JP5552548B2 - 光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサ製造方法 - Google Patents
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Description
1.半製品の接着剤塗布工程の製造環境パラメータを安定させ、被覆後の光学ユニットの傾斜度を低減させることができる。
2.被覆後の気体室内の気体が膨張して生じる光学ユニットの傾斜の問題を回避することができる。
3.パッケージ後の接着剤が溢れる問題の発生を減少することができる。
4.被覆後の気体室内の気体圧力及び気体室外の気体圧力を平衡させることができる。
10 回路基板
11 載置面
12 第1導電接点
13 駆動IC及び受動部材
14 底面
200 半製品
20 イメージセンサダイ
21 第1表面
22 第2表面
23 センシング領域
24 第2導電接点
25 金属導線
26 接着剤
27 球状支持部材
28 ギャップ
28’ ギャップ
30 透光板
31 気体室
32 中間層
33 枠形凹縁
34 凹陥部
35 上表面
40 パッケージ接着剤
50 鋳型
600 大型パッケージ鋳型
61 上蓋
62 底台
Claims (12)
- イメージセンサの半製品であり、
載置面及び底面を有し、該載置面上に複数の第1導電接点を設置する回路基板と、
該載置面上に結合する第1表面と、センシング領域を有する第2表面と、該センシング領域の外側に設置され、それぞれ金属導線により該第1導電接点と電気接続する複数の第2導電接点と、を有するイメージセンサダイと、
を含む半製品を提供するステップと、
該半製品を、特定温度を有する環境下に安置する予熱を行うステップと、
該予熱を行うステップの後に、前記特定温度で接着剤を該第2表面上の該センシング領域及び該第2導電接点の間の領域を覆い、且つ該接着剤は、C字形パターンを呈し、該C字形パターンがギャップを有する接着剤塗布工程を行うステップと、
該接着剤塗布工程を行った後に、前記特定温度で光学ユニットを該接着剤上に安置し、該接着剤を硬化させ、該光学ユニットを該第2表面上に接着固定し、該イメージセンシングダイ及び該光学ユニット間に気体室を形成する光学ユニット被覆工程を行うステップと、
該光学ユニット被覆工程を行った後に該ギャップを密封接着剤で密封するギャップを密封するステップと、
パッケージ接着剤により該半製品及び該光学ユニットをパッケージングするパッケージ工程を行うステップと、
を含む光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。 - イメージセンサの半製品であり、
載置面及び底面を有し、該載置面上に複数の第1導電接点を設置する回路基板と、
該載置面上に結合する第1表面と、センシング領域を有する第2表面と、該センシング領域の外側に設置され、それぞれ金属導線により該第1導電接点と電気接続する複数の第2導電接点と、を有するイメージセンサダイと、
を含む半製品を提供するステップと、
該半製品を、特定温度を有する環境下に安置する予熱を行うステップと、
該予熱を行うステップの後に、前記特定温度で接着剤を該第2表面上の該センシング領域及び該第2導電接点の間の領域を覆い、且つ該接着剤は、2つのL字形パターンを呈し、且つ該L字形パターンは、相対設置され、対角上に2つのギャップを有する口字形パターンを形成する接着剤塗布工程を行うステップと、
該接着剤塗布工程を行った後に、前記特定温度で光学ユニットを該接着剤上に安置し、該接着剤を硬化させ、該光学ユニットを該第2表面上に接着固定し、該イメージセンシングダイ及び該光学ユニット間に気体室を形成する光学ユニット被覆工程を行うステップと、
該光学ユニット被覆工程を行った後に該ギャップを密封接着剤で密封するギャップを密封するステップと、
パッケージ接着剤により該半製品及び該光学ユニットをパッケージングするパッケージ工程を行うステップと、
を含む光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。 - イメージセンサの半製品であり、
載置面及び底面を有し、該載置面上に複数の第1導電接点を設置する回路基板と、
該載置面上に結合する第1表面と、センシング領域を有する第2表面と、該センシング領域の外側に設置され、それぞれ金属導線により該第1導電接点と電気接続する複数の第2導電接点と、を有するイメージセンサダイと、
を含む半製品を提供するステップと、
該半製品を、特定温度を有する環境下に安置する予熱を行うステップと、
該予熱を行うステップの後に、前記特定温度で接着剤を該第2表面上の該センシング領域及び該第2導電接点の間の領域を覆い、且つ該接着剤は、閉鎖式ループパターンを呈するものである接着剤塗布工程を行うステップと、
該接着剤塗布工程を行った後に、前記特定温度で光学ユニットを該接着剤上に安置し、該接着剤を硬化させ、該光学ユニットを該第2表面上に接着固定し、該イメージセンシングダイ及び該光学ユニット間に気体室を形成し、前記光学ユニットは、該接着剤上に対応させるとともに接着し、口字形構造であり且つ凹陥部を有し、上表面の内側に枠形凹縁を形成する中間層と、該枠形凹縁上に接着し、該中間層とを結合させる時、外側にギャップを形成する透光板と、を含む光学ユニット被覆工程を行うステップと、
該光学ユニット被覆工程を行った後に該ギャップを密封接着剤で密封するギャップを密封するステップと、
パッケージ接着剤により該半製品及び該光学ユニットをパッケージングするパッケージ工程を行うステップと、
を含む光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。 - 前記イメージセンサダイは、CMOSセンサダイ又は電荷結合部材である請求項1から3のいずれかに記載の光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。
- 前記特定温度は、35℃〜45℃の間に介する請求項1から3のいずれかに記載の光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。
- 前記接着剤は、複数の球状の支持部材を更に添加する請求項1から3のいずれかに記載の光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。
- 前記光学ユニットは、透光板であり、ガラスから形成される請求項1又は2に記載の光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。
- 前記接着剤は、光硬化接着剤である請求項1から3のいずれかに記載の光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。
- 前記光硬化接着剤は、紫外光硬化接着剤であり、且つ該光学ユニット被覆工程において、UV光を該紫外光硬化接着剤に照射することで、それを硬化させる請求項8に記載の光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。
- 前記パッケージ工程において、該パッケージ接着剤は、該半製品、該接着剤及び該光学ユニットの側辺を覆う請求項1から3のいずれかに記載の光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。
- 前記パッケージ工程において、該パッケージ接着剤は、該回路基板上に設置され、該イメージセンサダイ、該接着剤及び該光学ユニットの側辺を覆う請求項1から3のいずれかに記載の光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。
- 前記中間層の材料は、ガラス、セラミック、液晶ポリマー、成形化合物、シロキサンポリマー、感光性ドライフィルム又はソルダーマスクである請求項3に記載の光学ユニットの傾斜度を低減するイメージセンサの製造方法。
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