JP5572145B2 - 複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム - Google Patents

Description

本発明は、検出システムに関し、特に複数の電子素子の外形を検出するマルチチャンネル検出システムに関するものである。

電子素子の信頼性及び製品の歩留まりは、各種製品の使用上の品質及び性能のパフォーマンスに影響を与えることがある。一般的に電子素子は、所定の品質を満たす為、製造工程が完了した後、目視による検出プロセスを行う。従来の技術では、複数のカメラが電子素子の表面画像を取得できるように、電子素子を大型の回転盤に載せて行うのが通常であるが、その際、該大型の回転盤は、カメラが電子素子の底面の画像を容易に取得できるように光透過の材質でなければならなかった。

本発明は、複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システムを提供することを目的とする。

本発明は、回転盤モジュール、インレットモジュール、無振動モジュール、検出モジュール及び分類モジュールを備えるマルチチャンネル検出システムを提供する。回転盤モジュールは、回転底盤構造と該回転底盤構造上に設けられた中空透明回転盤構造とを含む。中空透明回転盤構造の下表面は、インナーサークル領域と該インナーサークル領域を取り囲むアウターサークル領域とに区画され、中空透明回転盤構造のインナーサークル領域は、回転底盤構造によって被覆され、中空透明回転盤構造のアウターサークル領域は、外部に露出され、中空透明回転盤構造の上表面は、アウターサークル領域の上方に位置する少なくとも２つの環形案内領域を有し、複数の電子素子は、少なくとも２つの環形案内領域上に順に配列されている。中空透明回転盤構造は、中空部分と、中空部分を取り囲むインナーサークル部分と、インナーサークル部分を取り囲むアウターサークル部分とに区画されている。中空透明回転盤構造の中空部分は、回転底盤構造上に位置することで収容空間が形成されている。中空透明回転盤構造のインナーサークル部分は、前記回転底盤構造上に設けられている。中空透明回転盤構造のアウターサークル部分は、懸架されている。少なくとも２つの環形案内領域は、前記中空透明回転盤構造の前記アウターサークル部分上に位置している。インレットモジュールは、中空透明回転盤構造に隣接する少なくとも１つのインレットユニットを含む。インレットユニットは、複数の電子素子を案内するための少なくとも２つのＶ形インレット溝を備える。無振動モジュールは、中空透明回転盤構造に隣接するとともに中空透明回転盤構造とインレットユニットとの間に設置される少なくとも１つの無振動案内ブロックを含む。無振動案内ブロックは、２つのＶ形インレット溝にそれぞれ連通するとともに２つの環形案内領域にそれぞれ対応する少なくとも２つのＶ形無振動案内溝を備える。２つのＶ形インレット溝の内部にある複数の電子素子は、２つのＶ形無振動案内溝によって２つの環形案内領域に順に案内される。検出モジュールは、中空透明回転盤構造に隣接する複数の電子素子検出ユニットを含む。複数の電子素子検出ユニットは、中空透明回転盤構造を順に取り囲む。分類モジュールは、中空透明回転盤構造に隣接するとともにインレットモジュールと複数の電子素子検出ユニットのうちの最後の１つの電子素子検出ユニットとの間に設置される。

本発明に係るマルチチャンネル検出システムによれば、“Ｖ形インレット溝とＶ形無振動案内溝とが組み合わせられる”ように構成されているため、本発明に係るマルチチャンネル検出システムは複数の電子素子の外観をより正確に検出することができる。

本発明に係るマルチチャンネル検出システムの立体模式図である。 本発明に係るマルチチャンネル検出システムの上面模式図である。 本発明に係る回転盤モジュールの側面断面模式図である。 本発明に係るインレットモジュール及び無振動モジュールの立体模式図である。 本発明に係る補正モジュール及び微調整モジュールの上面模式図である。 本発明に係る電子素子検出ユニットの一部が回転盤モジュールの収容空間に収容される側面断面模式図である。 本発明に係る分類モジュールの断面模式図である。

図１乃至図７に示すように、本発明に係る電子素子Ｅの外観を検出するためのマルチチャンネル検出システムは、回転盤モジュール１と、インレットモジュール２と、無振動モジュール３と、補正モジュール４と、微調整モジュール５と、検出モジュール６と、分類モジュール７と、を備える。

先ず、図１乃至図３に示すように、回転盤モジュール１は、回転底盤構造１０と回転底盤構造１０上に設けられた中空透明回転盤構造１１とを備える。例を挙げると、回転底盤構造１０は、非中空の金属底盤であってもよく、中空透明回転盤構造１１は、回転底盤構造１０上に固定（例えば複数のネジなどによる螺固）された透明ガラス回転盤であってもよい。中空透明回転盤構造１１が中空構造であるため、中空透明回転盤構造１１の材料コストを大幅に節約することができる。また、回転底盤構造１０が回転軸上に直接螺固されるため、回転盤モジュール１を着脱する場合に、中空透明回転盤構造１１を着脱する必要がなく、回転底盤構造１０を着脱するだけでよい。これにより、中空透明回転盤構造１１が頻繁に着脱されることによって損害が発生し、寿命が低下する問題を回避することができる。

また、中空透明回転盤構造１１の下表面は、インナーサークル領域１１０とインナーサークル領域１１０を取り囲むアウターサークル領域１１１とに区画されてもよい。中空透明回転盤構造１１のインナーサークル領域１１０は、回転底盤構造１０によって被覆され、中空透明回転盤構造１１のアウターサークル領域１１１は、外部に露出される。中空透明回転盤構造１１の上表面は、図２及び図３に示すように、アウターサークル領域１１１の上方に位置する少なくとも２つの環形案内領域１１Ｇを有し、複数の電子素子Ｅは、図３に示すように、少なくとも２つの環形案内領域１１Ｇ上に順に配列されてもよい。

また、中空透明回転盤構造１１は、中空部分１１Ａと、中空部分１１Ａを取り囲むインナーサークル部分１１Ｂと、インナーサークル部分１１Ｂを取り囲むアウターサークル部分１１Ｃとに区画される。中空透明回転盤構造１１の中空部分１１Ａは、回転底盤構造１０上に位置し、収容空間１１Ｒが形成される。中空透明回転盤構造１１のインナーサークル部分１１Ｂは、回転底盤構造１０上に設けられ、中空透明回転盤構造１１のアウターサークル部分１１Ｃは懸架される。また、中空透明回転盤構造１１のインナーサークル領域１１０は、インナーサークル部分１１Ｂの下表面上に位置し、中空透明回転盤構造１１のアウターサークル領域１１１は、アウターサークル部分１１Ｃの下表面上に位置し、２つの環形案内領域１１Ｇは、中空透明回転盤構造１１のアウターサークル部分１１Ｃの上表面上に位置する。

さらに、図１、図２及び図４に示すように、インレットモジュール２は、中空透明回転盤構造１１に隣接するとともに複数の電子素子Ｅを案内するための少なくとも１つのインレットユニット２０を備える。インレットユニット２０は、複数の電子素子Ｅを案内するための少なくとも２つのＶ形インレット溝２００を備える。例を挙げると、インレットユニット２０は、持続的な振動により複数の電子素子Ｅを２つのＶ形インレット溝２００内に前方に向かって持続的に移動させるため、電子素子Ｅが引っかかることを回避できる。

また、図１、図２及び図４に示すように、無振動モジュール３は、中空透明回転盤構造１１に隣接するとともに中空透明回転盤構造１１とインレットモジュール２との間に設けられた少なくとも１つの無振動案内ブロック３０を備える。無振動案内ブロック３０は、２つのＶ形インレット溝２００にそれぞれ連通されるとともに２つの環形案内領域１１Ｇにそれぞれ対応する少なくとも２つのＶ形無振動案内溝３００を有する。２つのＶ形インレット溝２００内における複数の電子素子Ｅは、２つのＶ形無振動案内溝３００によって２つの環形案内領域１１Ｇに順に案内される。また、無振動案内ブロック３０とインレットユニット２０とは、電子素子Ｅの長さよりも短い距離だけ互いに離間され、無振動案内ブロック３０と中空透明回転盤構造１１とは、所定の距離だけ互いに離間される。言い換えれば、無振動案内ブロック３０と持続的に振動するインレットユニット２０とは所定の距離だけ離間されているため、無振動案内ブロック３０は、安定的で且つ無振動の状態が持続的に維持され、それぞれの電子素子Ｅは、それぞれのＶ形無振動案内溝３００から対応するそれぞれの環形案内領域１１Ｇに安定的に確実に案内される。

また、図１、図２及び図５に示すように、補正モジュール４は、中空透明回転盤構造１１の上方に設けられた少なくとも２つの補正ユニット４０を備える。それぞれの補正ユニット４０は、互いに組み合わせられて複数の電子素子Ｅのそれぞれの方位（方向及び／又は位置）を補正するための少なくとも２つの補正素子４００を含む。２つの補正素子４００は、所定の距離だけ互いに離間され、２つの補正素子４００の間には電子素子案内通路４００Ｐが形成される。言い換えれば、Ｖ形無振動案内溝３００によって案内されたそれぞれの電子素子Ｅは、それぞれの電子素子Ｅに対応する環形案内領域１１Ｇに正確に位置させるように、先ず対応するそれぞれの補正ユニット４０により大まかに案内（即ち、それぞれの電子素子Ｅを対応するそれぞれの電子素子案内通路４００Ｐに通過させる）させることができる。これを一般的に電子素子Ｅの“大まかな案内”と称する。

また、図１、図２及び図５に示すように、微調整モジュール５は、中空透明回転盤構造１１の上方に設けられるとともに２つの補正ユニット４０にそれぞれ隣接した少なくとも２つの微調整ユニット５０を備える。２つの微調整ユニット５０は、２つの環形案内領域１１Ｇの内側近傍にそれぞれ位置しており、複数の電子素子Ｅのそれぞれの方位を微調整するために複数の電子素子Ｅのそれぞれの内側表面に接触する少なくとも１つの微調整素子５００をそれぞれ備える。言い換えれば、補正ユニット４０によって大まかな案内されたそれぞれの電子素子Ｅは、それぞれの電子素子Ｅに対応するそれぞれの環形案内領域１１Ｇに正確に位置させるように、対応する各微調整ユニット５０により細かい案内（即ち、微調整ユニット５０の側辺により電子素子Ｅの内側表面Ｅ１に軽く接触する）させることができる。これを一般的に電子素子Ｅの“細かい案内”と称する。

さらに、図１、図２及び図６に示すように、検出モジュール６は、中空透明回転盤構造１１に隣接する複数の電子素子検出ユニット６０を備える。複数の電子素子検出ユニット６０のそれぞれは、中空透明回転盤構造１１を順に取り囲む（図２に示すように、複数の電子素子検出ユニット６０の取り囲み範囲は、円周の約５／８である。）。また、複数の電子素子検出ユニット６０の一部（図６には、そのうちの一つの電子素子検出ユニット６０を示す）は、収容空間１１Ｒの内部及び上方に設けられる。収容空間１１Ｒの内部及び上方に設けられたそれぞれの電子素子検出ユニット６０は、反射鏡６０１と、反射鏡６０１の上方に設けられた画像捕捉レンズ６０２と、を備える。電子素子検出ユニット６０が収容空間１１Ｒの内部に設けられているため、反射鏡６０１と画像捕捉レンズ６０２との組み合わせにより、電子素子Ｅの内側表面Ｅ１の正面画像を正確に捕捉することができる。例えば、電子素子検出ユニット６０の数量が１２個であるとすると、そのうちの６個の電子素子検出ユニット６０は、一方の環形案内領域１１Ｇ上に位置する複数の電子素子Ｅの検出を行い、その他の６個の電子素子検出ユニット６０は、他方の環形案内領域１１Ｇ上に位置する複数の電子素子Ｅの検出を行う。

図１、図２及び図７に示すように、分類モジュール７は、中空透明回転盤構造１１に隣接するとともにインレットモジュール２と複数の電子素子検出ユニット６０のうちの最後の１つの電子素子検出ユニット６０との間に設けられる。また、複数の電子素子Ｅは、複数の電子素子検出ユニット６０の検出によって複数の良品の電子素子Ｅ’と、複数の不良品の電子素子Ｅ’’と、複数の再測定の電子素子Ｅ’’’とに分類される。また、分類モジュール７は、複数の良品の電子素子Ｅ’を収集するための少なくとも１つの第１の収容ユニット７Ａと、複数の不良品の電子素子Ｅ’’を収集するための少なくとも１つの第２の収容ユニット７Ｂと、複数の再測定の電子素子Ｅ’’’を収集するための少なくとも１つの第３の収容ユニット７Ｃと、を備える。第１の収容ユニット７Ａ、第２の収容ユニット７Ｂ、第３の収容ユニット７Ｃは、それぞれ独立した構造ではなく、組み合わせて一つの収容構造に形成されたものである。

また、図２及び図７に示すように、第１の収容ユニット７Ａは、少なくとも２つの第１の種類選別入り口７０Ａと、中空透明回転盤構造１１の上方に設けられ、２つの環形案内領域１１Ｇ上に位置する複数の良品の電子素子Ｅ’を２つの第１の種類選別入り口７０Ａの内部に吹き付けるための少なくとも２つの第１のノズル７１Ａ（図２を参照）と、２つの第１の種類選別入り口７０Ａにそれぞれ連通された少なくとも２つの第１の輸送パイプ７２Ａと、２つの第１の輸送パイプ７２Ａに連通された少なくとも１つの第１の収集ケース７３Ａと、を備える。また、第２の収容ユニット７Ｂは、少なくとも２つの第２の種類選別入り口７０Ｂと、中空透明回転盤構造１１の上方に設けられ、２つの環形案内領域１１Ｇ上に位置する複数の不良品の電子素子Ｅ’’を２つの第２の種類選別入り口７０Ｂの内部に吹き付けるための少なくとも２つの第２のノズル７１Ｂ（図２を参照）と、２つの第２の種類選別入り口７０Ｂにそれぞれ連通された少なくとも２つの第２の輸送パイプ７２Ｂと、２つの第２の輸送パイプ７２Ｂに連通された少なくとも１つの第２の収集ケース７３Ｂと、を備える。また、第３の収容ユニット７Ｃは、少なくとも２つの第３の種類選別入り口７０Ｃと、中空透明回転盤構造１１の上方に設けられ、２つの環形案内領域１１Ｇ上に位置する複数の再測定の電子素子Ｅ’’’を２つの第３の種類選別入り口７０Ｃの内部に吹き付けるための少なくとも２つの第３のノズル７１Ｃ（図２を参照）と、２つの第３の種類選別入り口７０Ｃにそれぞれ連通された少なくとも２つの第３の輸送パイプ７２Ｃと、２つの第３の輸送パイプ７２Ｃに連通された少なくとも１つの第３の収集ケース７３Ｃと、を備える。

２つの環形案内領域１１Ｇ上に位置する複数の良品の電子素子Ｅ’が同時に同一の第１の収集ケース７３Ａ（図７における２つの中心線が通るルートに示すように）の内部に収集され、２つの環形案内領域１１Ｇ上に位置する複数の不良品の電子素子Ｅ’’は、同時に同一の第２の収集ケース７３Ｂ（図７における２つの中心線が通るルートに示すように）の内部に収集され、２つの環形案内領域１１Ｇ上に位置する複数の再測定の電子素子Ｅ’’’は、同時に同一の第３の収集ケース７３Ｃ（図７における２つの中心線が通るルートに示すように）の内部に収集されることができるため、本発明において、分類モジュール７の使用空間を小さくすると共に、製造コストを効果的に低減させることができる。（実施例の可能効果）

上述のように、本発明に係るマルチチャンネル検出システムは、“Ｖ形インレット溝とＶ形無振動案内溝とが組み合わせられる”ように構成されているため、複数の電子素子の外観をより正確に検出することができる。また、本発明は、対応するそれぞれの補正ユニットによって大まかな案内を行うことにより、それぞれの電子素子を対応するそれぞれの環形案内領域上に正確に位置させることができる。また、本発明は更に、対応するそれぞれの微調整ユニットによって細かい案内を行うことにより、それぞれの電子素子を対応するそれぞれの環形案内領域上により正確に位置させることができる。さらに、本発明は、分類モジュールの使用空間を小さくすると共に、製造コストを効果的に低減させることができるように、複数の良品の電子素子を同時に同一の第１の収集ケースの内部に、複数の不良品の電子素子を同時に同一の第２の収集ケースの内部に、複数の再測定の電子素子を同時に同一の第３の収集ケースの内部に、それぞれ収集することができる。

上述したものは、本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明の実施の範囲を限定するためのものではない。また、本発明の明細書及び図面内容に基づいてなされた均等な変更および付加は、いずれも本発明の特許請求の範囲内に含まれるものとする。

Ｅ 電子素子
Ｅ１ 内側表面
Ｅ’ 良品の電子素子
Ｅ’’ 不良品の電子素子
Ｅ’’’ 再測定の電子素子
１ 回転盤モジュール
１０ 回転底盤構造
１１ 中空透明回転盤構造
１１０ インナーサークル領域
１１１ アウターサークル領域
１１Ａ 中空部分
１１Ｂ インナーサークル部分
１１Ｃ アウターサークル部分
１１Ｒ 収容空間
１１Ｇ 環形案内領域
２ インレットモジュール
２０ インレットユニット
２００ Ｖ形インレット溝
３ 無振動モジュール
３０ 無振動案内ブロック
３００ Ｖ形無振動案内溝
４ 補正モジュール
４０ 補正ユニット
４００ 補正素子
４００Ｐ 電子素子案内通路
５ 微調整モジュール
５０ 微調整ユニット
５００ 微調整素子
６ 検出モジュール
６０ 電子素子検出ユニット
６０１ 反射鏡
６０２ 画像捕捉レンズ
７ 分類モジュール
７Ａ 第１の収容ユニット
７Ｂ 第２の収容ユニット
７Ｃ 第３の収容ユニット
７０Ａ 第１の種類選別入り口
７０Ｂ 第２の種類選別入り口
７０Ｃ 第３の種類選別入り口
７１Ａ 第１のノズル
７１Ｂ 第２のノズル
７１Ｃ 第３のノズル
７２Ａ 第１の輸送パイプ
７２Ｂ 第２の輸送パイプ
７２Ｃ 第３の輸送パイプ
７３Ａ 第１の収集ケース
７３Ｂ 第２の収集ケース
７３Ｃ 第３の収集ケース

Claims (10)

1. 回転底盤構造と前記回転底盤構造上に設けられた中空透明回転盤構造とを含み、前記中空透明回転盤構造の下表面がインナーサークル領域と前記インナーサークル領域を取り囲むアウターサークル領域とに区画され、前記中空透明回転盤構造の前記インナーサークル領域が前記回転底盤構造によって被覆され、前記中空透明回転盤構造の前記アウターサークル領域が外部に露出され、前記中空透明回転盤構造の上表面に前記アウターサークル領域の上方に位置する少なくとも２つの環形案内領域を有し、複数の電子素子が前記少なくとも２つの環形案内領域上に順に配列されたように構成された回転盤モジュールと、
   前記複数の電子素子を案内するための少なくとも２つのＶ形インレット溝を備えるとともに前記中空透明回転盤構造に隣接する少なくとも１つのインレットユニットを含むインレットモジュールと、
   前記中空透明回転盤構造に隣接するとともに前記中空透明回転盤構造と前記インレットユニットとの間に設置される少なくとも１つの無振動案内ブロックを含み、前記少なくとも１つの無振動案内ブロックが、前記少なくとも２つのＶ形インレット溝にそれぞれ連通するとともに前記少なくとも２つの環形案内領域にそれぞれ対応する少なくとも２つのＶ形無振動案内溝を備え、前記少なくとも２つのＶ形インレット溝の内部にある前記複数の電子素子が、前記少なくとも２つのＶ形無振動案内溝によって前記少なくとも２つの環形案内領域に順に案内されるように構成された無振動モジュールと、
   前記中空透明回転盤構造に隣接するとともに前記中空透明回転盤構造を順に取り囲む複数の電子素子検出ユニットを含む検出モジュールと、
   前記中空透明回転盤構造に隣接するとともに前記インレットモジュールと前記複数の電子素子検出ユニットのうちの最後の１つの電子素子検出ユニットとの間に設置される分類モジュールと、を備え、
   前記中空透明回転盤構造は、中空部分と、前記中空部分を取り囲むインナーサークル部分と、前記インナーサークル部分を取り囲むアウターサークル部分とに区画され、
   前記中空透明回転盤構造の前記中空部分は、前記回転底盤構造上に位置することで収容空間が形成され、
   前記中空透明回転盤構造の前記インナーサークル部分は、前記回転底盤構造上に設けられ、
   前記中空透明回転盤構造の前記アウターサークル部分は、懸架され、
   前記少なくとも２つの環形案内領域は、前記中空透明回転盤構造の前記アウターサークル部分上に位置することを特徴とする複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
2. 前記回転底盤構造は、非中空の金属底盤であり、
   前記中空透明回転盤構造は、前記回転底盤構造上に固定された透明ガラス回転盤であることを特徴とする請求項１に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
3. 前記複数の電子素子検出ユニットの一部は、前記収容空間の内部及び上方に設けられ、
   前記収容空間の内部及び上方に設けられた前記複数の電子素子検出ユニットは、反射鏡と前記反射鏡の上方に設けられた画像捕捉レンズとをそれぞれ備えることを特徴とする請求項１に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
4. 前記少なくとも１つの無振動案内ブロックと前記少なくとも１つのインレットユニットとは、それぞれの前記電子素子の長さよりも短い距離だけ離間され、
   前記少なくとも１つの無振動案内ブロックと前記中空透明回転盤構造とは、所定の距離だけ互いに離間されることを特徴とする請求項１に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
5. 前記複数の電子素子は、前記複数の電子素子検出ユニットの検出によって複数の良品の電子素子と、複数の不良品の電子素子と、複数の再測定の電子素子とに分類され、
   前記分類モジュールは、
   前記複数の良品の電子素子を収集するための少なくとも１つの第１の収容ユニットと、
   前記複数の不良品の電子素子を収集するための少なくとも１つの第２の収容ユニットと、
   前記複数の再測定の電子素子を収集するための少なくとも１つの第３の収容ユニットと、を備える
   ことを特徴とする請求項１に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
6. 前記少なくとも１つの第１の収容ユニットは、
   少なくとも２つの第１の種類選別入り口と、
   前記中空透明回転盤構造の上方に設けられ、前記少なくとも２つの環形案内領域上に位置する前記複数の良品の電子素子を前記少なくとも２つの第１の種類選別入り口内に吹き付けるための少なくとも２つの第１のノズルと、
   前記少なくとも２つの第１の種類選別入り口にそれぞれ連通された少なくとも２つの第１の輸送パイプと、
   前記少なくとも２つの第１の輸送パイプに連通された少なくとも１つの第１の収集ケースと、
   を備えることを特徴とする請求項５に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
7. 前記少なくとも１つの第２の収容ユニットは、
   少なくとも２つの第２の種類選別入り口と、
   前記中空透明回転盤構造の上方に設けられ、前記少なくとも２つの環形案内領域上に位置する前記複数の不良品の電子素子を前記少なくとも２つの第２の種類選別入り口内に吹き付けるための少なくとも２つの第２のノズルと、
   前記少なくとも２つの第２の種類選別入り口にそれぞれ連通された少なくとも２つの第２の輸送パイプと、
   前記少なくとも２つの第２の輸送パイプに連通された少なくとも１つの第２の収集ケースと、
   を備えることを特徴とする請求項５に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
8. 前記少なくとも１つの第３の収容ユニットは、
   少なくとも２つの第３の種類選別入り口と、
   前記中空透明回転盤構造の上方に設けられ、前記少なくとも２つの環形案内領域上に位置する前記複数の再測定の電子素子を前記少なくとも２つの第３の種類選別入り口内に吹き付けるための少なくとも２つの第３のノズルと、
   前記少なくとも２つの第３の種類選別入り口にそれぞれ連通された少なくとも２つの第３の輸送パイプと、
   前記少なくとも２つの第３の輸送パイプに連通された少なくとも１つの第３の収集ケースと、
   を備えることを特徴とする請求項５に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
9. 前記中空透明回転盤構造の上方に設けられた少なくとも２つの補正ユニットを含む補正モジュールをさらに備え、
   前記２つの補正ユニットは、互いに組み合わせられ前記複数の電子素子のそれぞれの方位を補正するための少なくとも２つの補正素子をそれぞれ含み、
   前記少なくとも２つの補正素子は、所定の距離だけ互いに離間され、前記少なくとも２つの補正素子の間に位置する電子素子案内通路が形成されることを特徴とする請求項１に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。
10. 前記中空透明回転盤構造の上方に設けられるとともに前記少なくとも２つの補正ユニットにそれぞれ隣接された少なくとも２つの微調整ユニットを含む微調整モジュールをさらに備え、
    前記少なくとも２つの微調整ユニットのそれぞれは、前記少なくとも２つの環形案内領域の内側近傍に位置しており、前記複数の電子素子のそれぞれの方位を微調整するために前記複数の電子素子のそれぞれの内側表面に接触する少なくとも１つの微調整素子を備えることを特徴とする請求項９に記載の複数の電子素子の外観を検出するためのマルチチャンネル検出システム。

Images