CN103868478A - 透明平板平面度的快速检测方法及装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种透明平板平面度的快速检测装置，两个夹持机构分别安装在支撑框架上，第一伺服电机安装在左滑轨上，激光发生器固定在第一伺服电机上，第二伺服电机安装在右滑轨上，激光探测器固定在第二伺服电机上，左滑轨安装在支撑框架上，右滑轨安装在支撑框架上。透明平板平面度的快速检测方法，包括如下步骤：将透明平板固定；用激光照射透明平板的一面，并计算折射率；用激光再次照射透明平板的一面，在透明平板的另一面检测激光通过平板后的汇聚和扩散程度；计算出透明平板的平面度和突出的方向；重复第三步到第四步，直到最终得出透明平板的整块平面度结果。本发明以高精度、高效率适应了包括在线检验等相关透明平板平面度检验的需求。
Description
技术领域
本发明光学检测领域，特别是一种透明平板平面度的快速检测方法。
背景技术
平板显示行业和玻璃制造行业作为中国重要的工业领域，其中大量使用透明平板材料，且对透明平板均有较高的平面要求（比如OLED用玻璃盖板、玻璃基板、LCD用白玻璃、工业建筑用玻璃等）；不论是下游厂商的过程检验、出货检验、还是上游厂商的进料检验等都需要对平面度进行检测控制，必要时还要对产品进行全数检验；按传统方法用3D测量仪、平板加塞尺等方法来检验，具有检测效率非常低下、检验误差大、人员要求高、检测成本高、无法实现在线检测等诸多缺点。
发明内容
本发明是解决上述问题，提供一种通过激光照射，然后计算折射角来快速检测平面度一种透明平板平面度的快速检测方法。
本发明的透明平板平面度的快速检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
第一步，将透明平板固定；
第二步，用激光照射透明平板的一面，并计算折射率；
第三步，用激光再次照射透明平板的一面，在透明平板的另一面检测激光通过平板后的汇聚和扩散程度；
第四步，计算出透明平板的平面度和突出的方向；
第五步，重复第三步到第四步至少一次，最终得出透明平板的整块平面度结果。
所述第四步计算用公式为sinθi/sinθt=n21，其中θi为入射角角度，θt为折射角角度，n21为折射率。
所述第二步需要检测入射激光的入射角。
所述第二步所用的激光为点射激光。
所述第三步所用的激光为平面激光。
一种透明平板平面度的快速检测装置，包括支撑框架、第一伺服电机、激光发生器、夹持机构、激光探测器、第二伺服电机、左滑轨和右滑轨；两个夹持机构分别安装在支撑框架顶部和底部，第一伺服电机安装在左滑轨上，激光发生器固定在第一伺服电机上，第二伺服电机安装在右滑轨上，激光探测器固定在第二伺服电机上，左滑轨安装在左侧的支撑框架上，右滑轨安装在右侧的支撑框架上。
所述激光探测器还与计算机相连。
本发明的有益效果：本发明的快速检测方法和快速检测装置以高精度、高效率适应了包括在线检验等相关透明平板平面度检验的需求。
附图说明
图1为透明平板平面度的快速检测装置的结构图。
具体实施方式
下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的阐述。
本发明的透明平板平面度的快速检测方法，其特征在于，包括如下步骤：第一步，将透明平板固定；第二步，用激光照射透明平板的一面，并计算折射率；第三步，用激光再次照射透明平板的一面，在透明平板的另一面检测激光通过平板后的汇聚和扩散程度；第四步，计算出透明平板的平面度和突出的方向；第五步，重复第三步到第四步至少一次，最终得出透明平板的整块平面度结果。所述第四步计算用公式为sinθi/sinθt=n21，其中θi为入射角角度，θt为折射角角度，n21为折射率。所述第二步需要检测入射激光的入射角。所述第二步所用的激光为点射激光。所述第三步所用的激光为平面激光。
一种透明平板平面度的快速检测装置，包括支撑框架1、第一伺服电机2、激光发生器3、夹持机构4、激光探测器5、第二伺服电机6、左滑轨7和右滑轨8；两个夹持机构4分别安装在支撑框架1顶部和底部，第一伺服电机2安装在左滑轨7上，激光发生器3固定在第一伺服电机2上，第二伺服电机6安装在右滑轨8上，激光探测器5固定在第二伺服电机6上，左滑轨7安装在左侧的支撑框架1上，右滑轨8安装在右侧的支撑框架1上。所述激光探测器5还与计算机相连。
检测时，将透明平板放置在夹持机构4中，通过两个夹持机构4固定，然后启动激光发生器3和激光探测器5，然后将激光探测器5探测的数据上交给计算机进行运算，公式为sinθi/sinθt=n21，其中θi为入射角角度，θt为折射角角度，n21为折射率。得出局部的平面度。然后启动第一伺服电机2和第二伺服电机5，让激光发生器3和激光探测器5沿着导轨滑动，进行下一次的照射、探测和计算，一直到最后平板的所有区域被照射、探测和计算完毕，得出平板的全部平面度。
本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本发明的原理，应被理解为本发明的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本发明公开的这些技术启示做出各种不脱离本发明实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本发明的保护范围内。
Claims (7)
1.一种透明平板平面度的快速检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
第一步，将透明平板固定；
第二步，用激光照射透明平板的一面，并计算折射率；
第三步，用激光再次照射透明平板的一面，在透明平板的另一面检测激光通过平板后的汇聚和扩散程度；
第四步，计算出透明平板的平面度和突出的方向；
第五步，重复第三步到第四步至少一次，最终得出透明平板的整块平面度结果。
2.如权利要求1所述的透明平板平面度的快速检测方法，其特征在于：所述第四步计算用公式为sinθi/sinθt=n21，其中θi为入射角角度，θt为折射角角度，n21为折射率。
3.如权利要求1所述的透明平板平面度的快速检测方法，其特征在于：所述第二步需要检测入射激光的入射角。
4.如权利要求1所述的透明平板平面度的快速检测方法，其特征在于：所述第二步所用的激光为点射激光。
5.如权利要求1所述的透明平板平面度的快速检测方法，其特征在于：所述第三步所用的激光为平面激光。
6.一种透明平板平面度的快速检测装置，其特征在于：包括支撑框架（1）、第一伺服电机（2）、激光发生器（3）、夹持机构（4）、激光探测器（5）、第二伺服电机（6）、左滑轨（7）和右滑轨（8）；两个夹持机构（4）分别安装在支撑框架（1）顶部和底部，第一伺服电机（2）安装在左滑轨（7）上，激光发生器（3）固定在第一伺服电机（2）上，第二伺服电机（6）安装在右滑轨（8）上，激光探测器（5）固定在第二伺服电机（6）上，左滑轨（7）安装在左侧的支撑框架（1）上，右滑轨（8）安装在右侧的支撑框架（1）上。
7.如权利要求6所述的透明平板平面度的快速检测装置，其特征在于：所述激光探测器（5）还与计算机相连。
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Cited By (1)
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2014
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