JP5552923B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
面方位:(111)面
厚さ:625μm
原料ガス:NH3、TMA(トリメチルアルミニウム)
成長温度:1100℃
ドープ: アンドープ
膜厚: 300nm
原料ガス:NH3、TMA、TMG(トリメチルガリウム)
成長温度:1100℃
成長速度:0.05nm/秒
ドープ: アンドープ
Al組成比:0.5
膜厚: 300nm
以上の第1AlGaN層14のa軸長は、AlN層12と同じ0.311nmである。
原料ガス:NH3、TMA、TMG(トリメチルガリウム)
成長温度:1100℃
成長速度:0.10nm/秒
ドープ: アンドープ
Al組成比:0.5から0.1に徐々に変化させる。
膜厚: 100nm
以上により、第2AlGaN層16においては格子緩和が十分に生じ、最表面のa軸長は、0.318nmとなる
原料ガス:NH3、TMG
成長温度:1100℃
ドープ:アンドープ
膜厚: 1200nm
GaN層18のa軸長は0.3189nmであり、第2AlGaN層16の最表面のa軸長とほぼ等しい。このため、GaN層18はほとんど格子緩和することなく成長することができる。よって、GaN層18の第2AlGaN層16界面付近にはほとんど電子トラップは形成されない。
原料ガス:NH3、SiH4、TMA、TMG
ドープ:Siドープ
Al組成:0.25
膜厚: 25nm
上記各層の成長面は、(0002)面である。以上により、HEMT用の半導体基板が完成する。
面方位:(111)面
比抵抗:6000Ωcm以上
厚さ:675μm
原料ガス:NH3、TMA
成長温度:1100℃
ドープ: アンドープ
膜厚: 200nm
原料ガス:NH3、TMA、TMG
成長温度:1100℃
ドープ: アンドープ
成長速度:0.05nm/秒
AlN層:膜厚4nm
GaN層:膜厚16nm
周期 :20周期
膜厚: 400nm
周期構造層の表面のa軸長は、0.316nm程度である。
原料ガス:NH3、TMA、TMG
成長温度:1100℃
成長速度:0.10nm/秒
ドープ: アンドープ
Al組成比:0.4から0.1に徐々に変化させる。
膜厚: 100nm
以上により、第2AlGaN層16においては格子緩和が十分に生じる。
0.3112nm≦a1、0.3189nm≧a2
かつ、a2≧a1+0.0070nm
であることが好ましい。図9において、上記範囲をクロスで示した。
AlN層 12
第1AlGaN層 14
周期構造層 15
第2AlGaN層 16
GaN層 18
Claims (9)
- Si基板上に接して形成されたAlNを主成分とする下地層と、
前記下地層上に形成され、前記下地層から圧縮応力を受ける第1バッファ層と、
前記第1バッファ層上に形成された第2バッファ層と、
前記第2バッファ層上に形成されたAlの組成比が0.1以下のGaN系半導体層と、
を具備し、
前記第2バッファ層における前記第1バッファ層側の面の結晶軸長に対し前記第1バッファ層と反対の面の結晶軸長が前記GaN系半導体層に近く、
前記第2バッファ層の伝導帯底エネルギーが前記GaN系半導体層より高く、
前記第2バッファ層内の水素濃度は前記第1バッファ層内の水素濃度より高いことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1バッファ層および前記第2バッファ層は、AlGaN、AlN/GaN超格子、またはAlGaN/AlGaN超格子であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第2バッファ層のa軸長の平均値は前記第1バッファ層のa軸長の平均値より大きいことを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- 前記第1バッファ層のa軸長の平均値および前記第2バッファ層のa軸長の平均値は、前記第1バッファ層のa軸長の平均値をa1、前記第2バッファ層のa軸長の平均値をa2としたとき、
0.3112nm≦a1、0.3189nm≧a2
かつ、a2≧a1+0.0070nm
であることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。 - 前記第1バッファ層内の水素濃度は1×1019cm−3以下であり、かつ前記第2バッファ層内の水素濃度は1×1019cm−3以上であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の半導体装置。
- Si基板上に接してAlNを主成分とする下地層を形成する工程と、
前記下地層上に、前記下地層から圧縮応力を受ける第1バッファ層を形成する工程と、
前記第1バッファ層上に第2バッファ層を形成する工程と、
前記第2バッファ層上にAlの組成比が0.1以下のGaN系半導体層を形成する工程と、
を含み、
前記第2バッファ層における前記第1バッファ層側の面の結晶軸長に対し前記第1バッファ層と反対の面の結晶軸長が前記GaN系半導体層に近く、
前記第2バッファ層の伝導帯底エネルギーが前記GaN系半導体層より高く、
前記第2バッファ層の成長速度は、前記第1バッファ層より大きいことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1バッファ層の成長速度は0.02〜0.10nm/秒であり、前記第2バッファ層の成長速度は0.06〜0.20nm/秒であることを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- Si基板上に接してAlNを主成分とする下地層を形成する工程と、
前記下地層上に、前記下地層から圧縮応力を受ける第1バッファ層を形成する工程と、
前記第1バッファ層上に第2バッファ層を形成する工程と、
前記第2バッファ層上にAlの組成比が0.1以下のGaN系半導体層を形成する工程と、
を含み、
前記第2バッファ層における前記第1バッファ層側の面の結晶軸長に対し前記第1バッファ層と反対の面の結晶軸長が前記GaN系半導体層に近く、
前記第2バッファ層の伝導帯底エネルギーが前記GaN系半導体層より高く、
前記第2バッファ層の成長温度は、前記第1バッファ層より低いことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1バッファ層の成長温度は1000℃以上1200℃未満であり、前記第2バッファ層の成長温度は前記第1バッファ層の成長温度より100℃〜200℃低い温度であることを特徴とする請求項8記載の半導体装置の製造方法。
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