JP2006021290A - 研磨パッドおよび該研磨パッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】被研磨加工物の研磨状態の観測などを、レーザ光を利用して行えるレーザ光通過窓の構造としながら、レーザ光通過窓の窓部材が研磨スラリーの流動の妨げにならないようにして、平坦度の高い研磨を可能とする研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】研磨作用面となる表面側に研磨スラリー保持用の溝11,12を有し、かつ、レーザ光通過窓を備えるとともに、該レーザ光通過窓に窓部材10を埋設した研磨パッド4であって、上記窓部材10は、その表面に上記溝12を備えて当該窓部材10を上記研磨作用面の一部を構成可能とされている。
【選択図】 図2
【解決手段】研磨作用面となる表面側に研磨スラリー保持用の溝11,12を有し、かつ、レーザ光通過窓を備えるとともに、該レーザ光通過窓に窓部材10を埋設した研磨パッド4であって、上記窓部材10は、その表面に上記溝12を備えて当該窓部材10を上記研磨作用面の一部を構成可能とされている。
【選択図】 図2
Description
本発明は、例えば半導体ウエハなどを仕上げ研磨として用いるのに好適な研磨パッドおよび該研磨パッドの製造方法に関する。
シリコンウエハなどの表面平坦化研磨を化学的機械的研磨技術によって行うために研磨パッドが使用される。すなわち、研磨パッドを装着した円形の回転板を有する下側定盤と、研磨パッド上に被研磨物としてのウエハを押し付ける上側定盤と、研磨パッドの上に研磨スラリーを供給する手段とを備えた化学的機械的研磨装置を用いて、上記被研磨物に対して表面平坦化研磨が行われる。
このような研磨を行う研磨パッドにおいては、被研磨物であるウエハの研磨レートを測定するべく、その研磨パッドにレーザ光通過窓を設け、下側定盤側に配置してある研磨レート測定装置のレーザ光センサから下側定盤のレーザ光通過窓、および研磨パッド側のレーザ光通過窓を介して、ウエハの研磨面を照射し、該ウエハの研磨面で反射してくる反射光を上記レーザ光センサに取り込み、研磨レート測定装置においては、レーザ光センサのセンサ信号に基づいて、ウエハの厚さを検出し、その研磨工程の終点を検出してウエハに対する研磨レートを測定するようになっている(例えば、特許文献1参照。)。
このような研磨レートの測定に用いる研磨パッドには、例えば図9で示すものがある。この研磨パッド4は、研磨作用面となる表面側に研磨スラリー保持用の溝11を有し、かつ、研磨レート測定用のレーザ光が裏面側から表面側に通過するレーザ光通過窓8を備えた構成となっている。
この従来の研磨パッドにおいては、研磨パッド4にレーザ光通過窓8としての貫通孔を穿設する(図9(a)参照)とともに、溝11を研磨作用面に予め形成した(図9(b)参照)後、レーザ光通過窓8に透明窓部材10を嵌め込む(図9(c)参照)ようにしていた。特に透明窓部材10については、研磨スラリーの保持などを行う構造を何等設けていなかったので、研磨パッド本体の研磨スラリー保持用の溝11のうち、透明窓部材10と交差する溝11では、透明窓部材10によって研磨スラリーが堰き止められるおそれがあった。このように研磨スラリーが堰き止められると、そこに研磨スラリーが局所的に溜まるおそれがあり、そのように研磨スラリーが溜まっている箇所では研磨レートが他の箇所より高くなっていた。また、研磨作用面において、研磨スラリーの堰き止めによってそのスラリーの供給が妨げられて逆に研磨スラリー量が少ない研磨面領域が生じた箇所、例えばレーザ光通過窓8を間において前記堰き止め箇所とは反対側の箇所では研磨スラリー量が不足するため研磨レートが低くなったりしていた。このため、その研磨レートが高い箇所では研磨が他の箇所よりも促進され、研磨レートが低い箇所では逆に研磨が他の箇所よりも抑制されることになり、全体として均一な研磨レートで研磨を行いにくく、より高度な微細加工に対応できる平坦度の高い研磨を行うことが困難となっていた。
特開2003−048151公報
したがって、本発明により解決すべき課題は、被研磨加工物の研磨状態の観測などを、レーザ光通過窓を通してレーザ光を利用して行える構造としながら、研磨パッドの研磨作用面において、レーザ光通過窓の窓部材が研磨スラリーの流動の妨げにならないようにして、平坦度の高い研磨を可能とすることである。
本発明に係る研磨パッドは、研磨作用面となる表面側に研磨スラリー保持用の溝を有し、かつ、レーザ光通過窓を備えるとともに、該レーザ光通過窓に窓部材を埋設した研磨パッドであって、上記窓部材は、その表面に上記溝を備えて当該窓部材を上記研磨作用面の一部を構成可能とされていることを特徴とする。
本発明に係る研磨パッドによれば、レーザ光通過窓に埋設される窓部材は、研磨作用面の研磨スラリー保持用の溝を備えて研磨作用面の一部を構成可能とされているから、研磨パッドにおける研磨作用面の溝のうち窓部材と交差するものに対して、窓部材の溝が連続するものにできることによって、研磨パッドの研磨作用面の溝と窓部材の溝との間で研磨スラリーが円滑に流動できる。なお、窓部材がレーザ光通過窓に埋設されていることにより、貫通孔となるレーザ光通過窓からの研磨スラリーの漏洩などを防止するとともに、研磨作用面が研磨パッドとレーザ光通過窓においても充分維持されるものとなっている。これにより、従来のように窓部材が研磨スラリーの流動の妨げになって研磨スラリが堰き止められるような不具合も解消できる。したがって、窓部材を設けた箇所で研磨スラリーが滞留することなどに起因する研磨レートの研磨作用面での不均一を抑制でき、平坦度の高い良好な研磨を行うことができる。
本発明に係る第1の研磨パッドの製造方法は、研磨作用面に研磨スラリー保持用の溝を有し、かつ、研磨レート測定用のレーザ光が通過するレーザ光通過窓を備えるとともに、該レーザ光通過窓に窓部材を埋設した研磨パッドの製造方法であって、窓部材に研磨スラリー保持用の溝を形成する第1工程と、第1工程後、レーザ光通過窓に窓部材を埋設する第2工程と、を含むことを特徴とする。
本発明に係る第1の研磨パッドの製造方法によれば、例えば、研磨パッドと窓部材とのそれぞれの材質等の違いにより溝加工の施工が相違する場合に、それぞれに個別に溝加工してから窓部材と研磨パッドに組み付けることによって、窓部材にも研磨スラリー保持用の溝を備えるものが製造できるから、作業効率を向上できる。
本発明に係る第2の研磨パッドの製造方法は、研磨作用面に研磨スラリー保持用の溝を有し、かつ、研磨レート測定用のレーザ光が通過するレーザ光通過窓を備えるとともに、該レーザ光通過窓に窓部材を埋設した研磨パッドの製造方法であって、レーザ光通過窓に窓部材を埋設する第1工程と、第1工程後、窓部材に研磨スラリー保持用の溝を形成する第2工程と、
を含む、ことを特徴とする。
を含む、ことを特徴とする。
本発明に係る第2の研磨パッドの製造方法によれば、研磨パッドのレーザ光通過窓に窓部材を埋設した状態で研磨パッドと窓部材とに研磨スラリー保持用の溝を形成することのできるものであるから、一度の溝形成工程により、窓部材により研磨スラリーの流動が妨げられることのない研磨スラリー保持用の溝を形成することができ、作業効率がよいものとなる。
本発明によれば、窓部材において研磨スラリーの流動が妨げられるような不具合も解消できたので、研磨スラリーが局所的に滞留して研磨レートに差異が生じることによる平坦化研磨の不具合を解消して、平坦度の高い良好な研磨処理を行うことができる。
以下、本発明に係る研磨パッドの実施の形態を添付した図面を参照して詳細に説明する。図1は、研磨パッドを有する研磨装置を示す概略説明図、図2は、研磨スラリー保持用溝が格子状に形成されている研磨パッドを示す平面図、図3は、図2の研磨パッドのレーザ光通過窓に埋設される透明窓部材のみを示す拡大平面図、図4は、図2の研磨パッドにおける窓部材が埋設されていない状態の研磨パッドを示す平面図である。
図1を参照して、研磨装置1は、図示しない駆動手段で縦軸心P周りで回転自在に駆動されるものでかつ所要箇所に上下に貫通するレーザ光透過孔7を備えた下側定盤2と、該下側定盤2に対してその上方の所定位置にて対向し、図示略の駆動手段で縦軸心Q周りで回転自在に駆動される上側定盤5とを備える。このような研磨装置1において、研磨パッド4は、下側定盤2の上面部に対して粘着シート3を介して貼り付け装着される一方、半導体ウエハ6は、上側定盤5の下面部に被研磨加工物として保持される。そして、9は、測定装置を示す。この測定装置9は、下側定盤7の上記レーザ光通過窓7と、透明の粘着シート3と、研磨パッド4のレーザ光透過窓8とを通して研磨レート測定用のレーザ光Lを半導体ウエハ6に照射するとともに、半導体ウエハ6からの当該レーザ光Lの反射光を取り込み、この取り込んだ反射光に基づいて半導体ウエハ6の研磨レート測定を行うものである。なお、粘着シート3は、透明の樹脂シートからなり、研磨パッド4の基材シート層の下面に図示略の感圧接着剤層を介して積層接着されている。なお、粘着シート3の光透過性が所定以下の場合は、粘着シート3には、研磨パッド4のレーザ光透過窓8に対応する部分にレーザ光通過窓を形成しておけばよい。
以下において、上記研磨パッド4の構造を詳しく説明すると、研磨パッド4は、例えば、基材シート層と研磨作用面を成す樹脂発泡層とが積層された樹脂製の平面視円形のシート状を成すとともに、上記したレーザ光透過窓8に透明窓部材10を埋設した構成となっている。そして、研磨パッド4は、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリエステル等、公知の樹脂の一種または二種以上から、公知の注型法、押し出し成形法、射出成形法等によって製造することができる。上記透明窓部材10は、合成樹脂材により構成されている。この合成樹脂としては、上記した研磨パッド4を形成する樹脂でもよいが、これ以外として、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリエーテルサルホン、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレンなどの透明樹脂を使用することができる。そして、その樹脂材料を注型あるいは押し出し成形し、所望形状にカットすることによって透明窓部材10が形成される。なお、透明窓部材10は1個1個成形することで得るようにしてもよい。なお、研磨パッド4と透明窓部材10とがそれぞれウレタン樹脂で形成され、該研磨パッド4と透明窓部材10とにおける研削性がほぼ同じか、または透明窓部材10の研削性が研磨パッド4よりも大きい(透明窓部材10の方が研削されやすい)ことが好ましい。
研磨パッド4と透明窓部材10とには、研磨に使用される研磨スラリーを研磨作用面に保持するための溝11,12がそれぞれ形成されている。この溝11,12は、図2に示すように、縦方向に平行とした複数の溝と、横方向に平行とした複数の溝とが交差する形態でもよいし、図7(a)に示すように、下側定盤2の回転軸心回りに複数の同心円形状となるように形成してもよい。なお、図示しないが、例えば中心から径方向に複数放射状態に形成される溝であってもよい。なお、このような溝の寸法として、溝幅は、0.05mm〜10mmが好ましく、溝深さは、0.05mm〜パッド厚みに対し95%であることが好ましい。
上記研磨パッド1においては、研磨作用面に形成されている溝11と、透明窓部材10に形成されている溝12とが一連の連続した溝の形態となっており、これによって、両溝11、12間で研磨スラリーが抵抗少なく流動可能となっている。これによって、透明窓部材10に溝12が形成されていなかった従来のように、透明窓部材10に交差することになる研磨パッド4の研磨作用面の溝11において研磨スラリーが堰き止められるなどの不具合が生じず、また、研磨スラリーが研磨パッド4の研磨面において均一に配分され易くなっている。このため、レーザ光通過窓8の透明窓部材10を通して研磨状態の観測や測定などを行うことができるものでありながら、研磨パッドにおける研磨レートも全体的に均一にでき、平坦度の高い研磨を行えるものにできた。
次に、上記研磨パッド4の製造方法を図5〜図7を参照して説明する。
予め樹脂シートから平面視円形、四角形又は特殊形状にカットした研磨パッド4のシートを作成し、そのシートに透明窓部材10を埋設するための表裏面両側にわたって貫通する所要形状(図5(a))のレーザ光透過窓8を形成するとともに、両面又は片面粘着の粘着シート3を研磨パッド4のシートの裏面に接着する(図5(a)(b))。そのレーザ光透過窓8に埋設できる形状に予めカットされた透明樹脂製の透明窓部材10を嵌合する(図6(a)(b))。この嵌合した透明窓部材10は、研磨パッド4に積層する粘着シート3との接着により研磨パッド4と一体化している。なお、透明窓部材10を接着剤により研磨パッド4のシートと直接接着して固定してもよい。その後、研磨パッド4の研磨作用面と透明窓部材10とに対して溝形成用のカッターにより、所要幅かつ所要深さの溝11,12を形成する。カッターによる溝形成を連続して行うことにより、研磨パッド4の研磨作用面の溝11のうち透明窓部材10と交差する溝11と連続して透明窓部材10にも溝12が形成される(図7(a)(b))。とくに透明窓部材10の上面を横切るように溝12が形成されていることによって、透明窓部材10上の溝12を抵抗なく研磨スラリーが流動できるものとなっている。
実施形態の研磨パッドの製造方法に対する比較例として従来の研磨パッドの製造方法を説明する。
予め樹脂シートから平面視円形、四角形又は特殊形状にカットした研磨パッド4のシートを作成し、その研磨パッド4のシートに透明窓部材10を埋設するための表裏面両側にわたって貫通する所要形状のレーザ光透過窓8を形成する(図9(a))。次いで、研磨スラリー保持用の溝11を研磨パッド4の研磨作用面に形成する(図9(b))。この後、レーザ光透過窓8に透明窓部材10を嵌合させて埋設することにより研磨パッド4として使用するものの作製を完了していた(図9(c))。
次に、他の実施形態の製造方法を説明する。
予め発泡樹脂シートから平面視円形にカットした研磨パッド4のシートを作成し、その研磨パッド4のシートに後で透明窓部材10を埋設するための表裏面両側にわたって貫通する所要形状のレーザ光透過窓8を形成する。そのレーザ光透過窓8に埋設できる形状に透明窓部材10を作製する。そして、研磨パッド4と、透明窓部材10とのそれぞれについて別々に研磨スラリー保持用の溝11,12を所要形態となるように形成する(図3、図4)。例えば、図4に示す場合においては、複数の溝11が所定間隔おきに縦方向と横方向とで直交する格子状に形成したものである。透明窓部材10においては、レーザ光透過窓8に嵌め込むように埋設したときに、研磨パッド4の研磨作用面の溝11のうち透明窓部材10に交差するように形成する溝11と連続した溝12を形成する。その後、透明窓部材10を研磨パッド4のレーザ光透過窓8に嵌合する(図1)。
本発明者は、本発明に係る研磨パッドと従来の研磨パッドとについて、研磨スラリーの透明窓近傍における分散の状況の良否を比較する実験を行った。
この実験では、図8に示すように、本発明に係る研磨パッド21、あるいは、従来の研磨パッド31(透明窓部材に研磨スラリー保持用の溝を形成していないもの)とのそれぞれについて平板状のパッド支持用治具41に貼り付け、このパッド支持用治具41を所定角度傾斜させた状態に支持しておく。研磨パッド21,31に対して予め所定量の水をその上端部箇所から供給して、研磨パッド21,31の表面、特に窓部材22,32の位置を通過するように流下させる。そして、本発明に係る研磨パッド21も従来の研磨パッド31についても、予め窓部材22,32が埋設されている箇所より低位側に所定距離離れた箇所に所定大きさの貫通孔23,33を形成しておき、パッド支持用治具41についてもその貫通孔23,33箇所に対応する位置に貫通孔42を設け、貫通孔23,33及び貫通孔42を通して漏下した水を捕集用容器43に捕集できるようにしておく。
それぞれ同じ条件で水を供給し、貫通孔42を漏下して捕集された水の量が供給量に対してどの程度の割合であるか測定した。
その結果、本願発明に係る研磨パッドの場合、流下した水のうち40%が捕集された。一方、従来の研磨パッドの場合、流下した水のうち15%が捕集された。このことから、窓部材に研磨スラリー保持用溝を形成してある本願発明によって、研磨スラリーが窓部材の溝を通って流動し易くなっていることが判明した。したがって、窓部材に研磨スラリー保持用溝を形成した本願発明では、形成していないものと比較して、その窓部材近傍での研磨スラリーの滞留が生じにくいことが判明した。よって、この実験結果から、本願発明のように、窓部材に研磨スラリー用溝を研磨パッドの研磨面に形成した研磨スラリー保持用の溝と連続するようにかつ窓部材を横切るように形成したものでは、窓部材近傍において研磨スラリーが滞留して偏在するような不具合を解消できることが判明した。
本発明は、例えば半導体ウエハなどを仕上げ研磨などの研磨装置に用いるのに好適な研磨パッド及び該研磨パッドの製造方法に利用可能である。
4 研磨パッド
8 レーザ光通過窓
10 窓部材
11,12 溝
8 レーザ光通過窓
10 窓部材
11,12 溝
Claims (3)
- 研磨作用面となる表面側に研磨スラリー保持用の溝を有し、かつ、レーザ光通過窓を備えるとともに、該レーザ光通過窓に窓部材を埋設した研磨パッドであって、
上記窓部材は、その表面に上記溝を備えて当該窓部材を上記研磨作用面の一部を構成可能とされている、ことを特徴とする研磨パッド。 - 研磨作用面に研磨スラリー保持用の溝を有し、かつ、研磨レート測定用のレーザ光が通過するレーザ光通過窓を備えるとともに、該レーザ光通過窓に窓部材を埋設した研磨パッドの製造方法であって、
窓部材に研磨スラリー保持用の溝を形成する第1工程と、
第1工程後、レーザ光通過窓に窓部材を埋設する第2工程と、
を含むことを特徴とする研磨パッドの製造方法。 - 研磨作用面に研磨スラリー保持用の溝を有し、かつ、研磨レート測定用のレーザ光が通過するレーザ光通過窓を備えるとともに、該レーザ光通過窓に窓部材を埋設した研磨パッドの製造方法であって、
レーザ光通過窓に窓部材を埋設する第1工程と、
第1工程後、窓部材に研磨スラリー保持用の溝を形成する第2工程と、
を含むことを特徴とする研磨パッドの製造方法。
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