JP5538533B2 - 溶融坩堝から石英ガラスシリンダを引き抜く方法並び装置 - Google Patents

Description

本発明は、溶融坩堝から石英ガラスシリンダを引き抜く方法であって、溶融坩堝が坩堝内室を有していて、該坩堝内室は坩堝中心軸線の方向で延びていて、側壁と底部とによって画定されており、溶融坩堝にＳｉＯ_２造粒物を供給し、溶融坩堝内において軟化させて粘稠性の石英ガラス材料を形成し、該石英ガラス材料を第１の引抜き装置を用いて、溶融坩堝の底部に設けられた第１の引抜きノズルを通して、シリンダ形の石英ガラスストランドとして、鉛直方向下方に向かって引き抜き、石英ガラスシリンダを裁断によって生ぜしめる形式の方法に関する。

本発明はさらに、石英ガラスシリンダを引き抜く装置であって、ＳｉＯ_２造粒物を収容する溶融坩堝が設けられていて、該溶融坩堝が坩堝内室を有していて、該坩堝内室は坩堝中心軸線の方向で延びていて、側壁と底部とによって画定されており、ＳｉＯ_２造粒物を軟化させるための加熱装置と、溶融坩堝の底部に設けられた第１の引抜きノズルと、該第１の引抜きノズルを通して石英ガラスストランドを引き抜くための引抜き装置とが設けられている形式のものに関する。

背景技術
垂直形溶融坩堝引抜き法（Vertikal-Tiegelziehverfahren）は、任意の横断面形状を有するロッド、管又はプレートのような、石英ガラスから成るシリンダ形の構成部分を、連続的に製造するために使用される。この場合、ガラス原料としてのＳｉＯ_２造粒物は、溶融坩堝内で溶融されて、比較的に高粘性の石英ガラス材料（以下において、石英ガラス溶融物とも呼ぶ）を形成し、溶融坩堝底部に設けられていて軸線対称に引抜き製品のために設計された引抜きノズルを介して、ガラスストランド（Glasstrang）として引き抜かれる。ガラスストランドからは所定長さに裁断されて個別品が形成され、これらの個別品から、所望の石英ガラス構成部材が、完成品として又は半製品として製造される。

この場合注意すべき点は、引き抜かれたガラスストランドにおける不均質性を回避すること、及び坩堝内室内において可能な限り等しくかつコンスタントな溶融条件を生ぜしめることにある。しかしながら上記技術を用いては、石英ガラス溶融物はその高い温度と粘性に基づいて、例えばホウケイ酸ガラス溶融物やソーダ石灰ガラス溶融物のような低粘性のガラス溶融物の場合に通常であるように、均質化させることができない。特に、このような低粘性のガラス溶融物の精錬のために使用される撹拌装置は、石英ガラス溶融物の均質化のためには適していない。なぜならば、撹拌時に生じた気泡を、高い粘性のために、引抜きプロセスの経過中にもはや除去することができないからである。

ＳｉＯ_２造粒物を供給するために通常は、溶融坩堝内に進入している供給ホッパが設けられており、この供給ホッパの下端部は、粘稠性の石英ガラス材料の表面の上において終端している。この場合、溶融物表面の上に浮遊する粒状のＳｉＯ_２原料から成る、堆積円錐体が形成される。この引抜き方法は、溶融坩堝の中心軸線領域において縁部領域におけるよりも著しく速い流れが生じるという、石英ガラス溶融物の流れ特性によって特徴付けられており、このような流れは「サイロ流」と呼ぶことができる。

この場合、堆積円錐体の中心と溶融坩堝の引抜きノズルとを直接結ぶ結合線上におけるＳｉＯ_２造粒物の凹部は、溶融物において比較的僅かな滞在時間しか有しておらず、かつ相応に僅かな温度負荷しか受けない。この影響はさらに、坩堝中心軸線に沿った軸方向における温度分布が、縁部におけるよりも最大で５０℃ほど低い温度を有していることによって、強くなる。これによって、ＳｉＯ_２造粒物が坩堝中心では完全には溶融せず、引き抜かれるガラスストランドにおいて不都合を生ぜしめることがある。

「サイロ流」は特に引抜きノズル寸法が小さい場合に、不都合が顕著であり、ＳｉＯ_２造粒物のための平均滞在時間を全体として延長する必要があり、溶融処理の効率を制限することになる。

そこで、ガラス出発材料の可能な限り均質な溶融を、引抜き炉における軸方向における温度経過を特別に適合させることによって達成しようという試み（ＤＥ２２１７７２５Ｂ２）や、等しくかつ一定の溶融条件を、溶融物表面における溶融されるべきＳｉＯ_２造粒物の再現可能な分布及び圧縮に関して保証しようという試み（ＵＳ３２４９４１７Ａ；ＷＯ２００６／０１５７６３Ａ１）がなされている。

また、粘稠性の石英ガラス溶融物の流れを温度の均一化のために導く、ということも提案されている。このような形式の方法はＤＥ１５９６６６４Ａに記載されており、このＤＥ１５９６６６４Ａに基づいて、冒頭に述べた形式の装置も公知である。この公知の装置では、溶融坩堝から管形状の石英ガラスストランドを引き抜くために、タングステン製のノズルが使用され、このノズルは円形の開口を有していて、この開口には上から心棒が進入していて、この心棒は、タングステン製の中空シャフトに石英ガラス溶融物内において懸吊状態で保持される。心棒のポジションは変化可能である。心棒は、砂時計の形の突出部を備えた上側部分を有していて、この上側部分は中間リングを介して、円錐台形状の下側部分と結合されており、この下側部分は、その幅を変化可能なリング間隙を残しながら、ノズル開口内にまで延びている。上側部分の幾何学形状によって、中央の低温の溶融流は変向させられ、石英ガラス溶融物の内部における温度は均一化される。

公知の引抜き方法において使用されている装置は、その構造及び取扱いがかなり複雑もしくは面倒であり、かつ公知の方法は、坩堝内室における温度変化に対してかなり敏感であることが分かっている。

技術的な課題
ゆえに本発明の課題は、均質な石英ガラスシリンダの製造と、かつ同時に高い生産性とを可能にする方法を提供することである。

さらに本発明の課題は、単純な構造を有していてかつ取扱いが簡単な、前記方法を実施するための装置を提供することである。

前記課題を解決するために本発明の方法では、冒頭に述べた形式の方法において、少なくとも１つの第２の石英ガラスストランドを、溶融坩堝の底部に設けられた少なくとも１つの、別の第２の引抜きノズルを通して引き抜き、第１の引抜きノズルと第２の引抜きノズルとは互いに間隔をおいて、かつ坩堝中心軸線に対して偏心的に配置されているようにした。

本発明の目的は、僅かしか均質化されていない石英ガラス材料が引抜きノズル内に直に進入することを伴う、坩堝中心における顕著なサイロ流を回避すること、及び同時に引抜き方法の生産性を高めることにある。そのためには、複数の手段の相互作用が重要である：
１. ただ１つの引抜きノズルの代わりに、溶融坩堝の底部に２つ又は３つ以上の引抜きノズルが設けられており、これらの引抜きノズルを通して各１つの石英ガラスストランドが溶融坩堝から引き抜かれる。この手段が引抜き方法の生産性を高めることは、明らかである。
２. この場合しかしながらまた、引抜きノズルのうちのいずれもが坩堝中心に配置されていないことが、重要である。引抜きノズルが偏心的に配置されていることによって、溶融技術的に不都合な中心流は回避されるか又は減じられ、縁部近傍の流れが生ぜしめられる。これに付随して、坩堝中心軸線における軸方向の温度分布に比べて、中心において高い温度分布を有する軸方向の温度分布が生ぜしめられる。このことは、供給されるべき溶融エネルギの減少を可能にし、これによりエネルギが節約され、特に溶融坩堝の熱的な負荷が減じられ、ひいては溶融物内への汚染の侵入が阻止される。
３. 少なくとも２つの引抜きノズルは、部分的に互いに関連付けられかつ相互に作用し合う複数の個別流を生ぜしめる。これによって、石英ガラス材料の均質化に寄与するある程度の混合効果が得られる。

引抜きノズルの数に応じて、製品固有の標準溶融出力が同じ場合には、溶融坩堝における滞在時間が長くなり、これによって引き抜かれる石英ガラスの品質が高くなり、逆に、従来汎用の滞在時間を維持した場合には、溶融出力を相応に高めることができる。

従って本発明は単に、汎用の引抜き方法に対して生産性を高めるのみならず、同時に、坩堝温度が同じ場合には、引き抜かれる石英ガラスストランドの均質性を改善することができ、又は均質性が同じ場合には、溶融坩堝における温度負荷を減じることができる。これらの手段は、上に述べたように、間接的に同様に生産性にも影響を及ぼす。

上で２.及び３.において述べた手段のポジティブな作用は、坩堝底部の上方における引抜きノズルの分配配置に関連しており、この場合特に、引抜きノズル相互の間隔に関連している。これらの作用は、引抜きノズル相互の間における間隔が大きくなればなるほど、顕著になる。これに関して、第１の引抜きノズルと別の第２の引抜きノズルとが、互いの間に少なくとも２０ｍｍの間隔、有利には少なくとも５０ｍｍの間隔を有していると、有利であるということが判明している。

間隔というのは、隣接し合う引抜きノズルの中心軸線の間隔ではなく、各ノズル開口の間の最小距離を意味している。従って間隔は、互いに隣接するノズル開口の間に残されている、坩堝底部における最小ウェブ幅のことである。

坩堝中心軸線に対する引抜きノズルの偏心的な配置形式は、引抜きノズルのうちの１つが坩堝中心軸線と交差しているような方法形式をも含む。しかしながら本発明による方法の特に有利な態様では、引抜きノズルは、坩堝中心軸線を中心にして均一に分配配置されている。

この場合には引抜きノズル開口のいずれもが、溶融坩堝の中心軸線と交差していないので、中心流は十分に回避される。引抜きノズルが、坩堝中心軸線を中心にして均一に分配配置されていることにより、溶融された石英ガラス材料を各石英ガラスストランドに再現可能にかつ均一に分配することができる。

上記配置形式に関連して、正確に２つの引抜きノズルが設けられていて、両引抜きノズルが坩堝中心軸線を挟んで互いに対向して位置していると、有利であることが判明している。

３つ以上の引抜きノズルが設けられている場合には、構造上の手間もしくはコストが、特に各石英ガラスストランドの調整された引抜きのための手間もしくはコストが、過度に増大する、ということが示されている。従って方法の有利な実施態様では、ただ２つの引抜きノズルが設けられている。これらの引抜きノズルの引抜きノズル開口は、坩堝中心軸線を挟んで互いに対向して位置していて、坩堝中心軸線と交差していない。上に述べた理由（溶融された石英ガラス材料の均一な分配）に基づいて、引抜きノズル開口は有利には坩堝中心軸線に対して同じ間隔を有している。

本発明の別の有利な方法では、第１の引抜きノズルを通して１つの石英ガラスストランドが第１の材料流で引き抜かれ、第２の引抜きノズルを通して別の石英ガラスストランドが第２の材料流で引き抜かれ、第１の材料流と第２の材料流とは最大で１００％（材料流のうちの少ない方の材料流に比して）異なっている。

もし引抜きノズルから引き抜かれる材料流が著しく異なっていると、溶融坩堝の内部における各流れのフィードバックに基づいて、強い方の流れ（及び大きい方の材料流）において僅かな変化が生じるだけで、弱い方の流れ（及び小さい方の材料流）においては不都合に大きな変化が発生し、製品品質に対して不都合な影響を及ぼす。

特に、引抜きノズルの開口横断面の可能な限り均一な分配配置、可能な限り僅かな相互の影響及び石英ガラスストランドのうちの１つの引抜き時における変化又は中断時における可能な限り僅かな影響に関しては、材料流は可能な限り小さい。第１及び第２の引抜きノズルの開口横断面が最大でそれぞれ５０ｃｍ^２であると、有利なことが判明している。

構造上特に単純な特殊な場合には、引抜き装置は、複数の引抜きノズルから複数の石英ガラスストランドを同時に引き抜くように設けられている。このことはしかしながら、引抜きノズル開口及び引き抜かれる石英ガラスストランドのジオメトリが同じであることを前提とする。

第２の引抜き装置が使用され、該第２の引抜き装置を用いて、第２の引抜きノズルから進出する石英ガラスストランドが引き抜かれるようにすると、異なった横断面ジオメトリを有する引抜きノズルの使用時における変化可能性及び引き抜かれる石英ガラスストランドの形状及び半径方向寸法における変化可能性は、大きくなる。

この場合にまた、両方の石英ガラスストランドを互いに無関係に引き抜くこと、及びそれぞれの目標寸法に調整することが可能である。

さらにこの場合、第１の引抜き装置が第１のローラ式引張り装置を有していて、該第１のローラ式引張り装置が第１の長さ区分にわたって坩堝中心軸線に沿って延びており、第２の引抜き装置が第２のローラ式引張り装置を有していて、該第２のローラ式引張り装置が第２の長さ区分にわたって坩堝中心軸線に沿って延びており、第１のローラ式引張り装置の長さ区分と第２の引張り装置の長さ区分とが互いに重なっていないと、有利である。

１つのローラ式引張り装置は、引き抜かれるガラスストランドを中心にして分配配置された複数の引張りローラを有しており、これらの引張りローラは、引き抜かれるガラスストランドを中心にして対向して位置していて、該ガラスストランドに対して、該ガラスストランドを引き抜くのに適した力を加える。ローラ式引張り装置として形成された引抜き装置は、比較的安価な構造上のコストで、ガラスストランドの連続的な引張りを可能にする。この場合第１の引抜き装置の第１のローラ式引張り装置と第２の引抜き装置の第２のローラ式引張り装置とが異なった高さ平面に配置されていると、スペースの理由から有利である。

前記課題を解決するために本発明による装置の構成では、冒頭に述べた形式の装置において、溶融坩堝の底部に、少なくとも１つの、別の第２の引抜きノズルが設けられており、第１の引抜きノズルと第２の引抜きノズルとは互いに間隔をおいて、かつ坩堝中心軸線に対して偏心的に配置されている。

装置に関する本発明の目的は、単純な構造上の構成手段によって、坩堝中心における顕著なサイロ流を回避すること、及び同時に引抜き方法の生産性を高めることにある。そのためには、複数の手段の相互作用が重要である：
１. ただ１つの引抜きノズルの代わりに、溶融坩堝の底部に２つ又は３つ以上の引抜きノズルが設けられており、これらの引抜きノズルを通して各１つの石英ガラスストランドが溶融坩堝から引き抜かれる。このようにして、引抜き方法の生産性が高められる。
２. 引抜きノズルのうちのいずれもが正確に坩堝中心に配置されていない。引抜きノズルが偏心的に配置されていることによって、溶融技術的に不都合な中心流は回避されるか又は減じられ、縁部近傍の流れが生ぜしめられる。これに付随して、坩堝中心軸線における軸方向の温度分布に比べて、中心において高い温度分布を有する軸方向の温度分布が生ぜしめられる。このことは、必要な溶融エネルギの減少によるエネルギの節約のみならず、溶融坩堝の熱的な負荷の低下をも生ぜしめ、これによって溶融物内への汚染の侵入が阻止され、ひいてはスクラップが減じられ、さらには保守インターブルが長くなり、これにより全体として生産性に有利な影響が及ぼされる。

少なくとも２つの引抜きノズルは、互いに部分的に連結されていて相互に作用し合う個別流を生ぜしめる。これによって、石英ガラス材料の均質化、ひいては同様にスクラップ減少に寄与するある程度の混合効果が得られる。

引抜きノズルの数に応じて、製品固有の標準溶融出力が同じ場合には、溶融坩堝における滞在時間が長くなり、これによって引き抜かれる石英ガラスの品質が高くなり、逆に、従来汎用の滞在時間を維持した場合には、溶融出力を相応に高めることができる。

本発明による装置の有利な態様は、従属請求項に記載されている。装置の従属請求項に記載された構成が、本発明による方法の従属請求項に記載の態様に相当する場合には、装置の有利な態様についても、方法の態様について記載したのと同じことが言える。

実施の形態
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。

複数の引抜きノズルを備えた溶融坩堝を有する、本発明による溶融炉の１実施形態を示す縦断面図である。 図１に示した溶融坩堝の底部を下から見た平面図である。

図１に示された引抜き炉は、タングステン製の溶融坩堝１を有しており、この溶融坩堝１内には上から供給管片２を介して連続的にＳｉＯ_２造粒物３が装入される。溶融坩堝１は、保護ガスによって洗浄される保護ガス室１０の下で、水冷式の炉ジャケット１４によって取り囲まれており、保護ガス室１０の内部には、酸化物絶縁材料製の多孔質の絶縁層８と、ＳｉＯ_２造粒物３を加熱するための抵抗加熱装置１３とが収容されている。保護ガス室１０は下方に向かって開放していて、その他の部分は底部プレート１５とカバープレート１６とによって外方に向かってシールされている。

溶融坩堝１は、４００ｍｍの内径を有する円筒形の坩堝内室５を有しており、この坩堝内室５のシリンダ長手方向軸線は、坩堝中心軸線６に対して同軸的に延びている。坩堝内室５は同様に周囲に対してカバー１８とシールエレメント１９とを用いてシールされている。カバー１８を貫いて、純粋水素である坩堝内室ガスのための入口２２と出口２１とが延びている。同様に保護ガス室１０は上側領域に、純粋水素のためのガス入口２３を備えている。

溶融坩堝１の底部７には中心軸線６に対して偏心的に、それぞれ円形の開口を備えた２つの引抜きノズル４ａ，４ｂが挿入されており、これらの引抜きノズル４ａ，４ｂは同様にタングステン部材１７から成っている。引抜きノズル４ａ，４ｂは同一構造を有しており、上から下に向かって最初は４０ｍｍの最小内径へと先細になっていて、次いで再び下側のノズル開口の領域において７０ｍｍへと拡大している。

引抜きノズル４ａ，４ｂを介して軟らかい石英ガラス材料９が進出し、それぞれ７０ｍｍの直径を有する２つの中実の円柱ストランド１１ａ，１１ｂとして、ローラ式引張り装置１２ａ，１２ｂを用いて、鉛直方向で下方に坩堝中心軸線６の方向で引き抜かれる。ローラ式引張り装置１２ａ，１２ｂは、高さを互いにずらされて配置されていて、それぞれ、各円柱ストランド１１ａ，１１ｂのための直径を調整するための制御兼調整装置（図示せず）と接続されている。両方の円柱ストランド１１ａ，１１ｂからは、所望の長さの個別品が裁断される。

図面を見易くするために、図２における坩堝底部７を下から見た平面図において、図１における同じ部材には、同一符号及び同一ハッチングが使用されている（しかしながら図２は断面を示していない）。上から下に向かって先細になる引抜きノズル４ａ，４ｂは偏心的に配置されていて、坩堝中心軸線６に対して７５ｍｍの間隔をおいて位置している。

以下においては、本発明による方法の１実施形態を図１及び図２を参照して詳説する。

例１
供給管片２を介して連続的にＳｉＯ_２造粒物３が溶融坩堝１内に供給され、その中で約２１００℃〜２２００℃の温度に加熱される。この際に溶融坩堝１の下側領域において軟らかい石英ガラス材料９が生じ、この石英ガラス材料９上には、ＳｉＯ_２造粒物３から成る造粒物層が浮遊している。ＳｉＯ_２造粒物３から、軟化された石英ガラス材料９のほぼ等しい大きさの２つの主材料流２０ａ，２０ｂが、両引抜きノズル４ａ，４ｂに向かって形成される。両主材料流２０ａ，２０ｂは図１においてハッチング及び白抜き矢印によって示されている。

石英ガラス材料９は溶融坩堝１の縁部近傍領域において、中央領域におけるよりも平均して高い温度にさらされているので、石英ガラス材料９は縁部近傍の両主材料流２０ａ，２０ｂにおいて良好に、つまり所定の溶融坩堝温度において中央領域におけるよりも良好に均質化される。坩堝中心軸線６を取り囲む中央の溶融坩堝領域を通るサイロ流は、完全に回避され、引抜き方法の生産性は２倍になる。

例２
例１とは択一的に、ＳｉＯ_２造粒物３は溶融坩堝１内において約２０５０℃〜２１５０℃の温度に加熱され、つまり例１におけるよりも約５０℃低温で加熱される。

この例２においても、ＳｉＯ_２造粒物３から、石英ガラス材料９のほぼ等しい大きさの２つの主材料流２０ａ，２０ｂが縁部近傍において、両引抜きノズル４ａ，４ｂに向かって形成される。

主材料流２０ａ，２０ｂにおける石英ガラス材料９はこの場合、汎用の引抜き方法における「サイロ流」のような、ほぼ１つの温度負荷にさらされており、このようにして得られる円柱ストランド１１ａ，１１ｂは、汎用の引抜き方法において生ぜしめられる中央のストランドとほぼ等しい均質性を有している。しかしながら溶融坩堝１の壁及び坩堝底部７の温度負荷は僅かであるので、坩堝からの摩耗剥離物及び他の汚染物の、軟化された石英ガラス材料への混入が僅かになり、かつ溶融坩堝の耐用寿命も長くなる。これによってスクラップは僅かになり、保守インターブルは長くなり、ひいては高い生産性が得られる。

１ 溶融坩堝、 ２ 供給管片、 ３ ＳｉＯ_２造粒物、 ４ａ，４ｂ 引抜きノズル、 ５ 坩堝内室、 ６ 坩堝中心軸線、 ７ 底部、 ８ 絶縁層、 ９ 石英ガラス材料、 １０ 保護ガス室、 １１ａ，１１ｂ 円柱ストランド、 １２ａ，１２ｂ ローラ式引張り装置、 １３ 抵抗加熱装置、 １４ 炉ジャケット、 １５ 底部プレート、 １６ カバープレート、 １７ タングステン部材、 １８ カバー、 １９ シールエレメント、 ２０ａ，２０ｂ 主材料流、 ２１ 出口、 ２２ 入口、 ２３ ガス入口

Claims (15)

1. 溶融坩堝（１）から石英ガラスシリンダを引き抜く方法であって、溶融坩堝（１）が坩堝内室（５）を有していて、該坩堝内室（５）は坩堝中心軸線（６）の方向で延びていて、側壁と底部（７）とによって画定されており、溶融坩堝（１）にＳｉＯ_２造粒物（３）を供給し、溶融坩堝（１）内において軟化させて粘稠性の石英ガラス材料（９）を形成し、該石英ガラス材料（９）を第１の引抜き装置（１２ａ）を用いて、溶融坩堝（１）の底部（７）に設けられた第１の引抜きノズル（４ａ）を通して、シリンダ形の石英ガラスストランド（１１ａ）として、鉛直方向下方に向かって引き抜き、石英ガラスシリンダを裁断によって生ぜしめる形式の方法において、少なくとも１つの第２の石英ガラスストランド（１１ｂ）を、溶融坩堝（１）の底部（７）に設けられた少なくとも１つの、別の第２の引抜きノズル（４ｂ）を通して引き抜き、第１の引抜きノズル（４ａ）と第２の引抜きノズル（４ｂ）とは互いに間隔をおいて、かつ坩堝中心軸線（６）に対して偏心的に配置されていることを特徴とする、溶融坩堝（１）から石英ガラスシリンダを引き抜く方法。
2. 第１の引抜きノズル（４ａ）と第２の引抜きノズル（４ｂ）とは、互いの間に少なくとも２０ｍｍの間隔を有している、請求項１記載の方法。
3. 引抜きノズル（４ａ；４ｂ）は、坩堝中心軸線（６）を中心にして均一に分配配置されている、請求項１又は２記載の方法。
4. 正確に２つの引抜きノズル（４ａ；４ｂ）が設けられていて、両引抜きノズル（４ａ；４ｂ）は坩堝中心軸線（６）を挟んで互いに対向して位置している、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
5. 第１の引抜きノズル（４ａ）を通して１つの石英ガラスストランド（１１ａ）が第１の材料流で引き抜かれ、第２の引抜きノズル（４ｂ）を通して別の石英ガラスストランド（１１ｂ）が第２の材料流で引き抜かれ、第１の材料流と第２の材料流とは最大で１００％（材料流のうちの少ない方の材料流に比して）異なっている、請求項４記載の方法。
6. 第１及び第２の引抜きノズル（４ａ；４ｂ）の開口横断面は最大で５０ｃｍ^２である、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
7. 第２の引抜き装置（１２ｂ）が使用され、該第２の引抜き装置（１２ｂ）を用いて、第２の引抜きノズル（４ｂ）から進出する石英ガラスストランド（１１ｂ）が引き抜かれる、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
8. 第１の引抜き装置（１２ａ）は第１のローラ式引張り装置を有していて、該第１のローラ式引張り装置は第１の長さ区分にわたって坩堝中心軸線（６）に沿って延びており、第２の引抜き装置（１２ｂ）は第２のローラ式引張り装置を有していて、該第２のローラ式引張り装置は第２の長さ区分にわたって坩堝中心軸線（６）に沿って延びており、第１のローラ式引張り装置の長さ区分と第２の引張り装置の長さ区分とは互いに重なっていない、請求項５記載の方法。
9. 石英ガラスシリンダを引き抜く装置であって、ＳｉＯ_２造粒物（３）を収容する溶融坩堝（１）が設けられていて、該溶融坩堝（１）が円筒形の坩堝内室（５）を有していて、該坩堝内室（５）は坩堝中心軸線（６）の方向で延びていて、側壁と底部（７）とによって画定されており、ＳｉＯ_２造粒物（３）を軟化させるための加熱装置（１３）と、溶融坩堝（１）の底部（７）に設けられた第１の引抜きノズル（４ａ）と、該第１の引抜きノズル（４ａ）を通して石英ガラスストランド（１１ａ）を引き抜くための引抜き装置（１２ａ）とが設けられている形式のものにおいて、溶融坩堝（１）の底部（７）に、少なくとも１つの、別の第２の引抜きノズル（４ｂ）が設けられており、第１の引抜きノズル（４ａ）と第２の引抜きノズル（４ｂ）とは互いに間隔をおいて、かつ坩堝中心軸線（６）に対して偏心的に配置されていることを特徴とする、石英ガラスシリンダを引き抜く装置。
10. 第１の引抜きノズル（４ａ）と第２の引抜きノズル（４ｂ）とは、互いの間に少なくとも２０ｍｍの間隔を有している、請求項９記載の装置。
11. 引抜きノズル（４ａ；４ｂ）は、坩堝中心軸線（６）を中心にして均一に分配配置されている、請求項９又は１０記載の装置。
12. 正確に２つの引抜きノズル（４ａ；４ｂ）が設けられていて、両引抜きノズル（４ａ；４ｂ）は坩堝中心軸線（６）を挟んで互いに対向して位置している、請求項９から１１までのいずれか１項記載の装置。
13. 第１及び第２の引抜きノズル（４ａ；４ｂ）の開口横断面はそれぞれ最大で５０ｃｍ^２である、請求項９から１２までのいずれか１項記載の装置。
14. 第２の引抜きノズル（４ｂ）から進出する石英ガラスストランド（１１ｂ）を引き抜くための第２の引抜き装置（１２ｂ）が設けられている、請求項９から１３までのいずれか１項記載の装置。
15. 第１の引抜き装置（１２ａ）は第１のローラ式引張り装置を有していて、該第１のローラ式引張り装置は第１の長さ区分にわたって坩堝中心軸線（６）に沿って延びており、第２の引抜き装置（１２ｂ）は第２のローラ式引張り装置を有していて、該第２のローラ式引張り装置は第２の長さ区分にわたって坩堝中心軸線（６）に沿って延びており、第１のローラ式引張り装置の長さ区分と第２の引張り装置の長さ区分とは互いに重なっていない、請求項１４記載の装置。

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