JP5576477B2 - 透過サブストレートの欠陥を検出するための方法とシステム - Google Patents
透過サブストレートの欠陥を検出するための方法とシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5576477B2 JP5576477B2 JP2012510107A JP2012510107A JP5576477B2 JP 5576477 B2 JP5576477 B2 JP 5576477B2 JP 2012510107 A JP2012510107 A JP 2012510107A JP 2012510107 A JP2012510107 A JP 2012510107A JP 5576477 B2 JP5576477 B2 JP 5576477B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- component
- illumination
- imaging
- detection channels
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 253
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 75
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 43
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title description 15
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 195
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 188
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 169
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 31
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 20
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 16
- 239000004575 stone Substances 0.000 claims description 9
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000005329 float glass Substances 0.000 claims 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 1
- 239000002893 slag Substances 0.000 claims 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 20
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 238000001208 nuclear magnetic resonance pulse sequence Methods 0.000 description 2
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 0 CCC(CCCC(C1)=*C)(C1(C1CC1)N)N Chemical compound CCC(CCCC(C1)=*C)(C1(C1CC1)N)N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000003292 diminished effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000011897 real-time detection Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F18/00—Pattern recognition
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N7/00—Television systems
- H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N7/00—Television systems
- H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast
- H04N7/181—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast for receiving images from a plurality of remote sources
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8822—Dark field detection
- G01N2021/8825—Separate detection of dark field and bright field
Description
サブストレートの画像を提供するために複数の検出チャネルを使用するステップであって、該複数の検出チャネルの各々が、照明をサブストレートに提供するために照明コンポーネントを含み、該サブストレートの画像を提供するために、該サブストレートをスキャンするための画像形成コンポーネントと、ステップと、該サブストレートと該照明コンポーネントと該複数の検出チャネルに含まれる該画像形成コンポーネントとの間の相対運動を生成するステップと、前記複数の検出チャネルに含まれる照明コンポーネントと画像形成コンポーネントを制御するステップと、を含む。前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの内の少なくとも2つの照明コンポーネントが、交替に照明を前記サブストレートに提供し、前記複数の検出チャネルのいずれかに含まれる画像形成コンポーネントが、前記サブストレートをスキャンするようになっている。その検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートを照明する場合には、前記複数の検出チャネルの内の少なくとも2つの検出チャネルに含まれる画像形成コンポーネントは、同一の画像形成コンポーネントである。
二クロム・ミラー310は、デュアル・カラー照明コンポーネント148から受け取られる青色光を反射することができる。反射ミラー312は、二クロム・ミラー310によって反射される青色光を受けることができ、受け取った青色光を反射することができる。反射ディフューザ314は、反射ミラー312によって反射される青色光を受けることができ、拡散性青色光を形成して、サブストレート120に拡散性青色光を発することができる。そして、反射ディフューザ314からの、および、サブストレート120によって反射された青色光を感知することによって、サブストレート120の画像を提供するために、第1の画像形成コンポーネント162はサブストレート120をスキャンする。すなわち、第3の検出チャネルにおいて、デュアル・カラー照明コンポーネント148は、二クロム・ミラー310と反射ミラー312と反射ディフューザ314を介して第1の画像形成コンポーネント162に関して、明視野反射照明をサブストレート120に提供する。
Claims (40)
- 透過サブストレートの欠陥を検出するためのシステムであって、
複数の検出チャネルであって、該検出チャネルの各々が、
照明を前記サブストレートに提供するための照明コンポーネントと、
前記サブストレートの画像を提供するために前記サブストレートをスキャンする画像形成コンポーネントと、を含む、複数の検出チャネルと、
前記サブストレートと、前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントと前記画像形成コンポーネントの間での相対運動を生成するための移送モジュールと、
前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの内の少なくとも2つの照明コンポーネントが、交替に照明を前記サブストレートに提供し、その検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートを照明する場合には、前記複数の検出チャネルのいずれかに含まれる画像形成コンポーネントが、前記サブストレートをスキャンする、ように、前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントと前記画像形成コンポーネントを制御するための制御モジュールと、
を備えるシステムであり、
前記複数の検出チャネルの内の少なくとも2つの検出チャネルに含まれる画像形成コンポーネントは、同一の画像形成コンポーネントであり、
前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントのうちの少なくとも2つが、全く同一の照明コンポーネントであり、
前記複数の検出チャネルは、第1の検出チャネルと、第2の検出チャネルと、第3の検出チャネルと、第4の検出チャネルと、を含み、
前記第1の検出チャネルが、
前記サブストレートに第1の色を通して光を伝送して、第2の色光を反射するための、前記サブストレートの一方の側に配置された、ダイクロイックミラーと、
前記ダイクロイックミラーへ、第1の色光を発するための、前記サブストレートの前記一方の側に配置された第1の照明コンポーネントと、
サブストレートの画像を提供するために、サブストレートをスキャンするための、サブストレートの別の反対側に配置された第1の画像形成コンポーネントと、を含み、
前記第1の照明コンポーネントは、前記ダイクロイックミラーを介して前記第1の画像形成コンポーネントに対して、前記サブストレートに透過照明を提供し、
前記第2の検出チャネルは、前記サブストレートの前記画像を提供するようにサブストレートをスキャンするために、前記ダイクロイックミラーと、前記第1の照明コンポーネントと、前記サブストレートの前記一方の側に配置された第2の画像形成コンポーネントと、を含み、
前記ダイクロイックミラーを介して前記第2の画像形成コンポーネントに対して、前記第1の照明コンポーネントは、反射照明を前記サブストレートに提供し、
前記第3の検出チャネルは、
前記ダイクロイックミラーと、前記第1の画像形成コンポーネントと、
ダイクロイックミラーに前記第2の色光を発するための、前記サブストレートの前記一方の側に配置された第2の照明コンポーネントと、
前記ダイクロイックミラーから前記第2の色光を受光し、受光した光を反射するための、前記サブストレートの前記一方の側に配置された反射ミラーと、
反射ミラーから第2の色光を受光し、拡散性の第2の色光を形成し、前記サブストレートに前記拡散性の第2の色光を発するためのサブストレートの別の反対側に配置された反射ディフューザと、を含み、
前記第2の照明コンポーネントは、前記ダイクロイックミラーと、前記反射ミラーと前記反射ディフューザと、を介して前記第1の画像形成コンポーネントに対して、前記サブストレートに反射照明を提供し、
前記第4の検出チャネルは、前記ダイクロイックミラーと、前記第2の画像形成コンポーネントと、前記第2の照明コンポーネントと、前記反射ミラーと、前記反射ディフューザと、を含み、
前記第2の照明コンポーネントは、前記ダイクロイックミラーと、前記反射ミラーと前記反射ディフューザと、を介して前記第2の画像形成コンポーネントに対して、透過照明を前記サブストレートに提供し、
前記制御モジュールは、前記第1の照明コンポーネントと、前記第2の照明コンポーネントと、前記第1の画像形成コンポーネントと、前記第2の画像形成コンポーネントとを、前記第1の照明コンポーネントと、前記第2の照明コンポーネントとが、交替に光を発するように、制御し、
前記第1の照明コンポーネントと前記第2の照明コンポーネントが光を発する時に、前記第1の画像形成コンポーネントと前記第2の画像形成コンポーネントは、前記サブストレートを同時にスキャンする、システム。 - 前記第1の照明コンポーネントと前記第2の照明コンポーネントは、前記第1の色光と前記第2の色光を発することができる、全く同一の二重カラー照明コンポーネントであり、
前記制御モジュールは、前記二重カラー照明コンポーネントと、前記第1の画像形成コンポーネントと前記第2の画像形成コンポーネントとを、前記二重カラー照明コンポーネントが、前記第1の色光と前記第2の色光を交替に、発し、前記第1の画像形成コンポーネントと前記第2の画像形成コンポーネントが、前記二重カラー照明コンポーネントが前記第1の色光と前記第2の色光を発する時に、前記サブストレートを同時にスキャンするように、制御する、請求項1に記載のシステム。 - 前記第1の色光と前記第2の色光は、それぞれ、赤色光と青色光である、請求項1に記載のシステム。
- 前記サブストレートの欠陥を検出するために、前記複数の検出チャネルの各々からの、前記サブストレートの前記画像の上で画像処理を実行する画像処理モジュールを更に備える請求項1に記載のシステム。
- 前記複数の検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントが、前記サブストレートの画像を提供するために、前記サブストレートの実質的に同じゾーンをスキャンする、請求項1に記載のシステム。
- 前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが、パルスモードで動作する、請求項1に記載のシステム。
- 前記制御モジュールは、前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの各々の照明時間と前記複数の検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントの各々の露出時間とを、前記複数の検出チャネルの各々が、サブストレートのスキャンを動作期間内に、1回で完了するように制御する、システムであって、前記動作期間は、前記サブストレートがある変位P/M動くときの持続時間と定義され、Pは前記照明コンポーネントのピクセル・サイズを意味し、Mは前記画像形成コンポーネントの画像拡大倍率を意味する、請求項1に記載のシステム。
- 前記制御モジュールは、前記複数の検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントを、前記画像形成コンポーネントのうちの第1の画像形成コンポーネントと同一の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートに反射照明を提供するときの前記第1の画像形成コンポーネントの露出時間が、前記画像形成コンポーネントのうちの第2の画像形成コンポーネントと同一の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートに透過照明を提供するときの前記第2の画像形成コンポーネントの露出時間と異なるように、制御する、請求項1に記載のシステム。
- 前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの各々が、拡散性照明コンポーネントまたは平行照明コンポーネントである、請求項1ないし3のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの各々が、半導体光源を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記半導体光源が、発光ダイオードまたはレーザダイオードである、請求項10に記載のシステム。
- 前記半導体光源が、単色光源または多色光源である、請求項10に記載のシステム。
- 前記複数の検出チャネルに含まれる画像形成コンポーネントの各々が、少なくとも1つの画像形成レンズとライン走査光検出器を備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つの画像形成レンズが、球面レンズ、非球面レンズ、マイクロレンズ・アレイまたは回析画像形成要素を含むグループから選ばれる、請求項13に記載のシステム。
- 前記ライン走査光検出器が、ライン走査CCDセンサまたはライン走査CMOSセンサを含む、請求項13に記載のシステム。
- 前記サブストレートは、フロートガラス・リボンと、ガラス原料パネルと、光起電モジュールのガラス・サブストレートと、フラットパネル・ディスプレイ・デバイスのガラス・サブストレートと、を含む、請求項13に記載のシステム。
- 前記システムは、前記サブストレートの欠陥を検出して、分類することができ、前記欠陥は、かき傷、汚れ、酸化スズ(スラグ、Dross 、Tin pick up)チップ、バブル、黒い石、白い石、及び、ノットを含む、請求項13に記載のシステム。
- 前記システムは、内部欠陥及び表面欠陥を識別し、更に、前記サブストレートの前記欠陥の深さを決定することができる、請求項17に記載のシステム。
- 記システムは、前記サブストレートの上に異質粒子が存在する場合であっても、前記サブストレートの前記欠陥を検出して、分類することができる、請求項17に記載のシステム。
- 前記サブストレートが、クリーニングされない、請求項19に記載のシステム。
- サブストレートの画像を提供するために複数の検出チャネルを使用するステップであって、該複数の検出チャネルの各々が、該サブストレートに照明を提供するための照明コンポーネントと、該サブストレートの画像を提供するために、該サブストレートをスキャンするための画像形成コンポーネントとを含む、ステップと、
該サブストレートと、該照明コンポーネントおよび該複数の検出チャネルに含まれる該画像形成コンポーネントとの間の相対運動を生成するステップと、
前記複数の検出チャネルに含まれる照明コンポーネントと画像形成コンポーネントを、前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの全部または一部が、交替に照明を前記サブストレートに提供し、その検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートを照明する場合には、前記複数の検出チャネルのいずれかに含まれる画像形成コンポーネントが、前記サブストレートをスキャンするように、制御するステップと、を含む透過サブストレートの欠陥を検出するための方法であって、
前記複数の検出チャネルの少なくとも2つの検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントが、同一の画像形成コンポーネントであり、
前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの少なくとも2つが、全く同一の照明コンポーネントであり、
前記複数の検出チャネルは、第1の検出チャネルと、第2の検出チャネルと、第3の検出チャネルと、第4の検出チャネルとを含み、
前記第1の検出チャネルは、前記サブストレートに第1の色を通して光を伝送して、第2の色光を反射するために、前記サブストレートの一方の側に配置された、ダイクロイックミラーと、前記ダイクロイックミラーへ、第1の色光を発するために、前記サブストレートの前記一方の側に配置された第1の照明コンポーネントと、前記サブストレートの前記画像を提供するようにサブストレートをスキャンするために、前記サブストレートの別の反対側に配置された第1の画像形成コンポーネントとを含み、
前記第1の照明コンポーネントは、前記ダイクロイックミラーを介して前記第1の画像形成コンポーネントに対して、前記サブストレートに透過照明を提供し、
前記第2の検出チャネルは、前記ダイクロイックミラーと、前記第1の照明コンポーネントと、前記サブストレートの前記画像を提供するようにサブストレートをスキャンするために、前記サブストレートの前記一方の側に配置された第2の画像形成コンポーネントと、を含み、
前記ダイクロイックミラーを介して前記第2の画像形成コンポーネントに対して、前記第1の照明コンポーネントは、反射照明を前記サブストレートに提供し、
前記第3の検出チャネルは、前記ダイクロイックミラーと、前記第1の画像形成コンポーネントと、ダイクロイックミラーに前記第2の色光を発するために、前記サブストレートの前記一方の側に配置された第2の照明コンポーネントと、前記ダイクロイックミラーから前記第2の色光を受光し、受光した光を反射するために、前記サブストレートの前記一方の側に配置された反射ミラーと、反射ミラーから第2の色光を受光し、拡散性の第2の色光を形成し、前記サブストレートに前記拡散性の第2の色光を発するために、サブストレートの別の反対側に配置された反射ディフューザと、を含み、
前記第2の照明コンポーネントが、前記ダイクロイックミラーと、前記反射ミラーと前記反射ディフューザと、を介して前記第1の画像形成コンポーネントに対して、前記サブストレートに反射照明を提供し、
前記第4の検出チャネルは、前記ダイクロイックミラーと、前記第2の画像形成コンポーネントと、前記第2の照明コンポーネントと、前記反射ミラーと、前記反射ディフューザと、を含み、
前記第2の照明コンポーネントは、前記ダイクロイックミラーと、前記反射ミラーと前記反射ディフューザと、を介して前記第2の画像形成コンポーネントに対して、透過照明を前記サブストレートに提供し、
前記照明コンポーネントを制御するステップは、更に、前記第1の照明コンポーネントと、前記第2の照明コンポーネントと、前記第1の画像形成コンポーネントと前記第2の画像形成コンポーネントとを、前記第1の照明コンポーネントと前記第2の照明コンポーネントが、交替に光を発し、前記第1の画像形成コンポーネントと前記第2の画像形成コンポーネントが、前記第1の照明コンポーネントと前記第2の照明コンポーネントが光を発する時に、前記サブストレートを同時にスキャンするように、制御するステップを含む、方法。 - 前記第1の照明コンポーネントと前記第2の照明コンポーネントが、前記第1の色光と前記第2の色光を発することができる、全く同一の二重カラー照明コンポーネントであり、
前記照明コンポーネントを制御するステップは、更に、デュアル・カラー照明コンポーネントと、前記第1の画像形成コンポーネントと前記第2の画像形成コンポーネントとを、前記二重カラー照明コンポーネントが、前記第1の色光と前記第2の色光を交替に、発し、前記第1の画像形成コンポーネントと前記第2の画像形成コンポーネントが、前記二重カラー照明コンポーネントが前記第1の色光と前記第2の色光を発する時に、前記サブストレートを同時にスキャンするように、制御するステップを含む、請求項21に記載の方法。 - 第1の色光と第2の色光は、それぞれ赤色光と青色光である、請求項21に記載の方法。
- 前記サブストレートの欠陥を検出するために、前記複数の検出チャネルの各々からの、前記サブストレートの前記画像の上で画像処理を実行するステップを更に含む請求項21に記載の方法。
- 前記複数の検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントが、前記サブストレートの画像を提供するために、前記サブストレートの実質的に同じゾーンをスキャンする、請求項21に記載の方法。
- 前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが、パルスモードで動作する、請求項21に記載の方法。
- 前記照明コンポーネントを制御するステップは、更に、前記複数の検出チャネルに含まれる照明コンポーネントの各々の照明時間と、前記複数の検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントの各々の露出時間とを、前記複数の検出チャネルの各々が、サブストレートのスキャンを動作期間内に、1回で完了するように、制御するステップであって、前記動作期間は、前記サブストレートがある変位P/M動くときの持続時間と定義され、Pは前記照明コンポーネントのピクセル・サイズを意味し、Mは前記画像形成コンポーネントの画像拡大倍率を意味する、ステップを含む、請求項21に記載の方法。
- 前記照明コンポーネントを制御するステップは、更に、前記複数の検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントを、前記画像形成コンポーネントのうちの第1の画像形成コンポーネントと同一の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートに反射照明を提供するときの前記第1の画像形成コンポーネントの露出時間が、前記画像形成コンポーネントのうちの第2の画像形成コンポーネントと同一の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートに透過照明を提供するときの前記第2の画像形成コンポーネントの露出時間と異なるように、制御するステップを含む、請求項21に記載の方法。
- 前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの各々が、拡散性照明コンポーネントまたは平行照明コンポーネントである、請求項21ないし23のいずれか1項に記載の方法。
- 前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの各々が、半導体光源を含む、請求項21に記載の方法。
- 前記半導体光源は、発光ダイオードまたはレーザダイオードである、請求項30に記載の方法。
- 前記半導体光源は、単色光源または多色光源である、請求項30に記載の方法。
- 前記複数の検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントの各々は、少なくとも1つの画像形成レンズとライン走査光検出器を備える、請求項21に記載の方法。
- 少なくとも1つの画像形成レンズが、球面レンズ、非球面レンズ、マイクロレンズ・アレイまたは回析画像形成要素を含むグループから選ばれる、請求項33に記載の方法。
- 前記ライン走査光検出器は、ライン走査CCDセンサまたはラインの走査CMOSセンサを含む、請求項33に記載の方法。
- 記サブストレートは、フロートガラス・リボンと、生ガラスパネルと、光起電モジュールのガラス・サブストレートと、フラットパネル表示装置のガラス・サブストレートとを含む、請求項33に記載の方法。
- 前記方法は、前記サブストレートの欠陥を検出して、分類することが可能であって、前記欠陥は、かき傷、汚れ、ティン・ピックアップ、チップ、バブル、黒い石、白い石、及び、ノットを含む、請求項33に記載の方法。
- 前記方法は、内部欠陥及び表面欠陥を識別し、更に、前記サブストレートの前記欠陥の深さを決定することが可能である、請求項37に記載の方法。
- 前記方法は、前記サブストレートの上に異質粒子が存在する場合であっても、前記サブストレートの前記欠陥を検出して、分類することが可能である、請求項38に記載の方法。
- 前記サブストレートが、クリーニングされない、請求項38に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200910139054.5 | 2009-05-15 | ||
CN2009101390545A CN101887030A (zh) | 2009-05-15 | 2009-05-15 | 用于检测透明基板表面和/或其内部的缺陷的方法及系统 |
PCT/CN2010/072782 WO2010130226A1 (en) | 2009-05-15 | 2010-05-14 | Method and system for detecting defects of transparent substrate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012526968A JP2012526968A (ja) | 2012-11-01 |
JP5576477B2 true JP5576477B2 (ja) | 2014-08-20 |
Family
ID=43073030
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012510107A Expired - Fee Related JP5576477B2 (ja) | 2009-05-15 | 2010-05-14 | 透過サブストレートの欠陥を検出するための方法とシステム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9110035B2 (ja) |
EP (1) | EP2430431A4 (ja) |
JP (1) | JP5576477B2 (ja) |
KR (1) | KR20120018319A (ja) |
CN (1) | CN101887030A (ja) |
WO (1) | WO2010130226A1 (ja) |
Families Citing this family (68)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6004517B2 (ja) * | 2011-04-19 | 2016-10-12 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板検査装置、基板検査方法及び該基板検査装置の調整方法 |
TWI648532B (zh) * | 2011-08-29 | 2019-01-21 | 美商安美基公司 | 用於非破壞性檢測-流體中未溶解粒子之方法及裝置 |
FR2983583B1 (fr) | 2011-12-02 | 2013-11-15 | Saint Gobain | Dispositif d'analyse des defauts d'aspect d'un substrat transparent |
CN102590226A (zh) * | 2012-01-12 | 2012-07-18 | 北京凌云光视数字图像技术有限公司 | 用于检测具有图案的透明包装膜的检测系统 |
CN102636498B (zh) * | 2012-03-22 | 2014-04-16 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板的检测装置及检测方法 |
CN102830124B (zh) * | 2012-08-13 | 2015-05-13 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 米级尺寸激光玻璃铂金颗粒检测仪及其检测方法 |
EP3518160A1 (en) * | 2012-11-28 | 2019-07-31 | Saint-Gobain Glass France | Method and system for identifying defects in glass |
CN103076343B (zh) * | 2012-12-27 | 2016-09-14 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 素玻璃激光检查机及素玻璃检查方法 |
CN103076344A (zh) * | 2012-12-27 | 2013-05-01 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 显示面板的缺陷检测方法及其检测装置 |
FR3002061B1 (fr) * | 2013-02-13 | 2016-09-02 | Guillaume Bathelet | Procede et dispositif de controle d'un objet translucide |
JP2014157086A (ja) * | 2013-02-15 | 2014-08-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン検査装置 |
JP6085188B2 (ja) * | 2013-02-15 | 2017-02-22 | 株式会社Screenホールディングス | パターン検査装置 |
JP5825278B2 (ja) * | 2013-02-21 | 2015-12-02 | オムロン株式会社 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
JP2015049213A (ja) * | 2013-09-04 | 2015-03-16 | ウエブテック株式会社 | ワーク検査装置 |
DE202013008909U1 (de) * | 2013-10-07 | 2015-01-09 | MÖLLER-WEDEL OPTICAL GmbH | Vorrichtung zum Vermessen von Scheiben, insbesondere von Windschutzscheiben von Fahrzeugen |
TW201530121A (zh) * | 2014-01-27 | 2015-08-01 | Utechzone Co Ltd | 面板亮點檢測方法及系統 |
KR102198852B1 (ko) * | 2014-03-24 | 2021-01-05 | 삼성전자 주식회사 | 홍채 인식 장치 및 이를 포함하는 모바일 장치 |
CN103884650B (zh) * | 2014-03-28 | 2016-08-24 | 北京大恒图像视觉有限公司 | 一种多光源线阵成像系统及方法 |
CN103868478A (zh) * | 2014-04-01 | 2014-06-18 | 四川虹视显示技术有限公司 | 透明平板平面度的快速检测方法及装置 |
US9952160B2 (en) * | 2014-04-04 | 2018-04-24 | Packaging Corporation Of America | System and method for determining an impact of manufacturing processes on the caliper of a sheet material |
TWI502186B (zh) * | 2014-05-08 | 2015-10-01 | Utechzone Co Ltd | A bright spot detection device for filtering foreign matter noise and its method |
TWI495867B (zh) * | 2014-07-22 | 2015-08-11 | Machvision Inc | Application of repeated exposure to multiple exposure image blending detection method |
CN104406988A (zh) * | 2014-11-18 | 2015-03-11 | 浙江大学 | 一种玻璃内部缺陷的检测方法 |
CN104458767A (zh) * | 2014-12-05 | 2015-03-25 | 昆山国显光电有限公司 | 玻璃基板的检测装置和方法 |
JP2016125968A (ja) * | 2015-01-07 | 2016-07-11 | 旭硝子株式会社 | 検査装置および検査方法 |
TWI585395B (zh) * | 2015-01-27 | 2017-06-01 | 政美應用股份有限公司 | 面板檢測裝置與方法 |
TWI585394B (zh) * | 2015-12-09 | 2017-06-01 | 由田新技股份有限公司 | 動態式自動追焦系統 |
CN105572080B (zh) * | 2015-12-18 | 2018-03-09 | 河南理工大学 | 非接触式浮法玻璃锡面自动识别装置及方法 |
CN105938088B (zh) * | 2016-04-14 | 2019-05-24 | 明基材料有限公司 | 隐形眼镜的颜色瑕疵的检测方法及检测系统 |
KR102499831B1 (ko) * | 2016-05-23 | 2023-02-14 | 코닝 인코포레이티드 | 글라스 시트의 무중력 형상 예측 방법 및 무중력 형상 기반 글라스 시트 품질 관리 방법 |
CN107449778B (zh) * | 2016-05-31 | 2018-11-23 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种自动光学检测装置及方法 |
NL2017108B1 (en) | 2016-07-05 | 2018-01-12 | Kipp & Zonen B V | Method and device determining soiling of a shield |
WO2018009064A1 (en) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | Kipp & Zonen B.V. | Method and device determining soiling of a shield |
US10192147B2 (en) * | 2016-08-30 | 2019-01-29 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Foreign substance detection in a depth sensing system |
CN107782738A (zh) * | 2016-08-31 | 2018-03-09 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种自动光学检测装置及其检测方法 |
CN106404803A (zh) * | 2016-09-09 | 2017-02-15 | 蚌埠中建材信息显示材料有限公司 | 一种超薄浮法玻璃外观质量检测方法 |
CN110050184B (zh) | 2016-11-02 | 2023-06-13 | 康宁股份有限公司 | 检查透明基材上的缺陷的方法和设备及发射入射光的方法 |
US10677739B2 (en) * | 2016-11-02 | 2020-06-09 | Corning Incorporated | Method and apparatus for inspecting defects on transparent substrate |
JP6324564B1 (ja) * | 2017-03-03 | 2018-05-16 | 東北電力株式会社 | 太陽電池モジュールのカバーガラス異常検知方法 |
CN108982536B (zh) * | 2017-05-31 | 2021-08-20 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种颗粒检测装置及方法 |
CN107421967B (zh) * | 2017-07-28 | 2020-12-22 | 昆山国显光电有限公司 | 一种玻璃检测装置及检测方法 |
CN109387518B (zh) * | 2017-08-02 | 2022-06-17 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 自动光学检测方法 |
CN107462585B (zh) * | 2017-08-10 | 2021-01-29 | 武汉华星光电技术有限公司 | 自动光学检查机及玻璃基板的缺陷检查方法 |
CN107328786A (zh) * | 2017-08-21 | 2017-11-07 | 中导光电设备股份有限公司 | 一种膜表面缺陷检测装置及其检测方法 |
CN107764834A (zh) * | 2017-12-07 | 2018-03-06 | 南京波长光电科技股份有限公司 | 一种自动检测透明零件表面缺陷的装置及其检测方法 |
CN107957425A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-04-24 | 湖南科创信息技术股份有限公司 | 透明材料缺陷检测系统及方法 |
CN108267460A (zh) * | 2018-02-26 | 2018-07-10 | 湖南科创信息技术股份有限公司 | 用于透明材料缺陷检测的矩阵式视觉检测系统和方法 |
CN108459425A (zh) * | 2018-03-27 | 2018-08-28 | 昆山国显光电有限公司 | 屏体检测装置及方法 |
CN108956613A (zh) * | 2018-05-04 | 2018-12-07 | 湖南科创信息技术股份有限公司 | 玻璃锡缺陷视觉鉴别系统 |
AT521297B1 (de) | 2018-05-24 | 2021-06-15 | Eyyes Gmbh | Verfahren zur Detektion von Diskontinuitäten in einem lichtdurchlässigen Werkstück |
CN108896578B (zh) * | 2018-06-27 | 2024-04-16 | 湖南科创信息技术股份有限公司 | 基于积分笼照明的透明部件缺陷检测系统 |
DE102019107174B4 (de) * | 2019-03-20 | 2020-12-24 | Thyssenkrupp Rasselstein Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion der Oberfläche eines sich bewegenden Bands |
CN110108720A (zh) * | 2019-05-30 | 2019-08-09 | 苏州精濑光电有限公司 | 光学检测装置 |
CN110567989A (zh) * | 2019-09-04 | 2019-12-13 | 北京信息科技大学 | 屏蔽玻璃缺陷检测方法 |
CN110708444B (zh) * | 2019-09-27 | 2021-09-07 | 广州荣峰光电科技有限公司 | 用于拍摄焊接过程的摄像系统及其控制方法 |
JP2021060345A (ja) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | オムロン株式会社 | シート検査装置 |
CN110749606A (zh) * | 2019-11-14 | 2020-02-04 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种基于光学元件的激光损伤检测方法及系统 |
JP7358937B2 (ja) | 2019-11-25 | 2023-10-11 | 株式会社Ihi | 異物検出装置および異物検出方法 |
CN112858325A (zh) * | 2019-11-26 | 2021-05-28 | 芯恩(青岛)集成电路有限公司 | 晶圆检测系统及检测方法 |
CN111007075A (zh) * | 2020-01-03 | 2020-04-14 | 佛亚智能装备(苏州)有限公司 | 一种多角度切换光源对发动机精密件表面缺陷的拍摄方法 |
WO2021240279A1 (en) * | 2020-05-29 | 2021-12-02 | Conceria Pasubio S.P.A. | Method and apparatus for identifying possible surface defects of a leather hide |
CN112147153B (zh) * | 2020-10-28 | 2022-10-18 | 江苏善果缘智能科技有限公司 | 一种用于产品表面疵点检测的led照明光源构建方法 |
CN112651968B (zh) * | 2021-01-20 | 2021-09-07 | 广东工业大学 | 一种基于深度信息的木板形变与凹坑检测方法 |
CN113155852B (zh) * | 2021-04-08 | 2023-08-01 | 煤炭科学研究总院有限公司 | 一种传输带的检测方法、装置及电子设备 |
CN113109361A (zh) * | 2021-04-28 | 2021-07-13 | 红塔烟草(集团)有限责任公司 | 油封纸及条盒独立照明的烟条外观检测装置及方法 |
CN113834818A (zh) * | 2021-09-15 | 2021-12-24 | 江苏维普光电科技有限公司 | 基于频闪切换照明的掩膜版缺陷检测方法及系统 |
CN115586195A (zh) * | 2022-11-23 | 2023-01-10 | 常州微亿智造科技有限公司 | 透明材料光学层析缺陷检测方法、检测系统及介质 |
CN117152123B (zh) * | 2023-10-12 | 2024-01-30 | 深圳正实自动化设备有限公司 | 一种用于锡膏印刷的检测定位优化方法、系统及存储介质 |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07234187A (ja) * | 1994-02-24 | 1995-09-05 | G T C:Kk | ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置 |
US5943550A (en) * | 1996-03-29 | 1999-08-24 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of processing a semiconductor wafer for controlling drive current |
IL118872A (en) * | 1996-07-16 | 2000-06-01 | Orbot Instr Ltd | Optical inspection method and apparatus |
JPH10206558A (ja) * | 1997-01-17 | 1998-08-07 | Omron Corp | 透過型光電センサ |
JPH10282007A (ja) * | 1997-04-04 | 1998-10-23 | Hitachi Ltd | 異物等の欠陥検査方法およびその装置 |
JP3378795B2 (ja) * | 1998-03-27 | 2003-02-17 | シャープ株式会社 | 表示装置の検査装置および検査方法 |
US6426501B1 (en) * | 1998-05-27 | 2002-07-30 | Jeol Ltd. | Defect-review SEM, reference sample for adjustment thereof, method for adjustment thereof, and method of inspecting contact holes |
US6618136B1 (en) * | 1998-09-07 | 2003-09-09 | Minolta Co., Ltd. | Method and apparatus for visually inspecting transparent body and translucent body |
CA2252308C (en) * | 1998-10-30 | 2005-01-04 | Image Processing Systems, Inc. | Glass inspection system |
TW498152B (en) * | 2000-09-11 | 2002-08-11 | Olympus Optical Co | Confocal microscope |
JP2003077025A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Toshiba Corp | 紙葉類判別装置及び紙葉類判別方法 |
DE10156235A1 (de) * | 2001-11-15 | 2003-06-05 | Leica Microsystems | Verfahren zum Betreiben einer Stellvorrichtung und Scanmikroskop |
US7256881B2 (en) | 2002-02-15 | 2007-08-14 | Coopervision, Inc. | Systems and methods for inspection of ophthalmic lenses |
JP2003263627A (ja) * | 2002-03-08 | 2003-09-19 | Olympus Optical Co Ltd | 画像取り込み装置 |
US20040207836A1 (en) * | 2002-09-27 | 2004-10-21 | Rajeshwar Chhibber | High dynamic range optical inspection system and method |
US7639419B2 (en) * | 2003-02-21 | 2009-12-29 | Kla-Tencor Technologies, Inc. | Inspection system using small catadioptric objective |
JP2004317470A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Nippon Electro Sensari Device Kk | 透明板欠陥検査装置 |
JP2004343222A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Olympus Corp | 画像処理装置 |
JP2005158780A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査方法及びその装置 |
US7570359B2 (en) * | 2004-02-09 | 2009-08-04 | John S. Fox | Illuminating and panoramically viewing a macroscopically-sized specimen along a single viewing axis at a single time |
US20060133657A1 (en) * | 2004-08-18 | 2006-06-22 | Tripath Imaging, Inc. | Microscopy system having automatic and interactive modes for forming a magnified mosaic image and associated method |
US8233041B2 (en) * | 2005-06-17 | 2012-07-31 | Omron Corporation | Image processing device and image processing method for performing three dimensional measurements |
DE102005046581A1 (de) * | 2005-09-28 | 2007-03-29 | Hauni Maschinenbau Ag | Einrichtung und Verfahren zum Messen von Eigenschaften von Multisegmentfiltern oder Zusammenstellungen von Filtersegmenten |
DE102005050882B4 (de) | 2005-10-21 | 2008-04-30 | Isra Vision Systems Ag | System und Verfahren zur optischen Inspektion von Glasscheiben |
US7283227B2 (en) * | 2005-11-21 | 2007-10-16 | Corning Incorporated | Oblique transmission illumination inspection system and method for inspecting a glass sheet |
US7436505B2 (en) * | 2006-04-04 | 2008-10-14 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Computer-implemented methods and systems for determining a configuration for a light scattering inspection system |
US7567344B2 (en) * | 2006-05-12 | 2009-07-28 | Corning Incorporated | Apparatus and method for characterizing defects in a transparent substrate |
US7711177B2 (en) * | 2006-06-08 | 2010-05-04 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for detecting defects on a specimen using a combination of bright field channel data and dark field channel data |
CA2675456C (en) * | 2007-01-12 | 2017-03-07 | Synergx Technologies Inc. | Bright field and dark field channels, used for automotive glass inspection systems |
EP2126552A4 (en) * | 2007-02-16 | 2016-04-20 | 3M Innovative Properties Co | METHOD AND APPARATUS FOR LIGHTING MATERIAL FOR AUTOMATED INSPECTION |
CN101021490B (zh) * | 2007-03-12 | 2012-11-14 | 3i系统公司 | 平面基板自动检测系统及方法 |
EP2394295A2 (en) * | 2009-02-06 | 2011-12-14 | KLA-Tencor Corporation | Selecting one or more parameters for inspection of a wafer |
JP2010223613A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Futec Inc | 光学検査装置 |
US9310316B2 (en) * | 2012-09-11 | 2016-04-12 | Kla-Tencor Corp. | Selecting parameters for defect detection methods |
-
2009
- 2009-05-15 CN CN2009101390545A patent/CN101887030A/zh active Pending
-
2010
- 2010-05-14 KR KR1020117027013A patent/KR20120018319A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-05-14 WO PCT/CN2010/072782 patent/WO2010130226A1/en active Application Filing
- 2010-05-14 US US13/266,308 patent/US9110035B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-05-14 EP EP10774567.1A patent/EP2430431A4/en not_active Withdrawn
- 2010-05-14 JP JP2012510107A patent/JP5576477B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2430431A1 (en) | 2012-03-21 |
CN101887030A (zh) | 2010-11-17 |
WO2010130226A1 (en) | 2010-11-18 |
US9110035B2 (en) | 2015-08-18 |
US20120044344A1 (en) | 2012-02-23 |
EP2430431A4 (en) | 2017-08-02 |
JP2012526968A (ja) | 2012-11-01 |
KR20120018319A (ko) | 2012-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5576477B2 (ja) | 透過サブストレートの欠陥を検出するための方法とシステム | |
US20110310244A1 (en) | System and method for detecting a defect of a substrate | |
KR100996335B1 (ko) | 복합 구조의 불일치를 검사하기 위한 장치 및 방법 | |
US7382457B2 (en) | Illumination system for material inspection | |
KR102339677B1 (ko) | 광학 검사 장치 | |
JP2012042297A (ja) | 撮像光学検査装置 | |
KR20080009628A (ko) | 패턴 검사 장치 | |
US20200378899A1 (en) | Glass processing apparatus and methods | |
KR101577119B1 (ko) | 패턴 검사 장치 및 패턴 검사 방법 | |
KR20140103027A (ko) | 패턴 검사 장치 및 패턴 검사 방법 | |
WO2018137233A1 (en) | Optical inspection system | |
WO2010079474A1 (en) | A system and method for thin film quality assurance | |
EP3187861B1 (en) | Substrate inspection device and substrate inspection method | |
KR20070072559A (ko) | 용기에 발광 다이 요소를 직접 포커싱하는 용기 검사장치및 방법 | |
CN112222012A (zh) | 一种基于分时式同轴照明成像的检测系统及分选机 | |
CN112888936A (zh) | 用于光学检验系统的多模态多路复用照明 | |
KR101485425B1 (ko) | 커버 글라스 분석 장치 | |
JP2008051892A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP2008224634A (ja) | 被検体充填液中の異物検出装置および被検体充填液の検査方法 | |
WO2021090827A1 (ja) | 検査装置 | |
KR20230099834A (ko) | 산란광을 이용한 유리기판의 절단면 검사 장치 | |
JP2005010012A (ja) | 球状透明体表面検査装置 | |
KR101185075B1 (ko) | 반사 특성을 갖는 검사대상물의 결점 검지 장치 | |
JP2005331475A (ja) | 半透明体又は透明体の検査装置 | |
JP2019138696A (ja) | 外観検査方法及び外観検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140310 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140624 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140703 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5576477 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |