JP5569922B2 - ロータリアクチュエータ - Google Patents
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Description
1a:偏心負荷
2:ロータリアクチュエータ
21:空気圧アクチュエータ
22:電磁アクチュエータ
23:ロータリエンコーダ
24:圧力センサ
211:ステータ
211a、211b:ベーン
212:ロータ
212a、212b:ベーン
213a、213b、214a、214b:圧力室
215、216:サーボバルブ
217:間隙
221a、221b:ヨーク
222a、222b:永久磁石
223a、223b:コイル
3:制御回路
31:目標トルク演算器
32:増幅器
33:反転器
34:誤差演算器
35:PID制御器
36:増幅器
37:減算器
38:PI制御器
39:乗算器
40:加算器
4:支持台
Claims (4)
- 制御対象に結合されるベーン形揺動アクチュエータと、
前記制御対象に結合されるボイスコイルモータと
を具備し、
前記ベーン形揺動アクチュエータが、
2つのベーンを有するステータと、
前記制御対象に結合される2つのベーンを有するロータと
を具備し、前記ステータのベーンと前記ロータのベーンとが複数の圧力室を形成し、
前記ボイスコイルモータが、
ヨークと、
該ヨークに結合された永久磁石と、
前記ベーン形揺動アクチュエータの前記ロータに結合され、前記永久磁石が発生する一様磁界中を交差したコイルと
を具備するロータリアクチュエータ。 - 前記ベーン形揺動アクチュエータの前記ステータと前記ロータとの間が非接触シールである請求項1に記載のロータリアクチュエータ。
- さらに、
前記ベーン形揺動アクチュエータの前記ロータの角度を検出するロータリエンコーダと、
目標トルクに応じて前記ベーン形揺動アクチュエータの圧力室の圧力差を制御し、かつ角度指令値に応じて前記ボイスコイルモータの前記コイルの電流を制御して前記ロータリエンコーダの角度出力が前記角度指令値となるように制御する制御回路と
を具備する請求項1に記載のロータリアクチュエータ。 - さらに、
前記ベーン形揺動アクチュエータの圧力室の圧力差を検出する圧力センサを具備し、
前記制御回路が前記圧力センサの圧力差により前記目標トルクの誤差を補償しかつ前記ロータリエンコーダの角度出力と前記角度指令値との誤差を補償する請求項3に記載のロータリアクチュエータ。
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