JP5576284B2 - 極性のポリジメチルシロキサンの型、この型の製造方法、およびパターン転写のためのこの型の使用方法 - Google Patents
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Description
本願は、米国特許法第119条第(e)項に基づき、2007年10月29日出願の米国仮特許出願第60/983,251号の利益を主張する。米国仮特許出願第60/983,251号は、参照により本願明細書に援用する。
なし。
(A)ポリアルキレンオキシド官能性および反応性官能性を含む極性の添加剤と、
(B)シリコーン硬化パッケージと
を含む硬化性シリコーン組成物を硬化させる工程を含むプロセスによって硬化されたシリコーン製品を製造する工程を含む。硬化されたシリコーン製品は、パターン転写技法で使用されてもよい。
上記の方法で有用な硬化性シリコーン組成物は、成分(A)、ポリアルキレンオキシド官能性および反応性官能性を含む極性の添加剤であって、この反応性官能性は成分(B)、シリコーン硬化パッケージの少なくとも1つの成分と反応性である、極性の添加剤を含む。このシリコーン硬化パッケージは、縮合反応硬化性組成物、ヒドロシリル化硬化性組成物、ラジカル硬化性組成物、開環重合性組成物(例えば、エポキシ硬化性組成物)、付加硬化性組成物(イソシアネート硬化性組成物またはヒドロシリル化硬化性組成物など)、またはこれらの組み合わせからなる群から選択されてもよい。
この極性の添加剤は、ポリ(アルキレンオキシド)官能性を含む。この極性の添加剤は、シリコーン硬化パッケージの少なくとも1つの成分と反応性であり、それゆえこの極性の添加剤は反応性基をさらに含む。この反応性基は末端またはペンダントであってもよい。あるいは、この反応性基は末端であってもよい。例えば、この極性の添加剤は1つの末端反応性基または複数の末端反応性基を有していてもよい。この反応性基の選択は、上記シリコーン硬化パッケージの選択に応じて変わる。例えば、ヒドロシリル化硬化性組成物がシリコーン硬化パッケージとして使用される場合、この反応性基は脂肪族の不飽和有機基、ケイ素に結合した水素原子、またはこれらの組み合わせであってもよい。あるいは、この反応性基はビニルのようなアルケニル基またはアルキニル基であってもよい。縮合反応硬化性組成物が使用される場合、この反応性基は、例えばハロゲン原子、アセトアミド基、アシルオキシ基(アセトキシなど)、アルコキシ基、アミド基、アミノ基、アミノキシ基、ヒドロキシル基、オキシモ基、ケトキシモ基、メチルアセトアミド基、アルコキシシリルヒドロカルビレン基、またはこれらの組み合わせ、あるいはヒドロキシル基またはアルコキシ基またはこれらの組み合わせであってもよい。あるいは、エポキシ硬化性組成物が使用される場合、この反応性基はエポキシ官能性有機基またはヒドロキシル基またはこれらの組み合わせであってもよい。
本発明の硬化性シリコーン組成物は硬化して、硬化されたシリコーン製品を形成する。当該硬化性シリコーン組成物の中のこのシリコーン硬化パッケージの硬化メカニズムは、一液型または二液型室温硬化(RTV)組成物などの湿気硬化性、常温または高温で硬化する熱硬化性一液型組成物または二液型組成物などのヒドロシリル化硬化性、開環硬化系(例えばエポキシ硬化性組成物)、ラジカル硬化性組成物(放射線によるメカニズムによってラジカルを発生するUV硬化系、または放射線によらないメカニズムによってラジカルを発生するアルキルボラン硬化系)、付加硬化系(例えば、イソシアネート付加硬化性組成物またはヒドロシリル化硬化性組成物)、またはこれらの組み合わせであってもよい。典型的には、各シリコーン硬化パッケージは、ベースポリマー、架橋剤、および触媒のうちの少なくとも2つを含む。
湿気硬化パッケージは、100重量部の(I)ベースポリマー、この組成物を硬化させるのに十分な量の(II)架橋剤、および任意に、この組成物の硬化を加速させるのに十分な量の(III)触媒を含んでいてもよい。
この湿気硬化パッケージの中の成分(I)は、1分子あたり平均少なくとも2つの加水分解性置換基(ハロゲン原子、アセトアミド基、アセトキシなどのアシルオキシ基、アルコキシ基、アミド基、アミノ基、アミノキシ基、ヒドロキシル基、オキシモ基、ケトキシモ基、メチルアセトアミド基、アルコキシシリルヒドロカルビレン基、またはこれらの組み合わせなど)を有するポリオルガノシロキサンである。成分(I)の加水分解性置換基は、末端位置、ペンダント位置、または末端位置およびペンダント位置の両方に存在してよい。成分(I)は直鎖状または分枝状の構造を有していてもよい。成分(I)はホモポリマーまたは共重合体であってもよい。
を含んでいてもよい。
湿気硬化パッケージの中の成分(II)は、硬化反応の縮合生成物からのあまりに大きい重量減少なく当該硬化性シリコーン組成物を硬化させるのに十分な量でかつ湿気不透過性のパッケージの中での数ヶ月間の保存の間に当該硬化性シリコーン組成物が硬化することを可能にするには不十分な量でこの硬化性シリコーン組成物に加えられる架橋剤である。成分(II)の正確な量は、成分(I)および(II)の加水分解性置換基を含めた種々の要因に応じて変わるが、しかしながら成分(II)の量は、成分(I)の100重量部基準で0.5〜15部の範囲であってよい。成分(II)は、加水分解性基を有するシラン架橋剤またはその部分もしくは完全加水分解生成物を含んでいてもよい。適切なシラン架橋剤の例は、一般式(iii)R4 cSi(R5)4−c(式中、各R4は独立に、アルキル基などの一価の炭化水素基であり、各R5は加水分解性置換基、例えばハロゲン原子、アセトアミド基、アセトキシなどのアシルオキシ基、アルコキシ基、アミド基、アミノ基、アミノキシ基、ヒドロキシル基、オキシモ基、ケトキシモ基、またはメチルアセトアミド基であり、添え字cは0、1、2、または3である)を有していてもよい。あるいは、各R5は独立に、ヒドロキシル、アルコキシ、アセトキシ、アミド、またはオキシムから選択される。あるいは、成分(II)はアシルオキシシラン、アルコキシシラン、ケトキシモシラン、およびオキシモシランから選択されてもよい。
成分(III)は、硬化を加速するために任意に湿気硬化パッケージに加えられてもよい触媒である。この湿気硬化パッケージの中の成分(III)は、金属のカルボン酸塩、スズ化合物、チタン化合物、またはジルコニウム化合物を含んでいてもよい。
当該硬化性シリコーン組成物は、上記湿気硬化パッケージに加えてまたは上記湿気硬化パッケージの代わりに、ヒドロシリル化硬化パッケージを含んでいてもよい。このヒドロシリル化硬化パッケージは、当該組成物の重量基準で50%〜95%の(I’)ベースポリマー、当該組成物の重量基準で5%〜50%の(II’)架橋剤、および当該組成物の硬化を開始するのに十分な量の(III’)触媒を含んでいてもよい。
当該ヒドロシリル化硬化パッケージの成分(I’)は、1分子あたり平均で少なくとも2つの脂肪族の不飽和有機基を有するポリオルガノシロキサンを含んでいてもよい。成分(I’)は、直鎖状、分枝状または樹脂状構造、またはこれらの組み合わせを有していてもよい。あるいは、成分(I’)は直鎖状であってもよい。成分(A’)は、ホモポリマーまたは共重合体、またはこれらの組み合わせであってもよい。脂肪族の不飽和有機基は、アルケニル基、アルキニル基、(メタ)アクリレート官能基、またはこれらの組合せであってもよい。このアルケニル基は、2〜12個の炭素原子を有していてもよく、例としてはビニル、アリル、ブテニル、およびヘキセニルが挙げられるが、これらに限定されない。このアルキニル基は2〜12個の炭素原子を有していてもよく、例としてはエチニル、プロピニル、およびブチニルが挙げられるが、これらに限定されない。この(メタ)アクリレート官能基としては、アクリロイルオキシプロピルなどのアクリロイルオキシアルキルおよびメタクリロイルオキシプロピルなどのメタクリロイルオキシアルキルが挙げられるが、これらに限定されない。成分(I’)の脂肪族の不飽和有機基は、末端位置、ペンダント位置、または末端位置およびペンダント位置の両方に存在してよい。
式(iv):R6 2R7SiO(R6 2SiO)d(R6R7SiO)eSiR6 2R7、
式(v):R6 3SiO(R6 2SiO)f(R6R7SiO)gSiR6 3、
またはこれらの組み合わせのポリオルガノシロキサンを含んでいてもよい。
i)ジメチルビニルシロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
ii)ジメチルビニルシロキシ末端ポリ(ジメチルシロキサン/メチルビニルシロキサン)、
iii)ジメチルビニルシロキシ末端ポリメチルビニルシロキサン、
iv)トリメチルシロキシ末端ポリ(ジメチルシロキサン/メチルビニルシロキサン)、
v)トリメチルシロキシ末端ポリメチルビニルシロキサン、
vi)ジメチルビニルシロキシ末端ポリ(ジメチルシロキサン/メチルフェニルシロキサン)、
vii)ジメチルビニルシロキシ末端ポリ(ジメチルシロキサン/ジフェニルシロキサン)、
viii)フェニル、メチル、ビニル−シロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
ix)ジメチル−アクリロイルオキシプロピル−シロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
x)ジメチル−メタクリロイルオキシプロピル−シロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
xi)ジメチルヘキセニルシロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
xii)ジメチルヘキセニルシロキシ末端ポリ(ジメチルシロキサン/メチルヘキセニルシロキサン)、
xiii)ジメチルヘキセニルシロキシ末端ポリメチルヘキセニルシロキサン、
xiv)トリメチルシロキシ末端ポリ(ジメチルシロキサン/メチルヘキセニルシロキサン)、
xv)ジメチルビニルシロキシ末端ポリ(ジメチルシロキサン/メチルシアノプロピルシロキサン)、および
xvi)これらの組み合わせ、
などのポリジオルガノシロキサンを含んでいてもよい。
当該ヒドロシリル化硬化パッケージの中の成分(II’)は、1分子あたり平均少なくとも2個のケイ素に結合した水素原子を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンである。成分(II’)は、ホモポリマーまたは共重合体、またはこれらの組み合わせであることができる。成分(II’)は、直鎖状、分枝状、環状、または樹脂状構造、またはこれらの組み合わせを有することができる。成分(II’)の中のケイ素に結合した水素原子は、末端位置、ペンダント位置、または末端位置およびペンダント位置の両方に存在してよい。
(VI)R9 3SiO(R9 2SiO)h(R9HSiO)iSiR9 3、
(VII)R9 2HSiO(R9 2SiO)j(R9HSiO)kSiR9 2H、または
(VIII)これらの組み合わせ、
の化合物を含んでいてもよい。
a)ジメチルハイドロジェンシロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
b)ジメチルハイドロジェンシロキシ末端ポリ(ジメチルシロキサン/メチルハイドロジェンシロキサン)、
c)ジメチルハイドロジェンシロキシ末端ポリメチルハイドロジェンシロキサン、
d)トリメチルシロキシ末端ポリ(ジメチルシロキサン/メチルハイドロジェンシロキサン)、
e)トリメチルシロキシ末端ポリメチルハイドロジェンシロキサン、
f)実質的にH(CH3)2SiO1/2単位およびSiO4/2単位からなる樹脂、および
g)これらの組み合わせ、
が挙げられる。
当該ヒドロシリル化硬化パッケージの成分(III’)はヒドロシリル化触媒である。成分(III’)は、当該硬化性シリコーン組成物の重量基準で1〜1000ppm、あるいは2〜500ppm、あるいは2〜200、あるいは5〜15ppmの範囲の白金族金属量で当該ヒドロシリル化硬化パッケージに加えられてもよい。
あるいは、当該シリコーン硬化パッケージは、ラジカル硬化性組成物を含んでいてもよい。例示的なラジカル硬化性組成物としては、UV放射もしくは熱、またはその両方への曝露によって硬化可能な組成物性およびアルキルボラン硬化性組成物が挙げられる。
当該硬化性シリコーン組成物は、1以上のさらなる成分をさらに含んでいてもよい。この硬化性シリコーン組成物は、(IV)強化充填剤、増量充填剤(extending filler)、伝導性充填剤(例えば電気伝導性、熱伝導性、またはその両方)、またはこれらの組み合わせなどの充填剤;(V)充填剤処理剤、(VI)安定剤(例えば、ヒドロシリル化硬化パッケージが使用される場合のヒドロシリル化硬化調整剤などの硬化調整剤(cure modifier)、熱安定剤、UV安定剤、またはこれらの組み合わせ)、(VII)ボイド抑制剤(void reducing agent)、(VIII)可塑剤、(IX)鎖延長剤(二次可塑剤または加工助剤と呼ばれることがある)、(X)接着促進剤、(XI)殺菌剤、(XII)レオロジー添加剤、(XIII)難燃剤、(XIV)色素、およびこれらの組み合わせからなる群から選択されるさらなる成分をさらに含んでいてもよい。
成分(IV)は充填剤である。当該硬化性シリコーン組成物に加えられる成分(IV)の量は、選択される充填剤の種類に応じて変わる。しかしながら、成分(IV)は、当該硬化性シリコーン組成物の重量基準で0%〜90%、あるいは0.1〜90重量%の量で添加されてもよい。適切な充填剤としては、強化充填剤および増量充填剤、およびこれらの組合せが挙げられる。適切な強化充填剤の例としては、ヒュームシリカ(fume silica)、シリカエーロゲル、シリカゼロゲル、および沈降シリカなどの強化用シリカ充填剤が挙げられる。ヒュームドシリカは当該技術分野で公知であり、マサチューセッツのカボット社(Cabot Corporation)によってCAB−O−SILの名称で販売されているヒュームドシリカなど、市販されている。適切な増量充填剤の例としては、破砕石英、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化亜鉛、タルク、珪藻土、酸化鉄、クレー、二酸化チタン、ジルコニア、砂、カーボンブラック、グラファイト、またはこれらの組み合わせが挙げられる。増量充填剤は当該技術分野で公知であり、ウエストバージニア州、バークレースプリングス(Berkeley Springs)のユーエス・シリカ(U.S.Silica)によってMIN−U−SILの名称で販売されている粉末化シリカなど、市販されている。
上記充填剤は、任意に処理剤で表面処理されてもよい。処理剤および処理方法は当該技術分野で公知である。例えば、米国特許第6,169,142号(第4欄、第42行〜第5欄、第2行)を参照。上記充填剤は、その充填剤を当該硬化性シリコーン組成物の他の成分と合わせる前に処理剤で処理されてもよく、または上記充填剤は当該硬化性シリコーン組成物の中で(in situ)処理されてもよい。成分(V)は、アルコキシシラン、アルコキシ官能性オリゴシロキサン、環状ポリオルガノシロキサン、ヒドロキシル官能性オリゴシロキサン(ジメチルシロキサンまたはメチルフェニルシロキサンなど)、または脂肪酸を含んでいてもよい。ステアリン酸塩の例としては、ステアリン酸カルシウムが挙げられる。充填剤処理剤およびその使用方法の例は、例えば欧州特許第1101167A2号および米国特許第5,051,455号、同第5,053,442号、および同第6,169,142号(第4欄、第42行〜第5欄、第2行)に開示されている。
成分(VII)は安定剤である。この安定剤は、例えばヒドロシリル化硬化パッケージが使用される場合のヒドロシリル化硬化調整剤などの硬化調整剤、熱安定剤、UV安定剤、またはこれらの組み合わせから選択されてもよい。ヒドロシリル化硬化パッケージ用の安定剤としては、メチルブチノール、エチニルシクロヘキサノール、ジメチルヘキシノール、1,1−ジメチル−2−プロピニル)オキシ)トリメチルシラン、メチル(トリス(1,1−ジメチル−2−プロピニルオキシ))シラン、およびこれらの組み合わせなどのアセチレンアルコール;メチルビニルシクロシロキサンなどのシクロアルケニルシロキサン(1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサン、1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラヘキセニルシクロテトラシロキサン、およびこれらの組み合わせが挙げられる);3−メチル−3−ペンテン−1−イン、3,5−ジメチル−3−ヘキセン−1−インなどのエン−イン化合物;ベンゾトリアゾールなどのトリアゾール;ホスフィン;メルカプタン;ヒドラジン;イソシアネート;テトラメチルエチレンジアミンなどのアミン、フマル酸ジアルキル、フマル酸ジアルケニル、フマル酸ジアルコキシアルキル、マレイン酸エステル(マレイン酸ジアリルなど)、およびこれらの組み合わせが挙げられる。あるいは、この安定剤は、フェニルブチノールを含んでいてもよい。適切なヒドロシリル化硬化パッケージ安定剤は、例えば、米国特許第3,445,420号;同第3,989,667号;同第4,584,361号;および同第5,036,117号によって開示される。
この鎖延長剤は粘度調整のために当該硬化性シリコーン組成物に添加される反応性添加剤であってもよい。例えば、ヒドロシリル化硬化パッケージが使用される場合、この鎖延長剤は、水素末端ポリジオルガノシロキサンであってもよい。さらに、この鎖延長剤はヒドロシリル化硬化性シリコーン組成物のSiH/ビニル比の調整のためにも使用されてもよい。この鎖延長剤は、硬化されたシリコーン製品の機械的特性を改善するという恩恵ももたらし得る。この鎖延長剤は、上記架橋剤に加えて、または上記架橋剤の代わりに使用されてもよい。例えば、ヒドロシリル化硬化性組成物に適した鎖延長剤は、式R9 2HSiO(R9 2SiO)j(R9HSiO)kSiR9 2H(式中、添え字kは0であり、R9および添え字jは上記のとおりである)の化合物を含む。
当該硬化性シリコーン組成物は、例えば混合などのいずれかの簡便な手段によってすべての成分を合わせることによって一液型組成物として調製されてもよい。あるいは、当該硬化性シリコーン組成物は、架橋剤および触媒が別々の部分に保存され、かつそれらの部分が当該硬化性シリコーン組成物の使用の直前に合わされる多液型(multiple part)組成物として調製されてもよい。例えば、2液型の硬化性シリコーン組成物は、ベースポリマーおよび触媒を含む成分、および1以上のさらなる成分を、混合などのいずれかの簡便な手段によって第1の部分の中で合わせることによって調製されてもよい。第2の部分は、ベースポリマーおよび架橋剤を含む成分、および1以上のさらなる成分を、混合などのいずれかの簡便な手段によって合わせることによって調製されてもよい。これらの成分は、選択されたシリコーン硬化パッケージに応じて、常温または高温で、および周囲条件下または無水条件下で合わされてもよい。この硬化性シリコーン組成物は、硬化してエラストマーを形成してもよい。このエラストマーは、20〜70のショアAによって測定されるデュロメーターを有していてもよい。当該極性の添加剤は、その極性の添加剤上の反応性基に応じて、硬化性シリコーン組成物の1以上の部分に存在してもよい。
上記の硬化性シリコーン組成物は、
(I)(A)上記の成分を含むシリコーン硬化パッケージと、
(B)ポリアルキレンオキシド官能性および反応性官能性を含む極性の添加剤であって、この反応性官能性は、上記シリコーン硬化パッケージの少なくとも1つの成分と反応性である極性の添加剤と
を含む硬化性シリコーン組成物を硬化する工程を含むプロセスによって、硬化されたシリコーン製品を製造する工程と、
(II)この硬化されたシリコーン製品をパターン転写技法で使用する工程と
を含む方法で使用されてもよい。
(i)型を転写媒体で満たす工程と、
(ii)この転写媒体が硬化されたシリコーン製品の上へと転写されるように、硬化されたシリコーン製品をこの転写媒体と接触させる工程と、
(iii)この硬化されたシリコーン製品を基材と接触させて、これにより上記転写媒体をこの基材に転写する工程と
を含む。この硬化されたシリコーン製品は、平坦な(パターン形成されていない)表面を有していてもよい。
任意に(I)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有するポリオルガノシロキサンと、
任意に(II)オルガノハイドロジェンポリシロキサンと(ただし成分(I)および成分(II)のうちの少なくとも1つは存在する)、
(III)ヒドロシリル化反応触媒と、
(IV)ポリアルキレンオキシド官能性と不飽和有機基およびケイ素に結合した水素原子から選択される反応性官能性とを含む極性の添加剤と(ただし、成分(I)が存在しない場合は、成分(IV)の反応性官能性は、不飽和有機基を含み、成分(II)が存在しない場合は、成分(IV)の反応性官能性はケイ素に結合した水素原子を含む)
を含む。
i)パターン形成された特徴を有するマスターに接して硬化性シリコーン組成物をキャストする工程と、
ii)この硬化性シリコーン組成物を硬化してシリコーンの型を形成する工程と、
iii)このシリコーンの型をそのマスターから取り外す工程と
を含む。この方法は、任意にさらに、
iv)このシリコーンの型を転写媒体と接触させる工程と、
v)この転写媒体を、基材の表面上にパターン形成された特徴へと形成する工程と
を含んでもよい。工程i)は、上記のとおりの硬化性シリコーン組成物を使用して行われる。例えば、この方法で使用される硬化性シリコーン組成物は、
任意に(I)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有するポリオルガノシロキサンと、
任意に(II)オルガノハイドロジェンポリシロキサンと(ただし成分(I)および成分(II)のうちの少なくとも1つは存在する)、
(III)ヒドロシリル化反応触媒と、
(IV)ポリアルキレンオキシド官能性と不飽和有機基およびケイ素に結合した水素原子から選択される反応性官能性とを含む極性の添加剤と(ただし、成分(I)が存在しない場合は、成分(IV)の反応性官能性は、不飽和有機基を含み、成分(II)が存在しない場合は、成分(IV)の反応性官能性はケイ素に結合した水素原子を含む)
を含んでいてもよい。
極性の添加剤、つまり米国、ミシガン州、ミッドランドのダウケミカル社(The Dow Chemical Company)から入手したXUS 13461エチレンオキシド−プロピレンオキシド(EO−PO)を、米国、ミシガン州、ミッドランドのダウケミカル社から入手したDOW CORNING(登録商標) SYLGARD(登録商標) 184配合物に加えた。EO−POの量は、1〜20重量%で変えた。これらの試料において、EO−POの量がSYLGARD(登録商標) 184において20重量%を超える場合は、得られた型はいくつかのソフトリソグラフィプロセスで使用するには粘着性が高すぎるようになる場合があることを見出した。
A部およびB部を形成するために、表1に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は1.5であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.45であった。この混合物中の樹脂の量は29%であった。
A部およびB部を形成するために、表2に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は1.6であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.45であった。この混合物中の樹脂の量は28%であった。
A部およびB部を形成するために、表3に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は1.6であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.28であった。この混合物中の樹脂の量は19%であった。
A部およびB部を形成するために、表4に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は1.4であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.45であった。この混合物中の樹脂の量は27%であった。
A部およびB部を形成するために、表5に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は2.5であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は.17であった。この混合物中の樹脂の量は11%であった。
A部およびB部を形成するために、表6に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は2.4であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.17であった。この混合物中の樹脂の量は12%であった。
A部およびB部を形成するために、表7に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は2.4であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.17であった。この混合物中の樹脂の量は11%であった。
A部およびB部を形成するために、表8に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は2.4であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.17であった。この混合物中の樹脂の量は11%であった。
A部およびB部を形成するために、表9に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は2.4であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.17であった。この混合物中の樹脂の量は11%であった。
A部およびB部を形成するために、表10に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は2.4であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.17であった。この混合物中の樹脂の量は9%であった。
A部およびB部を形成するために、表11に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は2.4であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.17であった。この混合物中の樹脂の量は8%であった。
A部およびB部を形成するために、表12に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は2.4であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.17であった。この混合物中の樹脂の量は7%であった。
A部およびB部を形成するために、表13に示す量の構成成分を混合することによって、2液型の試料を調製した。A部およびB部を1:1の比で混合した。この混合物のSiH/Viモル比は2.4であった。この混合物の樹脂/ポリマー比は0.17であった。この混合物中の樹脂の量は6%であった。
Claims (12)
- (i)型を転写媒体で満たす工程と、
(ii)前記転写媒体が硬化されたシリコーン製品の上に転写されるように、前記硬化されたシリコーン製品を前記転写媒体と接触させる工程であって、前記硬化されたシリコーン製品は、
(1)(a)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサンと、R8 3SiO1/2単位とSiO4/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(b)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサン樹脂と、R8SiO3/2単位とR8 2SiO2/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(c)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサン樹脂と、R8 3SiO1/2単位とR8SiO3/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(d)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサン樹脂と、R8 3SiO1/2単位とR8SiO3/2単位とR8 2SiO2/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(e)上記(a)から(d)の二つ以上の混合物であって
R8が独立に一価の有機基であるもの、と
(2)オルガノハイドロジェンポリシロキサンと、
(3)ヒドロシリル化反応触媒と、
(4)ジメチル、メチル(プロピルグリシドオキシ)、メチル(プロピル(ポリ(プロピレンオキシド))メチル)シクロシロキサン;ジメチル、メチル(グリシドオキシプロピル)、メチル(プロピル(ポリ(プロピレンオキシド))メチル)シロキサン;およびこれらの組合せからなる群から選択される極性の添加剤とを含む硬化性シリコーン組成物の反応生成物である工程と、
(iii)前記転写媒体をその上に有する前記硬化されたシリコーン製品を基材と接触させて、これにより前記転写媒体を前記基材に転写する工程と
を含む、転写のための方法。 - さらに、(iv)工程(ii)を繰り返した後に、工程(iii)を1回以上繰り返す工程を含む、請求項1に記載の方法。
- i)パターン形成された特徴を有するマスターに接して硬化性シリコーン組成物をキャストする工程であって、前記硬化性シリコーン組成物は、
(1)(a)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサンと、R8 3SiO1/2単位とSiO4/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(b)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサン樹脂と、R8SiO3/2単位とR8 2SiO2/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(c)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサン樹脂と、R8 3SiO1/2単位とR8SiO3/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(d)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサン樹脂と、R8 3SiO1/2単位とR8SiO3/2単位とR8 2SiO2/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(e)上記(a)から(d)の二つ以上の混合物であって
R8が独立に一価の有機基であるもの、と
(2)オルガノハイドロジェンポリシロキサンと、
(3)ヒドロシリル化反応触媒と、
(4)ジメチル、メチル(プロピルグリシドオキシ)、メチル(プロピル(ポリ(プロピレンオキシド))メチル)シクロシロキサン;ジメチル、メチル(グリシドオキシプロピル)、メチル(プロピル(ポリ(プロピレンオキシド))メチル)シロキサン;およびこれらの組合せからなる群から選択される極性の添加剤とを含む硬化性シリコーン組成物の反応生成物である工程と、
ii)前記硬化性シリコーン組成物を硬化してシリコーンの型を形成する工程と、
iii)前記シリコーンの型を前記マスターから取り外す工程と、
iv)前記シリコーンの型を、伝導性インキおよび伝導性ペーストから選択される転写媒体と接触させる工程と、
v)前記転写媒体を、基材の表面上にパターン形成された特徴へと形成する工程と
を含む、パターン形成のための方法。 - vi)工程iv)を繰り返した後に、工程v)を1回以上繰り返す工程をさらに含む、請求項3に記載の方法。
- 前記転写媒体が伝導性インキまたは伝導性ペーストである、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記基材が、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、プリント配線基板、プラズマディスプレイパネル、またはRFIDの構成要素である、請求項1、請求項2、および請求項4のいずれか1項に記載の方法。
- (I)(A)シリコーン硬化パッケージで、オルガノハイドロジェンポリシロキサンである架橋剤、ヒドロシリル化触媒、および次のものであるベースポリマーを含むものと、
(1)(a)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサンと、R8 3SiO1/2単位とSiO4/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(b)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサン樹脂と、R8SiO3/2単位とR8 2SiO2/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(c)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサン樹脂と、R8 3SiO1/2単位とR8SiO3/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(d)1分子あたり平均で少なくとも2つの不飽和有機基を有する直鎖ポリオルガノシロキサン樹脂と、R8 3SiO1/2単位とR8SiO3/2単位とR8 2SiO2/2単位とからなるポリオルガノシロキサン樹脂;または
(e)上記(a)から(d)の二つ以上の混合物であって
R8が独立に一価の有機基であるもの、と
(B)ジメチル、メチル(プロピルグリシドオキシ)、メチル(プロピル(ポリ(プロピレンオキシド))メチル)シクロシロキサン;ジメチル、メチル(グリシドオキシプロピル)、メチル(プロピル(ポリ(プロピレンオキシド))メチル)シロキサン;およびこれらの組合せからなる群から選択される極性の添加剤と
を含む硬化性シリコーン組成物を硬化する工程を含むプロセスによって、硬化されたシリコーン製品を製造する工程と、
(II)前記硬化されたシリコーン製品を、インプリント成形、ステップアンドフラッシュインプリント成形、溶媒支援マイクロモールディング、マイクロトランスファ成形、キャピラリー内での微細成型、マイクロコンタクトプリンティング、およびロールプリンティングからなる群から選択されるパターン転写技法で使用する工程とを含むパターン形成のための方法。 - 前記パターン形成技法が、インプリント成形、ステップアンドフラッシュインプリント成形、溶媒支援マイクロモールディング、マイクロトランスファ成形、キャピラリー内での微細成型、マイクロコンタクトプリンティング、およびロールプリンティングからなる群から選択される、請求項7に記載の方法。
- 前記極性の添加剤がポリ(エチレンオキシド/プロピレンオキシド)共重合体である、請求項1、請求項2、請求項4、請求項7および請求項8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記極性の添加剤がポリアルキレンオキシド官能性シロキサンである、請求項1、請求項2、請求項4、請求項7および請求項8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記極性の添加剤が反応性末端基を有するポリアルキレンオキシドである、請求項1、請求項2、請求項4、請求項7および請求項8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記極性の添加剤が、一般式:
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