CN107782738A - 一种自动光学检测装置及其检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种自动光学检测装置及其检测方法。一种自动光学检测装置，包括：工件台，作为控制中心的工控机，用于明场光源光路的第一光源，用于暗场光源光路的第二光源，用于明场的第一图像采集器，用于暗场的第二图像采集器，以及设置在明场光源光路中并通过同步控制系统控制的电动快门，且电动快门通过工控机指令同步控制系统在用于暗场光源光路的第二光源点亮前关闭明场光源光路。本发明通过在明场光源光路中设置由同步控制系统控制的电动快门，且电动快门通过工控机指令同步控制系统在用于暗场光源光路的所述第二光源点亮前关闭所述明场光源光路，不仅有效的消除了余辉效应，而且进一步提升了暗场采集图像的精确性。

Description

一种自动光学检测装置及其检测方法
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种自动光学检测装置及其检测方法。
背景技术
自动光学检测(Automated Optical Inspection,AOI)是一种快速的，自动的视觉检测系统，广泛用于PCB、LCD、TFT等的光学检测中。一般而言，该系统是用一台或者多台相机自动扫描待检测的器件，进而检测出待测器件中的各种缺陷(例如：形状的不规则，表明凸起颗粒物等)。因为AOI检测过程不需要和待测物品直接接触，所以AOI能够快速、高效地检测待测物品。目前，该检测系统被广泛运用于各个生产领域中。
在自动光学检测过程中，目前市面上各种产品普遍采用明场与暗场照明扫描的方式。请参阅图7，图7所示为现有明场、暗场光源照射示意图。明场照明的特点是让待测物品上反射的光线，即明场光束2全部进入物镜3成像，所以扫描出的图像是明亮的一片，可以获取待测物表面图像。相反，暗场照明的特点是照明光束，即暗场光速4以极大的倾斜角度投射在待测物品5上，因此从待测物品上反射的光线不能进入物镜3成像，扫描出的图像也是漆黑一片。但是，如果待测物品5表明存在颗粒物，则会形成漫反射，漫反射光线会进入物镜3，从而扫描成像。
目前市面上的光学检测系统利用明场与暗场的成像特点，对不同的产品缺陷进行检测。被测物表明缺陷例如划痕，刮伤等可以通过明场照明检测出来。而被测物表面的微小颗粒物，凸起等可以在暗场照明的情况下进行检测。
公开号为CN105043982的中国专利申请，揭露一种自动光学检测系统，所述自动光学检测系统就是采用明场和暗场对硅片进行照明检测。其运用一套同步控制系统分别控制多个不同的闪烁光源和探测器，进而分别获取明场与暗场下的扫描检测图像。相对以前光学检测产品来说，该发明虽然可以同步获取明场与暗场的扫描图像，不需要让检测系统分别进行明场与暗场的图像扫描，进而大大提升检测效率。可是在实际运用过程中，发现当明场、暗场光源切换的过程中容易产生余辉效应，进而造成了检测结果的不准确。
在该系统中，照明光源采用氙灯光源，气体放电灯有余辉效应，而光源的电压、电流与光源的输出响应速度非常快，因此该效应对本系统产生较大影响。请参阅图8，图8所示为理想状态下之明场、暗场切换示意图。当同步系统发出第二脉冲信号6时，明场光源点亮；当同步系统发出第四脉冲信号7时，暗场光源被点亮。同时，由于工件台的运行速度极快(正常情况下约200m/s)，为了保证明场、暗场照明情况下所采的图像能够达到99％～99.9％共同区域，明场、暗场光源发光的时间间隔应该较短，正常情况应小于100μs。
请参阅图9，图9所示为明场、暗场实际切换效果示意图。在实际测试过程中，光源闪烁并不是一个阶跃的过程，而是一个连续的过程。特别是该系统选用的氙灯光源。该同步控制系统是控制氙灯光源上的电压，当作为明场光源8的氙灯光源上电压为0时，明场光源8并不会马上熄灭，而是持续一段时间Δt逐渐熄灭。在明场光源8、暗场光源9切换时间较短的情况下，则明场光源8势必会对暗场光源产生串扰，影响所采图像的精确度。
在本领域中，所述Δt持续时间即为余辉持续时间。定义作为明场光源的所述氙灯的波长为λ，光速为c，因此氙灯发光峰值到发光阈值之间的能量为：
其中，h为普朗克常数；
由于氙灯采用电弧放电原理，电弧能量公式为：
其中，Cf为系数，1KV以上取1.0，1KV以下取1.5；En为典型事故能量(J/cm2)；x为距离指数；D为电弧放电距离。
则，所述余辉持续时间Δt为：
故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种自动光学检测装置及其检测方法。
发明内容
本发明是针对现有技术中，传统的自动光学检测装置在明场光源、暗场光源切换的过程中容易产生余辉效应，进而造成了检测结果的不准确等缺陷提供一种自动光学检测装置。
本发明之第二目的是针对现有技术中，传统的自动光学检测装置在明场光源、暗场光源切换的过程中容易产生余辉效应，进而造成了检测结果的不准确等缺陷提供一种自动光学检测装置的检测方法。
为实现本发明之目的，本发明提供一种自动光学检测装置，所述自动光学检测装置，包括：用于设置待光学检测之器件的工件台，且所述工件台在外界驱动装置的作用下按预设轨迹运行；作为自动光学检测装置之控制中心的工控机；用于明场光源光路的第一光源；用于暗场光源光路的第二光源；用于明场的第一图像采集器，且所述第一图像采集器在第一光源的作用下对待光学检测之器件进行图像采集；用于暗场的第二图像采集器，且所述第二图像采集器在第二光源的作用下对待光学检测之器件进行图像采集；以及设置在所述明场光源光路中，并通过一同步控制系统控制的电动快门，且所述电动快门通过所述工控机指令所述同步控制系统在用于暗场光源光路的所述第二光源点亮前关闭所述明场光源光路。
可选地，所述同步控制系统进一步包括PCI同步脉冲信号发生板卡，且所述PCI同步脉冲信号发生板卡在预设时间点上发出方波脉冲信号。
可选地，用于明场光源光路的所述第一光源和用于暗场光源光路的所述第二光源均为LED照明光源。
可选地，所述电动快门之开合速度为毫秒量级。
为实现本发明之又一目的，本发明提供一种自动光学检测装置之检测方法，所述同步控制系统发生脉冲的时序逻辑，并在任一脉冲周期内分别对时间点T1、T2、T3、T4、T5发送脉冲，设定所述电动快门的开合时间为Δt1，余辉效应持续时长为Δt2，且所述时间点满足：T1＜T2≤T3，T1+Δt2＝T4≤T5，T4+Δt2＝T6，所述自动光学检测装置的检测方法，包括：
在T1时刻，所述工件台运动至测试位置，并向所述工控机发出信号，要求进行图像采集，且所述工控机同时指令所述同步控制系统向所述电动快门发出触发信号，所述电动快门开始打开；
在T2时刻，所述电动快门开口最大，所述同步控制系统向用于明场光源光路的所述第一图像采集器发出触发信号，所述第一图像采集器开始积分采图；
在T3时刻，所述同步控制系统向用于明场光源光路的所述第一光源发出触发信号，所述第一光源开始照明，所述第一图像采集器持续处于明场照明采集状态；
在T4时刻，所述电动快门闭合；
在T5时刻，所述电动快门处于闭合状态，所述同步控制系统向用于暗场光源光路的所述第二图像采集器发出触发信号，所述第二图像采集器开始积分采图。
可选地，用于明场光源光路的所述第一光源和用于暗场光源光路的所述第二光源均为氙灯照明光源。
可选地，所述同步控制系统与所述电动快门和用于明场光源光路的所述第一光源呈并联电连接。
可选地，所述电动快门之开合速度为秒及以内。
可选地，所述电动快门之打开时间设定小于用于明场光源光路的所述第一光源之点亮持续时间。
可选地，所述自动光学检测装置的检测方法，所述同步控制系统发生脉冲的时序逻辑，并在任一脉冲周期内分别对时间点T1、T2、T3、T4发送脉冲，设定所述电动快门的开合时间为Δt3，用于明场的第一图像采集器之积分时间为Δt4，且所述时间点满足：T1≤T2＜T3≤T4，T2+Δt3≤T3，T1+Δt4≤T3，所述自动光学检测装置的检测方法，包括：
在T1时刻，所述工件台运动至测试位置，并向所述工控机发出信号，要求进行图像采集，且所述工控机在接受到所述工件台之信号时，所述同步控制系统同时向所述电动快门和用于明场光源光路的所述第一光源发出触发信号；
在T2时刻，同时打开所述电动快门和点亮用于明场光源光路的所述第一光源；
在T3时刻，所述电动快门闭合，所述同步控制系统向用于暗场的所述第二图像采集器发出触发信号，用于暗场的所述第二图像采集器开始积分采集；
在T4时刻，所述同步控制系统向用于暗场光源光路的所述第二光源发出触发信号，所述第二光源开始照明，所述第二图像采集器持续处于暗场照明采集状态。
综上所述，本发明自动光学检测装置通过在所述明场光源光路中设置由所述同步控制系统控制的所述电动快门，且所述电动快门通过所述工控机指令所述同步控制系统在用于暗场光源光路的所述第二光源点亮前关闭所述明场光源光路，不仅有效的消除了余辉效应，而且进一步提升了暗场采集图片的精确性。
附图说明
图1所示为本发明之自动光学检测装置的第一实施方式框架结构示意图；
图2所示为本发明自动光学检测装置之第一实施方式的检测控制时序图；
图3所述为本发明自动光学检测装置之第一实施方式的流程图；
图4所示为本发明自动光学检测装置之第二实施方式的框架结构示意图；
图5所示为本发明自动光学检测装置之第二实施方式的检测控制时序图；
图6所述为本发明自动光学检测装置之第二实施方式的流程图；
图7所示为现有明场、暗场光源照射示意图；
图8所示为理想状态下之明场、暗场切换示意图；
图9所示为明场、暗场实际切换效果示意图。
具体实施方式
为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。
第一实施方式
请参阅图1，图1所示为本发明之自动光学检测装置的第一实施方式框架结构示意图。所述自动光学检测装置1，包括：用于设置待光学检测之器件的工件台11，所述工件台11在外界驱动装置(未图示)的作用下按预设轨迹运行；作为自动光学检测装置1之控制中心的工控机12；用于明场光源光路的第一光源13a；用于暗场光源光路的第二光源13b；用于明场的第一图像采集器14a，且所述第一图像采集器14a在第一光源13a的作用下对待光学检测之器件进行图像采集；用于暗场的第二图像采集器14b，且所述第二图像采集器14b在第二光源13b的作用下对待光学检测之器件进行图像采集；以及设置在所述明场光源光路中，并通过一同步控制系统15控制的电动快门16，且所述电动快门16通过所述工控机12指令所述同步控制系统15在用于暗场光源光路的所述第二光源13b点亮前关闭所述明场光源光路。
作为本发明之具体实施方式，用于明场光源光路的所述第一光源13a和用于暗场光源光路的所述第二光源13b均为LED照明光源。用于明场的所述第一图像采集器14a和用于暗场的所述第二图像采集器14b均为CMOS图像采集相机。所述同步控制系统15进一步包括PCI同步脉冲信号发生板卡，所述PCI同步脉冲信号发生板卡在预设时间点上发出5V方波脉冲信号。所述电动快门16之开合速度为毫秒量级。
为了更直观的揭露本发明之技术方案，凸显本发明之有益效果，现结合具体实施方式对本发明自动光学检测装置之结构和检测方法进行阐明。在具体实施方式中，所述自动光学检测装置之各功能部件的具体类型，时间点的数量等仅为列举，不应视为对本发明技术方案的限制。
请参阅图2，并结合参阅图1，图2所示为本发明自动光学检测装置之第一实施方式的检测控制时序图。非限制性地，例如所述同步控制系统15发生脉冲的时序逻辑，并在任一脉冲周期内分别对时间点T1、T2、T3、T4、T5发送脉冲，设定所述电动快门16的开合时间为Δt1，余辉效应持续时长为Δt2，且所述时间点满足：
T1＜T2≤T3；
T1+Δt1＝T4≤T5；
T4+Δt2＝T6；
作为本领域技术人员，容易知晓地，所述余辉持续时长其中，Cf为系数，1KV以上取1.0，1KV以下取1.5；En为典型事故能量(J/cm2)；x为距离指数；D为电弧放电距离。
请参阅图3，并结合参阅图1、图2，图3所述为本发明自动光学检测装置之第一实施方式的流程图。所述自动光学检测装置之检测方法，包括：
在T1时刻，所述工件台11运动至测试位置，并向所述工控机12发出信号，要求进行图像采集，且所述工控机12同时指令所述同步控制系统15向所述电动快门16发出触发信号，所述电动快门16开始打开；
在T2时刻，所述电动快门16开口最大，所述同步控制系统15向用于明场光源光路的所述第一图像采集器14a发出触发信号，所述第一图像采集器14a开始积分采图；
在T3时刻，所述同步控制系统15向用于明场光源光路的所述第一光源13a发出触发信号，所述第一光源13a开始照明，所述第一图像采集器14a持续处于明场照明采集状态；
在T4时刻，所述电动快门16闭合；
在T5时刻，所述电动快门16处于闭合状态，所述同步控制系统15向用于暗场光源光路的所述第二图像采集器14b发出触发信号，所述第二图像采集器14b开始积分采图。
请继续参阅图2，由于T1到T4时间间隔设定为所述电动快门16的开合时间，在T4时刻所述电动快门16恰呈闭合状态。显然地，在本发明中，若无所述电动快门16以在用于暗场光源光路的所述第二光源13b点亮前关闭所述明场光源光路，则由于余辉效应，所述第一光源13a将持续到T6时刻才处于关闭状态，进而余辉效应持续时长Δt2＝T6-T4。在Δt2时长中，则暗场图像采集势必受到明场光源的余辉影响，导致测量误差。另一方面，在T4时刻，所述电动快门16恰处于闭合状态，因此在T4时刻所述同步控制系统15向用于暗场光源光路的所述第二光源13b发出触发信号，点亮所述第二光源13b时，则不会受到所述第一光源13a的余辉效应影响。
第二实施方式
为了描述简便，所述自动光学检测装置之第二实施方式与第一实施方式相同的功能部件采用相同的名称，仅通过数字编号加以区别。
请参阅图4，图4所示为本发明自动光学检测装置之第二实施方式的框架结构示意图。所述自动光学检测装置1，包括：用于设置待光学检测之器件的工件台21，所述工件台21在外界驱动装置(未图示)的作用下按预设轨迹运行；作为自动光学检测装置2之控制中心的工控机22；用于明场光源光路的第一光源23a；用于暗场光源光路的第二光源23b；用于明场的第一图像采集器24a，且所述第一图像采集器24a在第一光源23a的作用下对待光学检测之器件进行图像采集；用于暗场的第二图像采集器24b，且所述第二图像采集器24b在第二光源23b的作用下对待光学检测之器件进行图像采集；以及设置在所述明场光源光路中，并通过一同步控制系统25控制的电动快门26，且所述电动快门26通过所述工控机22指令同步控制系统25在用于暗场光源光路的所述第二光源23b点亮前关闭所述明场光源光路。
作为本发明之具体实施方式，所述同步控制系统25与所述电动快门26和用于明场光源光路的所述第一光源23a呈并联电连接。用于明场光源光路的所述第一光源23a和用于暗场光源光路的所述第二光源23b均为氙灯照明光源。用于明场的所述第一图像采集器24a和用于暗场的所述第二图像采集器24b均为CMOS图像采集相机。所述同步控制系统25进一步包括PCI同步脉冲信号发生板卡，所述PCI同步脉冲信号发生板卡在预设时间点上发出5V方波脉冲信号。所述电动快门16之开合速度为秒及以内。所述电动快门16之打开时间设定小于用于明场光源光路的所述第一光源23a之点亮持续时间。
为了更直观的揭露本发明之技术方案，凸显本发明之有益效果，现结合具体实施方式对本发明自动光学检测装置之结构和检测方法进行阐明。在具体实施方式中，所述自动光学检测装置之各功能部件的具体类型，时间点的数量等仅为列举，不应视为对本发明技术方案的限制。
请参阅图5，并结合参阅图4，图5所示为本发明自动光学检测装置之第二实施方式的检测控制时序图。非限制性地，例如所述同步控制系统25发生脉冲的时序逻辑，并在任一脉冲周期内分别对时间点T1、T2、T3、T4发送脉冲，设定所述电动快门16的开合时间为Δt3，用于明场的第一图像采集器24a之积分时间为Δt4，且所述时间点满足：
T1≤T2＜T3≤T4；
T2+Δt3≤T3；
T1+Δt4≤T3；
请参阅图6，并结合参阅图4、图5，图6所述为本发明自动光学检测装置之第二实施方式的流程图。所述自动光学检测装置之检测方法，包括：
在T1时刻，所述工件台21运动至测试位置，并向所述工控机22发出信号，要求进行图像采集，且所述工控机22在接受到所述工件台21之信号时，所述同步控制系统25同时向所述电动快门26和用于明场光源光路的所述第一光源23a发出触发信号；
在T2时刻，同时打开所述电动快门26和点亮用于明场光源光路的所述第一光源23a；
在T3时刻，所述电动快门26闭合，所述同步控制系统25向用于暗场的所述第二图像采集器24b发出触发信号，用于暗场的所述第二图像采集器24b开始积分采集；
在T4时刻，所述同步控制系统25向用于暗场光源光路的所述第二光源23b发出触发信号，所述第二光源23b开始照明，所述第二图像采集器24b持续处于暗场照明采集状态。
请继续参阅图6，定义用于明场光源光路的所述第一光源23a的余辉持续时长为Δt5，由于在T3时刻所述电动快门26闭合，则在T3到T5时刻之间的Δt5时长内，用于明场光源光路的所述第一光源23a之余辉不会对暗场光源光路中的所述第二光源23b之照明产生影响，用于暗场的所述第二图像采集器24b可完全在所述第二光源23b下进行图像采集。显然地，在本发明中，所述同步控制系统25与所述电动快门26和用于明场光源光路的所述第一光源23a呈并联电连接，并在T3时刻所述电动快门26闭合，不仅消除了余辉效应，而且省去了分别向所述电动快门26和所述第一光源23a发出触发信号的时间，进一步提升了暗场采集图片的精确性。
综上所述，本发明自动光学检测装置通过在所述明场光源光路中设置由所述同步控制系统控制的所述电动快门，且所述电动快门通过所述工控机指令所述同步控制系统在用于暗场光源光路的所述第二光源点亮前关闭所述明场光源光路，不仅有效的消除了余辉效应，而且进一步提升了暗场采集图片的精确性。
本领域技术人员均应了解，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可以对本发明进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，认为本发明涵盖这些修改和变型。

Claims (10)

1.一种自动光学检测装置，其特征在于，所述自动光学检测装置，包括：
用于设置待光学检测之器件的工件台，且所述工件台在外界驱动装置的作用下按预设轨迹运行；
作为自动光学检测装置之控制中心的工控机；
用于明场光源光路的第一光源；
用于暗场光源光路的第二光源；
用于明场的第一图像采集器，且所述第一图像采集器在第一光源条件下进行待光学检测之器件的图像采集；
用于暗场的第二图像采集器，且所述第二图像采集器在第二光源条件下进行待光学检测之器件的图像采集；以及
设置在所述明场光源光路中并通过一同步控制系统控制的电动快门，且所述电动快门通过所述工控机指令所述同步控制系统在用于暗场光源光路的所述第二光源点亮前关闭所述明场光源光路。
2.如权利要求1所述自动光学检测装置，其特征在于，所述同步控制系统进一步包括PCI同步脉冲信号发生板卡，且所述PCI同步脉冲信号发生板卡在预设时间点上发出方波脉冲信号。
3.如权利要求2所述自动光学检测装置，其特征在于，用于明场光源光路的所述第一光源和用于暗场光源光路的所述第二光源均为LED照明光源。
4.如权利要求3所述自动光学检测装置，其特征在于，所述电动快门之开合速度为毫秒量级。
5.一种采用如权利要求4所述自动光学检测装置的检测方法，所述同步控制系统发生脉冲的时序逻辑，并在任一脉冲周期内分别对时间点T1、T2、T3、T4、T5发送脉冲，设定所述电动快门的开合时间为Δt1，余辉效应持续时长为Δt2，且所述时间点满足：T1＜T2≤T3，T1+Δt2＝T4≤T5，T4+Δt2＝T6，其特征在于，所述自动光学检测装置的检测方法，包括：
在T1时刻，所述工件台运动至测试位置，并向所述工控机发出信号，要求进行图像采集，且所述工控机同时指令所述同步控制系统向所述电动快门发出触发信号，所述电动快门开始打开；
在T2时刻，所述电动快门开口最大，所述同步控制系统向用于明场光源光路的所述第一图像采集器发出触发信号，所述第一图像采集器开始积分采图；
在T3时刻，所述同步控制系统向用于明场光源光路的所述第一光源发出触发信号，所述第一光源开始照明，所述第一图像采集器持续处于明场照明采集状态；
在T4时刻，所述电动快门闭合；
在T5时刻，所述电动快门处于闭合状态，所述同步控制系统向用于暗场光源光路的所述第二图像采集器发出触发信号，所述第二图像采集器开始积分采图。
6.如权利要求2所述自动光学检测装置，其特征在于，用于明场光源光路的所述第一光源和用于暗场光源光路的所述第二光源均为氙灯照明光源。
7.如权利要求6所述自动光学检测装置，其特征在于，所述同步控制系统与所述电动快门和用于明场光源光路的所述第一光源呈并联电连接。
8.如权利要求7所述自动光学检测装置，其特征在于，所述电动快门之开合速度为秒及以内。
9.如权利要求8所述自动光学检测装置，其特征在于，所述电动快门之打开时间设定小于用于明场光源光路的所述第一光源之点亮持续时间。
10.一种采用如权利要求9所述自动光学检测装置的检测方法，所述同步控制系统发生脉冲的时序逻辑，并在任一脉冲周期内分别对时间点T1、T2、T3、T4发送脉冲，设定所述电动快门的开合时间为Δt3，用于明场的第一图像采集器之积分时间为Δt4，且所述时间点满足：T1≤T2＜T3≤T4，T2+Δt3≤T3，T1+Δt4≤T3，其特征在于，所述自动光学检测装置的检测方法，包括：
在T1时刻，所述工件台运动至测试位置，并向所述工控机发出信号，要求进行图像采集，且所述工控机在接受到所述工件台之信号时，所述同步控制系统同时向所述电动快门和用于明场光源光路的所述第一光源发出触发信号；
在T2时刻，同时打开所述电动快门和点亮用于明场光源光路的所述第一光源；
在T3时刻，所述电动快门闭合，所述同步控制系统向用于暗场的所述第二图像采集器发出触发信号，用于暗场的所述第二图像采集器开始积分采集；
在T4时刻，所述电动快门处于闭合状态，所述同步控制系统向用于暗场光源光路的所述第二光源发出触发信号，所述第二光源开始照明，所述第二图像采集器持续处于暗场照明采集状态。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108414530A (zh) * 2018-03-13 2018-08-17 昆山国显光电有限公司 自动光学检测设备
CN109361873A (zh) * 2018-12-10 2019-02-19 成都泓睿科技有限责任公司 一种高速控制光源相机触发控制系统及控制方法
CN110108720A (zh) * 2019-05-30 2019-08-09 苏州精濑光电有限公司 光学检测装置
CN110657946A (zh) * 2018-06-29 2020-01-07 上海微电子装备（集团）股份有限公司 屏幕缺陷检测系统、屏幕检测线以及屏幕缺陷检测方法
WO2020168828A1 (zh) * 2019-02-22 2020-08-27 上海微电子装备（集团）股份有限公司 缺陷检测装置
CN115412689A (zh) * 2022-07-26 2022-11-29 瀚湄信息科技(上海)有限公司 一种基于动态标定的暗场噪音处理方法、装置和电子设备

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI705242B (zh) * 2018-10-08 2020-09-21 銓發科技股份有限公司 光學檢測設備及方法
CN116242254B (zh) * 2023-05-12 2023-09-01 厦门微亚智能科技股份有限公司 手机屏体及fpc上预留基准点的同步检测方法和装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4585315A (en) * 1984-11-13 1986-04-29 International Business Machines Corporation Brightfield/darkfield microscope illuminator
CN1517700A (zh) * 2003-01-16 2004-08-04 北京师范大学 长余辉荧光粉发光特性自动测试装置及其测试方法
CN101887030A (zh) * 2009-05-15 2010-11-17 圣戈本玻璃法国公司 用于检测透明基板表面和/或其内部的缺陷的方法及系统
CN104125456A (zh) * 2014-07-15 2014-10-29 中国电子科技集团公司第四十一研究所 一种ccd器件系统增益测量装置及方法
US20150002714A1 (en) * 2013-06-26 2015-01-01 Thermoteknix Systems Limited High dynamic range imaging
CN105683805A (zh) * 2013-11-01 2016-06-15 浜松光子学株式会社 图像取得装置以及图像取得装置的图像取得方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000284223A (ja) * 1999-03-30 2000-10-13 Idemitsu Kosan Co Ltd 立体表示方法および立体表示装置
JP2003045343A (ja) * 2001-08-03 2003-02-14 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> 立体画像表示装置
CN202918392U (zh) * 2012-09-03 2013-05-01 广州市盛光微电子有限公司 一种应用快速开关光源的高速摄像装置
CN103634986B (zh) * 2013-11-04 2016-10-19 惠州雷士光电科技有限公司 多路调光装置及其调光方法
CN105043982A (zh) * 2015-07-02 2015-11-11 武汉中导光电设备有限公司 一种自动光学检测系统
CN105738384A (zh) * 2016-03-11 2016-07-06 伍祥辰 玻璃表面缺陷检测装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4585315A (en) * 1984-11-13 1986-04-29 International Business Machines Corporation Brightfield/darkfield microscope illuminator
CN1517700A (zh) * 2003-01-16 2004-08-04 北京师范大学 长余辉荧光粉发光特性自动测试装置及其测试方法
CN101887030A (zh) * 2009-05-15 2010-11-17 圣戈本玻璃法国公司 用于检测透明基板表面和/或其内部的缺陷的方法及系统
US20150002714A1 (en) * 2013-06-26 2015-01-01 Thermoteknix Systems Limited High dynamic range imaging
CN105683805A (zh) * 2013-11-01 2016-06-15 浜松光子学株式会社 图像取得装置以及图像取得装置的图像取得方法
CN104125456A (zh) * 2014-07-15 2014-10-29 中国电子科技集团公司第四十一研究所 一种ccd器件系统增益测量装置及方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108414530A (zh) * 2018-03-13 2018-08-17 昆山国显光电有限公司 自动光学检测设备
CN110657946A (zh) * 2018-06-29 2020-01-07 上海微电子装备（集团）股份有限公司 屏幕缺陷检测系统、屏幕检测线以及屏幕缺陷检测方法
CN110657946B (zh) * 2018-06-29 2021-09-21 上海微电子装备（集团）股份有限公司 屏幕缺陷检测系统、屏幕检测线以及屏幕缺陷检测方法
CN109361873A (zh) * 2018-12-10 2019-02-19 成都泓睿科技有限责任公司 一种高速控制光源相机触发控制系统及控制方法
WO2020168828A1 (zh) * 2019-02-22 2020-08-27 上海微电子装备（集团）股份有限公司 缺陷检测装置
CN111610195A (zh) * 2019-02-22 2020-09-01 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种缺陷检测装置
CN110108720A (zh) * 2019-05-30 2019-08-09 苏州精濑光电有限公司 光学检测装置
CN115412689A (zh) * 2022-07-26 2022-11-29 瀚湄信息科技(上海)有限公司 一种基于动态标定的暗场噪音处理方法、装置和电子设备

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