JP5563427B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
まず、図3に示すようにワーク供給テーブル20が初期状態にあり、テーブル21が筐体18外にある状態のもとで、作業者またはワーク供給装置(図示せず)により、角柱状シリコンインゴットWKをテーブル21上にセットする。次いで、研磨装置10のコントロールパネル(図示せず)を操作して研磨装置10を作動させる。すると、ワーク供給テーブル20のワーククランプ22が角柱状シリコンインゴットWKを挟持するとともに、第1割り出し機構22aにより角柱状シリコンインゴットWKの中心軸Cおよび幅寸法Wが割り出される。
角柱状シリコンインゴットWKがセットされたワーク移動機構40は、各レール41上を滑るように移動して、ワーク搬入領域からワーク加工領域(図2参照)に移動する。その後、角柱状シリコンインゴットWKがワーク通過間隙SP内に入り、角柱状シリコンインゴットWKの移動方向先端側が各粗研磨ユニット31に対向したところでワーク移動機構40は一旦停止する。ここで、ワーク移動機構40の移動制御(位置制御)は、移動用モータ45に設けられた磁気式回転センサ等(図示せず)の検出信号に基づいて行われる。
11 基台
11a 研磨ゴミ排出孔
11b 研磨機構基台
12 調節脚
13 支柱
14 ワーク懸垂梁
15 サブ支柱
16 制御ボックス
17 研磨ゴミ受け
17a 排出口
17b 傾斜部
18 筐体
20 ワーク供給テーブル
21 テーブル
22 ワーククランプ
22a 第1割り出し機構
23 スライドレール
24 第2割り出し機構
30 ワーク研磨機構
31 粗研磨ユニット
31a 粗砥石
31b 駆動モータ
32 仕上げ研磨ユニット
32a 仕上げ砥石
32b 駆動モータ
33 移動テーブル
40 ワーク移動機構
41 レール
42 本体部
42a フランジ部
43 チャック部
44 ガイド
45 移動用モータ(移動用駆動源)
45a モータケース
45b モータ軸
45c ナット
45d 動力伝達部材
45e ネジ軸
46 固定側チャック機構
46a 固定側チャック本体
46b 固定側チャック用モータ(チャック用駆動源)
46c 固定側チャック(チャック)
47 移動側チャック機構
47a 移動側チャック本体
47b 移動側チャック用モータ(チャック用駆動源)
47c 移動側チャック(チャック)
48 スライダ機構
48a チャック用レール
48b チャック用ガイド
49 ボールネジ機構
49a 挟持用モータ(挟持用駆動源)
49b チャック用ネジ軸
49c チャック用ナット
FL 床面
SP ワーク通過間隙
WK 角柱状シリコンインゴット
Claims (5)
- 太陽電池に用いる角柱状シリコンインゴットの対向する側面および角部を研磨する研磨装置であって、
床面に設置され、前記床面の水平方向に延在する基台と、
前記基台の長手方向一側に設けられ、前記基台の短手方向に移動して前記角柱状シリコンインゴットを前記基台に供給するワーク供給テーブルと、
前記基台の長手方向他側かつ前記基台の短手方向外側に設けられ、前記角柱状シリコンインゴットの対向する側面および角部を研磨するワーク研磨機構と、
前記基台の長手方向他側に設けられ、前記ワーク研磨機構の研磨動作により生じた研磨ゴミを受止する研磨ゴミ受けと、
前記基台の上方に当該基台から所定の間隔をもって設けられ、前記基台に固定されるワーク懸垂梁と、
前記ワーク懸垂梁に取り付けられ、前記基台の長手方向に延在するレールと、
前記レールに懸垂状態で移動自在に設けられる本体部、および前記本体部の前記基台側とは反対側に設けられ、前記本体部を前記レールに沿わせて移動させる移動用駆動源を有し、前記角柱状シリコンインゴットを前記ワーク供給テーブルと前記ワーク研磨機構との間で移動させるワーク移動機構と、
前記本体部の前記基台側に設けられ、前記角柱状シリコンインゴットを長手方向両側から挟持する一対のチャックとを備えることを特徴とする研磨装置。 - 請求項1記載の研磨装置において、前記本体部の前記基台側に、前記一対のチャックのうちの少なくともいずれか一方を回転させるチャック用駆動源が設けられることを特徴とする研磨装置。
- 請求項2記載の研磨装置において、前記本体部の前記基台側に、前記一対のチャックのうちの少なくともいずれか一方を、前記角柱状シリコンインゴットに向けて移動させる挟持用駆動源が設けられることを特徴とする研磨装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の研磨装置において、前記移動用駆動源は、前記レールに近接して設けられるネジ軸にネジ結合するナットを回転駆動して前記ワーク移動機構を移動させることを特徴とする研磨装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の研磨装置において、前記研磨ゴミ受けは、当該研磨ゴミ受けに溜まった前記研磨ゴミを外部に排出する排出口と、前記研磨ゴミを前記排出口に向けて誘導する傾斜部とを備えることを特徴とする研磨装置。
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