JP5566618B2 - GaN系半導体素子 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 158
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 445
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 31
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 18
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 14
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 12
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000001603 reducing effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 62
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 20
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 description 14
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 12
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 7
- 239000004047 hole gas Substances 0.000 description 6
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 5
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 4
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 description 1
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004140 HfO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
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- H01L29/0847—Source or drain regions of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate
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- H01L29/0657—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape of the body
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42356—Disposition, e.g. buried gate electrode
- H01L29/4236—Disposition, e.g. buried gate electrode within a trench, e.g. trench gate electrode, groove gate electrode
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
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- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66446—Unipolar field-effect transistors with an active layer made of a group 13/15 material, e.g. group 13/15 velocity modulation transistor [VMT], group 13/15 negative resistance FET [NERFET]
- H01L29/66462—Unipolar field-effect transistors with an active layer made of a group 13/15 material, e.g. group 13/15 velocity modulation transistor [VMT], group 13/15 negative resistance FET [NERFET] with a heterojunction interface channel or gate, e.g. HFET, HIGFET, SISFET, HJFET, HEMT
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7786—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
- H01L29/7787—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT with wide bandgap charge-carrier supplying layer, e.g. direct single heterostructure MODFET
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- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42372—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out
- H01L29/42376—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out characterised by the length or the sectional shape
Description
この構成によれば、表面層として電子供給層よりもAl組成比が小さいAlGaNを用いることで、表面層と絶縁膜間の界面準位が低減され、電流コラプスを低減することができる。
この構成によれば、電子供給層は、基板側ではドリフト層とヘテロ接合構造を構成して2次元電子ガス層を発生させ、表面側では表面層をかねることで絶縁膜との間の界面準位密度を低減することができる。
前記第1の絶縁膜とは別の絶縁膜であって、電流コラプス低減効果のある第2の絶縁膜が前記電子供給層表面上の前記ドレインに相当する部分に形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、電子供給層上には電流コラプス低減効果のある第2の絶縁膜が形成されているため、界面準位が低減され、電流コラプスを低減することができる。
この構成によれば、第1の絶縁膜として絶縁破壊耐圧が大きいSiO2やAl2O3などの材料を用いることで、電流コラプス対策を行ったためにゲート耐圧が低減するといったトレードオフを回避することができる。
本発明によれば、ノーマリオフ型で、小さいオン抵抗を維持しながら閾値の制御を容易にしたGaN系半導体素子を実現することができる。
(第1実施形態)
第1実施形態に係る電界効果トランジスタ(GaN系半導体素子)20を、図1に基づいて説明する。
ゲート電極Gに順方向に閾値以上の電圧が印加されていないゲート開放時には、npn積層構造9のp型(In)GaN層6に反転層Bが形成されておらず、npn積層構造9の開口部側壁部分にチャネルが形成されていない。これと共に、ゲート電極G直下のチャネル層(アンドープGaN層)3に反転層Aが形成されていない。このため、ゲート開放時にはドレイン電流が流れない。
○ゲート電極Gに順方向に閾値以上の電圧が印加されていないゲート開放時には、上述したように反転層Aと反転層Bが形成されず、ドレイン電流が流れない。一方、ゲート電極Gに順方向に閾値以上の電圧を印加すると、上述したように反転層Aと反転層Bが形成されることで、ドレイン電流が流れる。これにより、実効的にノーマリオフになるGaN系電界効果トランジスタが得られる。
図4は、第2実施形態に係る電界効果トランジスタ20Aを示している。
この電界効果トランジスタ20Aの特徴は、次の構成にある。
○ゲート電極Gに逆方向に閾値以上の電圧が印加されていないゲート開放時には、反転層Aと反転層Bが形成されず、ドレイン電流が流れない。一方、ゲート電極Gに逆方向に閾値以上の電圧を印加すると、pnp積層構造19のn型GaN層46に反転層Bが形成されると共に、ゲート電極G直下のアンドープGaN層34に反転層Aが形成される。これにより、ドレイン電極Dから供給されるホールは、図4の矢印で示す経路でソース電極S側へ移動し、ドレイン電流が流れる。これにより、実効的にノーマリオフになるGaN系電界効果トランジスタが得られる。
図5は、第3実施形態に係る電界効果トランジスタ20Bを示している。
この電界効果トランジスタ20Bの特徴は、次の構成にある。
図6は、第4実施形態に係る電界効果トランジスタ20Cを示している。
この電界効果トランジスタ20Cの特徴は、次の構成にある。
(1)図1に示す上記第1実施形態に係る電界効果トランジスタ20において、上記半導体層は、サファイア(0001)基板1の上に形成されたp型のGaN系化合物半導体材料からなるチャネル層3と、チャネル層3に形成され、チャネル層3よりもバンドギャップエネルギーが大きいGaN系化合物半導体材料からなる電子供給層4とを備える。
(2)npn積層構造9が電子供給層4上のソースに相当する部分に形成され、電子供給層4上のドレインに相当する部分に電子供給層4よりバンドギャップエネルギーが小さいGaN系化合物半導体材料からなる表面層50が形成されている。
(3)絶縁膜8が、npn積層構造9、表面層50および電子供給層4の一部を除去して表出させたチャネル層3の表面を底面とするリセス部としての開口部11の内表面上および表面層50上に形成されている。
その他の構成は、上記第1実施形態に係る電界効果トランジスタ20と同様である。
電子供給層4上に、電子供給層4のGaN系半導体材料よりバンドギャップエネルギーが小さいGaN系化合物半導体材料からなる表面層50が形成され、この表面層50上に絶縁膜8が形成されている。このため、電子供給層4上に絶縁膜が直接形成されている場合と比べて界面準位密度が低減され、電流コラプスの発生を抑制することができる。従って、耐圧が高く、オン抵抗が低く、電流コラプスによる特性変動の影響を受けにくい電界効果トランジスタを実現できる。
図7は、第5実施形態に係る電界効果トランジスタ20Dを示している。
この電界効果トランジスタ20Dの特徴は、次の構成にある。
(1)図1に示す上記第1実施形態に係る電界効果トランジスタ20において、上記電子供給層4に代えて電子供給層4Aを用いている。この電子供給層4Aは、AlzGa1-zN(0≦z<1)であり、Al組成比zが表面側に行くにつれて小さくなり、電子供給層4Aの最表面においてn型またはアンドープのGaNからなる表面層50Aとなる。つまり、電子供給層4Aが基板1側から徐々にAl組成比が小さくなるAlGaNからなっており、電子供給層4Aの表面側は表面層50Aを兼ねている。
このような構成とすることで、電子供給層406は、基板406側ではドリフト層とヘテロ接合構造を構成して2次元電子ガス層を発生させ、表面側では表面層をかねることで絶縁膜(ゲート絶縁膜411)との間の界面準位密度を低減することができる。
図8は、第6実施形態に係る電界効果トランジスタ20Eを示している。
この電界効果トランジスタ20Eの特徴は、次の構成にある。
(1)図1に示す上記第1実施形態に係る電界効果トランジスタ20において、上記半導体層は、サファイア(0001)基板1の上に形成されたp型のGaN系化合物半導体材料からなるチャネル層3と、チャネル層3に形成され、チャネル層3よりもバンドギャップエネルギーが大きいGaN系化合物半導体材料からなる電子供給層4とを備える。
(2)絶縁膜8に代えて、第1の絶縁膜8Aが、npn積層構造及9及び電子供給層4の一部を除去して表出させたチャネル層3の表面を底面とするリセス部である開口部11の内表面上に形成されている。
(3)第1の絶縁膜8Aとは別の絶縁膜であって、電流コラプス低減効果のある第2の絶縁膜60が電子供給層4表面上のドレインに相当する部分に形成されている。
(4)第1の絶縁膜8Aは、第2の絶縁膜60よりも絶縁破壊耐圧が大きい材料からなる。
また、第1の絶縁膜8Aとして絶縁破壊耐圧が大きいSiO2やAl2O3などの材料を用いることで、電流コラプス対策を行ったためにゲート耐圧が低減するといったトレードオフを回避することができる。
・上記各実施形態では、導電性のGaN系半導体層として、アンドープGaN層(チャネル層3)とアンドープAlGaN層(電子供給層4)をヘテロ接合させたものを用い、ヘテロ接合界面の直下に2次元電子ガス10を発生させて、チャネル層3が導電性を示すようにしていた。しかしながら、チャネル層は、アンドープGaN層(チャネル層3)とアンドープAlGaN層(電子供給層4)のヘテロ接合構造に限らず、導電性を示すGaN系半導体層であれば何でも良い。例えば、チャネル層3をp型のGaN系化合物半導体材料で構成したものであってもよい。
・図6に示す上記第4実施形態に係る電界効果トランジスタ20Cおいて、GaN系化合物半導体材料からなる表面層50をAlGaNからなる層とし、この表面層50のAl組成比をAlGaNからなる電子供給層4のAl組成比よりも小さくした構成の電界効果トランジスタにも本発明は適用可能である。つまり、この電界効果トランジスタでは、表面層がAlxGa1-xNであり、電子供給層がAlyGa1-yN(ただし、x<y)である。このような表面層3を得るためには、ドリフト層12上にAl組成が25%のAlGaNからなる電子供給層4をエピタキシャル成長させ、さらに、電子供給層4上にAl組成が5%のAlGaNからなる表面層をエピタキシャル成長させる。
このように、表面層として電子供給層よりもAl組成比が小さいAlGaNを用いることで、表面層と絶縁膜(ゲート絶縁膜)8間の界面準位が低減され、電流コラプスを低減することができる。表面層として用いるAlGaNのAl組成比は、0%より大きく、15%以下が好ましい。
S…ソース電極
D…ドレイン電極
G…ゲート電極
1…サファイア(0001)基板
2…バッファ層
3…チャネル層(アンドープGaN層)
4…電子供給層(AlGaN層)
5…n型GaN層(n型層)
6…p型(In)GaN層(p型層)
7…n型GaN層(n型層)
8…絶縁膜
8A…第1の絶縁膜
9…npn積層構造(第1のnpn積層構造)
10…二次元電子ガス層
11…開口部(リセス部)
12,120…ドリフト層
19…pnp積層構造
20,20A,20B…電界効果トランジスタ(GaN系半導体素子)
29…第2のnpn積層構造
44…チャネル層(p型InGaN層)
45…p型GaN層(p型層)
46…n型GaN層(n型層)
47…p型GaN層(p型層)
50,50A…表面層
60…第2の絶縁膜
100…二次元ホールガス層
Claims (11)
- GaN系半導体からなる導電性の半導体層と、
前記半導体層上の一部に積層された、GaN系半導体からなる第1のnpn積層構造と、
前記npn積層構造上に形成されたソース電極と、
前記半導体層上に形成されたドレイン電極と、
少なくとも前記npn積層構造の側壁部分、および前記半導体層上の他の部分に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成されたゲート電極と、
を備えるGaN系半導体素子であって、
前記半導体層は、第1のGaN系半導体からなるチャネル層と、該チャネル層上に形成され、前記第1のGaN系半導体よりも大きいバンドギャップエネルギーを持つ第2のGaN系半導体からなる電子供給層とを有するヘテロ接合構造であり、
前記ゲート電極は、前記チャネル層および前記npn積層構造上に形成され、かつ前記チャネル層および前記npn積層構造に反転層を形成するものであり、
前記電子供給層は、前記他の部分の一部に前記チャネル層に達する深さの開口部を備え、該開口部に前記絶縁膜を介して前記ゲート電極が形成されていることを特徴とするGaN系半導体素子。 - 前記半導体層はp型またはアンドープのGaN系半導体からなるチャネル層と、前記チャネル層上に形成されたn型のGaN系半導体からなるドリフト層とを備えることを特徴とする請求項1に記載のGaN系半導体素子。
- GaN系半導体からなる導電性の半導体層と、
前記半導体層上の一部に積層された、GaN系半導体からなる第1のnpn積層構造と、
前記npn積層構造上に形成されたソース電極と、
前記半導体層上に形成されたドレイン電極と、
少なくとも前記npn積層構造の側壁部分、および前記半導体層上の他の部分に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成されたゲート電極と、
を備えるGaN系半導体素子であって、
前記半導体層は、第1のGaN系半導体からなるチャネル層と、該チャネル層上に形成され、前記第1のGaN系半導体よりも大きいバンドギャップエネルギーを持つ第2のGaN系半導体からなる電子供給層とを有するヘテロ接合構造であり、
前記ゲート電極は、前記チャネル層および前記npn積層構造上に形成され、かつ前記チャネル層および前記npn積層構造に反転層を形成するものであり、
前記半導体層上のドレインに相当する部分に、該半導体層側から順にn型層,p型層およびn型層が積層された第2のnpn積層構造、及び該第2のnpn積層構造上に前記ドレイン電極を備え、
前記第1のnpn積層構造の側壁部分と、前記半導体層上のゲートに相当する部分と、前記第2のnpn積層構造の側壁部分とを覆う前記絶縁膜を備えていることを特徴とするGaN系半導体素子。 - 前記電子供給層上であって、ドレインに相当する部分に前記電子供給層よりバンドギャップエネルギーが小さいGaN系化合物半導体からなる表面層が形成され、
前記絶縁膜が、前記積層構造の側壁部分、前記表面層および前記電子供給層の他の部分の一部を除去して表出させた前記チャネル層の表面を底面とするリセス部の内表面上に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のGaN系半導体素子。 - 前記電子供給層と前記チャネル層との間に、前記電子供給層よりもバンドギャップエネルギーが小さく、前記チャネル層より不純物濃度の低いp型またはアンドープのGaN系化合物半導体材料からなるドリフト層を備えていることを特徴とする請求項4に記載のGaN系半導体素子。
- 前記表面層がn型またはアンドープのGaNであることを特徴とする請求項4または5に記載のGaN系半導体素子。
- 前記表面層がAlxGa1-xNであり、前記電子供給層がAlyGa1-yN(ただし、x<y)であることを特徴とする請求項4乃至6のいずれか1項に記載のGaN系半導体素子。
- 前記電子供給層がAlzGa1-zN(0≦z<1)であり、Al組成比zが表面側に行くにつれて小さくなり、前記電子供給層の最表面においてn型またはアンドープのGaNからなる表面層となることを特徴とする請求項5に記載のGaN系半導体素子。
- GaN系半導体からなる導電性の半導体層と、
前記半導体層上の一部に積層された、GaN系半導体からなる第1のnpn積層構造と、
前記npn積層構造上に形成されたソース電極と、
前記半導体層上に形成されたドレイン電極と、
少なくとも前記npn積層構造の側壁部分、および前記半導体層上の他の部分に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成されたゲート電極と、
を備えるGaN系半導体素子であって、
前記半導体層は、第1のGaN系半導体からなるチャネル層と、該チャネル層上に形成され、前記第1のGaN系半導体よりも大きいバンドギャップエネルギーを持つ第2のGaN系半導体からなる電子供給層とを有するヘテロ接合構造であり、
前記ゲート電極は、前記チャネル層および前記npn積層構造上に形成され、かつ前記チャネル層および前記npn積層構造に反転層を形成するものであり、
前記チャネル層は、基板の上に形成されたp型のGaN系化合物半導体材料からなり、
前記積層構造が前記電子供給層上のソースに相当する部分に形成され、
前記絶縁膜である第1の絶縁膜が、前記積層構造及び前記電子供給層の一部を除去して表出させた前記チャネル層の表面を底面とするリセス部の内表面上に形成され、
前記第1の絶縁膜とは別の絶縁膜であって、電流コラプス低減効果のある第2の絶縁膜が前記電子供給層表面上の前記ドレインに相当する部分に形成されていることを特徴とするGaN系半導体素子。 - 前記第1の絶縁膜は、前記第2の絶縁膜よりも絶縁破壊耐圧が大きい材料からなることを特徴とする請求項9に記載のGaN系半導体素子。
- GaN系半導体からなる導電性の半導体層と、
前記半導体層上の一部に積層された、GaN系半導体からなるpnp積層構造と、
前記pnp積層構造上に形成されたソース電極と、
前記半導体層上に形成されたドレイン電極と、
少なくとも前記pnp積層構造の側壁と、前記半導体層上のゲートに相当する部分とを覆うように形成された絶縁膜と、
前記半導体層上に前記絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、を備えるGaN系半導体素子であって、
前記半導体層は、第1のGaN系半導体からなるチャネル層と、該チャネル層下に形成され、前記第1のGaN系半導体よりも大きいバンドギャップエネルギーを持つ第2のGaN系半導体からなるキャリア供給層とを有するヘテロ接合構造であり、
前記ゲート電極は、前記キャリア供給層および前記pnp積層構造上に形成され、かつ前記キャリア供給層および前記pnp積層構造に反転層を形成するものであり、
前記チャネル層は、前記他の部分の一部に前記キャリア供給層に達する深さの開口部を備え、該開口部に前記絶縁膜を介して前記ゲート電極が形成されていることを特徴とするGaN系半導体素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009050749A JP5566618B2 (ja) | 2008-03-07 | 2009-03-04 | GaN系半導体素子 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008057344 | 2008-03-07 | ||
JP2008057344 | 2008-03-07 | ||
JP2009050749A JP5566618B2 (ja) | 2008-03-07 | 2009-03-04 | GaN系半導体素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009239275A JP2009239275A (ja) | 2009-10-15 |
JP5566618B2 true JP5566618B2 (ja) | 2014-08-06 |
Family
ID=41252800
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009050749A Active JP5566618B2 (ja) | 2008-03-07 | 2009-03-04 | GaN系半導体素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7812371B2 (ja) |
JP (1) | JP5566618B2 (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2010016564A1 (ja) * | 2008-08-07 | 2012-01-26 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
JP5653607B2 (ja) * | 2008-11-26 | 2015-01-14 | 古河電気工業株式会社 | GaN系電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
JP5566670B2 (ja) * | 2008-12-16 | 2014-08-06 | 古河電気工業株式会社 | GaN系電界効果トランジスタ |
JP5530682B2 (ja) * | 2009-09-03 | 2014-06-25 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体装置 |
KR101821642B1 (ko) * | 2010-06-24 | 2018-01-24 | 더 유니버시티 오브 셰필드 | 반도체 소자 |
JP5655413B2 (ja) * | 2010-07-29 | 2015-01-21 | 住友電気工業株式会社 | 半導体装置 |
JP5747245B2 (ja) * | 2010-10-14 | 2015-07-08 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
WO2012160757A1 (ja) * | 2011-05-20 | 2012-11-29 | パナソニック株式会社 | ショットキーダイオード |
JP5765147B2 (ja) * | 2011-09-01 | 2015-08-19 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
US8716716B2 (en) * | 2011-12-22 | 2014-05-06 | Avogy, Inc. | Method and system for junction termination in GaN materials using conductivity modulation |
US9484418B2 (en) | 2012-11-19 | 2016-11-01 | Delta Electronics, Inc. | Semiconductor device |
TWI496285B (zh) * | 2012-12-07 | 2015-08-11 | Richtek Technology Corp | 高電子遷移率電晶體及其製造方法 |
KR102071019B1 (ko) * | 2013-05-10 | 2020-01-29 | 서울반도체 주식회사 | 노멀리 오프 타입 트랜지스터 및 그 제조방법 |
KR101480068B1 (ko) * | 2013-10-18 | 2015-01-09 | 경북대학교 산학협력단 | 질화물 반도체 소자 및 그 제조방법 |
JP6229501B2 (ja) * | 2014-01-08 | 2017-11-15 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
US10090406B2 (en) * | 2014-09-18 | 2018-10-02 | Infineon Technologies Austria Ag | Non-planar normally off compound semiconductor device |
ITUB20155862A1 (it) | 2015-11-24 | 2017-05-24 | St Microelectronics Srl | Transistore di tipo normalmente spento con ridotta resistenza in stato acceso e relativo metodo di fabbricazione |
JP6361800B2 (ja) * | 2017-07-18 | 2018-07-25 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
JP7047615B2 (ja) | 2018-06-13 | 2022-04-05 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体デバイスの製造方法 |
FR3083647B1 (fr) | 2018-07-03 | 2021-11-19 | Commissariat Energie Atomique | Transistor a heterojonction de type normalement ouvert a resistance de passage reduite |
US10756207B2 (en) * | 2018-10-12 | 2020-08-25 | Transphorm Technology, Inc. | Lateral III-nitride devices including a vertical gate module |
DE102019212645A1 (de) * | 2019-08-23 | 2021-02-25 | Robert Bosch Gmbh | Vertikaler feldeffekttransistor und verfahren zum herstellen desselben |
JP7331783B2 (ja) * | 2020-05-29 | 2023-08-23 | 豊田合成株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
CN113644128A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-11-12 | 西安电子科技大学 | 一种槽栅多沟道结构GaN基高电子迁移率晶体管及制作方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000208760A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 電界効果トランジスタ |
JP4865189B2 (ja) | 2002-02-21 | 2012-02-01 | 古河電気工業株式会社 | GaN系電界効果トランジスタ |
JP2008053448A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Rohm Co Ltd | Mis型電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
JP2009044035A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Sanken Electric Co Ltd | 電界効果半導体装置 |
-
2009
- 2009-03-04 JP JP2009050749A patent/JP5566618B2/ja active Active
- 2009-03-05 US US12/382,010 patent/US7812371B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009239275A (ja) | 2009-10-15 |
US7812371B2 (en) | 2010-10-12 |
US20090278172A1 (en) | 2009-11-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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