JP5563208B2 - 研磨パッド - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェハやＬＣＤガラス基板などの被研磨物を化学的機械的研磨（Chemical Mechanical Polishing：ＣＭＰ）によって平坦化処理するための研磨パッドに関し、詳しくは、表面に研磨面が設けられ、一部分に終点検出用窓が形成された円盤状の母材と、前記終点検出用窓に備えられた透光部材とを有している研磨パッドに関する。

半導体素子は、微細化と高集積化を図るため、ＣＭＰ装置を使用して製造される。ＣＭＰ装置は、図７に示すように、水平姿勢で一方向に回転する円盤状の定盤１０と、この定盤１０の上面に重ね合わされて粘着される円盤状の研磨パッド２０と、製造途中の半導体ウェハなどの被研磨物１を下面に保持しながら研磨パッド２０に押し付ける研磨ヘッド３０と、目詰まりした研磨パッド２０の表面の目立てを行うためのコンディショナ（図示せず）を保持したドレッシング部４０とを備えている。

また、研磨用組成物（スラリー）を研磨パッド２０上に滴下するノズル５０が定盤１０の上方に配置されている。さらに、定盤１０の下方には、被研磨物１の研磨終点を測定するため、レーザ光を照射する光源（図示せず）と、被研磨物１から反射した反射光を受光するセンサ（図示せず）とが備えられている。したがって、定盤１０には、レーザ光を透過させるための終点検出用孔１１が外周側に形成されている。終点検出用孔１１は、図示したような径方向の長方形の他、周方向であったり楕円形であったり種々の形状に形成される。また、この終点検出用孔１１は、透明なガラス製の透光部材１２によって塞がれ、あるいは塞がれないままとされている。

そして、研磨パッド２０の母材２２ｂに形成された終点検出用窓２２ａには、透明な透光部材２２ｃが備えられ、終点検出用窓２２ａと透光部材２２ｃとの間に隙間がなく、かつ、研磨パッド２０に窪みが生じないようにされている。

このようなＣＭＰ装置によって被研磨物１を研磨するには、スラリーを研磨パッド２０の研磨パッド２２上に滴下し、スラリーを研磨パッド２０の表面、すなわち研磨面にキープさせつつ、ドレッシング部４０を研磨面に押し付けながら研磨ヘッド３０に保持された被研磨物１を研磨パッド２０上に押し付け、定盤１０を回転する。

しかし、研磨パッド２０は、終点検出用窓２２ａを形成した母材２２ｂと、この終点検出用窓２２ａに備えられた透光部材２２ｃとが異なる材質で形成され、両者２２ａ，２２ｂ間に隙間がなく、しかも、両者２２ｂ，２２ｃの熱膨張係数が異なっている。したがって、透光部材２２ｃは、被研磨物１の研磨の際に生じる熱やスラリーに含まれる薬品などによって歪んでしまい、応力が生じることから、透光部材２２ｃが膨らみ、凹み、皺になり、あるいは波打つなど変形してしまう。

すると、被研磨物１が均等に研磨されず、また、凹んだり、波打ったりした透光部材２２ｃの凹部にスラリーが溜まってしまうことにより、研磨終点を正確に測定することができないことから、研磨精度が低下したり、あるいは、透光部材２２ｃが母材２２ｂよりも早く磨耗したりするだけでなく、透光部材２２ｃが外れることもある。

このような不具合を解消するため、図８に示すような研磨パッド１００が特許文献１に開示されている。この研磨パッド１００は、図８に示すように、研磨層１１０とクッション層１２０とを粘着剤層１１１によって積層一体化し、一部分に貫通孔１１２，１２１を形成し、そして研磨層１１０の貫通孔１１２に透明窓材１１３を配設した窓部１１４を有しており、窓部１１４の外側の研磨層１１０に歪み吸収用溝１１５を形成したことを特徴としている。この歪み吸収用溝１１５は、図示したような研磨層１１０の表面だけでなく、裏面に形成してもよく、さらに、本数も限定しないとされている。

この研磨パッド１００は、透明窓材１１３や研磨層１１０の収縮や膨張、スラリーによる膨潤に起因する寸法変化の差による歪みが歪み吸収用溝１１５により吸収されて研磨層１１０ないし透明窓材１１３に変化が生じないとされている。

また、特許文献２には、高精度に研磨終了点を測定するため、透光窓において照射光と反射信号とが透過する部分のスラリーの層厚を極めて薄くした研磨パッドが開示されている。

この研磨パッドは、透光窓の周りに近接して窓溝部を設け、研磨パッド表面の領域から透光窓と窓溝部との領域を除く領域の全体又は一部に溝部を設け、透光窓と窓溝部と溝部とがスラリーを透光窓上面にいたらせないようにする機能、又は透光窓上面のスラリーを排出させる機能を有していることを特徴としている。

この研磨パッドによれば、前記いずれかの機能によって透光窓上のスラリーの平均層厚が薄くなることにより、照射光と反射光とが散乱しなくなり、反射信号が減少しないことから、高精度に研磨終了点を測定できるとされている。

特開２００７−１１８１０６号公報 特開２００２−１６５２号公報

特許文献１に開示された研磨パッド１００は、歪み吸収用溝１１５を形成したものであるため、この歪み吸収用溝１１５の底面と研磨層１１０の裏面又は表面との間に薄肉部１１６が形成されている。したがって、この研磨パッド１００にあっては、歪み吸収用溝１１５が薄肉部１１６に拘束される状態となるため、スラリーによる膨潤に起因する寸法変化の差による歪みが歪み吸収用溝１１５により十分に吸収されず、研磨層１１０ないし透明窓材１１３が変形してしまうこともある。

また、特許文献２に開示された研磨パッドは、透光窓と窓溝部との領域を除く領域の全体又は一部に溝部を設けたものであるが、この溝は、透光窓におけるスラリーの平均層厚が薄くなるようにするために設けられており、透光部材を変形させないようにするためのものでない。

そこで、本発明は、研磨の際に生じる熱やスラリーなどに起因する寸法変化の差などによる歪みによって透光部材が変形しないようにした研磨パッドを提供することを課題とする。

本発明に係る研磨パッドは、表面に研磨面が設けられ、一部分に終点検出用窓が形成された円盤状の母材と、前記終点検出用窓に備えられた透光部材とを有している研磨パッドであって、
前記終点検出用窓の近傍の母材に、前記母材から前記透光部材に作用する応力を緩和する応力緩和部が設けられおり、前記応力緩和部は前記透光部材の周縁から所定の間隔を有する位置上に配置される貫通部によって形成され、
前記終点検出用窓は、前記母材に形成された略長方形状の開口からなり、前記貫通部は、前記終点検出用窓の前記開口の周縁部と並行な直線上に配置されていることを特徴としている。

この研磨パッドによれば、研磨の際に生じる熱やスラリーに含まれる薬品などによって終点検出用窓の周囲の母材が歪んだとしても、応力緩和部を形成している貫通部が変形することで、透光部材に応力が生じず、透光部材が変形しないようにすることができる。なお、応力緩和部は、貫通部と貫通部の周囲の母材とによって設けられるだけでなく、後記のように貫通部と非貫通部と貫通部及び非貫通部の周囲の母材とによっても設けられるなど種々の形態を採ることができる。

また、前記本発明に係る研磨パッドにおいて、前記応力緩和部は、複数のスリットからなる貫通部及び／又は複数の貫通孔からなる貫通部と、該各貫通部間の非貫通部と、該貫通部及び該非貫通部の周囲の母材とによって設けられていることが好ましい。

この研磨パッドによれば、応力緩和部が複数のスリットからなる貫通部及び／又は複数の貫通孔からなる貫通部と、該各貫通部間の非貫通部と、該貫通部及び該非貫通部の周囲の母材とによって設けられることにより、この貫通部の周囲の母材が拘束されない状態になり、そして、透光部材が配置されている貫通部の内側の母材と透光部材が配置されていない外側の母材とが非貫通部によって分離することなく、母材を一体化したものとすることができる。

また、前記本発明に係る研磨パッドにおいて、応力緩和部は、前記貫通部に加え、溝によっても形成されていることが好ましい。

この研磨パッドによれば、応力緩和部が貫通孔と溝とによって形成されていることにより、貫通部だけでなく、溝によっても透光部材に応力が生じないようにすることができる。

また、表面に研磨面が設けられ、一部分に終点検出用窓が形成された円盤状の母材と、前記終点検出用窓に備えられた透光部材とを有している研磨パッドであって、前記母材の終点検出用窓の周縁及び／又は前記透光部材の周縁又は外周部の各表面又は裏面に、溝によって形成される応力緩和部が設けられていてもよい。

この研磨パッドによれば、研磨の際に生じる熱やスラリーに含まれる薬品などによって終点検出用窓の周囲の母材が歪んだとしても、応力緩和部を形成している溝が変形することで、透光部材に応力が生じず、透光部材が変形しないようにすることができる。そして、溝は、透光部材に隣接している母材の終点検出用窓部の周縁のみ、あるいは、母材の終点検出用窓の周縁に隣接している透光部材の周縁もしくは外周部、あるいは、母材の終点検出用窓部の周縁と透光部材の周縁とに跨った部位のそれぞれ表面又は裏面に形成されている。ここで、透光部材の外周部とは、透光部材の周縁よりも内側に一定の間隔を隔てた部位をいう。

本発明によれば、応力緩和部を設けた研磨パッドが提供されることにより、研磨パッドに備えられた透光部材が膨らみ、凹み、皺になり、あるいは波打つなど変形することがないため、研磨レートを正確に測定することができ、研磨精度が低下することがなく、さらに、透光部材が母材よりも早く磨耗したり、外れたりしないようにすることができる。

本発明に係る研磨パッドの実施形態について図１ないし図６を参照しながら説明する。ただし、従来と同一に相当する部分は同一符号を付して説明する。本発明における研磨パッド２０は、応力緩和部６０を母材２２ｂに設けたことを特徴としており、第１の実施形態ないし第３の実施形態についてそれぞれ説明する。

第１の実施形態における応力緩和部６０は、図１ないし図４に示すように透光部材２２ｃの各側縁から一定の間隔を空けて形成される貫通部６１によって設けられる。図１ないし図４には、異なる応力緩和部６０を示してある。

図１に示した応力緩和部６０は、直線状のスリットからなる４本の貫通部６１，６１，…と、隣り合っている貫通部６１，６１間に形成された４つの非貫通部６２，６２，…と、この貫通部６１，６１，…及び非貫通部６２，６２，…の周囲の母材２２ｂとによって設けられている。各貫通部６１は、終点検出用窓２２ａの各側縁と平行に形成され、非貫通部６２は、終点検出用窓２２ａの各角に対応した位置に設けられている。この研磨パッド２０は、非貫通部６２によって、貫通部６１の内側の母材２２ｂと外側の母材２２ｂとが分離せず、終点検出用窓２２ａに備えられた透光部材２２ｃが母材２２ｂに保持された状態とされている。

そして、図２（ａ）に示した応力緩和部６０も、終点検出用窓２２ａの各側縁と平行に形成された直線状のスリットからなる貫通部６１，６１，…と、隣り合っている貫通部６１，６１間に形成された非貫通部６２，６２，…と、この貫通部６１，６１，…及び非貫通部６２，６２，…の周囲の母材２２ｂとによって設けられている。ただし、各貫通部６１が図１に示した貫通部６１よりも短くされており、その分、非貫通部６２，６２，…が多数設けられている。なお、この貫通部６１は、図２（ａ）に示したものよりも短く、したがって、数多く設けることができ、図示した長さは一例であることはいうまでもない。

また、図２（ｂ）に示した応力緩和部６０における貫通部６１，６１，…は、Ｌ字形のスリットと、直線状のスリットとが組み合わされ、それぞれ終点検出用窓２２ａの各側縁と平行に形成されている。そして、この応力緩和部６０は、この貫通部６１，６１，…と、各貫通部６１，６１間の非貫通部６２と、この貫通部６１，６１，…及び非貫通部６２，６２，…の周囲の母材２２ｂによって設けられる。したがって、非貫通部６２は、終点検出用窓２２ａの角部に対応して設けられていない。なお、図２（ｂ）に示した直線状のスリットからなる貫通部６１，６１は、２か所に設けられているが、４か所以上に設けてもよい。

また、図２（ｃ）に示した応力緩和部６０は、４本のＬ字形のスリットからなる貫通部６１，６１，…と、各貫通部６１，６１間に形成された非貫通部６２と、この貫通部６１，６１，…及び非貫通部６２，６２，…周囲の母材２２ｂとによって設けられている。なお、Ｌ字形のスリットからなる貫通部６１の各辺は、終点検出用窓２２ａの各側縁と平行に形成されている。

また、図２（ｄ）に示した応力緩和部６０は、直線状のスリットによって２列に、かつ、終点検出用窓２２ａの各側縁と平行に形成された貫通部６１，６１…と、各貫通部６１間に形成された非貫通部６２と、この貫通部６１，６１，…及び非貫通部６２，６２，…周囲の母材２２ｂとによって幅広に設けられている。そして、内側の貫通部６１の各端部と外側の貫通部６１の各端部とが近接し、内側の貫通部６１と外側の貫通部６１とが並列しないようにされている。なお、この応力緩和部６０においても、Ｌ字形のスリットからなる貫通部６１を組み合わせてもよいし、直線状のスリットからなる貫通部６１，６１…は、３列以上に形成してもよい。

また、図３（ａ）（ｂ）に示した応力緩和部６０は、透光部材２２ｃを両側から挟むようにコ字形に形成されたスリットからなる２本の貫通部６１，６１と、各貫通部６１，６１間に形成された非貫通部６２と、この貫通部６１，６１，…及び非貫通部６２，６２，…の周囲の母材２２ｂとによって設けられている。また、図３（ｃ）に示した応力緩和部６０は、透光部材２２ｃを両側から挟むようにＬ字形に形成されたスリットからなる２本の貫通部６１，６１と、各貫通部６１，６１間に形成された非貫通部６２と、この貫通部６１，６１，…及び非貫通部６２，６２，…周囲の母材２２ｂとによって設けられている。なお、コ字形又はＬ字形のスリットからなる貫通部６１の各辺は、終点検出用窓２２ａの各側縁と平行に形成されている。

また、図３（ｄ）に示した応力緩和部６０は、透光部材２２ｃと平行に、すなわち一定の間隔を空けて囲む口字形に形成されたスリットからなる貫通孔６１と、この貫通孔６１の周囲の母材２２ｂとによって設けられ、非貫通部６２が形成されていない。非貫通部６２が形成されていなくても、貫通部６１より内側の母材２２ｂと透光部材２２ｃとが一体化されており、この内側の母材２２ｂ及び透光部材２２ｃの外周部が定盤１０（図７参照）上に載せられた状態となる。

なお、図１、図２（ａ）〜（ｄ）、図３（ａ）〜（ｄ）に示したスリットからなる貫通部６１は、終点検出用窓２２ａの各側縁と平行に形成された場合を示したが、それぞれの貫通部６１が斜め向いていたり、鋸歯形状ないし波形状に形成されていたり、任意の形状に形成することができる。

そして、図４（ａ）に示した応力緩和部６０における貫通部６１，６１，…は、複数の貫通孔が一列の直線状に配列され、各貫通部６１，６１，…を結んだラインが、終点検出用窓２２ａの各側縁と平行になるようにされている。また、この応力緩和部６０は、この貫通部６１，６１，…と、それぞれ隣り合っている貫通部６１，６１間に形成された非貫通部６２と、貫通部６１及び非貫通部６２の周囲の母材２２ｂとによって設けられている。なお、図示した貫通部６１は、貫通部６１を形成するエンドミルなどの工具の関係から円形に形成されているが、例えばパンチで打抜くことにより、三角形や四角形その他の多角形に形成してもよい。

また、図４（ｂ）に示した応力緩和部６０における貫通部６１，６１，…は、複数の貫通孔が二列の直線状に配列されている。内側の各貫通部６１，６１，…を結んだラインの各辺と、外側の各貫通部６１，６１，…を結んだラインの各辺は、終点検出用窓２２ａの各側縁と平行になり、また、内側の貫通孔６１と外側の貫通孔６１とを結んだラインは、ジグザグ状となる。そして、この応力緩和部６０は、この貫通部６１，６１，…と、それぞれ隣り合っている貫通部６１，６１間に形成された非貫通部６２と、貫通部６１及び非貫通部６２の周囲の母材２２ｂとによって設けられている。なお、この貫通部６１，６１，…は三列以上に形成してもよいし、図示した円形だけでなく、三角形や四角形その他の多角形に形成してもよい。

そして、図４（ｃ）に示した応力緩和部６０における貫通部６１，６１，…は、複数のスリットと複数の貫通孔とが組み合わされ、それぞれ外側と内側とに形成されている。外側の貫通部６１，６１，…を結ぶラインも、内側の貫通部を結ぶラインの各辺も終点検出用窓２２ａの側縁と平行に形成されている。そして、応力緩和部６０は、この貫通部６１，６１，…と、各貫通部６１，６１間に形成された非貫通部６２と、貫通部６１及び非貫通部６２の周囲の母材２２ｂとによって設けられている。

この応力緩和部６０は、図示したように貫通孔からなる貫通部６１，６１，…がスリットからなる貫通部６１，６１，…よりも内側であってもよいし、逆であっても、混在していてもよいし、三列以上にあるいは部分的に食み出すように形成してもよい。さらに、スリットからなる貫通部６１は、図示した直線状以外にコ字形やＬ字形のものを組み合わせてもよいし、貫通孔からなる貫通部６１は、図示した円形だけでなく、三角形や四角形その他の多角形に形成してもよい。

次に、参考例における応力緩和部６０について図５を参照しながら説明する。第２の実施形態における応力緩和部６０は、溝６３によって設けられる。溝６３は、図５に示したように、研磨パッド２０の母材２２ｂ及び／又は透光部材２２ｃの表面に形成され、あるいは図示しないが、研磨パッド２０の母材２２ｂ及び／又は透光部材２２ｃの裏面に形成され、それぞれ平面視で口字形（図３（ｄ）とほぼ同一形状）、一つのコ字形、一対のコ字形（図３（ａ）（ｂ）とほぼ同一形状）、一対のＬ字形（図３（ｃ）とほぼ同一形状）などに設けられる。

詳しく説明すると、図５（ａ）に示した応力緩和部６０は、母材２２ｂの終点検出用窓２２ａの周縁に形成された溝６３と、この溝６３の外周の母材２２ｂとによって設けられている。したがって、透光部材２２ｃは、終点検出用窓２２ａを形成している母材２２ｂの裏面側部分だけ、又は図示しないが表面側部分だけで接合し、溝６３と透光部材２２ｃとが接合していない部分には、母材２２ｂが介在しておらず、特許文献１における歪み吸収用溝１１５と異なった構成とされている。

また、図５（ｂ）に示した応力緩和部６０は、透光部材２２ｃの周縁と終点検出用窓２２ａの周縁との両方に跨るように形成された溝６３と、この溝６３の外周の母材２２ｂとによって設けられている。また、図５（ｃ）に示した応力緩和部６０は、透光部材２２ｃの周縁に形成された溝６３と、この溝６３の外周の母材２２ｂとによって設けられている。図５（ｂ）（ｃ）に示した応力緩和部６０は、透光部材２２ｃの周縁が表面側部分又は図示しないが裏面側部分において母材２２ｂと接触していないため、特許文献１における歪み吸収用溝１１５と構成が大きく異なっている。

また、図５（ｄ）に示した応力緩和部６０は、透光部材２２ｃの周縁よりも内側の外周部に形成された溝６３によって設けられている。この溝６３は、母材２２ｂに設けられていないため、特許文献１における歪み吸収用溝１１５と構成が全く異なっている。この溝６３は、定盤１０の終点検出用孔１１（図７参照）の内周縁よりも内側に設けられると、被研磨物１の研磨終点を測定するためのレーザ光に障害を及ぼしかねないため、定盤１０の終点検出用孔１１の内周縁よりも外側に設けられる。

なお、溝６３は、母材２２ｂの表面に形成する方が裏面に形成するよりも、研磨特性向上のために設けられた同心円状の多数の溝、格子状の多数の溝、多数の小孔（いずれも図示せず）を形成する一連の工程で形成することができるため、生産性のよいものとすることができる。

次に、第２の実施形態における応力緩和部６０について図６を参照しながら説明する。この第２の実施形態にける応力緩和部６０は、第１の実施形態における直線状のスリットからなる貫通部６１，６１，…と、非貫通部６２，６２，…と、貫通部６１，６１，…及び非貫通部６２，６２，…の周囲の母材２２ｂと、参考例における溝６３とを組み合わせて設けられている。

なお、図示した貫通部６１，６１，…は、図１に示した形状のものであるが、図２ないし図４に示した形状のものによっても応力緩和部６０を設けることができる。また、図示した溝６３は、図５（ａ）に示した位置に形成したものであるが、図５（ｂ）〜（ｄ）に示した位置に形成したものによって、あるいは、表面でなく裏面に形成したものによっても応力緩和部６０を設けることができる。

いずれにしても、前記の第１の実施形態ないし第２の実施形態の応力緩和部６０を設けた研磨パッド２０が図７に示すように、定盤１０上に貼着され、研磨パッド２０の表面、すなわち研磨面上に被研磨物１が押し付けられ、スラリーが研磨パッド２０上に滴下されながら、定盤１０が回転しつつ被研磨物１が自転しながら揺動することにより、被研磨物１が平坦化処理される。

このとき、研磨に際して生じる熱やスラリーに含まれる薬品などによって、研磨パッド２０の母材２２ｂが歪んだとしても、前記の第１の実施形態の応力緩和部６０は貫通部６１，６１，…などによって設けられ、また、第２の実施形態の応力緩和部６０は溝６３などによって設けられ、また、第３の実施形態における応力緩和部６０は、貫通部６１，６１，…及び溝６３などによって設けられ、それぞれ、応力緩和部６０の貫通部６１及び／又は溝６３の間隔が狭くなるように変形するため、透光部材２２ｃには応力が生じない。

応力緩和部６０が溝６３によって設けられていても、溝６３と透光部材２２ｃとの間に母材２２ｂが介在していないため、透光部材２２ｃには、応力が生じない。また、溝６３が裏面側に形成され、研磨パッド２０の裏面が定盤１０に貼り合わされていても、溝６３は変形する。したがって、いずれの研磨パッド２０においても、透光部材２２ｃは膨らみ、凹み、皺になり、あるいは波打つなど変形することがなく、被研磨物１を良好に研磨し、また、母材２２ｂよりも早く消耗しないようにすることができる。

なお、前記の構成及び作用効果は本願発明の実施形態であり、本発明は前記の実施形態に限定することなく種々変更することができる。例えば、図示しないが、応力緩和部６０は、研磨特性向上のために設けられた格子状の溝内に形成してもよい。また、本研磨パッド２０は、下地層又はＰＥＴなどによって形成された芯体を積層して定盤１０に貼り合わせて使用することもできる。

本発明に係る研磨パッドの第１の実施形態であって、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。 本発明に係る研磨パッドの第１の実施形態であって、（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ異なる変形例示す要部拡大平面図である。 本発明に係る研磨パッドの第１の実施形態であって、（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ異なる変形例示す要部拡大平面図である。 本発明に係る研磨パッドの第１の実施形態であって、（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ異なる変形例示す要部拡大平面図である。 本発明に係る研磨パッドの第２の実施形態であって、（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ異なる変形例示す要部拡大平面図である。 本発明に係る研磨パッドの第３の実施形態であって、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線拡大断面面である。 従来のＣＭＰ装置の概略斜視図である。 従来の研磨パッドの断面図である。

符号の説明

１………研磨物
２０……研磨パッド
２２ａ…終点検出用窓
２２ｂ…母材
２２ｃ…透光部材
６０……応力緩和部
６１……貫通孔
６２……非貫通孔
６３……溝

Claims (3)

1. 表面に研磨面が設けられ、一部分に終点検出用窓が形成された円盤状の母材と、前記終点検出用窓に備えられた透光部材とを有している研磨パッドであって、
   前記終点検出用窓の近傍の母材に、前記母材から前記透光部材に作用する応力を緩和する応力緩和部が設けられおり、前記応力緩和部は前記透光部材の周縁から所定の間隔を有する位置上に配置される貫通部によって形成され
   前記終点検出用窓は、前記母材に形成された略長方形状の開口からなり、前記貫通部は、前記終点検出用窓の前記開口の周縁部と並行な直線上に配置されていることを特徴とする研磨パッド。
2. 前記応力緩和部は、複数のスリットからなる貫通部及び／又は複数の貫通孔からなる貫通部と、該各貫通部間の非貫通部と、該貫通部及び該非貫通部の周囲の母材とによって設けられていることを特徴とする請求項１に記載の研磨パッド。
3. 前記応力緩和部は、前記貫通部に加え、溝によっても形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨パッド。

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