JP5552957B2 - 端子構造、プリント配線板、モジュール基板及び電子デバイス - Google Patents
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Description
電子デバイス300は、マザーボード80と、該マザーボード80に載置されたモジュール基板200と、該モジュール基板200に載置された電子部品28とを備えている。マザーボード80上には電極端子82が、モジュール基板200の一方の面上には電極端子82と対向するように端子構造14がそれぞれ設けられており、端子構造14はさらに端子12とはんだ層75とを有する。電極端子82と端子12とは、該はんだ層75を介して接続されている。同様に、電子部品28の端子と、該端子と対向するようにモジュール基板200の他方面上に設けられた端子12とが、はんだ層75(図示せず)を介して接続されている。
図2は、本発明の端子構造の好適な実施形態を模式的に示す断面図である。すなわち、図2は、端子構造14により接続されたマザーボード80とモジュール基板200との接続部16を模式的に示している。端子構造14は、モジュール基板200上に、銅端子40及び該銅端子40上の被覆層50からなる端子12と、該端子12上のはんだ層75とを備えている。被覆層50は、銅端子40側から、ニッケル及びリンを含む第一の層52と、第一の層52よりもリンに対するニッケルの原子比が小さく、かつNi3Pを含む第二の層54と、Ni−Cu−Sn系の第一の金属間化合物(図示せず)を含む第三の層56とが順次積層された構造を有しており、第二の層54の第三の層56側の表面の一部を、Ni−P−Sn系の第二の金属間化合物85が覆っている。また、はんだ層75と電極端子82との間には、Cu3Sn4等の金属間化合物を含む第四の層84が介在している。
線被覆率(%)=(L2/L1)×100 ・・・(1)
次に、本実施形態の電子デバイス300が備える端子構造14を製造する方法の一例を、以下に説明する。
まず、モジュール基板上に端子構造を形成するために、モジュール基板上に端子構造の前駆体構造を形成する各工程について説明する。
次に、モジュール基板とマザーボード及び電子部品との接続部に、端子構造を形成する各工程について説明する。
パッケージ用基板である高耐熱基板(日立化成工業株式会社製、製品名:FR4、厚み:3mm)を準備した。この基板にNCドリルを用いてスルーホールを形成し、銅スルーホールめっきを行った。その後、所定形状のエッチングレジストを形成し、不要な銅配線をエッチングにより除去してデイジーチェーン回路パターンを形成した。その後、不要な箇所にめっきが析出しないようにするために、ソルダーレジストで基板の表面の一部をオーバーコートして、はんだボール接続用の銅パッド(φ0.6mm)を形成した。
上記基板の一方面に、厚み0.3mmのシリコンダミーウエハを接着剤で貼り付けた。その後、樹脂封止を行って、総厚みが1.1mmの基板を得た。この基板に、以下に説明する工程を順次行って、所定の前駆体構造を備えるパッケージ基板を作製した。
上記基板を、脱脂液(奥野製薬工業株式会社製、商品名:エースクリーン850)に、40℃で3分間浸漬した後、基板を取り出して、1分間水洗した。
基板を、プレディップ液(奥野製薬工業株式会社製、商品名:NNPアクセラB)に、25℃で30秒間浸漬した。本工程は、次の工程で用いるめっき浴の各成分の濃度が低くなるのを抑制するために実施した。
基板を、めっき活性化処理液(奥野製薬工業株式会社製、商品名:NNPアクセラ)に、35℃で5分間浸漬した。その後、めっき活性化処理液から基板を取り出して、1分間水洗した。
基板を、ポストディップ液(奥野製薬工業株式会社製、商品名:NNPポストディップ401)に、25℃で2分間浸漬して、基板の不導体部分に付着したパラジウム成分を除去した。
水酸化ナトリウム水溶液を用いてpH:4.6に調整した無電解ニッケルめっき液(表2に示す浴種A)に、基板を85℃で23分間浸漬して、銅パッド上に膜厚3.4μmの無電解ニッケルめっき膜を形成した。その後、無電解ニッケルめっき浴から基板を取り出して1分間水洗した。なお、EPMAにより無電解ニッケルめっき膜中のリン濃度を測定したところ、リン濃度は11質量%であった。
基板を、無電解パラジウムめっき液(表3に示す浴種C)に、60℃で3分間浸漬して、無電解ニッケルめっき膜上に膜厚0.1μmの無電解パラジウムめっき膜を形成した。その後、無電解パラジウムめっき液から基板を取り出して1分間水洗した。なお、EPMAにより無電解パラジウムめっき膜中のリン濃度を測定したところ、リン濃度は0.01質量%であった。
基板を、無電解金めっき液(表4に示す浴種A)に、80℃で10分間浸漬して、無電解パラジウムめっき膜上に膜厚0.07μmの無電解金めっき膜を形成した。その後、無電解金めっき液から基板を取り出して、1分間水洗した。
この基板のめっき膜上に、Sn−Ag−Cu系のφ0.8mmのはんだボールを付着させた。
上記パッケージ基板とは別に、デイジーチェーン回路パターンが形成された、長さ30mm×幅120mm×厚み0.8mmの基板を準備した。この基板に、以下に説明する工程を順次行って、所定の端子構造を備えるパッケージ基板を作製した。
この基板の電極端子に、Sn−Ag−Cu系のクリームはんだペーストを印刷した。
この基板の電極端子と、ダイサーカットした上述のパッケージ基板のはんだボールとが向かい合うようにして、パッケージ基板を上記基板に載せた。
パッケージ基板を上記基板に載せたまま、これをリフロー炉に入れて加熱し、基板とパッケージ基板との接続部に所定の端子構造を備える評価用基板を得た。リフロー条件は、プリヒート温度:150℃、220℃(はんだ融点)以上での溶融時間:30秒間、トップ温度:235℃、その後送風空冷により5℃/秒で冷却、とした。
無電解ニッケルめっき、無電解パラジウムめっき及び無電解金めっきの条件を表1〜4の条件、並びに評価用基板の作製時のはんだリフロー工程におけるリフロー条件及び冷却条件を表5及び6の条件としたこと以外は、実施例1と同様にして、基板上にパッケージ基板を実装して評価用基板を得た。ただし、表1に示すとおり、比較例1、2、5及び6では無電解パラジウムめっき工程を行わなかった。また、表5に示すとおり、比較例2、5及び6では評価用基板の作製時のリフロー工程後に熱アニールを行った。熱アニールは、リフロー後の評価用基板を150℃に設定された恒温層に表5の条件で保持することによって行った。
各実施例及び各比較例の評価用基板の端子構造の断面を鏡面研磨して、断面をEPMAで観察を行った。なお、主成分としてNi3Pを含む層(第二の層という)と、第二の層よりもリンに対するニッケルの原子比が大きい層(第一の層という)との界面は、組成分析によって求めた。すなわち、リンに対するニッケルの原子比が2.8〜3.2の領域を第二の層とし、当該原子比が3.2を超える領域を第一の層とした。
各実施例及び各比較例の評価用基板の端子構造の断面を薄片加工して、TEMで観察を行った。そして、TEMの画像(倍率:10万倍)上において、5個のNi−P−Sn系の金属間化合物(第二の金属間化合物という)粒子の積層方向における厚さ(図2中のH)をそれぞれ測定し、その平均値を第二の金属間化合物の厚さとした。その結果を表7に示す。
線被覆率(%)=(L2/L1)×100 ・・・(1)
落下試験装置を用いて、各実施例及び各比較例の評価用基板の落下試験を行った。具体的には、評価用基板に、評価用基板の接続面に垂直方向の衝撃(衝撃加速度:14700m/秒2)を繰り返して加え、パッケージ基板の端子と基板の電極端子との間の抵抗値を落下毎に測定した。落下試験は、同様に作製された6個の評価用基板を用いて行い、抵抗値が初期抵抗の100倍以上となるまでの落下回数の平均値を求めた。落下回数の平均値が100回以上のものを「S」、60回以上100回未満のものを「A」、30回以上60回未満のものを「B」、30回未満のものを「C」評価とした。その結果を表7に示す。
ハイスピードボンドテスター(Dage社製、製品名:DAGE−4000HS)を用いて、各実施例及び各比較例の評価用基板のシェア試験を行った。具体的には、第三の層とはんだ層との界面から50μmだけはんだ層よりの位置をシェアツールの最下点とし、試験速度2000mm/秒として、シェアツールで評価用基板の接続面に水平方向のせん断応力をはんだ層に負荷した。そして、シェア試験後の端子構造の透過型電子顕微鏡観察を行い、パッケージ基板の端子と基板の電極端子との間のシェア破壊モードを観察した。観察の結果、はんだ層内部で破壊が起こっていたものを「A」、第三の層内部で破壊が起こっていたものを「B」、第二の層及び第三の層の界面で破壊が起こっていたものを「C」評価とした。その結果を表7に示す。
Claims (6)
- 金、銀及び銅から選ばれる少なくとも一種の金属を含む導体層、
前記導体層の上にニッケル及びリンを含む第一の層、
前記第一の層の上に前記第一の層よりもリンに対するニッケルの原子比が小さく、かつNi3Pを含む第二の層、並びに
前記第二の層の上にNi−Cu−Sn系の第一の金属間化合物を含む第三の層、が積層された端子と、
前記端子の前記第三の層の上にはんだ層と、を備える端子構造であって、
前記第二の層の前記第三の層側の表面の一部を、Ni−P−Sn系の第二の金属間化合物が覆っており、積層方向における前記第二の金属間化合物の最大厚みが、0.05〜0.7μmである端子構造。 - 積層方向に沿った断面において、前記第二の金属間化合物による前記第二の層の表面の線被覆率は5〜50%である、請求項1記載の端子構造。
- 積層方向に沿った断面において、前記第二の金属間化合物は、前記第三の層から前記第二の層へ向けて凸形状を有する、請求項1又は2記載の端子構造。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の端子構造を備えるプリント配線板。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の端子構造と、該端子構造における前記導体層と電気的に接続した電子機器と、を備えるモジュール基板。
- 請求項4記載のプリント配線板及び請求項5記載のモジュール基板の少なくとも一方が搭載された電子デバイス。
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