DE102009030852B3 - Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen eines Quarzglaszylinders aus einem Schmelztiegel - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen eines Quarzglaszylinders aus einem Schmelztiegel Download PDF

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Abstract

Bei einem bekannten Verfahren zum Ziehen eines Quarzglaszylinders aus einem Schmelztiegel, der einen Tiegel-Innenraum umfasst, der sich in Richtung einer Tiegel-Mittelachse erstreckt und von einer Seitenwand und einem Boden begrenzt ist, wird dem Schmelztiegel SiO-Körnung zugeführt, darin zu einer viskosen Quarzglasmasse erweicht und diese mittels einer ersten Abzugseinrichtung durch eine im Boden des Schmelztiegels vorgesehene erste Ziehdüse als zylinderförmiger Quarzglasstrang vertikal nach unten abgezogen und daraus der Quarzglaszylinder abgelängt. Um hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, welches die Herstellung homogener Quarzglaszylinder bei gleichzeitig hoher Produktivität ermöglicht, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass mindestens ein zweiter Quarzglasstrang durch mindestens eine weitere im Boden des Schmelztiegels vorgesehene zweite Ziehdüse abgezogen wird, wobei die erste Ziehdüse und die zweite Ziehdüse beabstandet voneinander und exzentrisch zur Tiegel-Mittelachse angeordnet sind.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ziehen eines Quarzglaszylinders aus einem Schmelztiegel, der einen Tiegel-Innenraum umfasst, der sich in Richtung einer Tiegel-Mittelachse erstreckt und von einer Seitenwand und einem Boden begrenzt ist, indem dem Schmelztiegel SiO2-Körnung, zugeführt, darin zu einer viskosen Quarzglasmasse erweicht und diese mittels einer ersten Abzugseinrichtung durch eine im Boden des Schmelztiegels vorgesehene erste Ziehdüse als zylinderförmiger Quarzglasstrang vertikal nach unten abgezogen und daraus der Quarzglaszylinder abgelängt wird.
  • Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Ziehen eines Quarzglaszylinders, mit einem Schmelztiegel zur Aufnahme von SiO2-Körnung, der einen Tiegel-Innenraum umfasst, der sich in Richtung einer Tiegel-Mittelachse erstreckt und von einer Seitenwand und einem Boden begrenzt ist, mit einer Heizeinrichtung zum Erweichen des der SiO2-Körnung, sowie mit einer im Boden des Schmelztiegels vorgesehenen ersten Ziehdüse, und mit einer ersten Abzugseinrichtung zum Abziehen eines Quarzglasstrangs durch die erste Ziehdüse.
  • Stand der Technik
  • Vertikal-Tiegelziehverfahren werden zur kontinuierlichen Herstellung zylinderförmiger Bauteile aus Quarzglas, wie Stäbe, Rohre oder Platten mit beliebigem Querschnittsprofil eingesetzt. Dabei wird SiO2-Körnung als Glasausgangsstoff in einem Schmelztiegel zu einer relativ hochviskosen Quarzglasmasse erschmolzen (im Folgenden auch als „Quarzglasschmelze” bezeichnet) und über eine axialsymmetrisch, eine für das Zielprodukt ausgelegte Ziehdüse am Tiegelboden als Glasstrang abgezogen. Aus dem Glasstrang werden Teilstücke abgelängt, aus denen das gewünschte Quarzglas-Bauteil als Fertigprodukt oder als Halbzeug gefertigt wird.
  • Dabei liegt ein besonderes Augenmerk darauf, Inhomogenitäten im abgezogenen Glasstrang zu vermeiden und im Tiegel-Innenraum möglichst gleiche und konstante Schmelzbedingungen zu schaffen. Infolge ihrer hohen Temperatur und Viskosität kann eine Quarzglasschmelze jedoch nicht mittels der Techniken homogenisiert werden, wie sie bei niedrigviskosen Glasschmelzen, wie beispielsweise Borosilikatglas- oder Kalk-Natron-Glasschmelzen, üblich sind. Insbesondere sind zum Läutern derartiger Glasschmelzen eingesetzte Rühreinrichtungen für die Homogenisierung einer Quarzglasschmelze nicht geeignet, da beim Rühren erzeugte Blasen wegen der hohen Viskosität im Verlauf des Ziehprozesses nicht mehr beseitigt werden können.
  • Für die Zufuhr der SiO2-Körnung ist in der Regel ein Schütttrichter vorgesehen, der in den Schmelztiegel hineinragt, und dessen unteres Ende oberhalb der Oberfläche der zähflüssigen Quarzglasmasse endet. Es bildet sich dabei ein Schüttkegel aus dem auf der Schmelzoberfläche aufschwimmenden, körnigen SiO2-Rohmaterial aus. Diese Ziehverfahren sind durch ein Strömungsverhalten der Quarzglasschmelze mit einer ausgeprägt höheren Strömung im Mittelachsenbereich des Schmelztiegels als im Randbereich charakterisiert, die als „Siloströmung” bezeichnet werden kann.
  • Dabei erfahren die SiO2-Körnungsteichen auf der direkten Verbindungslinie zwischen der Schüttkegelmitte und der Ziehdüse des Schmelztiegels eine vergleichsweise geringere Verweilzeit in der Schmelze und eine dementsprechend geringere Temperaturbeaufschlagung. Dieser Effekt wird noch dadurch verstärkt, dass das axiale Temperaturprofil entlang der Tiegel-Mittelachse um bis zu 50°C niedrigere Temperaturen als am Rand aufweist, was so weit gehen kann, dass SiO2-Körnung in der Tiegelmitte nicht vollständig aufgeschmolzen wird und zu Störungen im abgezogenen Glasstrang führt.
  • Die „Siloströmung” macht sich insbesondere bei kleinen Ziehdüsenabmessungen ungünstig bemerkbar und erfordert eine Verlängerung der mittleren Verweilzeiten für die SiO2-Körnung insgesamt und begrenzt die Effizienz des Schmelzdurchsatzes.
  • Man versucht daher, ein möglichst gleichmäßiges Einschmelzen der Glasausgangsstoffe mit Hilfe eines besonders angepassten axialen Temperaturverlaufs im Ziehofen zu erreichen ( DE 22 17 725 B2 ) oder gleiche und konstante Einschmelzbedingungen über eine reproduzierbare Verteilung und Verdichtung der einzuschmelzenden SiO2-Körnung auf der Schmelzoberfläche ( US 3,249,417 A ; WO 2006/015763 A1 ) zu gewährleisten.
  • Es ist auch vorgeschlagen worden, die Strömungen der zähflüssigen Quarzglasschmelze zwecks Homogenisierung der Temperatur zu lenken. Ein Verfahren dieser Art beschreibt die DE 1 596 664 A aus der auch eine Vorrichtung der eingangs genannten Gattung bekannt ist. Zum Ziehen eines rohrförmigen Quarzglasstrangs aus einem Schmelztiegel wird hierbei eine Wolfram-Düse eingesetzt, die eine kreisförmige Öffnung aufspannt, in die von oben ein Dorn hineinragt, der an einem Hohlschaft aus Wolfram hängend in der Quarzglasschmelze gehalten wird. Die Position des Dorns ist veränderbar. Der Dorn weist ein Oberteil mit einer Ausbuchtung in Form eines Stundenglases auf, das über einen Zwischenring mit einem kegelstumpfförmigen Unterteil verbunden ist, das sich unter Belassung eines in seiner Weite veränderbaren Ringspalts bis in die Düsenöffnung erstreckt. Durch die Geometrie des Oberteils werden die zentralen, kälteren Schmelzströme auslenkt und so eine Homogenisierung der Temperatur innerhalb der Quarzglasschmelze bewirkt.
  • Die beim bekannten Ziehverfahren eingesetzte Vorrichtung ist in ihrer Konstruktion und Handhabung relativ aufwändig und das Verfahren erweist sich gegenüber Temperaturschwankungen im Tiegelinnenraum als vergleichsweise empfindlich.
  • Technische Aufgabe
  • Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, welches die Herstellung homogener Quarzglaszylinder bei gleichzeitig hoher Produktivität ermöglicht.
  • Weiterhin liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine konstruktiv einfache und einfach zu handhabende Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens bereitzustellen.
  • Hinsichtlich des Verfahrens wird diese Aufgabe ausgehend von dem eingangs genannten Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass mindestens ein zweiter Quarzglasstrang durch mindestens eine weitere im Boden des Schmelztiegels vorgesehene zweite Ziehdüse abgezogen wird, wobei die erste Ziehdüse und die zweite Ziehdüse beabstandet voneinander und exzentrisch zur Tiegel-Mittelachse angeordnet sind.
  • Ziel der Erfindung ist es, eine ausgeprägte Siloströmung in der Tiegelmitte, einhergehend mit einem unmittelbaren Eintritt gering homogenisierter Quarzglasmasse in die Ziehdüse, zu vermeiden, und gleichzeitig die Produktivität des Ziehverfahrens zu erhöhen. Hierzu ist das Zusammenspiel mehrerer Maßnahmen entscheidend:
    • 1. Statt nur einer einzigen Ziehdüse sind im Boden des Schmelztiegels zwei oder mehr Ziehdüsen vorgesehen, durch die jeweils ein Quarzglasstrang aus dem Schmelztiegel abgezogen wird. Es liegt auf der Hand, dass diese Maßnahme die Produktivität des Ziehverfahrens erhöht.
    • 2. Wichtig dabei ist aber auch, dass keine der Ziehdüsen exakt in der Tiegelmitte angeordnet ist. Die exzentrische, außermittige Anordnung der Ziehdüsen vermeidet oder vermindert die schmelztechnisch ungünstige Mittelströmung und bewirkt eine eher randnähere Strömung. Damit einhergehend ergibt sich ein axiales Temperaturprofil mit im Mittel höheren Temperaturen im Vergleich zu dem axialen Temperaturprofil in der Tiegel-Mittelachse. Dies ermöglicht eine Reduzierung der zuzuführenden Schmelzenergie, was wiederum zu einer Energieersparnis und insbesondere zu einer Verminderung der thermischen Belastungen des Schmelztiegels führt und somit der Einbringung von Kontaminationen in die Schmelze entgegenwirkt.
    • 3. Die mindestens zwei Ziehdüsen erzeugen Einzelströmungen, die teilweise miteinander verkoppelt sind und die aufeinander einwirken. Dadurch ergibt sich ein gewisser Durchmischungseffekt, der zu einer Homogenisierung der Quarzglasmasse beiträgt.
  • Je nach Anzahl der Ziehdüsen ergibt sich bei derselben produktspezifischen Standardschmelzleistung eine Erhöhung der Verweilzeit im Schmelztiegel und damit einhergehend eine höhere Qualität des abgezogenen Quarzglases, und umgekehrt, bei Einhaltung der bisher üblichen spezifischen Verweilzeiten, ergibt sich eine zuordenbare Erhöhung der Schmelzleistung.
  • Somit ermöglicht die Erfindung nicht nur unmittelbar eine Erhöhung der Produktivität gegenüber dem herkömmlichen Ziehverfahren, sondern gleichzeitig kann – bei gleichbleibender Tiegeltemperatur – die Homogenität des abgezogenen Quarzglasstrangs verbessert, oder – bei gleichbleibender Homogenität – die Temperaturbelastung des Schmelztiegels verringert werden. Diese Maßnahmen wirken sich mittelbar ebenfalls auf die Produktivität aus, wie oben erläutert.
  • Die positiven Wirkungen der oben unter 2. und 3. erläuterten Maßnahmen hängen von der örtlichen Verteilung der Ziehdüsen über dem Tiegelboden und dabei insbesondere vom Abstand der Ziehdüsen voneinander ab. Diese Wirkungen sind in erster Näherung umso ausgeprägter, je größer der Abstand zwischen den Ziehdüsen ist. Im Hinblick hierauf hat es sich als vorteilhaft erwiesen, wenn die erste Ziehdüse und die weitere, zweite Ziehdüse einen Abstand von mindestens 20 mm, vorzugsweise von mindestens 50 mm voneinander haben.
  • Unter dem Abstand wird hierbei nicht der Abstand der Mittelachsen benachbarter Ziehdüsen verstanden, sondern die kleinste Entfernung der jeweiligen Düsenöffnungen. Der Abstand beschreibt somit die zwischen den Düsenöffnungen verbleibende minimale Stegweite im Tiegelboden.
  • Die exzentrische Anordnung der Ziehdüsen in Bezug auf die Tiegel-Mittelachse umfasst auch eine Verfahrensweise, bei der eine der Ziehdüsenöffnungen die Tiegel-Mittelachse schneidet. Bei einer besonders bevorzugten Verfahrensweise ist jedoch vorgesehen, dass die Ziehdüsen um die Schmelztiegel-Mittelachse gleichmäßig verteilt angeordnet sind.
  • Hierbei schneidet keine der Ziehdüsen-Öffnungen die Schmelztiegel-Mittelachse, so dass die Mittelströmung weitgehend vermieden wird. Die gleichmäßige Verteilung der Ziehdüsen um die Schmelztiegel-Mittelachse trägt zu einer reproduzierbaren und gleichmäßigen Verteilung der eingeschmolzenen Quarzglasmasse in die jeweiligen Quarzglasstränge bei.
  • In dem Zusammenhang hat es sich auch als günstig erwiesen, wenn genau zwei Ziehdüsen vorgesehen sind, die sich an der Tiegel-Mittelachse gegenüberliegen.
  • Es hat sich gezeigt, dass bei mehr als zwei Ziehdüsen der konstruktive Aufwand, insbesondere für das geregelte Abziehen der jeweiligen Quarzglasstränge, überproportional zunimmt. Bei der bevorzugten Verfahrensweise sind daher nur zwei Ziehdüsen vorgesehen. Deren Ziehdüsen-Öffnungen liegen an der Tiegel-Mittelachse gegenüber, wobei sie die Mittelachse nicht schneiden. Aus dem oben bereits erläuterten Grund (gleichmäßigen Verteilung der eingeschmolzenen Quarzglasmasse) haben die Ziehdüsen-Öffnungen vorzugsweise den gleichen Abstand zur Mittelachse.
  • Es wird eine Verfahrensweise bevorzugt, bei der durch die erste Ziehdüse ein Quarzglasstrang mit einem ersten Massenstrom abgezogen wird, und bei der durch die zweite Ziehdüse ein Quarzglasstrang mit einem zweiten Massenstrom abgezogen wird, wobei sich erster und zweiter Massenstrom um maximal 100% (bezogen auf den kleineren der Massenströme) unterscheiden.
  • Wenn sich die aus den Ziehdüsen abgezogenen Massenströme überaus deutlich unterscheiden, kann infolge der Rückkopplung der jeweiligen Strömungen innerhalb des Schmelztiegels eine geringfügige Änderung bei der stärkeren Strömung (und dem größeren Massenstrom) zu einer ungewollt deutlichen Veränderung bei der schwächeren Strömung (und dem kleineren Massenstrom) führen und sich auf die Produktqualität ungünstig auswirken.
  • Insbesondere im Hinblick auf eine möglichst gleichmäßige Verteilung der Ziehdüsen-Öffnungsquerschnitte, eine möglichst geringe gegenseitige Beeinflussung und eine möglichst geringe Auswirkung bei Unterbrechung oder Änderung beim Abziehen von einem der Quarzglasstränge sind die Massenströme möglichst klein.
  • Es hat sich als günstig erwiesen, wenn der Öffnungsquerschnitt von erster und zweiter Ziehdüse maximal jeweils 50 cm2 beträgt.
  • Bei einem konstruktiv besonders einfachen Sonderfall ist die Abzugseinrichtung zum gleichzeitigen Abziehen mehrerer Quarzglasstränge aus den Ziehdüsen vorgesehen. Dies setzt jedoch gleiche Geometrie der Ziehdüsenöffnungen und der abgezogenen Quarzglasstränge voraus.
  • Eine größere Variabilität beim Einsatz von Ziehdüsen unterschiedlicher Querschnittsgeometrien und beim Profil und der radialen Abmessung der abgezogenen Quarzglasstränge ergibt sich, wenn eine zweite Abzugseinrichtung eingesetzt wird, mittels der der aus der zweiten Ziehdüse austretende Quarzglasstrang abgezogen wird.
  • Dabei können die beiden Quarzglasstränge unabhängig voneinander abgezogen und auf ihre Soll-Abmessungen geregelt werden.
  • Vorzugsweise weist dabei die erste Abzugseinrichtung einen ersten Rollenschlepper auf, der sich über einen ersten Erstreckungsabschnitt entlang der Tiegel-Mittelachse erstreckt, und die zweite Abzugseinrichtung weist einen zweiten Rollenschlepper auf, der sich über einen zweiten Erstreckungsabschnitt entlang der Tiegel-Mittelachse erstreckt, derart, dass sich die Erstreckungsabschnitte von erstem und zweitem Rollenschlepper nicht überschneiden.
  • Ein Rollenschlepper umfasst mehrere um den abzuziehenden Glasstrang verteilte Schlepperrollen, die sich am abzuziehenden Glasstrang gegenüberliegen, und auf diesen eine Kraft ausüben, die zum Abziehen des Glasstrangs geeignet ist. Der Abzug in Form eines Rollenschleppers ermöglicht ein kontinuierliches Ziehen des Glasstrangs mit vergleichsweise geringem konstruktivem Aufwand. Aus Platzgründen ist es dabei bevorzugt, dass die Rollenschlepper von erster und zweiter Abzugseinrichtung auf unterschiedlichen Höhenebenen angeordnet sind.
  • Hinsichtlich der Vorrichtung wird die oben angegebene Aufgabe ausgehend von einer Ziehvorrichtung der eingangs genannten Gattung erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass im Boden des Schmelztiegels mindestens eine weitere, zweite Zieh düse vorgesehen ist, und dass erste Ziehdüse und zweite Ziehdüse beabstandet voneinander und exzentrisch zur Tiegel-Mittelachse angeordnet sind.
  • Ziel der Erfindung in Bezug auf die Vorrichtung ist es, durch einfache konstruktive Gestaltungsmittel eine ausgeprägte Siloströmung in der Tiegelmitte zu vermeiden, und gleichzeitig die Produktivität des Ziehverfahrens zu erhöhen. Hierzu ist das Zusammenspiel mehrerer Maßnahmen entscheidend:
    • 1. Statt nur einer einzigen Ziehdüse sind im Boden des Schmelztiegels zwei oder mehr Ziehdüsen vorgesehen, durch die jeweils ein Quarzglasstrang aus dem Schmelztiegel abgezogen wird. Auf diese Weise wird die Produktivität des Ziehverfahrens erhöht.
    • 2. Keine der Ziehdüsen ist exakt in der Tiegelmitte angeordnet. Die exzentrische, außermittige Anordnung der Ziehdüsen vermeidet oder vermindert die schmelztechnisch ungünstige Mittelströmung und bewirkt eine eher randnähere Strömung. Damit einhergehend ergibt sich ein axiales Temperaturprofil mit im Mittel höheren Temperaturen im Vergleich zu dem axialen Temperaturprofil in der Tiegel-Mittelachse. Dies führt nicht nur zu einer Energieersparnis durch Reduzierung der benötigten Schmelzenergie, sondern auch zu einer Verminderung der thermischen Belastungen des Schmelztiegels, was der Einbringung von Kontaminationen in die Schmelze entgegenwirkt und somit den Materialausschuss vermindert, außerdem die Wartungsintervalle verlängert und sich somit insgesamt auf die Produktivität vorteilhaft auswirkt.
    • 3. Die mindestens zwei Ziehdüsen erzeugen Einzelströmungen, die teilweise miteinander verkoppelt sind und die aufeinander einwirken. Dadurch ergibt sich ein gewisser Durchmischungseffekt, der zu einer Homogenisierung der Quarzglasmasse und damit ebenfalls zu einer Verringerung von Materialausschuss beiträgt.
  • Je nach Anzahl der Ziehdüsen ergibt sich bei derselben produktspezifischen Standardschmelzleistung eine Erhöhung der Verweilzeit im Schmelztiegel und damit einhergehend eine höhere Qualität des abgezogenen Quarzglases, und umgekehrt, bei Einhaltung der bisher üblichen spezifischen Verweilzeiten, ergibt sich eine zuordenbare Erhöhung der Schmelzleistung.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung ergeben sich aus den Unteransprüchen. Soweit in den Unteransprüchen angegebene Ausgestaltungen der Vorrichtung den in Unteransprüchen zum erfindungsgemäßen Verfahren genannten Verfahrensweisen nachgebildet sind, wird zur ergänzenden Erläuterung auf die obigen Ausführungen zu den entsprechenden Verfahrensansprüchen verwiesen.
  • Ausführungsbeispiel
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und einer Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung in schematischer Darstellung zeigt im Einzelnen
  • 1 eine Ausführungsform eines Schmelzofens gemäß der Erfindung mit einem Schmelztiegel mit mehreren Ziehdüsen in einer Seitenansicht und als Schnittdarstellung, und
  • 2 eine Draufsicht auf die Unterseite des Bodens des Schmelztiegels von 1.
  • Der Ziehofen gemäß 1 umfasst einen Schmelztiegel 1 aus Wolfram, in den von oben über einen Zufuhrstutzen 2 kontinuierlich SiO2-Körnung 3 eingefüllt wird. Der Schmelztiegel 1 ist von einem wassergekühlten Ofenmantel 14 unter Bildung eines mit Schutzgas gespülten Schutzgasraums 10 umgeben, innerhalb dessen eine poröse Isolationsschicht 8 aus oxidischem Isolationsmaterial und eine Widerstandsheizeinrichtung 13 zum Erhitzen der SiO2-Körnung 3 untergebracht sind. Der Schutzgasraum 10 ist nach unten hin offen und ansonsten mit einer Bodenplatte 15 und mit einer Deckplatte 16 nach Außen abgedichtet.
  • Der Schmelztiegel 1 umschließt einen zylinderförmigen Tiegel-Innenraum 5 mit einem Innendurchmesser von 400 mm, dessen Zylinder-Längsachse koaxial zur Tiegel-Mittelachse 6 verläuft. Der Tiegel-Innenraum 5 ist ebenfalls gegenüber der Umgebung mittels einer Abdeckung 18 und einem Dichtelement 19 abgedichtet. Durch die Abdeckung 18 ragen ein Einlass 22 und ein Auslass 21 für ein Tiege linnenraum-Gas in Form von reinem Wasserstoff. Ebenso ist der Schutzgasraum 10 im oberen Bereich mit einem Gaseinlass 23 für reinen Wasserstoff versehen.
  • In den Boden 7 des Schmelztiegels 1 sind exzentrisch zur Mittelachse 6 zwei Ziehdüsen 4a und 4b mit jeweils kreisförmiger Öffnung eingesetzt, die ebenfalls aus Wolfram-Bauteilen 17 bestehen. Die Ziehdüsen 4a, 4b sind baugleich und verjüngen sich von oben nach unten zunächst auf einen minimalen Innendurchmesser von 40 mm bevor sie sich wieder auf 70 mm im Bereich der unteren Düsenöffnung erweitern.
  • Über die Ziehdüsen 4a, 4b tritt die weiche Quarzglasmasse 9 aus und wird in Form zweier Vollzylinderstränge 11a, 11b mit jeweils einem Durchmesser von 70 mm mittels Rollenschlepper 12a, 12b vertikal nach unten in Richtung der Schmelztiegel-Mittelachse 6 abgezogen. Die Rollenschlepper 12a, 12b sind über die Höhe versetzt zueinander angeordnet und jeweils mit einer (in der Figur nicht dargestellten) Steuer- und Regeleinrichtung für die Regelung des Durchmessers für den jeweiligen Vollzylinderstrang 11a, 11b verbunden. Aus den beiden Vollzylindersträngen werden Teilstücke der gewünschten Länge abgelängt.
  • Der besseren Übersicht halber werden in der Draufsicht auf die Unterseite des Tiegelbodens 7 in 2 zur Bezeichnung derselben Bauteile wie in 1 gleiche Bezugsziffern und Schraffuren verwendet (obwohl 2 keine Schnittdarstellung zeigt). Die sich von oben nach unten verjüngenden Ziehdüsen 4a und 4b sind außermittig angeordnet und liegen sich mit einem Abstand von 75 mm an der Tiegel-Mittellinie 6 gegenüber Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand eines Ausführungsbeispiels und den 1 und 2 näher erläutert.
  • Beispiel 1
  • Über die Zufuhrstutzen 2 wird kontinuierlich SiO2-Körnung 3 in den Schmelztiegel 1 eingespeist und darin auf eine Temperatur von etwa 2100°C bis 2200°C erhitzt. Dabei entsteht im unteren Bereich des Schmelztiegels 1 eine weiche Quarzglasmasse 9, auf der eine Körnungsschicht aus SiO2-Körnung 3 aufschwimmt. Es bilden sich zwei etwa gleich große Haupt-Massenströmungen 20a, 20b der erweichten Quarzglasmasse 9 von der SiO2-Körnung 3 aus in Richtung auf die beiden Ziehdüsen 4a, 4b aus. Diese Haupt-Massenströmungen 20a, 20b sind in 1 durch Schraffur und Blockpfeile angedeutet.
  • Da die Quarzglasmasse 9 im randnahen Bereich des Schmelztiegels 1 einer im Mittel höheren Temperatur ausgesetzt ist als im zentralen Bereich, wird sie in den beiden randnahen Haupt-Massenströmungen besser homogenisiert als dies bei gegebener Schmelztiegel-Temperatur im zentralen Bereich der Fall wäre. Eine Siloströmung durch den zentralen Schmelztiegelbereich, der die Tiegel-Mittellinie 6 umfasst, wird so vollständig vermieden und die Produktivität des Ziehverfahrens wird verdoppelt.
  • Beispiel 2
  • Alternativ dazu wird die SiO2-Körnung 3 im Schmelztiegel 1 auf eine Temperatur von etwa 2050°C bis 2150°C erhitzt, also um etwa 50°C weniger als bei Beispiel 1.
  • Auch hier bilden sich zwei etwa gleich große randnahe Haupt-Massenströmungen 20a, 20b der Quarzglasmasse 9 von der SiO2-Körnung 3 aus in Richtung auf die beiden Ziehdüsen 4a, 4b aus.
  • Die Quarzglasmasse 9 in den Haupt-Massenströmungen 20a, 20b ist dabei in etwa einer Temperaturbelastung ausgesetzt, wie die „Siloströmung” bei einem herkömmlichen Ziehverfahren, und die so erhaltenen Vollzylinderstränge 11a, 11b haben somit in etwa die gleiche Homogenität wie der beim herkömmlichen Ziehverfahren erzeugte zentrale Strang. Da die Temperaturbelastung der Tiegelwandung 1 und des Tiegelbodens 7 jedoch geringer ist, ergibt sich ein geringerer Eintrag von Abrieb aus dem Tiegel und anderer Verunreinigungen in die erweichte Quarzglasmasse und eine längere Standzeit des Schmelztiegels. Der Ausschuss ist somit geringer und das Wartungsintervall größer, was sich in einer höheren Produktivität äußert.

Claims (15)

  1. Verfahren zum Ziehen eines Quarzglaszylinders aus einem Schmelztiegel (1), der einen Tiegel-Innenraum (5) umfasst, der sich in Richtung einer Tiegel-Mittelachse (6) erstreckt und von einer Seitenwand und einem Boden (7) begrenzt ist, indem dem Schmelztiegel (1) SiO2-Körnung (3) zugeführt, darin zu einer viskosen Quarzglasmasse (9) erweicht und diese mittels einer ersten Abzugseinrichtung (12a) durch eine im Boden (7) des Schmelztiegels (1) vorgesehene erste Ziehdüse (4a) als zylinderförmiger Quarzglasstrang (11a) vertikal nach unten abgezogen und daraus der Quarzglaszylinder durch Abschneiden erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein zweiter Quarzglasstrang (11b) durch mindestens eine weitere, zweite im Boden (7) des Schmelztiegels (1) vorgesehene Ziehdüse (4b) abgezogen wird, wobei die erste Ziehdüse (4a) und die zweite Ziehdüse (4b) beabstandet voneinander und exzentrisch zur Tiegel-Mittelachse (6) angeordnet sind.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Ziehdüse (4a) und die zweite Ziehdüse (4b) einen Abstand von mindestens 20 mm, vorzugsweise von mindestens 50 mm voneinander haben.
  3. Verfahren Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, die Ziehdüsen (4a; 4b) um die Tiegel-Mittelachse (6) gleichmäßig verteilt angeordnet sind.
  4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass genau zwei Ziehdüsen (4a; 4b) vorgesehen sind, die sich an der Tiegel-Mittelachse (6) gegenüberliegen.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dass durch die erste Ziehdüse (4a) ein Quarzglasstrang (11a) mit einem ersten Massenstrom abgezogen wird, und dass durch die zweite Ziehdüse (4b) ein Quarzglasstrang (11b) mit einem zweiten Massenstrom abgezogen wird, wobei sich erster und zweiter Massenstrom um maximal 100% (bezogen auf den kleineren der Massenströme) unterscheiden.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Öffnungsquerschnitt von erster und zweiter Ziehdüse (4a; 4b) maximal 50 cm2 beträgt.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine zweite Abzugseinrichtung (12b) eingesetzt wird, mittels der der aus der zweiten Ziehdüse (4b) austretende Quarzglasstrang (11b) abgezogen wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Abzugseinrichtung (11a) einen ersten Rollenschlepper aufweist, der sich über einen ersten Erstreckungsabschnitt entlang der Tiegel-Mittelachse (6) erstreckt, und dass die zweite Abzugseinrichtung (11b) einen zweiten Rollenschlepper aufweist, der sich über einen zweiten Erstreckungsabschnitt entlang der Tiegel-Mittelachse (6) erstreckt, derart, dass sich die Erstreckungsabschnitte von erstem und zweitem Rollenschlepper nicht überschneiden.
  9. Vorrichtung zum Ziehen eines Quarzglaszylinders, mit einem Schmelztiegel (1) zur Aufnahme von SiO2-Körnung (3), der einen zylinderförmigen Tiegel-Innenraum (5) umfasst, der sich in Richtung einer Tiegel-Mittelachse (6) erstreckt und von einer Seitenwand und einem Boden (7) begrenzt ist, mit einer Heizeinrichtung (13) zum Erweichen der SiO2-Körnung (3), sowie mit einer im Boden (7) des Schmelztiegels (1) vorgesehenen ersten Ziehdüse (4a), und mit einer ersten Abzugseinrichtung (12a) zum Abziehen eines Quarzglasstrangs (11a) durch die erste Ziehdüse (4a), dadurch gekennzeichnet, dass im Boden (7) des Schmelztiegels (1) mindestens eine weitere, zweite Ziehdüse (4b) vorgesehen ist, und dass erste Ziehdüse (4a) und zweite Ziehdüse (4b) beabstandet voneinander und exzentrisch zur Tiegel-Mittelachse (6) angeordnet sind.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Ziehdüse (4a) und die zweite Ziehdüse (4b) einen Abstand von mindestens 20 mm, vorzugsweise von mindestens 50 mm voneinander haben.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Ziehdüsen (4a; 4b) um die Tiegel-Mittelachse (7) gleichmäßig verteilt angeordnet sind.
  12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass genau zwei Ziehdüsen (4a; 4b) vorgesehen sind, die sich an der Tiegel-Mittelachse (7) gegenüberliegen.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Öffnungsquerschnitt von erster und zweiter Ziehdüse (4a; 4b) jeweils maximal 50 cm2 beträgt.
  14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass eine zweite Abzugseinrichtung (12b) zum Abziehen eines aus der zweiten Ziehdüse (4b) austretenden Quarzglasstrangs (11b) vorgesehen ist.
  15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Abzugseinrichtung (12a) einen ersten Rollenschlepper aufweist, der sich über einen ersten Erstreckungsabschnitt entlang der Tiegel-Mittelachse (6) erstreckt, und dass die zweite Abzugseinrichtung (12b) einen zweiten Rollenschlepper aufweist, der sich über einen zweiten Erstreckungsabschnitt entlang der Tiegel-Mittelachse (6) erstreckt, derart, dass sich die Erstreckungsabschnitte von erstem und zweitem Rollenschlepper (12a; 12b) nicht überschneiden.
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