JP5223336B2 - 研磨パッドおよび研磨装置 - Google Patents
研磨パッドおよび研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5223336B2 JP5223336B2 JP2007513571A JP2007513571A JP5223336B2 JP 5223336 B2 JP5223336 B2 JP 5223336B2 JP 2007513571 A JP2007513571 A JP 2007513571A JP 2007513571 A JP2007513571 A JP 2007513571A JP 5223336 B2 JP5223336 B2 JP 5223336B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- polishing pad
- hole
- center
- radius
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 413
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 71
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 65
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 46
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 23
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 22
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 8
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 46
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 39
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 27
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 27
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 27
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 26
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 21
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 18
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 17
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 15
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 14
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 14
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 12
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 6
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 6
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 239000002905 metal composite material Substances 0.000 description 5
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 4
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 4
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate Chemical compound C1=CC(N=C=O)=CC=C1CC1=CC=C(N=C=O)C=C1 UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004433 Thermoplastic polyurethane Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 3
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 3
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 3
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 3
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 1,2-Divinylbenzene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOC(=O)C(C)=C XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-1,1,1-trifluorobutane Chemical compound FC(F)(F)CCCBr DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 229920002323 Silicone foam Polymers 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Substances CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 2
- 239000004088 foaming agent Substances 0.000 description 2
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N octanoic acid Chemical compound CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 239000013514 silicone foam Substances 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- ZXHZWRZAWJVPIC-UHFFFAOYSA-N 1,2-diisocyanatonaphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=C(N=C=O)C(N=C=O)=CC=C21 ZXHZWRZAWJVPIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-phenylmethoxyphenyl)-1,3-thiazole-4-carbaldehyde Chemical compound O=CC1=CSC(C=2C=C(OCC=3C=CC=CC=3)C=CC=2)=N1 OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJIXRGNQPBQWMK-UHFFFAOYSA-N 2-(diethylamino)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCN(CC)CCOC(=O)C(C)=C SJIXRGNQPBQWMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JKNCOURZONDCGV-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CN(C)CCOC(=O)C(C)=C JKNCOURZONDCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-cyano-4-methylpentan-2-yl)diazenyl]-2,4-dimethylpentanenitrile Chemical compound CC(C)CC(C)(C#N)N=NC(C)(C#N)CC(C)C WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C(C)=C WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEVADDDOVGMCSI-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxybutyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCC(O)COC(=O)C(C)=C IEVADDDOVGMCSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl methacrylate Chemical compound CC(O)COC(=O)C(C)=C VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUMACXVDVNRZJZ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C(C)=C RUMACXVDVNRZJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQZXRLWUYONVCP-UHFFFAOYSA-N 3-[1-(dimethylamino)ethyl]phenol Chemical compound CN(C)C(C)C1=CC=CC(O)=C1 GQZXRLWUYONVCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MXVZVCCKUVRGQC-UHFFFAOYSA-N 3-hexylpyrrole-2,5-dione Chemical compound CCCCCCC1=CC(=O)NC1=O MXVZVCCKUVRGQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IYMZEPRSPLASMS-UHFFFAOYSA-N 3-phenylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1NC(=O)C(C=2C=CC=CC=2)=C1 IYMZEPRSPLASMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SSMDYRHBKZVGNR-UHFFFAOYSA-N 3-propan-2-ylpyrrole-2,5-dione Chemical compound CC(C)C1=CC(=O)NC1=O SSMDYRHBKZVGNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- COCLLEMEIJQBAG-UHFFFAOYSA-N 8-methylnonyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(C)CCCCCCCOC(=O)C(C)=C COCLLEMEIJQBAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 description 1
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N Di-Et ester-Fumaric acid Natural products CCOC(=O)C=CC(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N Diethyl maleate Chemical compound CCOC(=O)\C=C/C(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 description 1
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 1
- 239000005057 Hexamethylene diisocyanate Substances 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005058 Isophorone diisocyanate Substances 0.000 description 1
- YIVJZNGAASQVEM-UHFFFAOYSA-N Lauroyl peroxide Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)OOC(=O)CCCCCCCCCCC YIVJZNGAASQVEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 description 1
- 229920005830 Polyurethane Foam Polymers 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003350 Spectratech® Polymers 0.000 description 1
- KYIKRXIYLAGAKQ-UHFFFAOYSA-N abcn Chemical compound C1CCCCC1(C#N)N=NC1(C#N)CCCCC1 KYIKRXIYLAGAKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-AATRIKPKSA-N diethyl fumarate Chemical compound CCOC(=O)\C=C\C(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-AATRIKPKSA-N 0.000 description 1
- LDCRTTXIJACKKU-ONEGZZNKSA-N dimethyl fumarate Chemical compound COC(=O)\C=C\C(=O)OC LDCRTTXIJACKKU-ONEGZZNKSA-N 0.000 description 1
- 229960004419 dimethyl fumarate Drugs 0.000 description 1
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- DSTWFRCNXMNXTR-AATRIKPKSA-N dipropyl (e)-but-2-enedioate Chemical compound CCCOC(=O)\C=C\C(=O)OCCC DSTWFRCNXMNXTR-AATRIKPKSA-N 0.000 description 1
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N dodecyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N edrophonium chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](C)(C)C1=CC=CC(O)=C1 BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 1
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N isophorone diisocyanate Chemical compound CC1(C)CC(N=C=O)CC(C)(CN=C=O)C1 NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 238000010907 mechanical stirring Methods 0.000 description 1
- 239000003094 microcapsule Substances 0.000 description 1
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920005906 polyester polyol Chemical class 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920000909 polytetrahydrofuran Polymers 0.000 description 1
- 229920003225 polyurethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000011496 polyurethane foam Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- BWJUFXUULUEGMA-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl propan-2-yloxycarbonyloxy carbonate Chemical compound CC(C)OC(=O)OOC(=O)OC(C)C BWJUFXUULUEGMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000000045 pyrolysis gas chromatography Methods 0.000 description 1
- 238000000009 pyrolysis mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 238000007717 redox polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/11—Lapping tools
- B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
- B24B37/205—Lapping pads for working plane surfaces provided with a window for inspecting the surface of the work being lapped
Description
2 透光材
3 終点検出用研磨パッド
4 クッション層
5 被研磨材(ウェハー)
6 研磨ヘッド
7 レーザーまたは白色光
8 ビームスプリッター
9 光源
10 光検出部
11 入射光
12 反射光
13 定盤
14 ホール
15 貫通孔
16 裏面テープ
17 中間テープ
18 経路
高分子計器(株)製のマイクロゴム硬度計"MD−1"で測定する。マイクロゴム硬度計"MD−1"の構成は下記のとおりである。
1.1センサ部
(1)荷重方式:片持ばり形板バネ
(2)ばね荷重:0ポイント/2.24gf。100ポイント/33.85gf
(3)ばね荷重誤差:±0.32gf
(4)押針寸法:直径:0.16mm円柱形。 高さ0.5mm
(5)変位検出方式:歪ゲージ式
(6)加圧脚寸法:外径4mm 内径1.5mm
1.2センサ駆動部
(1)駆動方式:ステッピングモータによる上下駆動。エアダンパによる降下速度制御
(2)上下動ストローク:12mm
(3)降下速度:10〜30mm/sec
(4)高さ調整範囲:0〜67mm(試料テーブルとセンサ加圧面の距離)
1.3試料台
(1)試料台寸法:直径 80mm
(2)微動機構:XYテーブルおよびマイクロメータヘッドによる微動。ストローク:X軸、Y軸とも15mm
(3)レベル調整器:レベル調整用本体脚および丸型水準器。
ポリプロピレングリコール30重量部とジフェニルメタンジイソシアネート40重量部と水0.5重量部とトリエチルアミン0.3重量部とシリコーン整泡剤1.7重量部とオクチル酸スズ0.09重量部をRIM成型機で混合して、金型に吐出して加圧成型を行い、厚み2.6mmの独立気泡の発泡ポリウレタンシート(マイクロゴムA硬度:42,密度:0.76g/cm3 、独立気泡の平均気泡径:34μm)を作製した。
研磨したウエハについてKLA−Tencol社製欠陥検査装置商品名“SP−1”で0.18μm以上のスクラッチを測定したところ、スクラッチ数は6個と良好であった。
ポリプロピレングリコール30重量部とジフェニルメタンジイソシアネート40重量部と水0.5重量部とトリエチルアミン0.4重量部とシリコン整泡剤1.8重量部とオクチル酸スズ0.09重量部をRIM成形機で混合して、金型に吐出して加圧成型をおこない厚み2.2mmの発泡ポリウレタンシート(マイクロゴムA硬度=23度、密度:0.47g/cm3 、独立気泡平均径:72μm)を作製した。
実施例1と同様の方法で、積層体を作成した。
実施例1と同様の方法で、積層体を作成した。
実施例1と同様の方法で、積層体を作成した。
実施例6
実施例1と同様の方法で、積層体を作成した。
比較例1
実施例1の研磨層の代わりに市販のマイクロバルーン含有発泡ポリウレタンであるIC−1000(ニッタハース社製)(密度:0.82g/cm3 、平均気泡径:23μm)(厚み:1.25mm、大きさ:直径508mm)に研磨パッドの中心から開口部の研磨パッドの中心に近い端が118mmの位置に縦12mm、横24mmの開口部を開けた。東レ(株)製の易接着放電処理をおこなった4倍発泡ポリエチレンフォームの0.8mm品(吸水率=0.5%)に上記IC−1000に開けた開口部より少し小さな開口部を開け、住友3M(株)製両面テープ442Jを中間テープに使用して貼り合わせをおこなった。裏面テープとして積水化学工業(株)両面テープ5604TDXを貼り合わせた。あらかじめ準備した上記IC−1000の開口部と同じ大きさで厚みが1.25mmの硬質ポリウレタン(硬さ:マイクロゴムA硬度=99度)の窓部材を、上記研磨パッドの研磨層開口部にはめ込んだ。
実施例1と同じ積層研磨パッドで、貫通孔の研磨パッドの中心に近い端の位置が研磨パッドの中心から半径の29%(74mm)のところに、縦が半径の22.8%(58mm)、横が半径の7.4%(19mm)の貫通孔を打ち抜き機で形成した。貫通孔の研磨パッドの中心に近い端は、研磨パッド中心から半径の29%の位置にある。
実施例1と同じ積層研磨パッドで、貫通孔の研磨パッドの中心に近い端の位置が研磨パッドの中心から半径の46.5%(118mm)のところに、縦が半径の4.8%(12mm)、横が半径の19.6%(50mm)の貫通孔を打ち抜き機で形成した。貫通孔の研磨パッドの中心に近い端は、研磨パッド中心から半径の46.5%の位置にある。
実施例1と同じ積層研磨パッドで、貫通孔の研磨パッドの中心に近い端の位置が研磨パッドの中心から半径の29.1%(73.9mm)のところに、縦が半径の4.8%(12mm)、横が半径の9.4%(24mm)の貫通孔を打ち抜き機で形成した。貫通孔の研磨パッドの中心に近い端は、研磨パッド中心から半径の29.1%の位置にある。
実施例1と同じ積層研磨パッドで、貫通孔の研磨パッドの中心に近い端の位置が研磨パッドの中心から半径の46.5%(118mm)のところに、縦が半径の9.4%(24mm)、横が半径の7.4%(19mm)の貫通孔を打ち抜き機で形成した。貫通孔の研磨パッドの中心に近い端は、研磨パッド中心から半径の46.5%の位置にある。
実施例1と同じ積層研磨パッドで、貫通孔の研磨パッドの中心に近い端の位置が研磨パッドの中心から半径の46.5%(118mm)のところに、縦が半径の22.8%(58mm)、横が半径の7.4%(19mm)の貫通孔を打ち抜き機で形成した。貫通孔の研磨パッドの中心に近い端は、研磨パッド中心から半径の46.5%の位置にある。
実施例4と同じ積層研磨パッドで、貫通孔の研磨パッドの中心に近い端の位置が研磨パッドの中心から半径の29.1%(113mm)のところに、縦が半径の4.9%(19mm)、横が半径の6.2%(24mm)の貫通孔を打ち抜き機で形成した。貫通孔の研磨パッドの中心に近い端は、研磨パッド中心から半径の29.1%の位置にある。
実施例4と同じ積層研磨パッドで、貫通孔の研磨パッドの中心に近い端の位置が研磨パッドの中心から半径の46.5%(180mm)のところに、縦が半径の15.0%(58mm)、横が半径の6.2%(24mm)の貫通孔を打ち抜き機で形成した。貫通孔の研磨パッドの中心に近い端は、研磨パッド中心から半径の46.5%の位置にある。
実施例4と同じ積層研磨パッドで、貫通孔の研磨パッドの中心に近い端の位置が研磨パッドの中心から半径の46.5%(180mm)のところに、縦が半径の15.0%(58mm)、横が半径の6.2%(24mm)の貫通孔を打ち抜き機で形成した。貫通孔の研磨パッドの中心に近い端は、研磨パッド中心から半径の46.5%の位置にある。
Claims (8)
- 研磨面と裏面を連通する貫通孔が設けられ、該貫通孔の研磨パッド中心に近い端が、研磨パッドの中心から半径の35%以上の距離で、該貫通孔の研磨パッドの中心への方向の長さが、研磨パッド中心への方向に垂直な方向の長さよりも同じかまたは短く、該貫通孔の研磨パッドの中心への方向の長さが半径の10%以下で、研磨パッドの中心への方向に垂直な方向の長さが半径の12.5%以下であり、かつ12mm以上25mm以下であることを特徴とする研磨パッド。
- 該貫通孔と研磨パッドの側面を連通する経路を有することを特徴とする請求項1記載の研磨パッド。
- 研磨パッドがクッション層を有し、該クッション層の吸水率が5%以下である請求項1記載の研磨パッド。
- クッション層が無発泡のエラストマー層である請求項3記載の研磨パッド。
- 研磨面に溝が形成されてなり、該溝が、該貫通孔の中心位置を通過する研磨パッドの同心円の内側の領域で、該貫通孔に接触しないことを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 請求項1に記載の研磨パッド、前記研磨パッドと基板とを当接し、相対移動させて研磨を行う手段、および、前記研磨パッドと被研磨材との間にスラリーを供給する手段、ならびに前記研磨パッドの研磨層を通して光学的に研磨状態を測定する手段とを少なくとも具備する研磨装置。
- 研磨パッドを固定する定盤を有し、かつ該定盤が光学的に研磨状態を測定するためのホール、および該ホールにはめ込まれた透明材を有する請求項6記載の研磨装置に用いる保護フィルムであって、該保護フィルムはベースフィルムと粘着層とセパレーターフィルムの三層から構成され、粘着層の上のセパレーターフィルムはベースフィルムの端より大きく、2個以上に分割されていることを特徴とする研磨装置用保護フィルム。
- 請求項1に記載の研磨パッドを使用し、絶縁膜または金属配線を光学的に研磨状態を測定しながら研磨する方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007513571A JP5223336B2 (ja) | 2006-02-06 | 2007-01-29 | 研磨パッドおよび研磨装置 |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006027939 | 2006-02-06 | ||
JP2006027939 | 2006-02-06 | ||
JP2006307555 | 2006-11-14 | ||
JP2006307555 | 2006-11-14 | ||
JP2007513571A JP5223336B2 (ja) | 2006-02-06 | 2007-01-29 | 研磨パッドおよび研磨装置 |
PCT/JP2007/051345 WO2007091439A1 (ja) | 2006-02-06 | 2007-01-29 | 研磨パッドおよび研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007091439A1 JPWO2007091439A1 (ja) | 2009-07-02 |
JP5223336B2 true JP5223336B2 (ja) | 2013-06-26 |
Family
ID=38345043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007513571A Expired - Fee Related JP5223336B2 (ja) | 2006-02-06 | 2007-01-29 | 研磨パッドおよび研磨装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8337277B2 (ja) |
EP (1) | EP1983558A4 (ja) |
JP (1) | JP5223336B2 (ja) |
KR (1) | KR101294863B1 (ja) |
CN (1) | CN100580885C (ja) |
TW (1) | TWI403386B (ja) |
WO (1) | WO2007091439A1 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101523565B (zh) | 2006-10-06 | 2012-02-29 | 株式会社荏原制作所 | 加工终点检测方法、研磨方法及研磨装置 |
JP5315678B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2013-10-16 | 東レ株式会社 | 研磨パッドの製造方法 |
US20110045753A1 (en) * | 2008-05-16 | 2011-02-24 | Toray Industries, Inc. | Polishing pad |
JP5593728B2 (ja) * | 2009-03-30 | 2014-09-24 | 東レ株式会社 | 研磨パッド |
US8157614B2 (en) * | 2009-04-30 | 2012-04-17 | Applied Materials, Inc. | Method of making and apparatus having windowless polishing pad and protected fiber |
TWI510328B (zh) * | 2010-05-03 | 2015-12-01 | Iv Technologies Co Ltd | 基底層、包括此基底層的研磨墊及研磨方法 |
DE202011104832U1 (de) * | 2011-08-25 | 2011-10-31 | Charlott Produkte Dr. Rauwald Gmbh | Scheuerpad mit einem Kompositharz als Nutzschicht |
US9156125B2 (en) | 2012-04-11 | 2015-10-13 | Cabot Microelectronics Corporation | Polishing pad with light-stable light-transmitting region |
KR200465886Y1 (ko) * | 2012-06-04 | 2013-03-15 | 전용준 | 화학기계적 연마장치의 상부 공압제어 어셈블리 보호커버 |
CN103522170A (zh) * | 2012-07-05 | 2014-01-22 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 用于化学机械研磨制程的激光衬垫窗口 |
US9873180B2 (en) * | 2014-10-17 | 2018-01-23 | Applied Materials, Inc. | CMP pad construction with composite material properties using additive manufacturing processes |
US9446498B1 (en) * | 2015-03-13 | 2016-09-20 | rohm and Hass Electronic Materials CMP Holdings, Inc. | Chemical mechanical polishing pad with window |
JP6732382B2 (ja) * | 2016-10-12 | 2020-07-29 | 株式会社ディスコ | 加工装置及び被加工物の加工方法 |
CN109616412A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-04-12 | 大连理工大学 | 一种光化学与机械抛光相结合的半导体晶片加工方法 |
CN111993265B (zh) * | 2020-08-28 | 2021-11-26 | 上海华力微电子有限公司 | 判断研磨头的胶膜是否扭曲的方法 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1170469A (ja) * | 1997-05-28 | 1999-03-16 | Lam Res Corp | 化学機械的研磨中に厚みをその場でモニタする方法及び装置 |
JP2000254860A (ja) * | 1999-03-08 | 2000-09-19 | Nikon Corp | 研磨装置 |
JP2001162520A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-19 | Nikon Corp | 研磨体、平坦化装置、半導体デバイス製造方法、および半導体デバイス |
JP2001198802A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-24 | Nikon Corp | 研磨体、平坦化装置、半導体デバイス製造方法、および半導体デバイス |
JP2002059357A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-02-26 | Toray Ind Inc | 研磨パッドおよび研磨装置ならびに研磨方法 |
JP2003188124A (ja) * | 2001-12-14 | 2003-07-04 | Rodel Nitta Co | 研磨布 |
KR20030059639A (ko) * | 2002-01-03 | 2003-07-10 | 삼성전자주식회사 | 종점검출장치가 구비된 화학기계적 연마장치 |
JP2003300151A (ja) * | 2002-02-07 | 2003-10-21 | Sony Corp | 研磨パッド、研磨装置および研磨方法 |
JP2004090106A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Seiko Epson Corp | 研磨クロス、研磨装置および研磨クロスの貼り付け方法 |
JP2004260156A (ja) * | 2003-02-06 | 2004-09-16 | Toyobo Co Ltd | 研磨パッド及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2005101585A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-04-14 | Rohm & Haas Electronic Materials Cmp Holdings Inc | エレクトロケミカルメカニカルポリッシングのための研磨パッド |
JP2005131720A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Toray Ind Inc | 研磨パッドの製造方法 |
JP2006021290A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Nitta Haas Inc | 研磨パッドおよび該研磨パッドの製造方法 |
JP2006239833A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Nitta Haas Inc | 研磨パッド |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69618698T2 (de) * | 1995-03-28 | 2002-08-14 | Applied Materials Inc | Verfahren und Vorrichtung zur In-Situ-Kontroll und Bestimmung des Endes von chemisch-mechanischen Planiervorgänge |
US5893796A (en) | 1995-03-28 | 1999-04-13 | Applied Materials, Inc. | Forming a transparent window in a polishing pad for a chemical mechanical polishing apparatus |
JP3321338B2 (ja) * | 1995-07-24 | 2002-09-03 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
US5605760A (en) | 1995-08-21 | 1997-02-25 | Rodel, Inc. | Polishing pads |
KR100628854B1 (ko) * | 1998-11-09 | 2006-09-27 | 도레이 가부시끼가이샤 | 연마 패드 및 연마 장치 |
DE60011798T2 (de) * | 1999-09-29 | 2005-11-10 | Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings, Inc., Wilmington | Schleifkissen |
JP3843933B2 (ja) * | 2002-02-07 | 2006-11-08 | ソニー株式会社 | 研磨パッド、研磨装置および研磨方法 |
CN1639848A (zh) * | 2002-08-30 | 2005-07-13 | 东丽株式会社 | 研磨垫、平台孔盖及研磨装置和研磨方法及半导体器件的制造方法 |
EP1466699A1 (en) * | 2003-04-09 | 2004-10-13 | JSR Corporation | Abrasive pad, method and metal mold for manufacturing the same, and semiconductor wafer polishing method |
US20050032464A1 (en) * | 2003-08-07 | 2005-02-10 | Swisher Robert G. | Polishing pad having edge surface treatment |
US7252871B2 (en) * | 2004-06-16 | 2007-08-07 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Polishing pad having a pressure relief channel |
-
2007
- 2007-01-29 CN CN200780003648A patent/CN100580885C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-01-29 JP JP2007513571A patent/JP5223336B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-01-29 US US12/162,492 patent/US8337277B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-01-29 KR KR1020087019191A patent/KR101294863B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-01-29 EP EP07707576A patent/EP1983558A4/en not_active Withdrawn
- 2007-01-29 WO PCT/JP2007/051345 patent/WO2007091439A1/ja active Application Filing
- 2007-02-05 TW TW096103995A patent/TWI403386B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1170469A (ja) * | 1997-05-28 | 1999-03-16 | Lam Res Corp | 化学機械的研磨中に厚みをその場でモニタする方法及び装置 |
JP2000254860A (ja) * | 1999-03-08 | 2000-09-19 | Nikon Corp | 研磨装置 |
JP2001162520A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-19 | Nikon Corp | 研磨体、平坦化装置、半導体デバイス製造方法、および半導体デバイス |
JP2001198802A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-24 | Nikon Corp | 研磨体、平坦化装置、半導体デバイス製造方法、および半導体デバイス |
JP2002059357A (ja) * | 2000-08-23 | 2002-02-26 | Toray Ind Inc | 研磨パッドおよび研磨装置ならびに研磨方法 |
JP2003188124A (ja) * | 2001-12-14 | 2003-07-04 | Rodel Nitta Co | 研磨布 |
KR20030059639A (ko) * | 2002-01-03 | 2003-07-10 | 삼성전자주식회사 | 종점검출장치가 구비된 화학기계적 연마장치 |
JP2003300151A (ja) * | 2002-02-07 | 2003-10-21 | Sony Corp | 研磨パッド、研磨装置および研磨方法 |
JP2004090106A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Seiko Epson Corp | 研磨クロス、研磨装置および研磨クロスの貼り付け方法 |
JP2004260156A (ja) * | 2003-02-06 | 2004-09-16 | Toyobo Co Ltd | 研磨パッド及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2005101585A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-04-14 | Rohm & Haas Electronic Materials Cmp Holdings Inc | エレクトロケミカルメカニカルポリッシングのための研磨パッド |
JP2005131720A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Toray Ind Inc | 研磨パッドの製造方法 |
JP2006021290A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Nitta Haas Inc | 研磨パッドおよび該研磨パッドの製造方法 |
JP2006239833A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Nitta Haas Inc | 研磨パッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101375375A (zh) | 2009-02-25 |
JPWO2007091439A1 (ja) | 2009-07-02 |
TWI403386B (zh) | 2013-08-01 |
EP1983558A1 (en) | 2008-10-22 |
WO2007091439A1 (ja) | 2007-08-16 |
CN100580885C (zh) | 2010-01-13 |
US8337277B2 (en) | 2012-12-25 |
EP1983558A4 (en) | 2011-08-10 |
TW200738402A (en) | 2007-10-16 |
KR20080091796A (ko) | 2008-10-14 |
US20090042480A1 (en) | 2009-02-12 |
KR101294863B1 (ko) | 2013-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5223336B2 (ja) | 研磨パッドおよび研磨装置 | |
WO2013039181A1 (ja) | 研磨パッド | |
JP2006339570A (ja) | 研磨パッドおよび研磨装置 | |
WO2012111502A1 (ja) | 研磨パッド | |
WO2013039203A1 (ja) | 研磨パッド | |
WO2013011921A1 (ja) | 研磨パッド | |
JP2005131720A (ja) | 研磨パッドの製造方法 | |
JP2006210657A (ja) | 研磨パッド、研磨装置、および半導体デバイスの製造方法 | |
JP5145683B2 (ja) | 研磨方法、研磨パッド、研磨パッドの製造方法 | |
WO2013103142A1 (ja) | 研磨パッド | |
JP4686912B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP5292958B2 (ja) | 研磨パッド | |
JP2006035367A (ja) | 研磨パッドおよび研磨装置 | |
JP2007105836A (ja) | 研磨パッドおよび研磨装置 | |
JP2004119657A (ja) | 研磨パッド、研磨装置、およびそれを用いた研磨方法 | |
JP2004259728A (ja) | 研磨パッド | |
JP2002178255A (ja) | 研磨パッド | |
JP2006015421A (ja) | 研磨パッドおよび研磨装置 | |
JP2004014744A (ja) | 研磨パッド、研磨装置、およびそれを用いた研磨方法 | |
JP2006116614A (ja) | 研磨パッドおよび研磨装置 | |
JP2006060031A (ja) | 研磨パッドおよび研磨装置 | |
JP2007116194A (ja) | 研磨方法 | |
JP2007150337A (ja) | 研磨方法 | |
JP5454153B2 (ja) | 研磨方法および半導体デバイスの製造方法 | |
JP2002083790A (ja) | 研磨パッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120327 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121016 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130225 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160322 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |