element [DOE] contributing to a non-imaging application
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Ophthalmology & Optometry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Description
基板を提供すること、
第1の材料からなる複数の一時的要素を前記基板上に製造すること、ここで前記要素は、ギャップによって離間され、異なる要素高さを有する2つ以上の周期を含む周期的構造として配置される、
前記ギャップを充填し、前記複数の一時的要素を覆うように、前記第2の材料からなるコーティング層を前記一時的要素上に付与すること、
前記一時的要素を露出させるために、第2の材料の均一な層を除去すること、及び
前記第2の材料の高さ調整されたパターンを前記光回折格子として前記基板上に形成するために、前記第1の材料を除去すること、
を含む。
本明細書において用語「要素」は、基板表面上に隆起しており、周期構造に配置される場合に回折パターン又はその中間生成物の基本ブロックとして役立つことができる、固体のマイクロスケール又はナノスケールのフィーチャ(feature)を意味する。「一時的要素」又は「犠牲要素」は、プロセス中に、少なくとも部分的に、除去される要素である。「要素特性(element characteristics)」は、各周期内の要素の幾何学的形状、特に各周期内の要素寸法及びサブ要素の数を包含する。
本明細書で詳細に説明する実施形態は、物理蒸着法又は化学蒸着法のいずれかによって付与することができる所望の材料に対して、様々な構造高さ及びフィルファクタ(例えば、線幅)を有するマイクロ構造及びナノ構造を構築する、実現可能な手段を提供する。一般に、この方法は、犠牲材料で構築されるか又は犠牲材料へと複製される様々な構造高さでモールドを充填することに基づいている。前記モールドの上部にある余分な材料は、ドライエッチング法又はウェットエッチング法によって除去され、続いて犠牲材料が除去される。前記構造の高さは、犠牲構造の高さによって定義され、高さ調整の精度は、中間のエッチ停止層によってエッチプロセスで増強することができる。
図1Aに示される第1の工程では、犠牲材料を使用して、高さ調整された一時的構造12が基板10に構築される。図示の例では、3つのセクションS1、S2及びS3があり、各セクションに2つの要素(長方形の線)があり、セクション間で要素高さが異なる。一時的構造12は、例えば、光学リソグラフィ、電子ビームリソグラフィ、エンボス加工、又はナノインプリントリソグラフィによって付与することができる。例えば、フォトレジスト若しくは電子ビームレジスト又はスピンオンカーボンを使用することができる。調整はまた、線幅の調整も含むことができる。
次に、図1Bによって示されるように、基板10及び一時的要素12によって形成されたモールドに、コーティング層14Aが付与される。コーティング層14Aは、各セクション内の一時的要素12間及びそれらの間のギャップを充填し、一時的要素12も覆う。ALD、CVD又はPVDなどのコンフォーマル付与技術は、前記ギャップの充填及び一時的要素12の上部の均一な被覆を保証するために好ましい。付与のコンフォーマル性により、どの高さでも同じように充填される。各セクションS1、S2、S3内では、表面が平坦化されているが、セクションS1、S2、S3の間には段差がある。
次に、図1Cによって示されるように、一時的構造12が上部方向から露出し、調整されたコーティング層14A’が残るように、ウェットエッチング又はドライエッチングによって犠牲層の上部の余分なコーティングが除去される。前の工程で使用されたコンフォーマル付与により、各セクションにおける同じ厚さの除去は、高さに関係なくすべての構造14Aを露出させるのに十分である。
説明したプロセスは、1つの構築サイクルですべての異なる高さの変動を同時に構築することができるため、可変効率の調整された格子の製造を大幅に簡素化する。得られる構造は、回折格子として使用する準備ができている。基板10が光学的に透明である場合、基板を横方向に伝播する光波は格子にカップリングされ得、格子に当たる波は基板にカップリングされ得る。いくつかの実施形態では、基板10は、格子要素16を形成するコーティング材料よりも小さい屈折率を有する。
非特許文献
C. David, "Fabrication of stair-case profiles with high aspect ratios for blazed diffractive optical elements", Microelectronic Engineering, 53 (2000)
本開示に係る態様は以下の態様も含む。
<1>
基板を提供すること、
第1の材料からなる複数の一時的要素を前記基板上に製造すること、ここで前記要素は、ギャップによって離間され、異なる要素高さを有する2つ以上の周期を含む周期的構造として配置される、
前記ギャップを充填し、前記複数の一時的要素を覆うように、第2の材料からなるコーティング層を前記一時的要素上に付与すること、
前記一時的要素を露出させるために、第2の材料の均一な層を除去すること、及び
前記第2の材料の高さ調整されたパターンを光回折格子として前記基板上に形成するために、前記第1の材料を除去すること、
を含む、高さ調整された光回折格子を製造する方法。
<2>
前記一時的要素が、光回折ライン格子を形成するための線要素である、<1>に記載の方法。
<3>
第2の材料の高さ及びフィルファクタが調整されたパターンを前記光回折格子として形成するために、前記一時的要素が、異なる要素幅を有する2つ以上の周期を含む周期構造として配置される、<1>又は<2>に記載の方法。
<4>
前記コーティング層は、前記均一な層を除去する工程の前に、各一時的要素の上部において本質的に一定の厚さを有する、<1>~<3>のいずれか1つに記載の方法。
<5>
前記コーティング層がコンフォーマル層である<1>~<4>のいずれか1つに記載の方法。
<6>
前記第2の材料の均一層を除去することが、ドライエッチング又はウェットエッチングなどのエッチングを含む、<1>~<5>のいずれか1つに記載の方法。
<7>
前記第1の材料を除去することが、ドライエッチング又はウェットエッチングなどのエッチングを含む、<1>~<6>のいずれか1つに記載の方法。
<8>
前記一時的要素を製造する工程の後、エッチ停止層を前記基板上に付与することを含み、及び所望により、前記第1の材料を除去した後に前記エッチ停止層を除去することを含む、<1>~<7>のいずれか1つに記載の方法。
<9>
前記コーティング層は、原子層堆積(ALD)、化学蒸着(CVD)、物理蒸着(PVD)、又はこれらの変形法を使用して付与される、<1>~<8>のいずれか1つに記載の方法。
<10>
前記第2の材料は、例えばTiO 2 、Si 3 N 4 又はHfO 2 のような、酸化物化合物又は窒化物化合物などの無機透明材料である、<1>~<9>のいずれか1つに記載の方法。
<11>
前記第2の材料の屈折率は、1.7以上、特に2.0以上、例えば2.2以上である、<1>~<10>のいずれか1つに記載の方法。
<12>
前記基板は、ガラス基板又はポリマー基板などの光学的透明基板、特に導光体として作用可能な平坦基板である、<1>~<11>のいずれか1つに記載の方法。
<13>
前記第2の材料は、前記基板の材料の屈折率よりも高い屈折率を有する光学的透明材料を含む、<1>~<12>のいずれか1つに記載の方法。
<14>
<1>~<13>のいずれか1つに記載の方法を使用して製造される、高さ調整された光回折格子。
<15>
前記格子は、回折導波路ディスプレイのインカップリング格子(in-coupling grating)、射出瞳拡張格子(exit pupil expander grating)又はアウトカップリング格子(out-coupling grating)である、<14>に記載の格子。
Claims (12)
- 基板(10)を提供すること、ここで、前記基板(10)は単一の基板である、
第1の材料からなる複数の一時的要素(12)を前記基板(10)上に製造すること、ここで、前記一時的要素(12)は、異なる高さの線を含むように、エッチング可能な犠牲材料のポリマーインプリント又はポリマーリソグラフィにより作製され、ギャップによって離間され、異なる要素高さを有する2つ以上の周期を含む周期的構造として配置される、
前記ギャップを充填し、前記複数の一時的要素(12)を覆うように、第2の材料からなるコーティング層(14A)を前記一時的要素(12)上に付与すること、ここで、前記第2の材料は無機透明材料であり、前記コーティング層(14A)はコンフォーマル層である、
前記一時的要素(12)を露出させるために、第2の材料の均一な層を除去すること、及び
前記第2の材料の高さ調整されたパターンを光回折格子として前記基板(10)上に形成するために、前記第1の材料を除去すること、
を含む、高さ調整された光回折格子を製造する方法。 - 前記一時的要素(12)が、光回折ライン格子を形成するための線要素である、請求項1に記載の方法。
- 第2の材料の高さ及びフィルファクタが調整されたパターンを前記光回折格子として形成するために、前記一時的要素(12)が、異なる要素幅を有する2つ以上の周期を含む周期構造として配置される、請求項1又は請求項2に記載の方法。
- 前記コーティング層(14A)は、コンフォーマル付与技術によって付与され、前記均一な層を除去する工程の前に各一時的要素の上部において一定の厚さを有する、請求項1~請求項3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板(10)上に前記一時的要素(12)を製造した後、前記一時的要素(12)上に前記コーティング層(14A)を付与する前に、前記基板(10)及び前記一時的要素(12)上にエッチ停止層を付与することを更に含み、前記第2の材料の均一層を除去することが、エッチングを含む、請求項1~請求項4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の材料を除去することが、エッチングを含む、請求項1~請求項5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記一時的要素(12)を製造する工程の後、エッチ停止層を前記基板(10)上に付与することを含む、請求項1~請求項6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記コーティング層(14A)は、原子層堆積(ALD)、化学蒸着(CVD)、又は物理蒸着(PVD)を使用して付与される、請求項1~請求項7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記無機透明材料は、酸化物化合物及び窒化物化合物からなる群より選択される少なくとも1種である、請求項1~請求項8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2の材料の屈折率は、1.7以上である、請求項1~請求項9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板(10)は、光学的透明基板として作用可能な平坦基板である、請求項1~請求項10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2の材料は、前記基板の材料の屈折率よりも高い屈折率を有する光学的透明材料を含む、請求項1~請求項11のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20175504A FI128410B (en) | 2017-06-02 | 2017-06-02 | A method of fabricating a height modulated optical diffractive grating |
FI20175504 | 2017-06-02 | ||
PCT/FI2018/050383 WO2018220271A1 (en) | 2017-06-02 | 2018-05-22 | Method of manufacturing a height-modulated optical diffractive grating |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020522023A JP2020522023A (ja) | 2020-07-27 |
JP2020522023A5 JP2020522023A5 (ja) | 2021-05-27 |
JP7143974B2 true JP7143974B2 (ja) | 2022-09-29 |
Family
ID=64454979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019566802A Active JP7143974B2 (ja) | 2017-06-02 | 2018-05-22 | 高さ調整された光回折格子を製造する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11448876B2 (ja) |
EP (1) | EP3631535B1 (ja) |
JP (1) | JP7143974B2 (ja) |
CN (1) | CN111033324B (ja) |
ES (1) | ES2938663T3 (ja) |
FI (1) | FI128410B (ja) |
WO (1) | WO2018220271A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114051650A (zh) * | 2019-05-14 | 2022-02-15 | 尼尔技术有限公司 | 用于光学装置和其他装置的结构化涂层的基种结构 |
JPWO2022234782A1 (ja) * | 2021-05-07 | 2022-11-10 | ||
CN116609871B (zh) * | 2023-07-19 | 2023-10-03 | 上海鲲游科技有限公司 | 一种不等高直齿光栅的制作方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000258608A (ja) | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Canon Inc | 光学素子への成膜方法 |
JP2005202104A (ja) | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Nikon Corp | 偏光化素子の製造方法、偏光化素子、および画像投影装置の製造方法、並びに画像投影装置 |
JP2007328096A (ja) | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Ricoh Co Ltd | 回折光学素子とその作製方法および光学モジュール |
JP2009524229A (ja) | 2006-01-21 | 2009-06-25 | セーエスエーエム サントル スイス ドュレクトロニック エ ドゥ ミクロテクニック エスアー ルシェルシュ エ デヴロプマン | 波長可変レーザ |
US20090231702A1 (en) | 2008-03-17 | 2009-09-17 | Qihong Wu | Optical films and methods of making the same |
JP2011215267A (ja) | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Nagoya Univ | 色消しレンズとその製造方法、および色消しレンズを備えた光学装置 |
JP2015064426A (ja) | 2013-09-24 | 2015-04-09 | ウシオ電機株式会社 | グリッド偏光素子及びグリッド偏光素子製造方法 |
US20160047961A1 (en) | 2014-08-13 | 2016-02-18 | Samsung Display Co., Ltd. | Polarizer and method of fabricating the same |
US20170123208A1 (en) | 2015-10-29 | 2017-05-04 | Tuomas Vallius | Diffractive optical element with uncoupled grating structures |
WO2017091738A1 (en) | 2015-11-24 | 2017-06-01 | President And Fellows Of Harvard College | Atomic layer deposition process for fabricating dielectric metasurfaces for wavelengths in the visible spectrum |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS634205A (ja) | 1986-06-24 | 1988-01-09 | Canon Inc | 位相回折格子型光変調素子のグレ−テイングの製造方法 |
EP0513755A3 (en) * | 1991-05-14 | 1994-05-18 | Canon Kk | A method for producing a diffraction grating |
US5561558A (en) * | 1993-10-18 | 1996-10-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Diffractive optical device |
JPH1131863A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-02-02 | Hitachi Ltd | 回折格子の製造方法及びそれを用いて製造した半導体レーザ及びそれを用いた光応用システム |
US6475704B1 (en) | 1997-09-12 | 2002-11-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for forming fine structure |
JPH11160510A (ja) | 1997-09-12 | 1999-06-18 | Canon Inc | 多段階段状素子の作製方法又は該素子作製用モールド型の作製方法 |
JP2001290015A (ja) | 2000-04-04 | 2001-10-19 | Canon Inc | 回折光学素子などの素子の製造方法、および該回折光学素子を有する光学系、投影露光装置、半導体デバイス等の製造方法 |
JP2007057622A (ja) | 2005-08-22 | 2007-03-08 | Ricoh Co Ltd | 光学素子及びその製造方法、光学素子用形状転写型の製造方法及び光学素子用転写型 |
EP1942364A1 (en) * | 2005-09-14 | 2008-07-09 | Mirage Innovations Ltd. | Diffractive optical relay and method for manufacturing the same |
DE102007021036A1 (de) * | 2007-05-04 | 2008-11-06 | Carl Zeiss Ag | Anzeigevorrichtung und Anzeigeverfahren zur binokularen Darstellung eines mehrfarbigen Bildes |
CN101986173B (zh) | 2010-12-02 | 2012-04-25 | 苏州大学 | 一种计算全息片 |
US9941389B2 (en) * | 2015-04-20 | 2018-04-10 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Fabricating large area multi-tier nanostructures |
US10241244B2 (en) * | 2016-07-29 | 2019-03-26 | Lumentum Operations Llc | Thin film total internal reflection diffraction grating for single polarization or dual polarization |
-
2017
- 2017-06-02 FI FI20175504A patent/FI128410B/en active IP Right Grant
-
2018
- 2018-05-22 CN CN201880038492.XA patent/CN111033324B/zh active Active
- 2018-05-22 EP EP18809239.9A patent/EP3631535B1/en active Active
- 2018-05-22 WO PCT/FI2018/050383 patent/WO2018220271A1/en active Application Filing
- 2018-05-22 JP JP2019566802A patent/JP7143974B2/ja active Active
- 2018-05-22 ES ES18809239T patent/ES2938663T3/es active Active
- 2018-05-22 US US16/618,176 patent/US11448876B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000258608A (ja) | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Canon Inc | 光学素子への成膜方法 |
JP2005202104A (ja) | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Nikon Corp | 偏光化素子の製造方法、偏光化素子、および画像投影装置の製造方法、並びに画像投影装置 |
JP2009524229A (ja) | 2006-01-21 | 2009-06-25 | セーエスエーエム サントル スイス ドュレクトロニック エ ドゥ ミクロテクニック エスアー ルシェルシュ エ デヴロプマン | 波長可変レーザ |
JP2007328096A (ja) | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Ricoh Co Ltd | 回折光学素子とその作製方法および光学モジュール |
US20090231702A1 (en) | 2008-03-17 | 2009-09-17 | Qihong Wu | Optical films and methods of making the same |
JP2011215267A (ja) | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Nagoya Univ | 色消しレンズとその製造方法、および色消しレンズを備えた光学装置 |
JP2015064426A (ja) | 2013-09-24 | 2015-04-09 | ウシオ電機株式会社 | グリッド偏光素子及びグリッド偏光素子製造方法 |
US20160047961A1 (en) | 2014-08-13 | 2016-02-18 | Samsung Display Co., Ltd. | Polarizer and method of fabricating the same |
US20170123208A1 (en) | 2015-10-29 | 2017-05-04 | Tuomas Vallius | Diffractive optical element with uncoupled grating structures |
WO2017091738A1 (en) | 2015-11-24 | 2017-06-01 | President And Fellows Of Harvard College | Atomic layer deposition process for fabricating dielectric metasurfaces for wavelengths in the visible spectrum |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3631535A1 (en) | 2020-04-08 |
FI20175504A1 (en) | 2018-12-03 |
FI128410B (en) | 2020-04-30 |
JP2020522023A (ja) | 2020-07-27 |
EP3631535A4 (en) | 2021-03-03 |
CN111033324A (zh) | 2020-04-17 |
CN111033324B (zh) | 2022-08-02 |
WO2018220271A1 (en) | 2018-12-06 |
US11448876B2 (en) | 2022-09-20 |
EP3631535B1 (en) | 2023-01-11 |
ES2938663T3 (es) | 2023-04-13 |
US20210157134A1 (en) | 2021-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7338836B2 (ja) | 可変効率回折格子を製造する方法及び回折格子 | |
US11194081B2 (en) | Method of manufacturing a diffractive grating | |
JP2020518864A (ja) | 可変の回折効率を有する回折格子及び画像を表示するための方法 | |
US11391870B2 (en) | Height-modulated diffractive master plate and method of manufacturing thereof | |
JP7143974B2 (ja) | 高さ調整された光回折格子を製造する方法 | |
EP3631538B1 (en) | Method of manufacturing a master plate | |
JP2010102008A (ja) | フォトマスク及び鋸歯型パターン製造方法 | |
WO2023194262A1 (en) | Slanted optical gratings |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210409 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210409 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220308 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220525 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220809 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220831 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7143974 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |