JP2015064426A - グリッド偏光素子及びグリッド偏光素子製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 透明基板1上に設けられた縞状の格子2を構成する各線状部3は、偏光作用を為す第一の層31と、第一の層31の入射側に位置する第二の層32とより成る。第二の層32は透光性の材料で形成され、第一の層31より高さが低く、第一の層31を形成する際のエッチャントに対する耐性が第一の層31に比べて高い材料で形成されている。
【選択図】 図1
Description
格子が金属製であるのでワイヤーグリッド偏光素子と呼ばれるが、本願発明の方法で製造される偏光素子は、格子は必ずしも金属には限らないので、以下、単にグリッド偏光素子と呼ぶ。
エッチング工程では、反応性ガスのプラズマを形成し、透明基板1の厚さ方向に電界を設定する。プラズマ中のイオン(エッチャント)は電界によりプラズマから引き出されて格子用薄膜に入射し、格子用薄膜と反応して格子用薄膜をエッチングする。
この際、図6に示すように、透明基板1はステージ7上に載置されており、ステージ7上で移動しないよう透明基板1の周縁は押さえリング71でステージ7上に押さえつけられている。押さえリング71は、透明基板1の輪郭の形状に沿った周状であり、耐エッチング性の材料(即ち、エッチャントによってはエッチングされない材料)で形成される。
透明基板1の周辺部上においてエッチャントが過剰に存在すると、周辺部において過剰にエッチングがされることになる。即ち、中央部において、正常にエッチングが終了するまでエッチングを行うと、周辺部ではエッチングが過剰になり、フォトレジストまでエッチングされてしまうことになる。これにより、形成された線状部までエッチングされてしまう。この結果、図5(5)に示すように、透明基板1の周辺部1pにおいては、各線状部3の高さが周辺部1pにおいて中央部1cより低くなる構造となってしまう。
本願の発明は、このような発明者による新規な知見に基づいて為されたものであり、周辺部において消光比が低下しない優れたグリッド偏光素子を提供することを解決課題とするものである。
縞状の格子は、偏光作用を為す透明基板側の第一の層と、第一の層の上側に位置する第二の層とより成るものであり、
第二の層は、透光性の材料で形成され、第一の層より高さが低いものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、前記請求項1の構成において、前記第二の層は、前記第一の層をエッチングによって形成する際のエッチャントに対する耐性が第一の層に比べて高い材料で形成されているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、前記請求項1又は2の構成において、前記第二の層の材料は、使用波長における消衰係数が実質的にゼロであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、前記請求項1又は2の構成において、前記第二の層は、高さが10nm以上100nm以下であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、前記請求項1乃至4いずれかの構成において、前記使用波長は、200nm以上400nm以下であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項6記載の発明は、前記請求項1乃至5いずれかの構成において、前記第一の層は、シリコンで形成されているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項7記載の発明は、前記請求項1又は2の構成において、前記第二の層は、酸化チタン、酸化シリコン、酸化タンタル、酸化ニオブ、アルミナ、酸化ハフニウム、イットリア、ジルコニア、インジウム酸スズ、酸化セリウム、酸化タングステン、酸化亜鉛、フッ化マグネシウムの何れか一種以上の材料より成るという構成を有する。
透明基板上に第一の薄膜を作成する第一の成膜工程と、
第一の薄膜の上に第二の薄膜を作成する第二の成膜工程と、
第二の薄膜をエッチングして第二の薄膜を縞状の第二層とする第一のエッチング工程と、
縞状とされた第二の層をマスクにして第一の薄膜をエッチングして第一の層とする第二のエッチング工程とを有しており、
第一の成膜工程は、偏光作用を為す材料で第一の薄膜を作成する工程であり、
第二の成膜工程は、透光性の材料で第二の薄膜を作成する工程であり、
製造されたグリッド偏光素子において第二の層の高さが第一の層より低い構造とするという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項9記載の発明は、前記請求項8の構成において、前記第二のエッチング工程では、前記第二の薄膜の方が第一の薄膜より耐性が高いエッチャントを使用するという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項10記載の発明は、前記請求項8又は9の構成において、前記第二の薄膜の材料は、使用波長における消衰係数が実質的にゼロであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項11記載の発明は、前記請求項8又は9の構成において、前記第二の層は、高さが10nm以上100nm以下であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項12記載の発明は、前記請求項8乃至11いずれかの構成において、前記使用波長は、200nm以上400nm以下であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項13記載の発明は、前記請求項8乃至12いずれかの構成において、前記第一の薄膜は、シリコンで作成されるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項14記載の発明は、前記請求項8又は9の構成において、前記第二の層は、酸化チタン、酸化シリコン、酸化タンタル、酸化ニオブ、アルミナ、酸化ハフニウム、イットリア、ジルコニア、インジウム酸スズ、酸化セリウム、酸化タングステン、酸化亜鉛、フッ化マグネシウムの何れか一種以上の材料で作成されるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項15記載の発明は、透明基板と、透明基板上に設けられた複数の線状部からなる縞状の格子とを備えたグリッド偏光素子を製造するグリッド偏光素子製造方法であって、
透明基板上に第一の薄膜を作成する第一の成膜工程と、
犠牲層用の第三の薄膜を第一の薄膜の上に作成する第三の成膜工程と、
第三の薄膜をフォトリソグラフィにより縞状として犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、
犠牲層の側面を含む領域に第二の薄膜を作成する第二の成膜工程と、
犠牲層の側面に形成された部分が残留した状態で第二の薄膜をエッチングする第一のエッチング工程と、
犠牲層を除去して縞状の第二の層を形成する犠牲層除去工程と、
縞状とされた第二の層をマスクにして第一の層をエッチングする第二のエッチング工程と
を有しており、
第一の成膜工程は、偏光作用をもたせる材料で第一の薄膜を作成する工程であり、
第二の成膜工程は、透光性の材料で第二の薄膜を作成する工程であり、
製造されたグリッド偏光素子において第二の層の高さが第一の層より低い構造とするという構成を有する。
また、請求項2又は9記載の発明によれば、上記効果に加え、第二の層が耐エッチング性を有するので、第二の層用の薄膜を厚く作成する必要がなく、この点で好適となる。
また、請求項3又は10記載の発明によれば、上記効果に加え、第二の層の消衰係数が実質的にゼロであるので、第二の層の高さが不均一になったとしてもそれによって偏光作用の均一性が低下することはない。
また、請求項5又は12記載の発明によれば、上記効果に加え、使用波長が200〜400nmであるので、光配向処理のようにこの波長域の偏光光の照射が必要な場合、好適に使用され得る。
また、請求項6又は13記載の発明によれば、上記効果に加え、第一の層がシリコンで形成されるので、微細加工が容易であるという効果が得られる。
図1は、本願発明の実施形態のグリッド偏光素子の断面概略図である。図1に示すグリッド偏光素子は、透明基板1と、透明基板1上に設けられた縞状の格子2とより成る。格子2は、一定の方向に延びる多数の線状部21が間隔をおいて形成された構造を有する。図1において、各線状部3の幅(格子幅)がwで示され、格子間隔がtで示されている。また、各線状部3の高さをhで示す。
格子2を構成する各線状部3は、上下に二つの層で形成されており、格子2は、全体として下側の第一の層31と、第一の層31の上の第二の層32とから構成されている。これら層31,32も、全体としては格子状である。全体として格子状を成す第一の層31は、偏光作用を為す層である。第二の層32は、製造の際に第一の層31を保護するキャップ層として設けられている。
従来のワイヤーグリッド偏光素子は、反射型グリッド偏光素子とも呼べるもので、格子2に反射率の高い金属を使用し、格子2の長さ方向に電界成分を持つ直線偏光光を反射させることで透明基板1を透過させないようにするものである。
吸収型ワイヤーグリッド偏光素子の原理は、透明基板上の各線状部3と平行な電界成分をもつ光がワイヤー中を伝播しながら、各線状部3を構成する材料に吸収されことによる。ここで、吸収を有する媒質中をx方向(線状部の高さ方向)に伝播する電界は、以下の式1で与えられる。
実施形態のグリッド偏光素子では、使用波長として200〜400nmが想定されている。アモルファスシリコン200〜400nmの波長域で2.6〜3.3の消衰係数を有するため、第一の層31の材料として好適に選定されている。
シリコンが選定されている別の理由は、微細加工が容易な点である。シリコンは代表的な半導体材料であり、各種半導体デバイスの製造技術として各種の微細加工技術が確立されている。これら技術が転用できる点も、第一の層31の材料としてシリコンが好適な理由である。
特に、後述する図3の製造方法にて説明するように、第一の層31はシリコンで、第二の層32は酸化チタンで形成することが好ましい。
各層の高さについて説明すると、第一の層31の高さは50〜300nm程度の範囲で適宜選定され、例えば100nm程度とされる。また、第二の層32の高さは、10〜100nm程度の範囲で適宜選定され、好ましくは10〜40nm、より好ましくは20〜30nmであり、例えば30nm程度とされる。
図2は、第一の実施形態のグリッド偏光素子製造方法を示した正面断面概略図である。実施形態のグリッド偏光素子を製造する場合、まず、図2(1)に示すように、透明基板1上に第一の薄膜41を作成する第一の成膜工程が行われる。第一の薄膜41は、第一の層31となるものであり、シリコンより成る膜である。この実施形態では、第一の薄膜41はアモルファスシリコンであり、例えばスパッタリングにより作成される。膜厚は、第一の層31の高さに相当しており、例えば50〜200nmである。
図3に示す実施形態の方法は、より微細な構造のグリッド偏光素子を製造すべく、犠牲層を一時的な層として形成する方法である。前述したように、グリッド偏光素子において、格子間隔tは、偏光させる光の波長と同程度以下とすることが必要であり、波長が短くなると格子間隔tも狭くする必要がある。その一方、格子間隔tが狭くなってくると、微細加工技術が発達したとはいっても、単に縞状のレジストパターン5を形成してエッチングするだけでは、十分な寸法形状精度で格子2を形成するのが難しくなってくる。
次に、図3(4)に示すように、各犠牲層6を覆うようにして第二の薄膜42を形成する。第二の薄膜42は、各犠牲層6の上面、側面及び各犠牲層6の間の第一の薄膜41の露出面に形成される。
次に、犠牲層6のみをエッチングできるエッチャントを使用し、犠牲層6をエッチングして除去する。この結果、図3(6)に示すように、第一の薄膜41上に縞状に各第二の層32のみが突出して形成された状態となる。犠牲層6のエッチングは、RIEのようなドライエッチングの場合が多いが、ウェットエッチングの場合もある。
尚、この実施形態の製造方法において一時的に形成される犠牲層6の材料としては、各第二の層32の形成後にエッチングして犠牲層6を除去する際、各第二の層32や第一の薄膜41までエッチングしてしまわない材料でない限り、任意の材料を使用し得る。
実施例のグリッド偏光素子製造方法では、合成石英より成る透明基板上に、第一の薄膜としてシリコン膜がマグネトロンスパッタ装置により100nmの厚さで作成される。この際、透明基板を載置したステージの温度は室温であり、プロセスガスとしてアルゴンを30sccmの流量でチャンバーに導入される。この状態で、ターゲットであるシリコンに13.56MHzの高周波が300W印加される。
次に、ターゲット材料を酸化シリコンとして、上述と同条件で13分間の高周波印加が行われ、第一の薄膜(シリコン膜)上に第二の薄膜として酸化シリコン膜を50nmの厚さで作成される。
次に、上記フォトレジストに対し100℃でソフトベークが行われた後、KrFステッパーにより縞状パターン(ラインアンドスペース)の露光が行われる。ラインの幅とスペースの幅は、例えば1:1であり、各150nmとされる
この露光後、100℃でフォトレジストのポストベークが行われ、その後、東京応化工業株式会社製の現像液NMD−3により現像処理が行われる。
その後、レジストパターンをマスクにして、第二の薄膜である酸化シリコン膜をエッチングする第一のエッチング工程が行われる。処理条件は、雰囲気圧力1Pa,アンテナへの投入電力500W、バイアス電力300W、ステージの温度20℃、酸素ガスの流量5sccm,CF4ガスの流量30sccmとされ、30秒処理される。
図4は、実施形態の方法により製造されるグリッド偏光素子の偏光作用分布について参考例のグリッド偏光素子と比較した模式図である。図4に示すシミュレーションでは、格子2を構成する各線状部3がシリコンのみから成る場合を参考例とし、第一の層31としてのシリコンの層と第二の層32としての酸化シリコンの層から成る場合を実施例として比較した。尚、各線状部3を形成する際のエッチング処理は、参考例と実施例とで同様のエッチング装置を用い、同様の処理条件であることを前提とした。したがって、エッチャントの分布も参考例と実施例とで同様であることを前提とした。
また、使用波長は365nmであることを前提とした。シリコンの光学定数は、n=4.03,k=3.04とし、酸化シリコンの光学定数は、n=1.56、k=0とした。参考例において、シリコンより成る各線状部3の高さは、hc=100nm、hp=(70)nmとした。また実施例については、hc1=hp1=100nm、hc2=40nm、hp2=10nmとした。格子幅wは、いずれの場合も25nmとし、格子間隔tはいずれの場合も150nmとした。
尚、上記各実施形態及び実施例の説明において、グリッド偏光素子は透明基板1が水平な姿勢で配置されることを前提とし、第一の層31や第二の層32について「高さ」と表現したが、グリッド偏光素子は、水平以外の姿勢で配置される(例えば垂直に立てて配置される)場合もある。第一の層31や第二の層32の「高さ」は、上位概念としては、光の伝搬方向の長さということになる。
2 格子
3 線状部
31 第一の層
32 第二の層
41 第一の薄膜
42 第二の薄膜
5 レジストパターン
6 犠牲層
Claims (15)
- 透明基板と、透明基板上に設けられた複数の線状部からなる縞状の格子とを備えたグリッド偏光素子であって、
縞状の格子は、偏光作用を為す透明基板側の第一の層と、第一の層の上側に位置する第二の層とより成るものであり、
第二の層は、透光性の材料で形成され、第一の層より高さが低いものであることを特徴とするグリッド偏光素子。 - 前記第二の層は、前記第一の層をエッチングによって形成する際のエッチャントに対する耐性が第一の層に比べて高い材料で形成されていることを特徴とする請求項1記載のグリッド偏光素子。
- 前記第二の層の材料は、使用波長における消衰係数が実質的にゼロであることを特徴とする請求項1又は2記載のグリッド偏光素子。
- 前記第二の層は、高さが10nm以上100nm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のグリッド偏光素子。
- 前記使用波長は、200nm以上400nm以下であることを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載のグリッド偏光素子。
- 前記第一の層は、シリコンで形成されていることを特徴とする請求項1乃至5いずれかに記載のグリッド偏光素子。
- 前記第二の層は、酸化チタン、酸化シリコン、酸化タンタル、酸化ニオブ、アルミナ、酸化ハフニウム、イットリア、ジルコニア、インジウム酸スズ、酸化セリウム、酸化タングステン、酸化亜鉛、フッ化マグネシウムの何れか一種以上の材料より成ることを特徴とする請求項1又は2に記載のグリッド偏光素子。
- 透明基板と、透明基板上に設けられた縞状の格子とを備えたグリッド偏光素子を製造するグリッド偏光素子製造方法であって、
透明基板上に第一の薄膜を作成する第一の成膜工程と、
第一の薄膜の上に第二の薄膜を作成する第二の成膜工程と、
第二の薄膜をエッチングして第二の薄膜を縞状の第二の層とする第一のエッチング工程と、
縞状とされた第二の層をマスクにして第一の薄膜をエッチングして第一の層とする第二のエッチング工程とを有しており、
第一の成膜工程は、偏光作用をもたせる材料で第一の薄膜を作成する工程であり、
第二の成膜工程は、透光性の材料で第二の薄膜を作成する工程であり、
製造されたグリッド偏光素子において第二の層の高さが第一の層より低い構造とすることを特徴とするグリッド偏光素子製造方法。 - 前記第二のエッチング工程では、前記第二の薄膜の方が第一の薄膜より耐性が高いエッチャントを使用することを特徴とする請求項8記載のグリッド偏光素子製造方法。
- 前記第二の薄膜の材料は、使用波長における消衰係数が実質的にゼロであることを特徴とする請求項8又は9記載のグリッド偏光素子製造方法。
- 前記第二の層は、高さが10nm以上100nm以下であることを特徴とする請求項8又は9記載のグリッド偏光素子製造方法。
- 前記使用波長は、200nm以上400nm以下であることを特徴とする請求項8乃至11いずれかに記載のグリッド偏光素子製造方法。
- 前記第一の薄膜は、シリコンで作成されることを特徴とする請求項8乃至12記載のグリッド偏光素子製造方法。
- 前記第二の層は、酸化チタン、酸化シリコン、酸化タンタル、酸化ニオブ、アルミナ、酸化ハフニウム、イットリア、ジルコニア、インジウム酸スズ、酸化セリウム、酸化タングステン、酸化亜鉛、フッ化マグネシウムの何れか一種以上の材料で作成されることを特徴とする請求項8又は9記載のグリッド偏光素子製造方法。
- 透明基板と、透明基板上に設けられた縞状の格子とを備えたグリッド偏光素子を製造するグリッド偏光素子製造方法であって、
透明基板上に第一の薄膜を作成する第一の成膜工程と、
犠牲層用の第三の薄膜を第一の薄膜の上に作成する第三の成膜工程と、
第三の薄膜をフォトリソグラフィにより縞状として犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、
犠牲層の側面を含む領域に第二の薄膜を作成する第二の成膜工程と、
犠牲層の側面に形成された部分が残留した状態で第二の薄膜をエッチングする第一のエッチング工程と、
犠牲層を除去して、縞状の第二の層を形成する犠牲層除去工程と、
縞状とされた第二の層をマスクにして第一の薄膜をエッチングして第一の層を形成する第二のエッチング工程と
を有しており、
第一の成膜工程は、偏光作用をもたせる材料で第一の薄膜を作成する工程であり、
第二の成膜工程は、透光性の材料で第二の薄膜を作成する工程であり、
製造されたグリッド偏光素子において第二の層の高さが第一の層より低い構造とすることを特徴とするグリッド偏光素子製造方法。
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