JP5568481B2 - 3端子の複数回プログラム可能なメモリのビットセル及びアレイ構成 - Google Patents
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- 第1の金属間誘電体層であって、当該第1の金属間誘電体層内にメタライズ構造を有する第1の金属間誘電体層と、
上記メタライズ構造より上に配置された第1の電極と、
上記第1の電極より上に配置された第2の電極と、
上記第2の電極より下に配置された絶縁層と、
上記第2の電極と上記第1の電極との間に置かれたカンチレバーに、キャビティ内において接続されたカンチレバー電極とを備え、
上記絶縁層は、上記第2の電極の下層に接触し、
上記第2の電極は、上記キャビティに接し、上記カンチレバーは、上記第1の電極に接触された部分に電気的に接続される装置。 - 上記第2の電極は電気的に絶縁された部分を備え、当該部分において上記カンチレバーは上記第2の電極に接触する請求項1の装置。
- 上記カンチレバーは電気的に絶縁された部分を備え、当該部分において上記第2の電極は上記カンチレバーに接触する請求項1の装置。
- 上記第1の電極に接続されたスイッチング手段をさらに備え、
上記スイッチング手段は、NMOSトランジスタを備えた請求項1の装置。 - 上記第1の電極に接続されたスイッチング手段をさらに備え、
上記スイッチング手段は、PMOSトランジスタを備えた請求項1の装置。 - 上記第1の電極に接続されたスイッチング手段をさらに備え、
上記スイッチング手段は、パスゲートを備えた請求項1の装置。 - 上記第1の電極に接続されたスイッチング手段をさらに備え、
上記スイッチング手段はスイッチを備え、
上記スイッチは、第1のノードと、第2のノードと、制御ノードとを備え、
上記第1のノードは上記第1の電極に接続された請求項1の装置。 - 上記第1の電極に接続されたスイッチング手段をさらに備え、
上記スイッチング手段は、MEMSスイッチを備えた請求項1の装置。 - 密閉されたキャビティに封入された装置であって、
第1の電極と、
上記第1の電極より下に配置された第2の電極と、
上記第2の電極と上記第1の電極との間に置かれたカンチレバーに接続されたカンチレバー電極とを備え、
上記カンチレバーが上記第1の電極に接触する接触領域において、上記カンチレバーと
上記第1の電極とは電気的に絶縁され、
上記第2の電極は、上記キャビティに接し、上記カンチレバーは、上記第1の電極に接触された部分に電気的に接続される装置。 - 上記第1の電極は電気的に絶縁された部分を備え、当該部分において上記カンチレバーは上記第1の電極に接触する請求項9の装置。
- 上記カンチレバーは電気的に絶縁された部分を備え、当該部分において上記第1の電極は上記カンチレバーに接触する請求項9の装置。
- 上記第2の電極に接続されたスイッチング手段をさらに備え、
上記スイッチング手段は、NMOSトランジスタを備えた請求項9の装置。 - 上記第2の電極に接続されたスイッチング手段をさらに備え、
上記スイッチング手段は、PMOSトランジスタを備えた請求項9の装置。 - 上記第2の電極に接続されたスイッチング手段をさらに備え、
上記スイッチング手段は、パスゲートを備えた請求項9の装置。 - 上記第2の電極に接続されたスイッチング手段をさらに備え、
上記スイッチング手段はスイッチを備え、
上記スイッチは、第1のノードと、第2のノードと、制御ノードとを備え、
上記第1のノードは上記第2の電極に接続された請求項9の装置。 - 上記第2の電極に接続されたスイッチング手段をさらに備え、
上記スイッチング手段は、MEMSスイッチを備えた請求項9の装置。 - 上記密閉されたキャビティは、CMOSプロセスのバックエンドオブラインに組み込まれた請求項9の装置。
- 上記カンチレバーが上記第2の電極に接触する位置に、上記第2の電極上に配置された電気的に絶縁された層をさらに備えた請求項1記載の装置。
- 上記カンチレバー上に配置された電気的に絶縁された層をさらに備えた請求項1記載の装置。
- 上記キャビティは密閉され、CMOSプロセスのバックエンドオブラインに組み込まれた請求項1の装置。
- 上記第2の電極より上に配置され、上記キャビティを密閉する第2の金属間誘電体層をさらに備えた請求項1記載の装置。
- 上記第2の金属間誘電体層より上に配置された保護層をさらに備えた請求項21記載の装置。
- 上記保護層は、二酸化ケイ素及び窒化ケイ素からなるグループから選択された金属を備えた請求項22記載の装置。
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US6625047B2 (en) * | 2000-12-31 | 2003-09-23 | Texas Instruments Incorporated | Micromechanical memory element |
US6465280B1 (en) * | 2001-03-07 | 2002-10-15 | Analog Devices, Inc. | In-situ cap and method of fabricating same for an integrated circuit device |
US7259410B2 (en) * | 2001-07-25 | 2007-08-21 | Nantero, Inc. | Devices having horizontally-disposed nanofabric articles and methods of making the same |
US6924538B2 (en) * | 2001-07-25 | 2005-08-02 | Nantero, Inc. | Devices having vertically-disposed nanofabric articles and methods of making the same |
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US20040238907A1 (en) * | 2003-06-02 | 2004-12-02 | Pinkerton Joseph F. | Nanoelectromechanical transistors and switch systems |
US7095645B2 (en) * | 2003-06-02 | 2006-08-22 | Ambient Systems, Inc. | Nanoelectromechanical memory cells and data storage devices |
US7211854B2 (en) * | 2003-06-09 | 2007-05-01 | Nantero, Inc. | Field effect devices having a gate controlled via a nanotube switching element |
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US7352607B2 (en) * | 2005-07-26 | 2008-04-01 | International Business Machines Corporation | Non-volatile switching and memory devices using vertical nanotubes |
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KR100834829B1 (ko) * | 2006-12-19 | 2008-06-03 | 삼성전자주식회사 | 멀티 비트 전기 기계적 메모리 소자 및 그의 제조방법 |
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