KR101474969B1 - 기판 처리 장치, 투광 부재 및 뷰포트를 갖는 챔버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 챔버 내부의 대상물의 정렬 상태를 확인할 수 있게 하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 제 1 조사광을 발생시키는 제 1 광원; 상기 제 1 조사광을 대상물 방향으로 안내하는 광학 장치; 외부의 상기 제 1 조사광이 내부의 상기 대상물에 도달될 수 있도록 상기 제 1 조사광을 통과시키는 투광 부재를 갖는 챔버; 및 상기 투광 부재를 통과한 제 1 조사광이 상기 대상물에서 상기 투광 부재 방향으로 반사되어 상기 광학 장치를 통과한 검출광을 촬영하는 카메라;를 포함하고, 상기 투광 부재는, 상기 제 1 조사광의 진행 방향에 수직을 이루는 평면을 기준으로 그 입사면이 경사지게 설치될 수 있다.

Description

기판 처리 장치, 투광 부재 및 뷰포트를 갖는 챔버{substrate processing apparatus, light transmitting member and chamber having viewport}

본 발명은 기판 처리 장치, 투광 부재 및 뷰포트를 갖는 챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버 내부의 대상물의 정렬 상태를 확인할 수 있게 하는 기판 처리 장치, 투광 부재 및 뷰포트를 갖는 챔버에 관한 것이다.

일반적으로 LCD TV나 OLED TV나 PDP TV 등 디스플레이 패널용 유리 기판은, 가공면이 형성되는 전면과, 가공면이 형성되지 않는 후면을 갖는다.

여기서, 가공면에 원하는 공정을 수행하기 위해서는 기판 등의 가공 대상물 또는 가공물을 가공하기 위한 마스크 등의 가공 보조물 등을 정위치에 정렬시킬 필요가 있다.

이러한 기판 처리 장치들은, 가공 챔버의 내부에서 가공될 대상물의 정렬 상태를 확인할 수 있게 하는 비젼 광학계가 챔버의 외부에 설치될 수 있다.

종래에는 챔버 내부의 상태를 확인하기 위해서 챔버에 뷰포트(viewport)를 설치할 수 있었다.

그러나, 종래의 기판 처리 장치는, 광원에서 대상물 방향으로 조사되는 조사광이 상기 대상물로 조사되지 않고, 상기 뷰 포트의 입사면에 반사되어 카메라로 인입되고, 이로 인하여 카메라에서 촬영된 영상에 백색 노이즈가 발생되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 투광 부재의 입사면을 경사지게 설치하여 화면의 백색 노이즈를 제거하고, 선명한 영상을 얻을 수 있게 하는 기판 처리 장치, 투광 부재 및 뷰포트를 갖는 챔버를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 기판 처리 장치는, 제 1 조사광을 발생시키는 제 1 광원; 상기 제 1 조사광을 대상물 방향으로 안내하는 광학 장치; 외부의 상기 제 1 조사광이 내부의 상기 대상물에 도달될 수 있도록 상기 제 1 조사광을 통과시키는 투광 부재를 갖는 챔버; 및 상기 투광 부재를 통과한 제 1 조사광이 상기 대상물에서 상기 투광 부재 방향으로 반사되어 상기 광학 장치를 통과한 검출광을 촬영하는 카메라;를 포함하고, 상기 투광 부재는, 상기 제 1 조사광의 진행 방향에 수직을 이루는 평면을 기준으로 그 입사면이 경사지게 설치될 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 광학 장치는, 적어도 하프 미러, 볼록 렌즈, 오목 렌즈, 광필터, 봉상 렌즈, 광 스플리터(splitter), 광섬유, 프리즘, 줌렌즈, 반사경 및 이들의 조합 중 어느 하나 이상을 포함하는 것일 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 챔버는, 기판 처리용 챔버이고, 상기 대상물은, 기판 또는 마스크의 얼라인 마크일 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 투광 부재는, 그 단면이 직사각형이고, 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사지게 설치되는 일정한 두께의 판재일 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 투광 부재는, 제 1 조사광의 입사면이 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사진 경사부가 전체적으로 형성되고, 상기 입사면의 반대면은 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루게 설치되는 다중 두께형 판재일 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 투광 부재는, 제 1 조사광의 입사면이 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사진 경사부가 부분적으로 형성될 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 투광 부재의 제 1 조사광의 입사면은, 상기 경사부를 중심으로 일측에 설치되고, 제 1 높이를 갖는 제 1 평면부; 및 상기 경사부를 중심으로 타측에 설치되고, 제 2 높이를 갖는 제 2 평면부;를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 투광 부재의 제 1 조사광의 입사면은, 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사진 경사부가 내부에 형성되는 경사홈부를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 투광 부재의 제 1 조사광의 입사면은, 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사진 경사부가 형성되는 경사돌기부를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 투광 부재는, 석영(quartz) 재질일 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 광원은, 그린(green) LED일 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따른 기판 처리 장치는, 상기 제 1 조사광의 진행축 또는 상기 제 1 조사광의 진행축의 인근에 설치되고, 제 2 조사광을 발생시키는 제 2 광원을 더 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 2 광원은, 가운데에 상기 제 1 조사광이 통과할 수 있는 개구가 형성되고, 상기 제 1 조사광을 둘러싸는 링 형상의 광학 부재이고, 상기 광학 부재는 블루(blue) LED를 포함할 수 있다.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 투광 부재는, 챔버에 설치되고, 상기 챔버의 외부에 설치된 제 1 광원의 제 1 조사광이 상기 챔버 내부의 대상물에 도달될 수 있도록 그 입사면이 상기 제 1 조사광을 통과시키고, 상기 대상물을 카메라로 촬영할 수 있도록 상기 입사면의 반대면이 상기 대상물에서 반사된 검출광을 통과시킬 수 있는 투광 부재에 있어서, 상기 입사면은, 제 1 조사광의 진행 방향에 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사지게 설치되는 것일 수 있다.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 뷰포트를 갖는 챔버는, 뷰포트를 갖는 챔버에 있어서, 상기 뷰포트는, 챔버에 설치되고, 상기 챔버의 외부에 설치된 제 1 광원의 제 1 조사광이 상기 챔버 내부의 대상물에 도달될 수 있도록 그 입사면이 상기 제 1 조사광을 통과시키고, 상기 대상물을 카메라로 촬영할 수 있도록 상기 입사면의 반대면이 상기 대상물에서 반사된 검출광을 통과시킬 수 있는 투광 부재;를 포함하고, 상기 입사면은, 제 1 조사광의 진행 방향에 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사지게 설치되는 것일 수 있다.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 보다 선명하고 명확한 비젼 영상을 얻을 수 있고, 이로 인하여 신속하고 정확한 정렬이 가능하여 신속하고 정확한 가공 처리가 가능하며, 장비의 성능을 향상시키고, 생산성을 크게 증대시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 개념적으로 나타내는 개념 단면도이다.
도 2는 도 1의 다른 일례에 따른 투광 부재를 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 1의 또 다른 일례에 따른 투광 부재를 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 1의 또 다른 일례에 따른 투광 부재를 나타내는 단면도이다.
도 5는 도 1의 또 다른 일례에 따른 투광 부재를 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 1의 또 다른 일례에 따른 투광 부재를 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 개념적으로 나타내는 개념 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.

명세서 전체에 걸쳐서, 막, 영역 또는 기판과 같은 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 상기 하나의 구성요소가 직접적으로 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 접촉하거나, 그 사이에 개재되는 또 다른 구성요소들이 존재할 수 있다고 해석될 수 있다. 반면에, 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "직접적으로 상에", "직접 연결되어", 또는 "직접 커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 그 사이에 개재되는 다른 구성요소들이 존재하지 않는다고 해석된다. 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

본 명세서에서 제 1, 제 2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제 1 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제 2 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.

또한, "상의" 또는 "위의" 및 "하의" 또는 "아래의"와 같은 상대적인 용어들은 도면들에서 도해되는 것처럼 다른 요소들에 대한 어떤 요소들의 관계를 기술하기 위해 여기에서 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면들에서 묘사되는 방향에 추가하여 소자의 다른 방향들을 포함하는 것을 의도한다고 이해될 수 있다. 예를 들어, 도면들에서 소자가 뒤집어 진다면(turned over), 다른 요소들의 상부의 면 상에 존재하는 것으로 묘사되는 요소들은 상기 다른 요소들의 하부의 면 상에 방향을 가지게 된다. 그러므로, 예로써 든 "상의"라는 용어는, 도면의 특정한 방향에 의존하여 "하의" 및 "상의" 방향 모두를 포함할 수 있다. 소자가 다른 방향으로 향한다면(다른 방향에 대하여 90도 회전), 본 명세서에 사용되는 상대적인 설명들은 이에 따라 해석될 수 있다.

본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.

이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.

도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)를 개념적으로 나타내는 개념 단면도이다.

먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는, 크게 제 1 광원(10)과, 광학 장치(20)와, 투광 부재(30)를 갖는 챔버(C) 및 카메라(40)를 포함할 수 있다.

여기서, 상기 제 1 광원(10)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 챔버(C) 외부에 설치되는 것으로서, 제 1 조사광(1-1)을 발생시키는 발광 소자일 수 있다.

더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 제 1 광원(10)은, 그린(green) 계열의 파장을 발생시키는 그린(green) LED일 수 있다.

여기서, 그린 LED는 상대적으로 적색 LED나 기타 다른 LED에 비하여 금속 계열의 대상물(P)에서의 반사율이 우수하며, 화상 재현율이 우수하고, 가공성 및 양산성이 우수하여 비교적 저렴하며, 카메라의 촬영 소자 감지시 민감도가 높을 수 있는 그린 계열의 파장을 발생시킬 수 있는 LED일 수 있다.

또한, 상기 제 1 광원(10)은, 발광면의 반대면에 전극 패드들이 형성되는 플립칩 형상의 발광 소자일 수 있다. 이외에도 상기 제 1 광원(10)에는 각종 범프나 솔더 등의 신호전달매체가 설치될 수 있고, 이외에도 와이어 등의 신호전달매체를 갖는 수직형 및 수평형 등 다양한 형태의 발광 소자들이 적용될 수 있다.

이외에도, 상기 제 1 광원(10)은, 백색광을 발생시키는 아크 램프나, 할로겐 램프 등 각종 램프나 각종 전극관 등의 발광원들이 적용될 수 있다.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 광학 장치(20)는, 상기 제 1 조사광(1-1)을 상기 챔버(C) 내부의 대상물(P) 방향으로 안내하는 장치로서, 적어도 하프 미러(21), 볼록 렌즈(22), 오목 렌즈(23), 광필터(24), 봉상 렌즈, 광 스플리터(splitter), 광섬유, 프리즘, 줌렌즈, 반사경 및 이들의 조합 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.

여기서, 상기 하프 미러(21)(half mirror)는, 광량의 대략 50%는 반사하는 한편 나머지 50%의 광은 투과시키는 일종의 거울로서, 투명 유리에 알루미늄 등의 금속 반사막을 코팅하여 형성하거나, 공지의 다이일렉트릭 미러(dielectric mirror)로 이루어질 수 있고, 금속 반사막의 두께를 조절하거나, 적층 물질의 종류 및 레이어 수를 조절함에 따라 투과율 및 반사율을 조정할 수 있다.

또한, 상기 볼록 렌즈(22) 및 상기 오목 렌즈(23) 조합은, 상기 하프 미러(21)와 상기 제 1 광원(10) 또는 상기 하프 미러(21)와 상기 투광 부재(30) 사이에 설치되어 이미지의 크기를 적절히 조절할 수 있고, 이외에도 상기 볼록 렌즈(22) 및 상기 오목 렌즈(23)는 독립적으로 제공될 수도 있다.

또한, 상기 광필터(24)는, 통과되는 빛의 파장이나 방향을 제어할 수 있는 것으로서, 각종 편광 필터나 색상 필터 등이 적용될 수 있다.

이외에도 도시하지 않았지만, 상기 광학 장치(20)는, 봉상 렌즈, 광 스플리터(splitter), 광섬유, 프리즘, 줌렌즈, 반사경 등 다양한 형태의 광학 부재들이 설치될 수 있다.

또한, 상기 광학 장치(20)는, 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행축 또는 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행축의 인근에 설치되고, 제 2 조사광(2)을 발생시키는 제 2 광원(70)을 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 제 2 광원(70)은, 상기 제 1 광원(10)의 제 1 조사광(1-1)을 보조할 수 있도록 가운데에 상기 제 1 조사광(1-1)이 통과할 수 있는 개구(70a)가 형성되고, 상기 제 1 조사광(1-1)을 둘러싸는 링 형상의 광학 부재이고, 상기 광학 부재는 금속 등 대상물에 대한 영상 재현력이나 투시력이 우수하고, 경제적인 블루(blue) LED를 포함할 수 있다.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 투광 부재(30)는, 상기 챔버(C)에 설치되는 것이다.

여기서, 상기 챔버(C)는 내부에 상기 대상물(P)의 가공 환경을 조성할 수 있는 것으로서, 예를 들어서, 상기 대상물(P)의 온도 환경, 압력 환경, 가스 환경, 플라즈마 환경, 진공 환경, 외부 누출 방지를 위한 기밀 환경 등을 조성하기 위한 것이다.

더욱 구체적으로 예시하면, 상기 챔버(C)는, 후술될 처리기(200)가 설치되는 기판 가공용 챔버일 수 있고, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 대상물(P)은, 기판(4)이나 마스크(5) 등이 정렬될 수 있도록 상기 기판(4)이나 마스크(5)에 표시되는 얼라인 마크(M)일 수 있다. 이외에도 상기 대상물(P)은 상기 기판(4)이나 마스크(5) 자체일 수 있고, 관찰이나 조사나 정렬이 필용한 모든 물체일 수 있다.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 투광 부재(30)는, 상기 제 1 조사광(1-1)이 상기 대상물(P)에 도달될 수 있도록 상기 제 1 조사광(1-1)을 통과시키는 투광성 재질의 구조물일 수 있다.

여기서, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 투광 부재(30)는, 상기 제 1 조사광(1-1)이 상기 투광 부재(30)의 표면에 반사되어 상기 카메라(40)로 유입되어 화면 노이즈가 발생되는 것을 억제할 수 있도록 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향에 수직을 이루는 평면(B)을 기준으로 그 입사면(30a)이 일정한 각도(K1)로 경사지게 설치될 수 있다.

또한, 상기 입사면(30a)의 반대면 역시, 상기 각도(K1)로 경사지게 설치될 수 있다. 여기서, 이러한 상기 입사면(30a)의 반대면은 상기 각도(K1)로 경사지거나 경사지지 않고 평평하게 설치되는 것도 가능하다.

이 때, 상기 각도(K1)는, 상기 투광 부재(30)와 상기 카메라(40) 사이의 거리(L1)에 반비례하고, 상기 카메라(40)의 입사폭(W1)에 비례할 수 있다.

예를 들면, 상기 투광 부재(30)와 상기 카메라(40) 사이의 거리(L1)가 멀면 멀수록 상기 각도(K1)가 작더라도 상기 제 1 조사광(1-1)이 상기 투광 부재(30)에 반사되어 상기 카메라(40)로 유입될 가능성이 낮아질 수 있고, 반면에 상기 카메라(40)의 입사폭(W1)이 크면 클수록 상기 각도(K1)가 크더라도 상기 제 1 조사광(1-1)이 상기 투광 부재(30)에 반사되어 상기 카메라(40)로 유입될 가능성이 높아질 수 있다.

그러나, 상기 투광 부재(30)와 상기 카메라(40) 사이의 거리(L1)가 가깝고, 상기 카메라(40)의 입사폭(W1)이 크다 하더라도 상기 각도(K1)를 90도에 가깝게 크게 할 수 없다.

그 이유는, 상기 투광 부재(30)의 상기 각도(K1)가 크면 클수록 전반사율이 높아져서 상기 제 1 조사광(1-1)이 상기 투광 부재(30)를 통과하지 못하고, 대부분 외부로 반사되기 때문이다.

그러므로, 상기 투광 부재(30)의 상기 각도(K1)는 상기 제 1 조사광(1-1)이 상기 투광 부재(30)의 표면에 반사된 후, 상기 카메라(40)로 직접 유입되어 발생되는 화면 노이즈를 억제할 수 있는 각도 내지 전반사율이 크지 않는 각도의 범위 내에서 최적화되어 설계될 수 있다.

또한, 상기 투광 부재(30)는, 투명도가 높고, 반사도가 낮은 석영(quartz) 재질일 수 있다. 이외에도 유리, 아크릴, 수정 등의 투광 물질이 적용될 수 있다.

또한, 상기 투광 부재(30)는, 투광 부재 브라켓(30-1)에 의해서 상기 챔버(C)에 기밀을 유지하여 고정될 수 있다. 여기서, 상기 투광 부재 브라켓(30-1)은 도시하지 않았지만, 각종 볼트, 너트, 나사 등의 고정구나 고정부에 의해서 상기 챔버(C)에 착탈 가능하게 고정될 수 있다.

한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 투광 부재(31)는, 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향과 수직을 이루는 평면(B)을 기준으로 전체적으로 상기 각도(K1)로 경사지게 설치되는 일정한 두께의 원형 또는 사각형 판재(31-1)일 수 있다.

이외에도 상기 투광 부재(31)는, 다각형 형상이거나 타원 형상이거나 기타 각종 기하학적인 형상이 모두 적용될 수 있다.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 카메라(40)는, 상기 투광 부재(30)를 통과한 제 1 조사광(1-1)이 상기 대상물(P)에서 상기 투광 부재(30) 방향으로 반사되어 상기 광학 장치(20)를 통과한 검출광(1-2)을 촬영하는 장치로서, 필름 또는 CCD(Charge Coupled Device)나 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)등의 이미지 센서(image sensor)가 설치될 수 있다.

또한, 상기 카메라(40)의 이미지 센서에서 촬영된 화상이나 영상은 카메라 제어부(50)를 통해서 화상 데이터로 변환되어 디스플레이 장치(60)에 표시될 수 있다.

따라서, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)의 작동 과정을 살펴보면, 상기 제 1 광원(10)에서 발생된 상기 제 1 조사광(1-1)이 상기 광학 장치(20)의 상기 하프 미러(21), 상기 볼록 렌즈(22), 상기 오목 렌즈(23), 상기 광필터(24) 등에 의해서 상기 투광 부재(30) 방향으로 안내될 수 있다.

이어서, 상기 제 1 조사광(1-1)은 상기 투광 부재(30)를 통과하여 상기 챔버(C)의 내부로 인입될 수 있다.

이 때, 100 퍼센트의 투과율을 갖는 물체는 없기 때문에 상기 제 1 조사광(1-1)의 일부는 필연적으로 상기 투광 부재(30)를 통과하지 못하고, 상기 투광 부재(30)의 상기 입사면(30a)에서 상기 챔버(C)의 외부로 반사될 수 있다.

즉, 상기 투광 부재(30)의 입사면(30a)은 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향에 수직을 이루는 평면(B)을 기준으로 상기 각도(K1)로 경사지게 설치되기 때문에 상기 카메라(40)로 유입되어 화면 노이즈가 발생되는 것을 방지할 수 있다.

이어서, 상기 투광 부재(30)를 통과한 상기 제 1 조사광(1-1)은 상기 대상물(P)인, 상기 기판(4) 또는 마스크(5)에 형성되는 얼라인 마크(M)에 도달될 수 있다.

이어서, 상기 기판(4) 또는 상기 마스크(5)의 얼라인 마크(M)에서 반사된 상기 검출광(1-2)이 상기 투광 부재(30)를 거쳐서 상기 광학 장치(20)를 통과한 후, 상기 카메라(40)에 도달될 수 있다.

이어서, 상기 카메라(40)는, 상기 검출광(1-2)을 촬영할 수 있고, 상기 카메라(40)의 이미지 센서에서 촬영된 화상이나 영상은 카메라 제어부(50)를 통해서 화상 데이터로 변환되어 디스플레이 장치(60)에 표시될 수 있다.

그러므로, 사용자 또는 영상 인식 장치가 상기 디스플레이 장치(60)에서 표시된 화상이나 영상을 판독하여 상기 기판(4)에 마스크(5)가 정렬될 수 있도록 상기 기판(4) 또는 상기 마스크(5)의 얼라인 마크(M)들을 서로 겹쳐지게 정렬시킬 수 있다.

여기서, 상기 얼라인 마트(M)들은 원형이나 십자가 형태를 예시하였으나, 이외에도 각종의 다양한 형상이 가능하다.

도 3는 도 1의 또 다른 일례에 따른 투광 부재(32)를 나타내는 단면도이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 투광 부재(32)는, 제 1 조사광의 입사면이 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향과 수직을 이루는 평면(B)을 기준으로 상기 각도(K1)로 경사진 경사부(32a)가 전체적으로 형성되고, 입사면의 반대면은 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향과 수직을 이루게 설치되는 다중 두께형 판재일 수 있다.

여기서, 상기 투광 부재(32)는, 생산성과 관리의 용이성을 고려하여 제 1 조사광의 입사면이 상기 각도(K1)로 경사진 경사부(32a)가 전체적으로 형성되고, 반대면은 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향과 수직을 이루게 설치되는 원형 또는 사각형 경사 기둥일 수 있다.

도 4은 도 1의 또 다른 일례에 따른 투광 부재(33)를 나타내는 단면도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 투광 부재(33)는, 제 1 조사광(1-1)의 입사면이 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향과 수직을 이루는 평면(B)을 기준으로 상기 각도(K1)로 경사진 경사부(33a)가 부분적으로 형성될 수 있다.

즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 투광 부재(33)의 제 1 조사광(1-1)의 입사면은, 상기 경사부(33a)를 중심으로 일측에 설치되고, 제 1 높이(H1)를 갖는 제 1 평면부(33b) 및 상기 경사부(33a)를 중심으로 타측에 설치되고, 제 2 높이(H2)를 갖는 제 2 평면부(33c)를 포함할 수 있다. 이러한 상기 제 1 평면부(33b) 및 상기 제 2 평면부(33c)는 보다 안정적인 고정과 관리의 용이성을 고려하여 제작될 수 있다.

또한, 상기 제 1 평면부(33b) 및 상기 제 2 평면부(33c)의 높이는 서로 다를 수 있고, 더욱 구체적으로는 상기 제 1 평면부(33b)의 상기 제 1 높이(H1) 보다 상기 제 2 평면부(33c)의 상기 제 2 높이(H2)가 더 높을 수 있다.

여기서, 도 4의 투광 부재(33)는, 생산성과 관리의 용이성을 고려하여 제 1 조사광(1-1)의 입사면이 상기 각도(K1)로 경사진 경사부(32b)가 가운데 부분에 형성되고, 반대면은 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향과 수직을 이루게 설치되는 원형 또는 사각형 경사 기둥일 수 있다.

도 5는 도 1의 또 다른 일례에 따른 투광 부재(34)를 나타내는 단면도이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 상기 투광 부재(34)의 제 1 조사광(1-1)의 입사면은, 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향과 수직을 이루는 평면(B)을 기준으로 상기 각도(K1)로 경사진 경사부(34a)가 내부에 형성되는 경사홈부(G)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 경사홈부(G)의 홈 깊이는 상기 각도(K1)의 크기에 따라 달라질 수 있다.

여기서, 도 12의 투광 부재(34)는, 생산성과 관리의 용이성을 고려하여 상기 제 1 조사광(1-1)의 입사면이 상기 각도(K1)로 경사진 경사부(34a)가 가운데 부분에 형성되고, 반대면은 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향과 수직을 이루게 설치되는 원형 또는 사각형 경사 기둥일 수 있다.

도 6은 도 1의 또 다른 일례에 따른 투광 부재(35)를 나타내는 단면도이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 상기 투광 부재(35)의 상기 제 1 조사광(1-1)의 입사면은, 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향과 수직을 이루는 평면(B)을 기준으로 상기 각도(K1)로 경사진 경사부(35a)가 형성되는 경사돌기부(Q)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 경사돌기부(Q)의 높이는 상기 상기 각도(K1)의 크기에 따라 달라질 수 있다.

여기서, 도 6의 투광 부재(35)는, 생산성과 관리의 용이성을 고려하여 상기 제 1 조사광(1-1)의 입사면이 상기 각도(K1)로 경사진 경사부(35a)가 가운데 부분에 형성되고, 반대면은 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향과 수직을 이루게 설치되는 원형 또는 사각 경사 기둥일 수 있다.

이외에도 도시하지 않았지만, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)의 상기 투광 부재의 형상은 전체적으로 다각 기둥, 타원 기둥, 삼각 기둥, 일방향으로 길게 형성된 슬릿형 기둥, 기하학적 형상의 기둥 등 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.

도 7은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(1000)를 개념적으로 나타내는 개념 단면도이다.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(1000)는, 챔버(C) 내부의 기판 등의 대상물(P)을 처리하는 처리기(200)와, 상기 챔버(C) 외부에 설치되고, 제 1 조사광(1-1)을 발생시키는 제 1 광원(10)과, 상기 제 1 조사광(1-1)을 상기 챔버(C) 내부의 상기 대상물(P) 방향으로 안내하는 광학 장치(20)와, 상기 챔버(C)에 설치되고, 상기 제 1 조사광(1-1)이 상기 대상물(P)에 도달될 수 있도록 상기 제 1 조사광(1-1)을 통과시키는 투광 부재(30) 및 상기 투광 부재(30)를 통과한 제 1 조사광(1-1)이 상기 대상물(P)에서 상기 투광 부재(30) 방향으로 반사되어 상기 광학 장치(20)를 통과한 검출광(1-2)을 촬영하는 카메라(40)를 포함하고, 상기 투광 부재(30)는, 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향에 수직을 이루는 평면(B)을 기준으로 그 입사면(30a)이 상기 각도(K1)로 경사지게 설치될 수 있다.

여기서, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 처리기(200)는, LCD TV나 OLED TV나 PDP TV 등 디스플레이 패널용 유리 기판의 테두리부분을 처리광으로 가공하여 식각하는 레이져 에칭 장비의 가공기일 수 있고, 상기 유리 기판의 필요한 부분을 레이져로 가공하여 천공하는 레이져 드릴링 장비의 처리기일 수 있으며, 기타 기판을 정렬시킬 수 있는 모든 형태의 처리 장치들이 적용될 수 있다.

여기서, 본 발명의 기판 처리 장치(1000)는, 이외에도 각종 검사 장치, 테스트 장치, 레이져 장치 등 모든 종류의 반도체, 디스플레이 장치들이 적용될 수 있다.

또한, 상기 제 1 광원(10)과, 상기 광학 장치(20)와, 상기 투광 부재(30) 및 상기 카메라(40)는 도 1에 도시된 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)의 그 것들과 그 구성 및 역할이 동일할 수 있다. 따라서, 상세한 설명은 생략한다.

또한, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(1000)는, 상기 기판을 얼라인하는 얼라인 장치(300)를 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 얼라인 장치는 기판 등의 대상물(P)을 얼라인할 수 있는 것으로서, 예를 들어서, X축 및 Y축 스테이지나 기타 상기 대상물(P)을 움직일 수 있는 모든 형태의 이동 장치 등이 적용될 수 있다.

따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 기판 처리 장치(1000)에 의하면, 보다 선명한 화상 및 영상을 이용하여 상기 기판(4)과 상기 마스크(5)를 보다 정확하게 정렬시킬 수 있다. 여기서, 상기 기판(4)과 상기 마스크(5)는 그 위치가 달라질 수도 있고, 그 형상이나 모양이 다양할 수 있으며, 상기 얼라인 마스크(M)의 형태 역시 매우 다양할 수 있는 것으로 본 발명의 기술적 사상들은 반드시 도면에 국한되지 않는다.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 투광 부재(30)는, 챔버(C)에 설치되고, 상기 챔버(C)의 외부에 설치된 제 1 광원(10)의 제 1 조사광(1-1)이 상기 챔버(C) 내부의 대상물(P)에 도달될 수 있도록 그 입사면(30a)이 상기 제 1 조사광(1-1)을 통과시키고, 상기 대상물(P)을 카메라로 촬영할 수 있도록 상기 입사면(30a)의 반대면이 상기 대상물(P)에서 반사된 검출광(1-2)을 통과시킬 수 있는 투광 부재(30)에 있어서, 상기 입사면(30a)은, 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향에 수직을 이루는 평면을 기준으로 상기 각도(K1)로 경사지게 설치될 수 있다.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 뷰포트를 갖는 챔버(C)는, 챔버 내부의 상태를 챔버의 외부에서 확인할 수 있도록 뷰포트를 갖는 것으로서, 상기 뷰포트는, 챔버(C)에 설치되고, 상기 챔버(C)의 외부에 설치된 제 1 광원(10)의 제 1 조사광(1-1)이 상기 챔버(C) 내부의 대상물(P)에 도달될 수 있도록 그 입사면(30a)이 상기 제 1 조사광(1-1)을 통과시키고, 상기 대상물(P)을 카메라로 촬영할 수 있도록 상기 입사면(30a)의 반대면이 상기 대상물(P)에서 반사된 검출광(1-2)을 통과시킬 수 있는 투광 부재(30)를 포함하고, 상기 입사면(30a)은, 상기 제 1 조사광(1-1)의 진행 방향에 수직을 이루는 평면을 기준으로 상기 각도(K1)로 경사지게 설치될 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

1-1: 제 1 조사광
1-2: 검출광
2: 제 2 조사광
10: 제 1 광원
20: 광학 장치
30, 31, 32, 33, 34, 35: 투광 부재
40: 카메라
50: 카메라 제어부
60: 디스플레이 장치
70: 제 2 광원
100: 기판 처리 장치
200: 처리기
1000: 기판 처리 장치

Claims (16)

1. 제 1 조사광을 발생시키는 제 1 광원;
   상기 제 1 조사광을 대상물 방향으로 안내하는 광학 장치;
   외부의 상기 제 1 조사광이 내부의 상기 대상물에 도달될 수 있도록 상기 제 1 조사광을 통과시키는 투광 부재를 갖는 챔버; 및
   상기 투광 부재를 통과한 제 1 조사광이 상기 대상물에서 상기 투광 부재 방향으로 반사되어 상기 광학 장치를 통과한 검출광을 촬영하는 카메라;를 포함하고,
   상기 투광 부재는, 상기 제 1 조사광의 진행 방향에 수직을 이루는 평면을 기준으로 그 입사면이 경사지게 설치되고,
   상기 투광 부재는, 제 1 조사광의 입사면이 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사진 경사부가 전체적으로 형성되고, 상기 입사면의 반대면은 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루게 설치되는 다중 두께형 판재인, 기판 처리 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 제 1 조사광을 발생시키는 제 1 광원;
   상기 제 1 조사광을 대상물 방향으로 안내하는 광학 장치;
   외부의 상기 제 1 조사광이 내부의 상기 대상물에 도달될 수 있도록 상기 제 1 조사광을 통과시키는 투광 부재를 갖는 챔버; 및
   상기 투광 부재를 통과한 제 1 조사광이 상기 대상물에서 상기 투광 부재 방향으로 반사되어 상기 광학 장치를 통과한 검출광을 촬영하는 카메라;를 포함하고,
   상기 투광 부재는, 상기 제 1 조사광의 진행 방향에 수직을 이루는 평면을 기준으로 그 입사면이 경사지게 설치되고,
   상기 투광 부재는, 제 1 조사광의 입사면이 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사진 경사부가 부분적으로 형성되는, 기판 처리 장치.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 투광 부재의 제 1 조사광의 입사면은,
   상기 경사부를 중심으로 일측에 설치되고, 제 1 높이를 갖는 제 1 평면부; 및 상기 경사부를 중심으로 타측에 설치되고, 제 2 높이를 갖는 제 2 평면부;
   를 포함하는, 기판 처리 장치.
8. 제 6 항에 있어서,
   상기 투광 부재의 제 1 조사광의 입사면은, 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사진 경사부가 내부에 형성되는 경사홈부를 포함하는, 기판 처리 장치.
9. 제 6 항에 있어서,
   상기 투광 부재의 제 1 조사광의 입사면은, 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사진 경사부가 형성되는 경사돌기부를 포함하는, 기판 처리 장치.
10. 제 1 항 및 제 6 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 투광 부재는, 석영(quartz) 재질인, 기판 처리 장치.
11. 제 1 항 및 제 6 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 광원은, 그린(green) LED인, 기판 처리 장치.
12. 제 1 항 및 제 6 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광학 장치는, 적어도 하프 미러, 볼록 렌즈, 오목 렌즈, 광필터, 봉상 렌즈, 광 스플리터(splitter), 광섬유, 프리즘, 줌렌즈, 반사경 및 이들의 조합 중 어느 하나 이상을 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
13. 제 1 항 및 제 6 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 챔버는, 기판 처리용 챔버이고,
    상기 대상물은, 기판 또는 마스크의 얼라인 마크인, 기판 처리 장치.
14. 제 1 조사광을 발생시키는 제 1 광원;
    상기 제 1 조사광을 대상물 방향으로 안내하는 광학 장치;
    외부의 상기 제 1 조사광이 내부의 상기 대상물에 도달될 수 있도록 상기 제 1 조사광을 통과시키는 투광 부재를 갖는 챔버;
    상기 투광 부재를 통과한 제 1 조사광이 상기 대상물에서 상기 투광 부재 방향으로 반사되어 상기 광학 장치를 통과한 검출광을 촬영하는 카메라; 및
    상기 제 1 조사광의 진행축 또는 상기 제 1 조사광의 진행축의 인근에 설치되고, 제 2 조사광을 발생시키는 제 2 광원;을 포함하고,
    상기 투광 부재는, 상기 제 1 조사광의 진행 방향에 수직을 이루는 평면을 기준으로 그 입사면이 경사지게 설치되고,
    상기 제 2 광원은, 가운데에 상기 제 1 조사광이 통과할 수 있는 개구가 형성되고, 상기 제 1 조사광을 둘러싸는 링 형상의 광학 부재이고, 상기 광학 부재는 블루(blue) LED를 포함하는, 기판 처리 장치.
15. 뷰포트를 갖는 챔버에 있어서,
    상기 뷰포트는,
    챔버에 설치되고, 상기 챔버의 외부에 설치된 제 1 광원의 제 1 조사광이 상기 챔버 내부의 대상물에 도달될 수 있도록 그 입사면이 상기 제 1 조사광을 통과시키고, 상기 대상물을 카메라로 촬영할 수 있도록 상기 입사면의 반대면이 상기 대상물에서 반사된 검출광을 통과시킬 수 있는 투광 부재;를 포함하고,
    상기 입사면은, 상기 제 1 조사광의 진행 방향에 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사지게 설치되고,
    상기 투광 부재는, 제 1 조사광의 입사면이 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사진 경사부가 전체적으로 형성되고, 상기 입사면의 반대면은 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루게 설치되는 다중 두께형 판재인, 뷰포트를 갖는 챔버.
16. 뷰포트를 갖는 챔버에 있어서,
    상기 뷰포트는,
    챔버에 설치되고, 상기 챔버의 외부에 설치된 제 1 광원의 제 1 조사광이 상기 챔버 내부의 대상물에 도달될 수 있도록 그 입사면이 상기 제 1 조사광을 통과시키고, 상기 대상물을 카메라로 촬영할 수 있도록 상기 입사면의 반대면이 상기 대상물에서 반사된 검출광을 통과시킬 수 있는 투광 부재;를 포함하고,
    상기 투광 부재는, 상기 제 1 조사광의 진행 방향에 수직을 이루는 평면을 기준으로 그 입사면이 경사지게 설치되고,
    상기 투광 부재는, 제 1 조사광의 입사면이 상기 제 1 조사광의 진행 방향과 수직을 이루는 평면을 기준으로 경사진 경사부가 부분적으로 형성되는, 뷰포트를 갖는 챔버.

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