JP5695176B2 - 研磨パッド及び研磨パッド用のクッション体 - Google Patents
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Description
10……定盤
11……終点検出用孔
12……透光部材
13……空気抜き穴
20……研磨パッド
21……下地層
21a…終点検出用窓
22……研磨層
22a…終点検出用窓
22b…透光部材
23……クッション体
24……排気路
Claims (6)
- 定盤に粘着される下地層と、該下地層の上面に貼り合わされた研磨層との二層構造とされた研磨パッドであって、
前記下地層は、クッション体と粘着層とを備え、前記研磨層と前記クッション体とが前記粘着層を介して張り合わされており、
前記クッション体に一部が外部に連通する排気路が設けられていることを特徴とする研磨パッド。 - 排気路は、スリット状又は溝状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記排気路は、一部が定盤に形成された空気抜き穴に連通するように形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨パッド。
- 上面が粘着層を介して研磨層と貼り合わされ、下面が定盤に粘着される研磨パッド用のクッション体であって、
一部が外部に連通する排気路が設けられていることを特徴とする研磨パッド用のクッション体。 - 排気路は、スリット状又は溝状に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の研磨パッド用のクッション体。
- 前記排気路は、一部が定盤に形成された空気抜き穴に連通するように形成されていることを特徴とする請求項4又は5に記載の研磨パッド用のクッション体。
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JP2013265963A JP5695176B2 (ja) | 2013-12-24 | 2013-12-24 | 研磨パッド及び研磨パッド用のクッション体 |
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- 2013-12-24 JP JP2013265963A patent/JP5695176B2/ja active Active
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